JP2005043674A - くし型静電アクチュエータ及びくし型静電アクチュエータを用いた光制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 作動部を安定に運動させることができ,しかもそのストロークを大きくすることができ,またマイクロマシン技術を適用することにより,非常に小形化した,くし型静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 本発明では、平行に配置した複数の内側懸架弾性ビーム1a,1bの外側に外側懸架弾性ビーム2a,2bを平行に配置すると共に,これらの内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビームの両端を端連結ビーム3a,3bに連結し,外側懸架弾性ビームの中央側を基板5に支持すると共に,複数の内側懸架弾性ビームの中央側を作動部6により連結し,作動部に可動くし型電極7を支持すると共に,基板に固定くし型電極8を支持したくし型静電アクチュエータにより,上記課題を解決した。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明では、平行に配置した複数の内側懸架弾性ビーム1a,1bの外側に外側懸架弾性ビーム2a,2bを平行に配置すると共に,これらの内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビームの両端を端連結ビーム3a,3bに連結し,外側懸架弾性ビームの中央側を基板5に支持すると共に,複数の内側懸架弾性ビームの中央側を作動部6により連結し,作動部に可動くし型電極7を支持すると共に,基板に固定くし型電極8を支持したくし型静電アクチュエータにより,上記課題を解決した。
【選択図】 図1
Description
本発明は、くし型静電アクチュエータ,特にマイクロマシン技術を用いたくし型静電アクチュエータ及び,そのくし型静電アクチュエータを用いた光制御装置に関するものである。
近来,半導体微細加工技術を応用したマイクロマシン(MEMS:Micro
Electro Mechanical System)技術の発展により,各種の応用分野においてマイクロマシンが利用されつつある。例えば光技術に対してのマイクロマシンの応用,いわゆる光マイクロマシンは,近年,著しい進展が見られ,光の操作を機械的な運動により行えるようにした,小形,高性能,高機能な光制御装置が実現されつつある。
Electro Mechanical System)技術の発展により,各種の応用分野においてマイクロマシンが利用されつつある。例えば光技術に対してのマイクロマシンの応用,いわゆる光マイクロマシンは,近年,著しい進展が見られ,光の操作を機械的な運動により行えるようにした,小形,高性能,高機能な光制御装置が実現されつつある。
例えば特許文献1には,送信側光ファイバは受信側光ファイバの間にシャッター又はミラーを移動可能に位置させて,送信側から受信側に伝送される際の光の減衰量を可変とした可変光減衰器が記載されている。
この可変光減衰器は,シャツター又はミラー等の作動部を,くし型静電アクチュエータにより駆動する構成であり,可動くし型電極と一体に構成された作動部はスプリングにより懸架支持されていて,通電されていない時にはスプリングの弾性により初期位置に戻るように構成されている。
このような1枚のスプリングによる懸架支持構造では,作動部の動作が不安定であり,これを防止するために,例えば図8に示すように作動部を一対の平行に配置したスプリングで支持する構造が考えられる。
図8において,符号aは光ビームbを遮断可能なシャッター部cを備えた作動部であり,この作動部aは,図中左右一対の平行に配置されたスプリングdにより懸架支持されており,これらのスプリングの端部eは図示を省略している基板に移動不能に支持されている。また,作動部aは図示を省略している可動くし型電極と一体に移動可能に構成されており,この可動くし型電極と共に,くし型静電アクチュエータを構成する固定くし型電極は上記基板に固定されている。
上述した図8に示すような懸架支持構造においては,作動部は,左右一対の平行に配置されたスプリングにより平行リンク機構的に運動するため,安定した動作が可能である。
しかしながらこのような懸架支持構造では,作動部の運動は,スプリングの長さ方向の弾性変形によってのみ行われるので,作動部の運動範囲,即ちストローク大きくすることはできず,上述した可変光減衰器においては,調節可能な減衰量の範囲を大きくすることはできない。
本発明は、以上のような課題を解決し,作動部を安定に運動させることができ,しかもそのストロークを大きくすることができるくし型静電アクチュエータを提供することを目的としている。
また本発明では,上記課題を解決したくし型静電アクチュエータを利用して,安定した動作の,小形の光制御装置を提供することを目的としている。
しかしながら,本発明のくし型静電アクチュエータを利用した装置は,このような光制御装置に限らず,小形のアクチュエータを用いる各種の装置に用いることができることはいうまでもない。
以上の課題を解決するために,本発明は,まず,請求項1において、平行に配置した複数の内側懸架弾性ビームの外側に外側懸架弾性ビームを平行に配置すると共に,これらの内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビームの両端を端連結ビームに連結し,外側懸架弾性ビームの中央側を基板に支持すると共に,複数の内側懸架弾性ビームの中央側を作動部により連結し,作動部に可動くし型電極を支持すると共に,基板に固定くし型電極を支持したことを特徴とするくし型静電アクチュエータを提案している。
次いで請求項2では、請求項1の構成において、くし型電極への通電により作動部が移動する側の内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビーム間の間隔を,他の側の内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビーム間の間隔よりも広く構成することを提案している。
次いで請求項3では、以上の構成において,可動くし型電極に,曲げ剛性を高くする補強を施すことを提案している。
次いで請求項4では、以上の構成において,基板には,通電による作動部の移動を,可動くし型電極と固定くし型電極が当接しない範囲に制限するためのストッパーを構成することを提案する。
次いで請求項5では、以上の構成において,固定くし型電極への通電は基板に構成した配線パターンから外側懸架弾性ビームの中央側の支持部を介して行う構成とし,配線パターンの一部を上記支持部と基板により挟持して電気的接続を行う構成とすることを提案している。
また本発明では,請求項6において、以上のくし型静電アクチュエータの作動部に光学素子を構成した光制御装置を提案している。
また請求項7では、請求項6の構成において、光学素子をシャッターとすることを提案している。
更に請求項8では、請求項7の構成において、シャッターに戻り光防止用V字状溝を形成することを提案している。
以上の本発明によれば、くし型静電アクチュエータの固定くし型電極と可動くし型電極に通電すると,それらの間に働く静電引力により,可動くし型電極が固定くし型電極方向に移動し,可動くし型電極と共に作動部が移動する。
この際,作動部は,複数の内側懸架弾性ビームによって平行リンク機構的に支持されるので,安定して移動が行われる。この移動において,内側懸架弾性ビームの両端は,端連結ビームに引張力を加えるので,この端連結ビームは外側懸架弾性ビームの両端を引っ張り,その中央側の支持部に支持された状態で弾性変形する。こうして,作動部は,内側懸架弾性ビームの弾性変形量に外側懸架弾性ビームの変形量を加えた全体の変形量に対応して移動可能であるため,従来と比較して,くし型静電アクチュエータによる作動部の移動範囲を大きくすることができる。
そして上記固定くし型電極と可動くし型電極への通電を停止すると,作動部は,内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビームの弾性戻り力により,固定くし型電極と共に元の位置に復帰することができる。
こうして本発明のくし型静電アクチュエータでは,作動部の動作を安定に維持しつつ,ストロークを大きくすることができる。
請求項2のように,くし型電極への通電により作動部が移動する側の内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビーム間の間隔を,他の側の内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビーム間の間隔よりも広く構成すれば,無駄なスペースを防ぐことができる。
可動くし型電極及び固定くし型電極は,アスペクト比が高く,全体の長さを長くし,くし歯の間隔を狭く構成して,それらの数を多くすることにより,大きな静電引力を発生することができる。この場合には,請求項3のように,可動くし型電極に,曲げ剛性を高くする補強を施せば,静電引力により可動くし型電極が曲ることを防止することができ,こうして,可動くし型電極と固定くし型電極同士の接触を防止することができる。
また請求項4のように,基板に,通電による作動部の移動を,可動くし型電極と固定くし型電極が当接しない範囲に制限するためのストッパーを構成することにより,可動くし型電極と固定くし型電極との接触による不都合の発生を防止することができる。
また請求項5のように,固定くし型電極への通電は基板に構成した配線パターンから外側懸架弾性ビームの中央側の支持部を介して行う構成とし,配線パターンの一部を上記支持部と基板により挟持して電気的接続を行う構成とすれば,配線作業を効率的に行うことができる。
以上の構成のくし型静電アクチュエータを用い,例えば請求項6のように,作動部に光学素子を構成することにより,小形で高精度の可変光減衰器や光スイッチ等の光制御装置を構成することができる。
その場合,請求項7のように,光学素子をシャッターとした場合には,請求項8のように,シャッターに戻り光防止用V字状溝を形成することにより,光制御装置において,戻り光の悪影響を防止することができる。
次に本発明の詳細を,光制御装置として構成した実施例と共に添付図面を参照して説明する。
図1,図2は本発明のくし型静電アクチュエータを用いて構成した光制御装置,この場合,可変光減衰器の平面図であり,図3,図4は,構成を簡略化,模式化した斜視図である。
図1,図2は本発明のくし型静電アクチュエータを用いて構成した光制御装置,この場合,可変光減衰器の平面図であり,図3,図4は,構成を簡略化,模式化した斜視図である。
符号1a,1bは平行に配置した複数,この場合,一対の内側懸架弾性ビームであり,これらの外側に外側懸架弾性ビーム2a,2bを平行に配置すると共に,これらの内側懸架弾性ビーム1a,1bと外側懸架弾性ビーム2a,2bの両端を端連結ビーム3a,3bに連結する。
外側懸架弾性ビーム2a,2bの中央側を,支持部4a,4bにおいて基板5に支持する。また内側懸架弾性ビーム1a,1bの中央側を作動部6により連結する。この作動部6の構成は,用途により適宜に構成できるもので,この実施例の場合は,光素子としてのシャッターとして構成している。この構成は,後述する。
そして作動部6の下側には,可動くし型電極7を固定支持すると共に,基板5に固定くし型電極8を支持する。
可動くし型電極7は片持梁の構成で,アスペクト比が高く,長く形成しており,こうして固定くし型電極共に,くし歯の数を多くすることにより,通電時の静電引力を大きくする構成としている。そこで,この可動くし型電極7は曲げ剛性を高くするために,上面に屋根状の補強板9を一体に構成している。
図に示されるように,くし型電極7,8への通電により作動部4が移動する側の内側懸架弾性ビーム,即ち内側懸架弾性ビーム1bと外側懸架弾性ビーム2b間の間隔は,他の側の内側懸架弾性ビーム1aと外側懸架弾性ビーム2a間の間隔よりも広く構成している。
次に作動部4は上述したとおり,光素子としてのシャッターとして構成しており,図中鎖線円で示している光ビーム10の通過部11とシャッター部12を構成しており,シャッター部12には,光ビーム10の戻り反射を防止するための戻り光防止用V字状溝13を構成している。
以上の構成要素は,マイクロマシン技術を適用して,例えば硼珪酸ガラス等の基板5上にシリコンで構成することができる。
尚,上記戻り光防止用V字状溝13は,例えばAu/Cr成膜により形成することができる。
図中符号14aは固定くし型電極8への通電を行うために基板5に形成した配線パターンである。また符号14bは可動くし型電極7への通電を行うために基板5に形成した配線パターンであり,可動くし型電極7への通電は,この配線パターン14bから外側懸架弾性ビーム2bの中央側の支持部4bを介して行う構成としている。そしてこの構成において,電気的接続は,図5に示すとおり配線パターン14bの一部を,上記支持部4bと基板5により挟持して行う構成としいる。このような接続構造は,固定くし型電極8と配線パターン14aにも適用でき,配線作業を効率的に行うことができる。
図5に示すように配線パターン14a,14bは,例えばPt層15aとTi層15bの二重層により構成する他,適宜の構成とすることができる。
図3,図4に示すように,基板5には,通電による作動部6の移動,従って可動くし型電極7の移動を,可動くし型電極7と固定くし型電極8が当接しない範囲に制限するためのストッパー16を構成している。
以上の構成において,固定くし型電極8と可動くし型電極7に通電されていない状態においては,作動部6と可動くし型電極7は,内側懸架弾性ビーム1a,1bと外側懸架弾性ビーム2a,2bの戻り弾性により,図1又は図3に示している静止位置に維持されており,この状態では,光ビーム10はシャッター部12に全く遮られない。
そこで,配線パターン14b,14aを介して,固定くし型電極8と可動くし型電極7に通電すると,それらの間に働く静電引力により,図2又は図4に示すように,可動くし型電極7が固定くし型電極8方向,即ち図1,図2中の右方向に移動し,可動くし型電極7と共に作動部6が移動する。
この際,作動部6は,一対の内側懸架弾性ビーム1a,1bによって平行リンク機構的に支持されるので,安定して移動が行われる。
そしてこの移動において,内側懸架弾性ビーム1a,1bの両端は,端連結ビーム3a,3bに引張力を加えるので,この端連結ビーム3a,3bは外側懸架弾性ビーム2a,2bの両端を引っ張り,その中央側の支持部4a,4bに支持された状態で弾性変形する。
こうして,作動部6は,内側懸架弾性ビーム1a,1bの弾性変形量に,外側懸架弾性ビーム2a,2bの変形量を加えた全体の変形量に対応して移動可能であるため,従来と比較して,くし型静電アクチュエータによる作動部6の移動範囲を大幅に大きくすることができる。
そして上記固定くし型電極8と可動くし型電極7への通電を停止すると,作動部6は,内側懸架弾性ビーム1a,1bと外側懸架弾性ビーム2a,2bの弾性戻り力により,固定くし型電極7と共に元の静止位置に復帰することができる。
この際,固定くし型電極8と可動くし型電極7の間に働く静電引力は,それらの印可電圧の二乗に比例するため,印可電圧を調節することにより,作動部6を静電引力と上記弾性戻り力の釣合い位置に維持することができ,こうしてシャッター部12による光ビーム10の遮光割合を調節して,減衰量を変化させることができる。
尚,実施例においては,作動部6は,シャッター部12による光ビーム10の遮光割合,従って光の減衰量が,印可電圧を高くするに従って大きくなるように構成しているが,これと逆に,光の減衰量が,印可電圧を高くするに従って小さくなるように構成することもできる。
こうして本発明のくし型静電アクチュエータでは,作動部6の動作を安定に維持しつつ,ストロークを大きくすることができる。
図に示すように,くし型電極7,8への通電により作動部6が移動する側の内側懸架弾性ビーム1bと外側懸架弾性ビーム2b間の間隔を,他の側の内側懸架弾性ビーム1aと外側懸架弾性ビーム2a間の間隔よりも広く構成しているので,当該他の側に無駄なスペースを生じない。
上述したとおり,可動くし型電極7及び固定くし型電極8は,アスペクト比が高く,全体の長さを長くし,くし歯の間隔を狭く構成して,それらの数を多くすることにより,大きな静電引力を発生することができる。
図6,図7は,この場合において,可動くし型電極7の曲げ剛性が十分で無い場合の動作を示すもので,この場合には,通電により大きな静電引力が働くと,可動くし型電極7が図7に示すように曲げられて,可動くし型電極7と固定くし型電極8のくし歯同士が接触するという不都合が生じる。
そこで,可動くし型電極7に,屋根状の補強板9等の,曲げ剛性を高くする補強を施せば,図2に示すように,静電引力により可動くし型電極7が曲ることを防止することができ,こうして,可動くし型電極7と固定くし型電極8のくし歯同士の接触を防止することができる。
一方,可動くし型電極7と固定くし型電極8間に印可する電圧が過大になる可能性がある場合には,図3,図4に示すように,基板5にストッパー16を構成することにより,過大電圧が加わった場合においても,可動くし型電極7と固定くし型電極8との接触による不都合の発生を防止することができる。
本発明は、以上のとおりであるので,作動部を安定に運動させることができ,しかもそのストロークを大きくすることができ,またマイクロマシン技術を適用することにより,非常に小形化した,くし型静電アクチュエータを提供することができる。
このくし型静電アクチュエータは,実施例として説明した,可変光減衰器の他次のような各種の用途に利用することができる。
a.光軸に対して45度の角度で設置して,シャッター表面で反射させてオンオフを行わせる光スイッチ
b.光ファイバを直接に駆動する光スイッチ
c.作動部に光学素子を固定して構成した,波長可変フィルターや可変共振器等
d.静電容量測定による,加速度,角速度,振動,圧力等の各種センサ
e.DNAチップやμTAS等によりくし歯電極を作成して,対象物の有無を測定するセンサ
f.作動部に構成したシャッターにより,流路を開閉する流路開閉装置
a.光軸に対して45度の角度で設置して,シャッター表面で反射させてオンオフを行わせる光スイッチ
b.光ファイバを直接に駆動する光スイッチ
c.作動部に光学素子を固定して構成した,波長可変フィルターや可変共振器等
d.静電容量測定による,加速度,角速度,振動,圧力等の各種センサ
e.DNAチップやμTAS等によりくし歯電極を作成して,対象物の有無を測定するセンサ
f.作動部に構成したシャッターにより,流路を開閉する流路開閉装置
1a,1b 内側懸架弾性ビーム
2a,2b 外側懸架弾性ビーム
3a,3b 端連結ビーム
4a,4b 支持部
5 基板
6 作動部
7 可動くし型電極
8 固定くし型電極
9 補強板
10 光ビーム
11 通過部
12 シャッター部
13 戻り光防止用V字状溝
14a,14b 配線パターン
15a Pt層
15b Ti層
16 ストッパー
2a,2b 外側懸架弾性ビーム
3a,3b 端連結ビーム
4a,4b 支持部
5 基板
6 作動部
7 可動くし型電極
8 固定くし型電極
9 補強板
10 光ビーム
11 通過部
12 シャッター部
13 戻り光防止用V字状溝
14a,14b 配線パターン
15a Pt層
15b Ti層
16 ストッパー
Claims (8)
- 平行に配置した複数の内側懸架弾性ビームの外側に外側懸架弾性ビームを平行に配置すると共に,これらの内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビームの両端を端連結ビームに連結し,外側懸架弾性ビームの中央側を基板に支持すると共に,複数の内側懸架弾性ビームの中央側を作動部により連結し,作動部に可動くし型電極を支持すると共に,基板に固定くし型電極を支持したことを特徴とするくし型静電アクチュエータ
- くし型電極への通電により作動部が移動する側の内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビーム間の間隔を,他の側の内側懸架弾性ビームと外側懸架弾性ビーム間の間隔よりも広く構成したことを特徴とする請求項1に記載のくし型静電アクチュエータ
- 可動くし型電極に,曲げ剛性を高くする補強を施したことを特徴とする請求項1又は2に記載のくし型静電アクチュエータ
- 基板には,通電による作動部の移動を,可動くし型電極と固定くし型電極が当接しない範囲に制限するためのストッパーを構成したことを特徴とする請求項1〜3までのいずれか1項に記載のくし型静電アクチュエータ
- 固定くし型電極への通電は基板に構成した配線パターンから外側懸架弾性ビームの中央側の支持部を介して行う構成とし,配線パターンの一部を上記支持部と基板により挟持して電気的接続を行う構成としたことを特徴とする請求項1〜4までのいずれか1項に記載のくし型静電アクチュエータ
- 請求項1〜5までのいずれかのくし型静電アクチュエータの作動部に光学素子を構成したことを特徴とするくし型静電アクチュエータを用いた光制御装置
- 光学素子は,シャッターであることを特徴とする請求項6に記載のくし型静電アクチュエータを用いた光制御装置
- シャッターに戻り光防止用V字状溝を形成したことを特徴とする請求項7に記載のくし型静電アクチュエータを用いた光制御装置
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