KR100815337B1 - 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기 - Google Patents

디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기에 관한 것으로서, 특히 회절부재의 아래쪽 가로방향 일 끝단에 미세 돌기부를 두어 회절부재가 아래로 당겨질 때 미세 돌기부에 의해 반사면이 기울어지도록 하는 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 기판; 상기 기판 위에 이격되어 형성되어 있는 한 쌍의 지지부재; 밴드 형상으로 양끝단이 각각 지지부재에 고정되어 상기 기판에 부유하여 있으며, 서로 평행하게 배열되어 있고, 상면이 입사광을 반사하는 반사면인 복수의 회절부재; 상기 각각의 회절부재의 하면에 그리고 가로지르는 방향의 일측면에 돌기되어 있어 상기 회절부재가 아래로 당겨지는 경우에 상기 회절부재의 반사면이 기울어지도록 하는 복수의 돌기부재; 및 상기 하나의 회절부재의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 회절부재의 반사면이 평면거울이 되도록 하는 제1 위치와 상기 하나의 회절부재의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 회절부재의 반사면이 입사광을 회절시키는 제2 위치가 되도록 상기 회절부재들을 상하로 이동시키는 복수의 구동체를 포함하여 이루어진 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기가 제공된다.
회절격자, 광변조기, 경사형

Description

디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기{Digital micro blaze grating optical modulator}
도 1은 종래 기술의 정전기 방식 격자 광 변조기를 도시하는 도면.
도 2는 종래 기술의 정전기 방식 격자 광 변조기가 변형되지 않는 상태에서 입사광을 반사시키는 것을 도시하는 도면.
도 3은 종래 기술의 격자 광 변조기가 정전기력에 의해 변형된 상태에서 입사광을 회절시키는 것을 도시하는 도면.
도 4는 종래 기술에 따른 경사형(blazed) 격자 광밸브(GLV)에 대한 사시도.
도 5는 종래 기술에 따른 경사형 격자 광밸브의 하나의 기다란 부재와 하부 기판에 대한 사시도.
도 6은 종래 기술에 따른 선택적인 제2 격자 광밸브를 도시한 도면.
도 7a 는 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기의 사시도이고, 도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기의 평면도이고, 도 7c는 본 발명의 일실시예에 따른 가변 경사형 회절격자 광변조기의 정면도이고, 도 7d는 본 발명의 일실시예에 따른 가변 경사형 회절격자 광변조기의 분해 사시도이고, 도 7e는 회절부재를 아래쪽에서 바라본 사시도.
도 8a 및 도 8b는 회절현상을 설명하기 위한 개념도.
도 9a 내지 9h는 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절 격자의 도 7b의 CC' 선을 따라 단면 제조 공정도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
710 : 기판 720 : 하부 전극
730 : 지지부재 740 : 회절부재
본 발명은 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기에 관한 것으로서, 특히 회절부재의 가로방향 일측단에 돌기부를 두어 회절부재가 아래쪽으로 당겨질 때 반사면이 기울어지도록 하는 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기에 관한 것이다.
일반적으로, 광신호처리는 많은 데이타 양과 실시간 처리가 불가능한 기존의 디지탈 정보처리와는 달리 고속성과 병렬처리 능력, 대용량의 정보처리의 장점을 지니고 있으며, 공간 광변조이론을 이용하여 이진위상 필터 설계 및 제작, 광논리 게이트, 광증폭기 등과 영상처리 기법, 광소자, 광변조기 등의 연구가 진행되고 있다.
이중 공간 광변조기는 광메모리, 광디스플레이, 프린터, 광인터커넥션, 홀로그램 등의 분야에 사용되며, 이를 이용한 표시장치의 개발 연구가 진행되고 있다.
이러한 공간 광변조기로는 일예로 도 1에 도시된 바와 같은 반사형 변형 가능 격자 광변조기(10)이다. 이러한 변조기(10)는 블룸 등의 미국특허번호 제 5,311,360호에 개시되어 있다. 변조기(10)는 반사 표면부를 가지며 기판(16) 상부에 부유(suspended)하는 복수의 일정하게 이격하는 변형 가능 반사형 리본(18)을 포함한다. 절연층(11)이 실리콘 기판(16)상에 증착된다. 다음으로, 이산화실리콘 막(12) 및 질화실리콘 막(14)의 증착이 후속한다.
질화실리콘 막(14)은 리본(18)으로부터 패터닝되고 이산화실리콘막(12)의 일부가 식각되어 리본(18)이 질화물 프레임(20)에 의해 이산화실리콘 막(12)상에 유지되도록 한다.
단일 파장 λ0를 가진 광을 변조시키기 위해, 변조기는 리본(18)의 두께와 이산화실리콘막(12)의 두께가 λ0/4가 되도록 설계된다.
리본(18)상의 반사 표면(22)과 기판(16)의 반사 표면 사이의 수직 거리 d로 한정된 이러한 변조기(10)의 격자 진폭은 리본(18)(제 1 전극으로서의 역할을 하는 리본(16)의 반사 표면(22))과 기판(16)(제 2 전극으로서의 역할을 하는 기판(16) 하부의 전도막(24)) 사이에 전압을 인가함으로써 제어된다. 변형되지 않은 상태에 서, 즉, 어떠한 전압도 인가되지 않은 상태에서, 격자 진폭은 λ0/2와 같고, 리본과 기판으로부터 반사된 광 사이의 전체 경로차는 λ0와 같아서, 이러한 반사광에 위상을 보강시킨다.
따라서, 변형되지 않은 상태에서, 변조기(10)는 평면거울로서 광을 반사한다. 변형되지 않은 상태가 입사광과 반사광을 도시하는 도 2에 20으로서 표시된다.
적정 전압이 리본(18)과 기판(16) 사이에 인가될 때, 정전기력이 리본(18)을 기판(16) 표면 방향으로 다운(down) 위치로 변형시킨다. 다운 위치에서, 격자 진폭은 λ0/4와 같게 변한다. 전체 경로차는 파장의 1/2이고, 변형된 리본(18)으로부터 반사된 광과 기판(16)으로부터 반사된 광이 상쇄 간섭을 하게 된다.
이러한 간섭의 결과, 변조기는 입사광(26)을 회절시킨다. 변형된 상태가 +/- 회절모드(D+1, D-1)로 회절된 광을 도시하는 도 3에 각각 28과 30으로 표시된다.
그러나, 블룸의 광변조기는 미세 미러의 위치 제어를 위해서 정전기 방식을 이용하는데, 이의 경우 동작 전압이 비교적 높으며(보통 20V 내외) 인가전압과 변위의 관계가 선형적이지 않은 등의 단점이 있어 결과적으로 광을 조절하는데 신뢰성이 높지 않는 단점이 있다.
한편, 실리콘 라이트 머신사에서는 대한민국 공개번호 2004-32908에서 회절을 형성하여 빛의 양을 조절하는 경사형 광밸브 장치를 제안하였다.
종래 기술에 따른 바람직한 경사형 격자 광 밸브가 도 4에 사시도로 도시되어 있다. 바람직한 경사형 격자 광 밸브(120)는 기판(122), 기다란 부재(124), 제 1 지지부(126)(하나만 도시됨), 및 제 2 지지부(128)(하나만 도시됨)를 포함한다. 기판(122)은 제 1도전체(130)를 포함한다. 바람직하게 기다란 부재(124)는 모두 반사형인 제 1 표면(132) 및 제 2 표면(134)을 각각 포함한다.
제 1 및 제 2 표면(132,134)은 각각의 기다란 부재(124)를 위한 경사형 프로파일(136)을 형성한다. 제 1 지지부(126)들 중 하나와 제 2 지지부(128)들중 하나는 각각의 기다란 부재(124)를 기판(122)에 결합시킨다. 또한 각각의 기다란부재(124)는 기다란 부재(124)의 제 1 및 제 2 단부(도시안됨)에서 기판(122)에 결합되어 있다.
기다란 부재(124)들중 하나와 기판(122)의 일부가 도 5에 사시도로 도시되어 있다. 기다란 부재(124)는 모두 반사형인 제 1 및 제 2 표면(132,134)을 포함한다. 제 1 및 제 2 표면(132,134)은 경사형 프로파일(136)을 형성한다.
기다란 부재(124)는 제 1 및 제 2 지지부(126,128)에 의해 제 1 및 제 2 단부(도시안됨)에서 기판에 결합되어 있다. 바람직하게, 기다란 부재(124), 제 1 지지부(126), 및 제 2 지지부(128)는 탄성 물질로 형성된다.
바람직하게, 탄성 물질은 실리콘 니트라이드를 포함한다. 바람직하게, 제 1 및 제 2 표면(132,134)은 반사기를 포함한다.
바람직하게, 반사기는 알루미늄 층을 포함한다. 선택적으로, 반사기는 다른 금속이다. 선택적으로, 반사기는 다층 유전체 반사기이다. 기판(122)은 제 1 도전 체(130)를 포함한다.
바람직하게, 기판(122)은 실리콘을 포함하고 제 1 도전층은 도핑된 폴리-실리콘이다. 가시 스펙트럼이 제공되는 경우에, 기다란 부재(124)는 제 1 지지부(126)로부터 제 2 지지부(128)까지의 길이가 약 200㎛이며 폭은 약 4.25㎛이다.
종래 기술에 따른 제 2 선택 경사형 격자 광 밸브는 도 6에 도시되어 있다. 제 2 선택 경사형 격자 광 밸브(120B)는 바람직한 경사형 격자 광 밸브(120)의 기다란 부재(124)를 제 2 선택의 기다란 부재(124C)로 대체한다.
제 2 선택의 기다란 부재(124C)는 기다란 부재(124)의 경사형 각도(γ)에서 평면 표면(226)으로 대체한다.
한편, 종래의 미국 특허 5,311,360에서도 정전력을 이용하여 반사면을 기울여 회절광을 형성하는 경사형 회절격자에 대하여 한 실시예(해당 특허의 도 7)에서 개시하고 있다.
그러나, 개시된 경사형 회절격자는(미국 특허 5,311,360 뿐만 아니라 실리콘 라이트 머신사의 특허출원에서도 동일하게) 회전하는 각도의 정확하게 제어하기가 힘들어 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있었다.
또한, 종래 기술에 따른 경사형 회절격자 광변조기는 잔여진동이 있어 빠른 제어가 힘들다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 신뢰성이 높고 잔여진동이 적은 경사형 회절격자 광변조기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기판; 상기 기판 위에 이격되어 형성되어 있는 한 쌍의 지지부재; 밴드 형상으로 양끝단이 각각 지지부재에 고정되어 상기 기판에 부유하여 있으며, 서로 평행하게 배열되어 있고, 상면이 입사광을 반사하는 반사면인 복수의 회절부재; 상기 각각의 회절부재의 하면에 그리고 가로지르는 방향의 일측면에 돌기되어 있어 상기 회절부재가 아래로 당겨지는 경우에 상기 회절부재의 반사면이 기울어지도록 하는 복수의 돌기부재; 및 상기 하나의 회절부재의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 회절부재의 반사면이 평면거울이 되도록 하는 제1 위치와 상기 하나의 회절부재의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 회절부재의 반사면이 입사광을 회절시키는 제2 위치가 되도록 상기 회절부재들을 상하로 이동시키는 복수의 구동체를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이제, 도 7a 이하의 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히설명하면 다음과 같다.
도 7a 는 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기의 사시도이고, 도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기의 평면도이고, 도 7c는 본 발명의 일실시예에 따른 가변 경사형 회절격자 광변조기의 정면도이고, 도 7d는 본 발명의 일실시예에 따른 가변 경사형 회절격자 광변조기의 분해 사시도이고, 도 7e는 회절부재를 아래쪽에서 바라본 사시도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기는, 기판(710), 좌측 하부 전극(720a), 우측 하부 전극(720b), 하부전극 접속부(720c), 지지부재(730a, 730a', 730b, 730b'), 회절부재(740a~740d)를 구비하고 있다.
좌측 하부 전극(720a)은 기판(710)의 좌측의 상면에 부착되어 있으며, 우측 하부 전극(720b)은 기판(710)의 우측 상면에 부착되어 있고, 하부 전극 접속부(720c)는 좌측 하부 전극(720a)과 우측 하부 전극(720b)을 전기적으로 접속시킨다.
그리고, 좌측 지지부재들(730a, 730b)은 좌측 하부 전극(720a)을 벗어나 좌측에 위치하고 있으며, 그 단면이 장방형이고 긴 방향이 좌측 하부 전극(720a)의 길이 방향과 같다. 각각의 좌측 지지 부재(730a, 730b)는 픽셀 단위로 서로 분리되어 있어 외부로부터 입력되는 전원이 독립적으로 입력되도록 하고 그 결과 독립적으로 작동되도록 한다.
또한, 우측 지지부재들(730a', 730b')은 우측 하부 전극(720a)을 벗어나 우측에 위치하고 있으며, 그 단면이 장방형이고 긴 방향이 우측 하부 전극(720b)의 길이 방향과 같다. 각각의 우측 지지 부재(730a', 730b')는 픽셀 단위로 서로 분리되어 있어 외부로부터 입력되는 전원이 독립적으로 입력되도록 하고 그 결과 독립적으로 작동되도록 한다.
각각의 회절부재(740a~740d)는 좌측 외부(741a~741d), 우측 외부(741a'~741d'), 중심부(732a~732d)를 구비하고 있다.
그리고, 각각의 회절부재(740a~740d)의 좌측 외부(741a~741d)의 좌측단은 좌측 지지부재(730a, 730b)의 우측 끝단에 부착되어 있고, 우측 외부(741a'~741d')는 우측 지지부재(730a', 730b')의 좌측 끝단에 부착되어 있어 각각의 회절부재(740a~740d)는 기판(710)으로부터 이격되어 부유하고 있다.
또한, 복수의 회절부재(740a~740d)는 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기의 평면도인 도 7b에서 알 수 있는 바와 같이 서로 이격되어 평행하게 배열되어 있으며, 상면은 입사광의 반사할 수 있는 반사면을 가지고 있다.
회절부재(740a~740d)의 중심부(732a~732d)에는 돌기부(742a~742d)가 구비되어 있는데, 중심부(732a~732d)의 아래쪽에 그리고 길이 방향의 일측단에 구비되어 있다.
돌기부(742a~742d)는 절편 모양으로 절편의 일측단이 회절부재(740a~740d)의 중심부(732a~732d)의 하면 일측단에 부착되어 있다.
이때, 돌기부(742a~742d)는 기판(710)에 부착되어 있는 것이 아니라 떠 있다. 이러한 점은 본 발명에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기의 정면도인 도 7c에서 명백하게 볼 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기의 분해 사시도인 도 7d 및 도 7e를 보면 돌기부(742a~742d)가 중심부(732a~732d)의 일측 끝단에 부착되어 있음을 알 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 회절현상을 설명하기 위한 개념도이다. 도 8a 및 도 8b에서는 V0가 가해지는 회절부재 740a의 외부 741a, 740b의 외부 741b, 그리고 전위가 가해지지 않는 (V=0V)회절부재 740c의 외부 741c, 740d의 외부 741d로 나누어 표현하고 있다.도 8a는 도 7b의 A-A'의 단면에 따른 도면으로서, 좌측 외부(741a~741d)가 어떻게 동작하는지를 설명한다. 도 8a를 참조하면, 하부 전극(720a, 720b)과 첫번째 및 두번째 회절부재(740a, 740b)에 전압이 가해지면 첫번째 및 두번째 회절부재(740a, 740b)는 정전기력에 의해 아래쪽으로 당겨지게 되고, 이때 돌기부(742a, 742b)가 부착되어 있어 기울어지게 된다. 이점은 도 8b를 참조하면 더욱더 명백한데, 도 8b에서 첫번째 및 두번째 중심부(732a, 732b)는 아래쪽으로 당겨지면 돌기부(742a, 742b)가 기판(710)에 먼저 닿게 되고 그에 따라 중심부(732a, 732b)의 반대쪽이 기판(710)과 붙게 되어 기울어지게 된다. 이때, 첫번째 회절부재(740a, 740b)의 중심부(732a, 732b)의 반사면이 서로 입사광의 파장이 λ일 때 λ/4의 배수배를 이루게 되면 회절광이 발생한다. 즉, 도면에서 입사광 1이 들어오면 회절광 3이 발생된다.
이때 회절부재 740a, 740b와 하부 전극(720)의 사이에 V0의 전위차가 가해진다고 가정할 경우 정전인력은 다음 (수학식 1)으로 표현된다.
Figure 112004045811355-pat00001
여기서 ε는 하부 전극(720)과 회절부재(740a~740d) 사이의 공기 유전율이고, A는 정전력이 가해지는 면적, d는 회절부재(740a~740d)와 하부 전극(720)사이의 간극이다.
수학식1에서 보다시피 정전력에 의해 회절부재 (740a, 740b)가 절연체 기판(710)쪽으로 이동하면 정전력 F는 더욱 커지게 된다. 상기 회절부재(740a, 740b)이 등가 스프링 상수 k를 갖는다고 가정하면 힘은 다음 (수학식 2)에 의해 표현되는 평형 관계식을 가져서 전압 V0와 변위 d가 비선형 관계에 있게 됨을 알 수 있다.
Figure 112004045811355-pat00002
여기서 d0는 d의 초기치 즉 전압이 가해지지 않았을 때의 간극이다. 위의 관계식으로부터 전압 V0가 다음 (수학식 3)에 의해 표현되는 값 이상일 경우에는 이상일 경우는 수학식2에서 d가 음수인 해를 갖는 실존하지 않는 경우가 되므로, 수학식3의 값 이상으로 전압이 가해지면 정전 전극간에 불안정성이 발생하여 도 8a 및 도 8b의 회절부재(740a, 740b)와 같이 절연체 기판(710)에 달라붙게 된다. 이때 도8a와 같이 회절부재 740a, 740b는 임의의 강성 조절을 통해 하부 전극 720에 접촉이 안되도록 설계할 수 있다.
도8b에서 기판(710)과 접촉한 회절부재(740a, 740b)는 각 회절부재의 한쪽 측에 붙은 돌기부(742a, 742b)에 의해 일정 각을 유지한 상태로 기판(710)에 붙게 된다. 이때 돌기부(742a, 742b)의 높이를 정밀하게 제조하여 기울여진 면의 반사광 간의 경로차를 보강 및 상쇄 간섭이 일어나도록 조절한 수 있다. 도8b에서는 입사광 1이 회절부재 740a, 740b에 입사될 경우와 변형이 없는 회절부재 740c, 740d에 입사될 경우를 나누어 비교하고 있다.
회절부재 740a, 740b에 입사될 경우는 회절부재 740a에서 반사된 빛과 회절부재 740b에서 반사된 빛이 경로차 l/2를 갖게 되어 회절 반사광 3이 발생하는 반면, 회절부재 740c, 740d에서는 회절이 없이 반사광 2만 발생한다. 이렇게 본 발명에서 제안한 미세 경사형 회절 격자 광변조기는 연속된 2개 이상의 동일 전위가 가해지는 회절부재를 하나의 회절소자 단위로(즉 픽셀로 하여) 여러개의 회절 소자 단위를 집적하면 각 단위별 구동 신호에 따라 회절 또는 반사의 디지탈 광신호를 생성할 수 있는 다채널 광 변조기로서 제작 가능하다.
Figure 112004045811355-pat00003
도 9a 내지 9h는 본 발명의 일실시예에 따른 디지탈 미세 경사형 회절 격자의 도 7b의 CC' 선을 따라 단면 제조 공정을 설명한다.
먼저, 도 9a를 참조하면 절연체 기판 10를 준비하고, 도 9b에서 하부전극으로 쓰일 금속막 300이 증착되고; 도 9c에서와 같이 금속막 300을 하부전극의 형태의 금속막 301도 패터닝한다.
다음 도 9d에서와 같이 희생층 및 지지부로 쓰일 박막 100(폴리 실리콘(poly-Si), 고분자 등)을 증착하고; 도 9e에서 보듯이 돌기부를 형성할 작은 구멍 400을 식각하여 지지부재로 쓰일 박막 101을 형성한다.
그 다음 도 9f에서 보듯이 Pt, Mo, W 등 강성이 높은 금속을 구조체 박막 200으로 증착하고; 도 9g에서와 같이 패터닝하여 201,202 등의 형상을 갖는 상기 회절부재를 형성한다. 마지막으로 도 9h에서와 같이 상기 지지부재만 102와 같이 남기고 희생층을 식각하여 상기 201, 202 등을 기판으로부터 띄운다.
상기 회절부재는 빛을 반사하는 역할을 하므로 반사도가 높은 금속막 500을 추가로 증착하는 공정을 통해 소자를 완성한다.
한편, 여기에서는 하부 전극층을 별도로 두었으나 기판 자체를 전극으로 할 수 있다.
본 발명에서 제안한 디지탈 미세 경사형 회절 격자는 회절부재와 하부전극 사이의 정전 구동 불안정성에 의해 회절부재와 절연체 기판의 고착(pull-in) 현상을 만드는 작동을 하므로 기판 균일도 수준의 매우 균일한 회절 패턴을 형성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자는 구동 후 구조체의 잔여 진동이 없어 빠른 디지탈 회절 소자의 제작이 가능하다.
또한 본 발명에 따른 디지탈 미세 경사형 회절격자는 광학계와의 모듈화 시에 조명광의 입사각 조정을 통해 여러 파장의 빛을 동시에 변조할 수 있는 특징을 갖는다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 디지탈 미세 블레이드 회절격자 광변조기를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (5)

  1. 기판;
    상기 기판 위에 이격되어 형성되어 있는 한 쌍의 지지부재;
    밴드 형상으로 양끝단이 각각 지지부재에 고정되어 상기 기판에 부유하여 있으며, 서로 평행하게 배열되어 있고, 상면이 입사광을 반사하는 반사면인 복수의 회절부재;
    상기 각각의 회절부재의 하면에 그리고 가로지르는 방향의 일측면에 돌기되어 있어 상기 회절부재가 아래로 당겨지는 경우에 상기 회절부재의 반사면이 기울어지도록 하는 복수의 돌기부재; 및
    상기 하나의 회절부재의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 회절부재의 반사면이 평면거울이 되도록 하는 제1 위치와 상기 하나의 회절부재의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 회절부재의 반사면이 입사광을 회절시키는 제2 위치가 되도록 상기 회절부재들을 상하로 이동시키는 복수의 구동체를 포함하여 이루어진 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 돌기부재는,
    상기 회절부재의 중심부에 가로지르는 방향에 따른 일측면에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기.
  3. 제 1항 또는제 2 항에 있어서,
    상기 돌기부재는,
    상기 회절부재의 하면에 그리고 가로지르는 방향의 일측면에 형성되어 있는 판형인 것을 특징으로 하는 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동체는,
    상기 기판위에 그리고 상기 회절부재의 아래에 형성되어 있는 하부 전극; 및
    상기 회절부재를 전극성 물질로 하여 전압이 인가되면 정전력에 의해 아래로 이동하는 상부 전극으로 하는 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동체는,
    상기 기판을 전극성 물질로 하여 하부 전극으로 하고; 및
    상기 회절부재를 전극성 물질로 하여 전압이 인가되면 정전력에 의해 아래로 이동하는 상부 전극으로 하는 디지탈 미세 경사형 회절격자 광변조기.
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