JP2006149093A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【課題】不要な静電引力を低減させることで可動安定性が高く、可動制御が容易なアクチュエータを提供する。
【解決手段】複数の第1の電極指13を有する第1の櫛歯型電極11と、複数の第1の電極指13と噛み合う複数の第2の電極指14を有する第2の櫛歯型電極12とを備えるアクチュエータであって、第1の櫛歯型電極11の外側部において、第1及び第2の電極指13、14の電極面に垂直方向に生じる静電引力は、第1の櫛歯型電極11の中央部において、第1及び第2の電極指13、14の電極面に垂直方向に生じる静電引力よりも小さい。
【選択図】図1
【解決手段】複数の第1の電極指13を有する第1の櫛歯型電極11と、複数の第1の電極指13と噛み合う複数の第2の電極指14を有する第2の櫛歯型電極12とを備えるアクチュエータであって、第1の櫛歯型電極11の外側部において、第1及び第2の電極指13、14の電極面に垂直方向に生じる静電引力は、第1の櫛歯型電極11の中央部において、第1及び第2の電極指13、14の電極面に垂直方向に生じる静電引力よりも小さい。
【選択図】図1
Description
本発明はアクチュエータに関し、特に、静電駆動方式のアクチュエータに関する。
従来から、半導体製造プロセスを用いた微小電気機械システム(micro-electro-mechanical system:MEMS)による静電マイクロアクチュエータが知られており、この静電マイクロアクチュエータを用いた光スイッチ或いは光シャッター等の光デバイス、或いは磁気ディスク又は光ディスクのヘッド部などが実用化されている(例えば、特許文献1乃至4参照)。
例えば、特許文献4に開示された薄膜型櫛歯共鳴器は、基板に固定された2つの櫛歯型の固定電極と、固定電極の間に配置された櫛歯型の可動電極と、可動電極を支持する可撓性の支持部とを有し、固定電極及び可動電極の電極指(櫛歯)は互いに噛み合わされている。両電極間に電位差を生じさせることによって、可動電極は支持部に支持されながら電極指の側面に平行な方向に駆動される。
MEMS機構の駆動原理には、静電気による引力が利用される。電極指の側面に垂直な方向に働く静電引力を利用するギャップクロージング方式と、電極指の側面に平行な方向に働く静電引力を利用するコム方式に大別される。特許文献4に開示された薄膜型櫛歯共鳴器は、後者のコム方式を採用している。
特開平03−230779号公報
特開平11−341834号公報
特表2002−510059号公報
米国特許第5025346号明細書(特に、第1乃至第3図参照)
コム方式のアクチュエータにおいて、互いに噛み合う固定電極と可動電極の電極指は一定の距離をおいて交互に配列されている。しかし、可動電極の駆動時に、可動電極が電極指の側面に垂直な方向に変位して、この一定の距離が少しでもずれてしまうと、電極指の側面に垂直な方向にギャップクロージング方式による静電引力が生じて、可動電極が電極指の側面に垂直な方向に吸引されてしまい、故障の原因となる。
電極指の側面に垂直な方向の吸引力は、電極指間の距離の2乗に反比例にして急激に増加するため、電極指の側面に垂直な方向の吸引力を制御することは困難である。
本発明の第1の特徴は、複数の第1の電極指を有する第1の櫛歯型電極と、複数の第1の電極指と噛み合う複数の第2の電極指を有する第2の櫛歯型電極とを備えるアクチュエータであって、第1の櫛歯型電極の外側部における、第1及び第2の電極指の電極面に垂直方向に生じる静電引力は、第1の櫛歯型電極の中央部における、第1及び第2の電極指の電極面に垂直方向に生じる静電引力よりも小さいことを要旨とする。
本発明の第2の特徴は、複数の第1の電極指を有する第1の櫛歯型電極と、複数の第1の電極指と噛み合う複数の第2の電極指を有する第2の櫛歯型電極とを備えるアクチュエータであって、隣接する第1の電極指と第2の電極指の間隔は、広い部分と狭い部分が交互に繰り返されていることを要旨とする。
本発明の第3の特徴は、複数の第1の電極指を有する第1の櫛歯型電極と、複数の第1の電極指と噛み合う複数の第2の電極指を有する第2の櫛歯型電極とを備えるアクチュエータであって、複数の第1の電極指及び複数の第2の電極指は、第1及び第2の櫛歯型電極の中央部に向かって傾斜していることを要旨とする。
本発明によれば、不要な静電引力を低減させることで可動安定性が高く、可動制御が容易なアクチュエータを提供することができる。
以下図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。図面の記載において同一あるいは類似の部分には同一あるいは類似な符号を付している。
(第1の実施の形態)
図1に示すように、第1の実施の形態に係るアクチュエータは、可動プレート15と、可動プレート15を支持し、一定方向に変位させる可撓な支持アーム17と、可動プレート15を一定方向に駆動する駆動部(11、12)とを有する。駆動部(11、12)は、アクチュエータ全体を支持する基板に固定された第1の櫛歯型電極(以後、「固定電極」という)11と、可動プレート15に接続された第2の櫛歯型電極(以後、「可動電極」という)12とを有する。固定電極11と可動電極12は互いに対向して配置されている。固定電極11は複数の第1の電極指13と、複数の第1の電極指13を支持する第1の櫛歯支持アーム18とを有し、可動電極12は、複数の第1の電極指13と噛み合う複数の第2の電極指14と、複数の第2の電極指14を支持する第2の櫛歯支持アーム19とを有する。支持アーム17の一端は、固定部16を介して基板に固定されており、支持アーム17が撓むことにより、可動電極12を一定方向に変位させることが出来る。ここで、「一定方向」とは、第1及び第2の電極指13、14の側面(電極面)に対して平行な方向、即ち「縦方向」を示す。
図1に示すように、第1の実施の形態に係るアクチュエータは、可動プレート15と、可動プレート15を支持し、一定方向に変位させる可撓な支持アーム17と、可動プレート15を一定方向に駆動する駆動部(11、12)とを有する。駆動部(11、12)は、アクチュエータ全体を支持する基板に固定された第1の櫛歯型電極(以後、「固定電極」という)11と、可動プレート15に接続された第2の櫛歯型電極(以後、「可動電極」という)12とを有する。固定電極11と可動電極12は互いに対向して配置されている。固定電極11は複数の第1の電極指13と、複数の第1の電極指13を支持する第1の櫛歯支持アーム18とを有し、可動電極12は、複数の第1の電極指13と噛み合う複数の第2の電極指14と、複数の第2の電極指14を支持する第2の櫛歯支持アーム19とを有する。支持アーム17の一端は、固定部16を介して基板に固定されており、支持アーム17が撓むことにより、可動電極12を一定方向に変位させることが出来る。ここで、「一定方向」とは、第1及び第2の電極指13、14の側面(電極面)に対して平行な方向、即ち「縦方向」を示す。
図2(a)は従来技術に係わる第1及び第2の櫛歯型電極の部分を模式的に示し、図2(b)は図1の固定電極11及び可動電極12の部分を模式的に示したものである。
図2(a)に示すように、第1の櫛歯型電極61は、互いに平行に配置された複数の第1の電極指63と、複数の第1の電極指63を支持する第1の櫛歯支持アーム68とを有し、第2の櫛歯型電極62は、互いに平行に配置された複数の第2の電極指64と、複数の第2の電極指64を支持する第2の櫛歯支持アーム69とを有する。隣接する第1の電極指63の間隔、隣接する第2の電極指64の間隔は総て等しい。そして、噛み合った状態で隣接する第1の電極指63と第2の電極指63の間隔も総て等しい。つまり、第1の櫛歯型電極61の外側部において隣接する第1の電極指63と第2の電極指63の間隔と、第1の櫛歯型電極61の中央部において隣接する第1の電極指63と第2の電極指63の間隔は、等しい。
これに対して、図2(b)に示すように、固定電極11の外側部において隣接する第1の電極指13の間隔は、固定電極11の中央部において隣接する第1の電極指13の間隔よりも広く、可動電極12の外側部において隣接する第2の電極指14の間隔は、可動電極12の中央部において隣接する第2の電極指14の間隔よりも広い。したがって、固定電極11の外側部において隣接する第1の電極指13と第2の電極指13の間隔は、固定電極11の中央部において隣接する第1の電極指13と第2の電極指13の間隔よりも広い。
電極指13、14の側面(電極面)に垂直な方向の静電引力(吸引力)は、電極指間の距離の2乗に反比例にして急激に増加するため、固定電極11の外側部において第1及び第2の電極指13、14の電極面に垂直方向(横方向)に生じる静電引力F’は、固定電極11の中央部において横方向に生じる静電引力よりも小さくなる。
固定電極11及び可動電極12に対して任意の力Fが加わった時に固定電極11及び可動電極12に働くトルクはN=r×Fで表される。rはトルクが加わる位置のアクチュエータ中心(可動プレート15)からの距離を示す。つまり、トルクNが大きければアクチュエータが回転しやすくなり短絡故障の原因となる。しかし、隣接する電極指間隔が外側ほど広くなる構造であれば、アクチュエータ全体に働くトルクNが減少し、回転し難くなる。
このように、不要な横方向への吸引力が減少するため、可動電極12の横方向への変位に対する安定性、特に回転方向に対する安定性が向上し、隣接する電極指間のショートを回避できる。
(第1の変形例)
第1の実施の形態では、隣接する電極指間の距離を中央部と外側部とで変化させることにより、横方向の静電引力を変化させたが、第1及び第2の電極指が噛み合う長さを変化させることによっても、横方向の静電引力を変化させることができる。
第1の実施の形態では、隣接する電極指間の距離を中央部と外側部とで変化させることにより、横方向の静電引力を変化させたが、第1及び第2の電極指が噛み合う長さを変化させることによっても、横方向の静電引力を変化させることができる。
第1の実施の形態の第1及び第2の変形例では、第1及び第2の電極指が噛み合う長さを変化させることによって、横方向の静電引力を変化させる2つのアクチュエータについて図3(a)及び図3(b)を参照して説明する。
図3(a)に示すように、複数の第1の電極指13の長さは互いに等しく、複数の第2の電極指14の長さも互いに等しい。第1の櫛歯支持アーム18は、直線状又は平面状であり、可動電極12の可動方向a1に対して垂直に配置されている。一方、第2の櫛歯支持アーム19は、可動電極12の中央部、つまり可動プレート15が接続されている部分において固定電極11側へ折れ曲がった形状を有する。
したがって、固定電極11の外側部における第1の櫛歯支持アーム18と第2の櫛歯支持アーム19の距離は、固定電極11の中央部における第1の櫛歯支持アーム18と第2の櫛歯支持アーム19の距離よりも長くなる。よって、複数の第1の電極指13の先端は直線状に配置されるが、複数の第2の電極指14の先端は、第2の櫛歯支持アーム19と同様にして、可動電極12の中央部において固定電極11側へ折れ曲がって配置される。
したがって、複数の第1の電極指13と複数の第2の電極指14が噛み合っている時に、固定電極11の外側部における第1及び第2の電極指13、14が噛み合う長さは、固定電極11の中央部における第1及び第2の電極指13、14が噛み合う長さよりも短くなる。
よって、電極指13、14の側面(電極面)に垂直な方向の静電引力(吸引力)は、第1及び第2の電極指13、14が噛み合う長さが長くなるほど増加するため、固定電極11の外側部において第1及び第2の電極指13、14の電極面に垂直方向(横方向)に生じる静電引力F’は、固定電極11の中央部において横方向に生じる静電引力よりも小さくなる。
このように、不要な横方向への吸引力が減少するため、可動電極12の横方向への変位に対する安定性、特に回転方向に対する安定性が向上し、隣接する電極指間のショートを回避できる。
図3(b)は、可動電極12を縦方向a1に変位させた時の縦方向の吸引力の変化を示す。従来の櫛歯構造の場合、初期の変位時に急激な縦方向の吸引力が生じて稼動しているのに対して、図3(a)に示す新規構造の場合、初期の変位時に縦方向の吸引力は緩やかに立上がる。したがって、第1の変形例に係わるアクチュエータによれば、変位初期の縦方向の吸引力が緩やかに立上り、初期の縦方向変位時に過剰な応力が働かないため、アクチュエータの初期動作が安定する。
(第2の変形例)
図4に示すように、複数の第1の電極指13の長さは互いに等しい。しかし、固定電極11の外側部における複数の第2の電極指14の長さは、固定電極11の中央部における複数の第2の電極指14の長さよりも短い。なお、第1の櫛歯支持アーム18及び第2の櫛歯支持アーム19は、それぞれ直線状又は平面状の形状を有し、可動電極12の可動方向a2に対して垂直に配置されている。
図4に示すように、複数の第1の電極指13の長さは互いに等しい。しかし、固定電極11の外側部における複数の第2の電極指14の長さは、固定電極11の中央部における複数の第2の電極指14の長さよりも短い。なお、第1の櫛歯支持アーム18及び第2の櫛歯支持アーム19は、それぞれ直線状又は平面状の形状を有し、可動電極12の可動方向a2に対して垂直に配置されている。
よって、第1の変形例と同様に、複数の第1の電極指13の先端は直線状に配置されるが、複数の第2の電極指14の先端は、可動電極12の中央部において固定電極11側へ折れ曲がって配置される。したがって、複数の第1の電極指13と複数の第2の電極指14が噛み合っている時に、固定電極11の外側部における第1及び第2の電極指13、14が噛み合う長さは、固定電極11の中央部における第1及び第2の電極指13、14が噛み合う長さよりも短くなる。
よって、電極指13、14の側面(電極面)に垂直な方向の静電引力(吸引力)は、第1及び第2の電極指13、14が噛み合う長さが長くなるほど増加するため、固定電極11の外側部において第1及び第2の電極指13、14の電極面に垂直方向(横方向)に生じる静電引力F’は、固定電極11の中央部において横方向に生じる静電引力よりも小さくなる。
このように、不要な横方向への吸引力が減少するため、可動電極12の横方向への変位に対する安定性、特に回転方向に対する安定性が向上し、隣接する電極指間のショートを回避できる。
図3(b)に示したように、図4に示す新規構造の場合、初期の変位時に縦方向の吸引力は緩やかに立上がる。したがって、第2の変形例に係わるアクチュエータによれば、変位初期の縦方向の吸引力が緩やかに立上り、初期の縦方向変位時に過剰な応力が働かないため、アクチュエータの初期動作が安定する。
(第2の実施の形態)
図5(a)は、図2(a)のアクチュエータの電極指が噛み合った状態において、第2の櫛歯型電極を横方向a3に移動させた場合を示す。櫛歯電極に液体が付加されていた状態では、櫛歯間隔の狭いところほど電極指に働く表面張力が大きい。よって、図5(a)の従来構造では、微小変位方向a3に対して、櫛歯全体に一様に表面張力が働くことにより、櫛歯全体がスティキングする。
図5(a)は、図2(a)のアクチュエータの電極指が噛み合った状態において、第2の櫛歯型電極を横方向a3に移動させた場合を示す。櫛歯電極に液体が付加されていた状態では、櫛歯間隔の狭いところほど電極指に働く表面張力が大きい。よって、図5(a)の従来構造では、微小変位方向a3に対して、櫛歯全体に一様に表面張力が働くことにより、櫛歯全体がスティキングする。
そこで、図5(b)に示すように、本発明の第2の実施の形態に係わるアクチュエータにおいて、隣接する第1の電極指13と第2の電極指14の間隔は、広い部分と狭い部分が交互に繰り返されている。これにより、両側に第2の電極指14が比較的近接して表面張力が大きくなる第1の電極指13と、両側の第2の電極指14が遠く離れて表面張力が小さくなる第1の電極指13とが、交互に繰り返されることになる。局所的に表面張力が大きくなる部分と小さくなる部分が出てきてアクチュエータ全体としてキャンセルされるため、櫛歯全体がスティキングすることが無くなる。よって、アクチュエータの信頼性と歩留まりが向上する。
(第3の実施の形態)
図6に示すように、本発明の第3の実施の形態に係わるアクチュエータは、複数の第1の電極指13を有する固定電極11と、複数の第1の電極指13と噛み合う複数の第2の電極指14を有する可動電極12とを備える。複数の第1の電極指13及び複数の第2の電極指14は、固定電極11及び可動電極12の中央部、つまり可動プレート15が固定電極11に接続された部分に向かって傾斜している。従来のコム型アクチュエータにおいて、複数の第1の電極指13及び複数の第2の電極指14の電極面は、横方向a4(駆動方向に対して垂直な方向)に垂直に向いている。
図6に示すように、本発明の第3の実施の形態に係わるアクチュエータは、複数の第1の電極指13を有する固定電極11と、複数の第1の電極指13と噛み合う複数の第2の電極指14を有する可動電極12とを備える。複数の第1の電極指13及び複数の第2の電極指14は、固定電極11及び可動電極12の中央部、つまり可動プレート15が固定電極11に接続された部分に向かって傾斜している。従来のコム型アクチュエータにおいて、複数の第1の電極指13及び複数の第2の電極指14の電極面は、横方向a4(駆動方向に対して垂直な方向)に垂直に向いている。
これに対して、第3の実施の形態では、複数の第1の電極指13及び複数の第2の電極指14の配置方向を、駆動方向(縦方向)に対して傾斜させている。これにより、アクチュエータの駆動時において、固定電極11及び可動電極12の中央部に向かった方向a4に吸引力が働く。この吸引力が復元力として働くので、横ぶれに強い構造となる。即ち、不要な静電引力を低減させることで可動安定性が高くなり、可動制御が容易となる。
(第4の実施の形態)
図7に示すように、本発明の第4の実施の形態に係わる光スイッチは、図1に示したアクチュエータと、可動プレート15を介して可動電極12に接続された光学部材(例えば、ミラー23)と、ミラー23の近傍において互いに交差する1対の光導波路(例えば、光ファイバ24a〜24d)とを備える。具体的には、図1に示したアクチュエータの可動プレート15の一端にミラー23が接続され、ミラー23の近傍に光ファイバ24a〜24dの一端が配置されている。光ファイバ24aと光ファイバ24dは一直線上に配置され、光ファイバ24bと光ファイバ24cは一直線上に配置されている。また、光ファイバ24aとミラー23との成す角度は、光ファイバ24bとミラー23との成す角度と等しく、光ファイバ24cとミラー23との成す角度は、光ファイバ24dとミラー23との成す角度と等しい。
図7に示すように、本発明の第4の実施の形態に係わる光スイッチは、図1に示したアクチュエータと、可動プレート15を介して可動電極12に接続された光学部材(例えば、ミラー23)と、ミラー23の近傍において互いに交差する1対の光導波路(例えば、光ファイバ24a〜24d)とを備える。具体的には、図1に示したアクチュエータの可動プレート15の一端にミラー23が接続され、ミラー23の近傍に光ファイバ24a〜24dの一端が配置されている。光ファイバ24aと光ファイバ24dは一直線上に配置され、光ファイバ24bと光ファイバ24cは一直線上に配置されている。また、光ファイバ24aとミラー23との成す角度は、光ファイバ24bとミラー23との成す角度と等しく、光ファイバ24cとミラー23との成す角度は、光ファイバ24dとミラー23との成す角度と等しい。
その他の構成は、図1のアクチュエータと同じであり、説明を省略する。また、固定電極11及び可動電極12の形状及び固定電極11及び可動電極12の各電極指13、14の形状は、図2(b)、図3(a)、図4、図5(b)、或いは図6の何れであっても構わない。
可動電極12が変位していない定常状態において、光ファイバ24aから入射した光は、ミラー23によって反射されて光ファイバ24bへ出射される。光ファイバ24cから入射した光は、ミラー23によって反射されて光ファイバ24dへ出射される。また、可動電極12が変位した状態において、光ファイバ24aから入射した光は、ミラー23によって反射されずに光ファイバ24dへ出射される。光ファイバ24cから入射した光は、ミラー23によって反射されずに光ファイバ24bへ出射される。このようにして、2×2の光スイッチが実現される。
第4の実施の形態に係わる光スイッチは、第1乃至第3の実施の形態に係わるアクチュエータを用いることにより、動作の安定性が高く、容易に動作を制御することが出来る。
(その他の実施の形態)
上記のように、本発明は、第1乃至第4の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
上記のように、本発明は、第1乃至第4の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
アクチュエータの他の実施の形態として、図2(b)、図3(a)、図4、図5(b)、及び図6を組み合わせてアクチュエータを構成しても構わない。例えば、図2(b)と図4とを組み合わせて、櫛歯型電極の外側に行くほど電極指の間隔が広がり、同時に第2の電極指14が短くなっても構わない。そのほか、これに限定されること無く、様々な組み合わせが可能である。
本発明の第1乃至第4の実施の形態では、第1及び第2の櫛歯型電極11、12の何れか一方が基板に対して固定された固定電極である例について説明した。しかし、第1及び第2の櫛歯型電極の双方が基板に対して変位し得る可動電極であっても構わない。この例においても、同様な作用効果を得ることが出来る。
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ限定されるものである。
11、61…第1の櫛歯型電極(固定電極)
12、62…第2の櫛歯型電極(可動電極)
13、63…第1の電極指
14、64…第2の電極指
15…可動プレート
16…固定部
17…支持アーム
18、69…第1の櫛歯支持アーム
19、69…第2の櫛歯支持アーム
23…ミラー
24a〜24d…光ファイバ
12、62…第2の櫛歯型電極(可動電極)
13、63…第1の電極指
14、64…第2の電極指
15…可動プレート
16…固定部
17…支持アーム
18、69…第1の櫛歯支持アーム
19、69…第2の櫛歯支持アーム
23…ミラー
24a〜24d…光ファイバ
Claims (7)
- 複数の第1の電極指を有する第1の櫛歯型電極と、
前記複数の第1の電極指と噛み合う複数の第2の電極指を有する第2の櫛歯型電極とを備え、
前記第1の櫛歯型電極の外側部における、前記第1及び第2の電極指の電極面に垂直方向に生じる静電引力は、前記第1の櫛歯型電極の中央部における前記静電引力よりも小さいことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記第1の櫛歯型電極の外側部における、隣接する前記第1の電極指と前記第2の電極指の間隔は、前記第1の櫛歯型電極の中央部における前記間隔よりも広いことを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。
- 前記複数の第1の電極指と前記複数の第2の電極指が噛み合っている時に、前記第1の櫛歯型電極の外側部における前記第1及び第2の電極指が噛み合う長さは、前記第1の櫛歯型電極の中央部における前記長さよりも短いことを特徴とする請求項1又は2記載のアクチュエータ。
- 前記複数の第1の電極指の長さは互いに等しく、前記複数の第2の電極指の長さは互いに等しく、前記第1の櫛歯型電極は、前記複数の第1の電極指を支持する第1の櫛歯支持アームを有し、前記第2の櫛歯型電極は、前記複数の第2の電極指を支持する第2の櫛歯支持アームを有し、前記第1の櫛歯型電極の外側部における前記第1の櫛歯支持アームと前記第2の櫛歯支持アームの距離は、前記第1の櫛歯型電極の中央部における前記距離よりも長いことを特徴とする請求項3記載のアクチュエータ。
- 前記第1の櫛歯型電極は、前記複数の第1の電極指を支持する第1の櫛歯支持アームを有し、前記第2の櫛歯型電極は、前記第1の櫛歯支持アームに並行に配置された、前記複数の第2の電極指を支持する第2の櫛歯支持アームを有し、
前記複数の第1の電極指の長さは互いに等しく、前記第1の櫛歯型電極の外側部における前記複数の第2の電極指の長さは、前記第1の櫛歯型電極の中央部における前記複数の第2の電極指の長さよりも短いことを特徴とする請求項3記載のアクチュエータ。 - 複数の第1の電極指を有する第1の櫛歯型電極と、
前記複数の第1の電極指と噛み合う複数の第2の電極指を有する第2の櫛歯型電極とを備え、
隣接する前記第1の電極指と前記第2の電極指の間隔は、広い部分と狭い部分が交互に繰り返されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 複数の第1の電極指を有する第1の櫛歯型電極と、
前記複数の第1の電極指と噛み合う複数の第2の電極指を有する第2の櫛歯型電極とを備え、
前記複数の第1の電極指及び前記複数の第2の電極指は、前記第1及び第2の櫛歯型電極の中央部に向かって傾斜していることを特徴とするアクチュエータ。
Priority Applications (1)
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