JP2006143345A - 基板材の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】第1に、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材のスムーズな安定搬送が実現され、第2に、樹脂製の搬送ローラーの精度誤差にも対応でき、この面からも安定搬送が達成され、第3に、搬送ローラー間の接触圧も十分確保され、この面からも安定搬送が達成される、基板材の搬送装置を提案する。
【解決手段】この搬送装置6は、回路用基板の製造工程において、基板材Aを搬送しつつ表面処理する表面処理装置5で使用される。そして、搬送装置6の搬送ローラー8は、対をなして用いられ、基板材Aを挟んで接触回転により搬送すると共に、対をなす相互間で異種磁極に磁化されている。つまり、搬送ローラー8は樹脂K製よりなり、樹脂K内部に、相互間で異種磁極に磁化された磁性体Lが、埋め込まれている。更に、これと組み合わせて、一方の搬送ローラー8を、フリーローラー22とすることも考えられる。
【選択図】図1
【解決手段】この搬送装置6は、回路用基板の製造工程において、基板材Aを搬送しつつ表面処理する表面処理装置5で使用される。そして、搬送装置6の搬送ローラー8は、対をなして用いられ、基板材Aを挟んで接触回転により搬送すると共に、対をなす相互間で異種磁極に磁化されている。つまり、搬送ローラー8は樹脂K製よりなり、樹脂K内部に、相互間で異種磁極に磁化された磁性体Lが、埋め込まれている。更に、これと組み合わせて、一方の搬送ローラー8を、フリーローラー22とすることも考えられる。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板材の搬送装置に関する。すなわち、回路用基板の製造工程で使用され、基板材を搬送しつつ表面処理する表面処理装置の搬送装置に、関するものである。
《技術的背景》
電子機器の高性能化,高機能化,小型軽量化に伴い、そのプリント配線基板等の回路用基板も、高精度化,ファイン化,極薄化,多様化が進み、形成される回路の高密度化,微細化が著しい。
例えばフレキシブルプリント配線基板は、フィルム状の絶縁層の肉厚が12μm程度で、回路部分の肉厚も10μm程度まで極薄化が進展し、フレキシブル化が著しい。
そして、この種の基板の製造工程では、各工程において、それぞれ表面処理装置が用いられており、この種の表面処理装置では、搬送装置にて搬送される基板材に対し処理液が噴射され、もって基板材について、薬液処理や洗浄処理が行われている。例えば基板材について、現像液,エッチング液,剥離液,洗浄液等の処理液が順次噴射され、もって現像,エッチング,剥膜,洗浄等の表面処理が順次実施されて、回路が形成され、基板が製造されていた。
電子機器の高性能化,高機能化,小型軽量化に伴い、そのプリント配線基板等の回路用基板も、高精度化,ファイン化,極薄化,多様化が進み、形成される回路の高密度化,微細化が著しい。
例えばフレキシブルプリント配線基板は、フィルム状の絶縁層の肉厚が12μm程度で、回路部分の肉厚も10μm程度まで極薄化が進展し、フレキシブル化が著しい。
そして、この種の基板の製造工程では、各工程において、それぞれ表面処理装置が用いられており、この種の表面処理装置では、搬送装置にて搬送される基板材に対し処理液が噴射され、もって基板材について、薬液処理や洗浄処理が行われている。例えば基板材について、現像液,エッチング液,剥離液,洗浄液等の処理液が順次噴射され、もって現像,エッチング,剥膜,洗浄等の表面処理が順次実施されて、回路が形成され、基板が製造されていた。
《従来技術》
図3は、この種従来例の正面説明図であり、(1)図は、その1例を示し、(2)図や(3)図は、その要部を示す。現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置等のこの種の表面処理装置1では、基板材Aが、その搬送装置2の上下の搬送ローラー3に挟まれて搬送されつつ、スプレーノズル4から処理液Bが噴射され、もって、所定の薬液処理や洗浄処理等の表面処理が行われて、回路が形成され、基板が製造されていた。
このような表面処理装置1の搬送装置2の搬送ローラー3としては、ホイールやストレートローラーが使用されており、このような搬送ローラー3が、上下に配設されると共に前後の搬送方向Cに多数配設され、もって基板材Aを、挟んで接触回転して搬送していた。又、スプレーノズル4が、搬送される基板材Aの上下に対向位置して、処理液Bを噴射していた。
図3は、この種従来例の正面説明図であり、(1)図は、その1例を示し、(2)図や(3)図は、その要部を示す。現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置等のこの種の表面処理装置1では、基板材Aが、その搬送装置2の上下の搬送ローラー3に挟まれて搬送されつつ、スプレーノズル4から処理液Bが噴射され、もって、所定の薬液処理や洗浄処理等の表面処理が行われて、回路が形成され、基板が製造されていた。
このような表面処理装置1の搬送装置2の搬送ローラー3としては、ホイールやストレートローラーが使用されており、このような搬送ローラー3が、上下に配設されると共に前後の搬送方向Cに多数配設され、もって基板材Aを、挟んで接触回転して搬送していた。又、スプレーノズル4が、搬送される基板材Aの上下に対向位置して、処理液Bを噴射していた。
《先行技術文献情報》
このような従来例の基板材Aの表面処理装置1や、その搬送装置2としては、例えば次の特許文献1や特許文献2中に、示されたものが挙げられる。
特許第3479636号公報
特開2002−009420号公報
このような従来例の基板材Aの表面処理装置1や、その搬送装置2としては、例えば次の特許文献1や特許文献2中に、示されたものが挙げられる。
ところで、この種従来例の表面処理装置1の搬送装置2については、次の問題が指摘されていた。
《第1の問題点について》
第1に、a.この種の回路用の基板材Aは、前述したように極薄化,フレキシブル化が著しく、腰が弱く軟らかい。しかもb.このような基板材Aは、乾燥状態では静電気を帯びやすく、又、処理液Bが噴射されると濡らされて、付着性・粘着性を帯びている。更にc.このような基板材Aは、処理液Bの噴射圧や重量の影響を受けやすい。
そこで、これらa.b.c.が原因となって、このような基板材Aを、搬送装置2の搬送ローラー3にて搬送しつつスプレーノズル4から処理液Bを噴射すると、各種の搬送トラブルDが発生し、問題となっていた。
すなわち、基板材Aについて、付着,巻付き,巻込み,吸い付きや、スリップ,めくれ,しわ,湾曲,折曲,折り目,腰折れ,引掛かり,落下や、擦り傷,損傷等の搬送トラブルDが、多発していた(図3の各図を参照)。従来例では、このように安定搬送が困難化し、スムーズな搬送の実現が切望されていた。
《第1の問題点について》
第1に、a.この種の回路用の基板材Aは、前述したように極薄化,フレキシブル化が著しく、腰が弱く軟らかい。しかもb.このような基板材Aは、乾燥状態では静電気を帯びやすく、又、処理液Bが噴射されると濡らされて、付着性・粘着性を帯びている。更にc.このような基板材Aは、処理液Bの噴射圧や重量の影響を受けやすい。
そこで、これらa.b.c.が原因となって、このような基板材Aを、搬送装置2の搬送ローラー3にて搬送しつつスプレーノズル4から処理液Bを噴射すると、各種の搬送トラブルDが発生し、問題となっていた。
すなわち、基板材Aについて、付着,巻付き,巻込み,吸い付きや、スリップ,めくれ,しわ,湾曲,折曲,折り目,腰折れ,引掛かり,落下や、擦り傷,損傷等の搬送トラブルDが、多発していた(図3の各図を参照)。従来例では、このように安定搬送が困難化し、スムーズな搬送の実現が切望されていた。
《第2の問題点について》
第2に、この種の搬送装置2では、樹脂製の搬送ローラー3が使用されているが、精度誤差が生じ易く、この面からも、基板材Aのスムーズな搬送に問題が生じていた。
すなわち、金属製のローラーは、酸やアルカリの処理液Bにて薬液処理する表面処理装置1には、耐食性の面から使用できず、又、使用可能に仕上られた金属製のローラーは、非常に高価でありコスト面から採用困難とされており、更に、金属製のローラーの重量に基づく押し圧により、基板材Aを損傷する虞れもあった。
そこで、この種の表面処理装置1の搬送装置2では、耐食性,コスト面,重量面等から、従来より樹脂製の搬送ローラー3が使用されていたが、精度誤差が発生し易かった。すなわち、樹脂製の搬送ローラー3は、処理液Bの温度等に起因して伸縮変化し易く、使用により精度誤差が生じて、撓み,径不均一,回転ブレ等が発生し、もって搬送される基板材Aについて、引掛かり,蛇行,しわ,その他の搬送トラブルDが発生し易かった。
このような面からも、基板材Aについて搬送トラブルDが多発し、安定搬送が困難化する、という問題が指摘されていた。
第2に、この種の搬送装置2では、樹脂製の搬送ローラー3が使用されているが、精度誤差が生じ易く、この面からも、基板材Aのスムーズな搬送に問題が生じていた。
すなわち、金属製のローラーは、酸やアルカリの処理液Bにて薬液処理する表面処理装置1には、耐食性の面から使用できず、又、使用可能に仕上られた金属製のローラーは、非常に高価でありコスト面から採用困難とされており、更に、金属製のローラーの重量に基づく押し圧により、基板材Aを損傷する虞れもあった。
そこで、この種の表面処理装置1の搬送装置2では、耐食性,コスト面,重量面等から、従来より樹脂製の搬送ローラー3が使用されていたが、精度誤差が発生し易かった。すなわち、樹脂製の搬送ローラー3は、処理液Bの温度等に起因して伸縮変化し易く、使用により精度誤差が生じて、撓み,径不均一,回転ブレ等が発生し、もって搬送される基板材Aについて、引掛かり,蛇行,しわ,その他の搬送トラブルDが発生し易かった。
このような面からも、基板材Aについて搬送トラブルDが多発し、安定搬送が困難化する、という問題が指摘されていた。
《第3の問題点について》
第3に、基板材Aは、表面処理装置1の搬送装置2の上下の搬送ローラー3間に挟まれて接触搬送されるが、接触圧が不足し、この面からも、スムーズな搬送に問題が生じていた。
すなわち、搬送ローラー3は上述したように樹脂製よりなるが、上側の搬送ローラー3が、その重量不足,押し圧不足に起因して、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材Aを、下側の搬送ローラー3に対し、万べんなく十分に接触させることができない事態が、多々発生していた。
例えば、上下の搬送ローラー3間に数ミクロン単位の隙間が生じるようなことがあると、搬送される基板材Aについて、スリップ,蛇行,その他の搬送トラブルDが発生し易く、この面からも、基板材Aの安定搬送が困難化する、という問題が指摘されていた(特に、図3の(1)図,(2)図を参照)。
なお、これに対処すべく、搬送ローラー3間を密に接触させる設定とすると、折曲等の搬送トラブルDが発生し易かった(特に、図3の(3)図を参照)。
第3に、基板材Aは、表面処理装置1の搬送装置2の上下の搬送ローラー3間に挟まれて接触搬送されるが、接触圧が不足し、この面からも、スムーズな搬送に問題が生じていた。
すなわち、搬送ローラー3は上述したように樹脂製よりなるが、上側の搬送ローラー3が、その重量不足,押し圧不足に起因して、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材Aを、下側の搬送ローラー3に対し、万べんなく十分に接触させることができない事態が、多々発生していた。
例えば、上下の搬送ローラー3間に数ミクロン単位の隙間が生じるようなことがあると、搬送される基板材Aについて、スリップ,蛇行,その他の搬送トラブルDが発生し易く、この面からも、基板材Aの安定搬送が困難化する、という問題が指摘されていた(特に、図3の(1)図,(2)図を参照)。
なお、これに対処すべく、搬送ローラー3間を密に接触させる設定とすると、折曲等の搬送トラブルDが発生し易かった(特に、図3の(3)図を参照)。
《本発明について》
本発明の基板材の搬送装置は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果なされたものである。
そして、表面処理装置の搬送装置の上下等で対をなす搬送ローラーについて、異種磁極の磁性体を埋め込んだことを、特徴とする。更に、これと組み合わせて、一方の搬送ローラーをフリーローラーとしたり、通常の搬送ローラーと混在配置したり、磁性体を全周的又は部分的に埋め込んだりしたことを、特徴とする。
もって本発明は、第1に、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材のスムーズな安定搬送が実現され、第2に、樹脂製の搬送ローラーの精度誤差にも対応でき、この面からも安定搬送が達成され、第3に、搬送ローラー間の接触圧も十分確保され、この面からも安定搬送が達成される、基板材の搬送装置を提案すること、を目的とする。
本発明の基板材の搬送装置は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果なされたものである。
そして、表面処理装置の搬送装置の上下等で対をなす搬送ローラーについて、異種磁極の磁性体を埋め込んだことを、特徴とする。更に、これと組み合わせて、一方の搬送ローラーをフリーローラーとしたり、通常の搬送ローラーと混在配置したり、磁性体を全周的又は部分的に埋め込んだりしたことを、特徴とする。
もって本発明は、第1に、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材のスムーズな安定搬送が実現され、第2に、樹脂製の搬送ローラーの精度誤差にも対応でき、この面からも安定搬送が達成され、第3に、搬送ローラー間の接触圧も十分確保され、この面からも安定搬送が達成される、基板材の搬送装置を提案すること、を目的とする。
《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項1については次のとおり。
請求項1の基板材の搬送装置は、回路用基板の製造工程で使用され、基板材を搬送しつつ表面処理する表面処理装置の搬送装置に関する。そして、対をなして用いられ、基板材を挟んで接触回転により搬送すると共に、対をなす相互間で異種磁極に磁化された搬送ローラーを、有していること、を特徴とする。
請求項2については次のとおり。請求項2の基板材の搬送装置は、請求項1において、該搬送ローラーは樹脂製よりなり、樹脂内部に、対をなす相互間で異種磁極となるように磁化された磁性体が、埋め込まれていること、を特徴とする。
請求項3については次のとおり。請求項3の基板材の搬送装置は、請求項2において、上下等で対をなす一方の該搬送ローラーは、その軸に対し回動可能に取付けられたフリーローラーよりなり、対をなす他方の該搬送ローラーは、その軸に対し取付け固定されて駆動される固定ローラーよりなること、を特徴とする。
請求項4については次のとおり。請求項4の基板材の搬送装置は、請求項2において、該搬送ローラーは、上下等で対をなす両方共に、その軸に対し取付け固定された固定ローラーよりなること、を特徴とする。
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項1については次のとおり。
請求項1の基板材の搬送装置は、回路用基板の製造工程で使用され、基板材を搬送しつつ表面処理する表面処理装置の搬送装置に関する。そして、対をなして用いられ、基板材を挟んで接触回転により搬送すると共に、対をなす相互間で異種磁極に磁化された搬送ローラーを、有していること、を特徴とする。
請求項2については次のとおり。請求項2の基板材の搬送装置は、請求項1において、該搬送ローラーは樹脂製よりなり、樹脂内部に、対をなす相互間で異種磁極となるように磁化された磁性体が、埋め込まれていること、を特徴とする。
請求項3については次のとおり。請求項3の基板材の搬送装置は、請求項2において、上下等で対をなす一方の該搬送ローラーは、その軸に対し回動可能に取付けられたフリーローラーよりなり、対をなす他方の該搬送ローラーは、その軸に対し取付け固定されて駆動される固定ローラーよりなること、を特徴とする。
請求項4については次のとおり。請求項4の基板材の搬送装置は、請求項2において、該搬送ローラーは、上下等で対をなす両方共に、その軸に対し取付け固定された固定ローラーよりなること、を特徴とする。
請求項5については次のとおり。請求項5の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、このように該磁性体が埋め込まれて磁化された対をなす該搬送ローラーと、該磁性体が埋め込まれることなく磁化されていない対をなす搬送ローラーとが、規則的に混在配置されていること、を特徴とする。
請求項6については次のとおり。請求項6の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該搬送ローラーは、該磁性体が円周回りに沿って全周的に連続して埋め込まれていること、を特徴とする。
請求項7については次のとおり。請求項7の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該搬送ローラーは、該磁性体が円周回りに沿って間隔を置き部分的に埋め込まれていること、を特徴とする。
請求項6については次のとおり。請求項6の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該搬送ローラーは、該磁性体が円周回りに沿って全周的に連続して埋め込まれていること、を特徴とする。
請求項7については次のとおり。請求項7の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該搬送ローラーは、該磁性体が円周回りに沿って間隔を置き部分的に埋め込まれていること、を特徴とする。
請求項8については次のとおり。請求項8の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該表面処理装置は、該搬送ローラーにて搬送される極薄でフレキシブルな該基板材に対し、スプレーノズルから現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液を噴射して、表面処理すること、を特徴とする。
請求項9については次のとおり。請求項9の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該表面処理装置は、該搬送ローラーにて搬送される極薄でフレキシブルな該基板材に対し、エアーノズルからエアーを吹き付けて、乾燥処理すること、を特徴とする。
請求項10については次のとおり。請求項10の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該表面処理装置は、該搬送ローラーが浸漬槽の処理液中に配設されており、搬送される極薄でフレキシブルな該基板材を処理液にて浸漬処理すること、を特徴とする。
請求項9については次のとおり。請求項9の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該表面処理装置は、該搬送ローラーにて搬送される極薄でフレキシブルな該基板材に対し、エアーノズルからエアーを吹き付けて、乾燥処理すること、を特徴とする。
請求項10については次のとおり。請求項10の基板材の搬送装置は、請求項3又は4において、該表面処理装置は、該搬送ローラーが浸漬槽の処理液中に配設されており、搬送される極薄でフレキシブルな該基板材を処理液にて浸漬処理すること、を特徴とする。
《本発明の特徴》
本発明の基板材の搬送装置は、以上説明したように、表面処理装置の搬送装置の上下等で対をなす搬送ローラーについて、異種磁極の磁性体を埋め込んだことを、特徴とする。
更に、これと組み合わせて、一方の搬送ローラーをフリーローラーとしたり、通常の搬送ローラーと混在配置したり、磁性体を全周的又は部分的に埋め込んだりしたことを、特徴とする。
そこで、本発明の基板材の搬送装置は、次の効果を発揮する。
本発明の基板材の搬送装置は、以上説明したように、表面処理装置の搬送装置の上下等で対をなす搬送ローラーについて、異種磁極の磁性体を埋め込んだことを、特徴とする。
更に、これと組み合わせて、一方の搬送ローラーをフリーローラーとしたり、通常の搬送ローラーと混在配置したり、磁性体を全周的又は部分的に埋め込んだりしたことを、特徴とする。
そこで、本発明の基板材の搬送装置は、次の効果を発揮する。
《第1の効果》
第1に、表面処理装置において搬送トラブルが解消され、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材のスムーズな安定搬送が実現される。
すなわち、本発明の基板材の搬送装置では、埋め込まれた異種磁極の磁性体により、上下等で対をなす搬送ローラー間で吸引力が作用し、もって基板材を万べんなく挟み込んで接触回転するので、基板材の安定搬送が実現される。すなわち基板材は、a.極薄化,フレキシブル化が著しく、b.付着性・粘着性を帯び、c.処理液の影響も受けやすいが、搬送トラブルなく搬送される。
前述したこの種従来例において指摘されていた、基板材の付着,巻付き,巻込み,吸い付きや,スリップ,めくれ,しわ,湾曲,折曲,折り目,腰折れ,引掛かり,更には落下や、擦り傷,損傷等は、確実に解消される。
第1に、表面処理装置において搬送トラブルが解消され、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材のスムーズな安定搬送が実現される。
すなわち、本発明の基板材の搬送装置では、埋め込まれた異種磁極の磁性体により、上下等で対をなす搬送ローラー間で吸引力が作用し、もって基板材を万べんなく挟み込んで接触回転するので、基板材の安定搬送が実現される。すなわち基板材は、a.極薄化,フレキシブル化が著しく、b.付着性・粘着性を帯び、c.処理液の影響も受けやすいが、搬送トラブルなく搬送される。
前述したこの種従来例において指摘されていた、基板材の付着,巻付き,巻込み,吸い付きや,スリップ,めくれ,しわ,湾曲,折曲,折り目,腰折れ,引掛かり,更には落下や、擦り傷,損傷等は、確実に解消される。
《第2の効果》
第2に、樹脂製の搬送ローラーの精度誤差にも対応でき、この面からも、基板材の安定搬送が達成される。
すなわち、本発明の基板材の搬送装置では、埋め込まれた異種磁極の磁性体により、上下等で対をなす搬送ローラー間で吸引力が作用するので、樹脂製の搬送ローラーに撓み,径不均一,回転ブレ等が発生しても、吸引力により吸収可能である。
そこで、この表面処理装置では、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材について、前述したこの種従来例で指摘されていた、樹脂製の搬送ローラーの精度誤差に起因した引掛かり,蛇行,しわ,その他のトラブル発生が確実に防止され、この面からも、基板材の安定搬送が達成される。
第2に、樹脂製の搬送ローラーの精度誤差にも対応でき、この面からも、基板材の安定搬送が達成される。
すなわち、本発明の基板材の搬送装置では、埋め込まれた異種磁極の磁性体により、上下等で対をなす搬送ローラー間で吸引力が作用するので、樹脂製の搬送ローラーに撓み,径不均一,回転ブレ等が発生しても、吸引力により吸収可能である。
そこで、この表面処理装置では、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材について、前述したこの種従来例で指摘されていた、樹脂製の搬送ローラーの精度誤差に起因した引掛かり,蛇行,しわ,その他のトラブル発生が確実に防止され、この面からも、基板材の安定搬送が達成される。
《第3の効果》
第3に、搬送ローラー間の接触圧も確保され、この面からも、安定搬送が達成される。
すなわち、本発明の基板材の搬送装置では、埋め込まれた異種磁極の磁性体により、上下等で対をなす搬送ローラー間で吸引力が作用するので、搬送ローラーは、接触圧が必要十分に確保されつつ、基板材を挟んで接触回転する。もって基板材が、万べんなく挟み込まれて搬送されるようになる。
そこでこの表面処理装置では、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材について、前述したこの種従来例で指摘されていた、接触圧不足に起因したスリップ,蛇行,その他のトラブル発生が確実に防止され、この面からも、基板材の安定搬送が達成される。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
第3に、搬送ローラー間の接触圧も確保され、この面からも、安定搬送が達成される。
すなわち、本発明の基板材の搬送装置では、埋め込まれた異種磁極の磁性体により、上下等で対をなす搬送ローラー間で吸引力が作用するので、搬送ローラーは、接触圧が必要十分に確保されつつ、基板材を挟んで接触回転する。もって基板材が、万べんなく挟み込まれて搬送されるようになる。
そこでこの表面処理装置では、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材について、前述したこの種従来例で指摘されていた、接触圧不足に起因したスリップ,蛇行,その他のトラブル発生が確実に防止され、この面からも、基板材の安定搬送が達成される。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
《図面について》
以下、本発明の基板材の搬送装置を、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。
図1は、実施例の搬送ローラーにおける、磁性体の埋め込み形態を示す。そして(1)図は、第1例の正断面説明図、(2)図は、第2例の正断面説明図、(3)図は、第3例の正断面説明図、(4)図は、第4例の正断面説明図、(5)図は、第5例の正断面説明図である。(6)図は、第6例の側断面説明図である。
図2は、実施例の搬送ローラーについて、その配設形態を示す平断面説明図である。そして(1)図は、その第1例を、(2)図は第2例を、(3)図は第3例を示す。
図4,図5,図6,図7等は、表面処理装置の各例を示す。そして図4は、搬送ローラーがホイールよりなる例を示し、要部の正面説明図である。図5,図6は、搬送ローラーがストレートローラーよりなる例を示し、図5は、全体の正面説明図、図6は、全体の側面説明図である。図7の(1)図は、浸漬タイプよりなると共に、搬送ローラーがストレートローラーよりなる例を示し、全体の正面説明図である。図7の(2)図は、乾燥タイプよりなると共に、搬送ローラーがホイールよりなる例を示し、全体の正面説明図である。図8は、基板(基板材)の模式化した平面説明図である。
以下、本発明の基板材の搬送装置を、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。
図1は、実施例の搬送ローラーにおける、磁性体の埋め込み形態を示す。そして(1)図は、第1例の正断面説明図、(2)図は、第2例の正断面説明図、(3)図は、第3例の正断面説明図、(4)図は、第4例の正断面説明図、(5)図は、第5例の正断面説明図である。(6)図は、第6例の側断面説明図である。
図2は、実施例の搬送ローラーについて、その配設形態を示す平断面説明図である。そして(1)図は、その第1例を、(2)図は第2例を、(3)図は第3例を示す。
図4,図5,図6,図7等は、表面処理装置の各例を示す。そして図4は、搬送ローラーがホイールよりなる例を示し、要部の正面説明図である。図5,図6は、搬送ローラーがストレートローラーよりなる例を示し、図5は、全体の正面説明図、図6は、全体の側面説明図である。図7の(1)図は、浸漬タイプよりなると共に、搬送ローラーがストレートローラーよりなる例を示し、全体の正面説明図である。図7の(2)図は、乾燥タイプよりなると共に、搬送ローラーがホイールよりなる例を示し、全体の正面説明図である。図8は、基板(基板材)の模式化した平面説明図である。
《基板Eについて》
この基板材Aの表面処理装置5の搬送装置6は、回路F用の基板Eの製造工程で使用される。そこでまず、図8を参照しつつ、基板Eの概略について説明しておく。
回路F用の基板Eは、AV機器,パソコン,携帯電話,デジカメ,その他各種の電子機器において、電気的接続用に用いられており、部品間を接続するための回路Fパターンを、絶縁層の外表面や内部に形成してなる。
そして、このような回路F用の基板Eとしては、片面基板,両面基板,多層基板(含、最近のビルドアップ法のもの)等、各種のものがあり、硬質のリジット系のものと、フィルム状のフレキシブル系のものとに、分けられる。
このような基板Eの一環として、IC,LSI素子,受動部品,駆動部品,コンデンサー等々の半導体部品が、回路Fと一体的に組み込まれたモジュール基板(半導体一体型のパッケージ基板)や、ガラスベースに回路Fと共に半導体部品が埋め込まれたガラス基板、つまりプラズマディスプレイPDP用のガラス基板や、液晶LCD用のガラス基板や、CSP,PBGA等も出現している。勿論、本明細書において基板Eとは、従来よりのプリント配線基板の外、このようなものも広く包含する。
この基板材Aの表面処理装置5の搬送装置6は、回路F用の基板Eの製造工程で使用される。そこでまず、図8を参照しつつ、基板Eの概略について説明しておく。
回路F用の基板Eは、AV機器,パソコン,携帯電話,デジカメ,その他各種の電子機器において、電気的接続用に用いられており、部品間を接続するための回路Fパターンを、絶縁層の外表面や内部に形成してなる。
そして、このような回路F用の基板Eとしては、片面基板,両面基板,多層基板(含、最近のビルドアップ法のもの)等、各種のものがあり、硬質のリジット系のものと、フィルム状のフレキシブル系のものとに、分けられる。
このような基板Eの一環として、IC,LSI素子,受動部品,駆動部品,コンデンサー等々の半導体部品が、回路Fと一体的に組み込まれたモジュール基板(半導体一体型のパッケージ基板)や、ガラスベースに回路Fと共に半導体部品が埋め込まれたガラス基板、つまりプラズマディスプレイPDP用のガラス基板や、液晶LCD用のガラス基板や、CSP,PBGA等も出現している。勿論、本明細書において基板Eとは、従来よりのプリント配線基板の外、このようなものも広く包含する。
そして、このような回路F用の基板Eは、電子機器の高性能化,高機能化,小型軽量化に伴い、高精度化,ファイン化,そして極薄化,フレキシブル化,更には多層化,多様化等が進み、外表面(上面・表面や下面・裏面の一方又は双方)に形成される回路F、更には内部に形成される回路Fの高密度化,微細化が著しい。
基板E例えばプリント配線基板は、製造に際しての1枚の縦横のカットサイズが、例えば500mm×500mm程度よりなる。肉厚は、絶縁層(コア材)部分が、従来の1.6mmから1.0mm〜60μm程度、昨今では50μmから10μm前後まで、極薄化されている。
回路F部分(銅箔部分)の肉厚も、75μm〜35μm、昨今では16μm〜10μm前後まで、極薄化されている。多層基板の場合でも、全体の肉厚が1.0mm〜0.4mm程度まで、極薄化されつつある。回路F幅や回路F間スペースも、30μm〜15μm程度、昨今では10μm前後と微細化傾向にある。
基板Eは、概略このようになっている。
基板E例えばプリント配線基板は、製造に際しての1枚の縦横のカットサイズが、例えば500mm×500mm程度よりなる。肉厚は、絶縁層(コア材)部分が、従来の1.6mmから1.0mm〜60μm程度、昨今では50μmから10μm前後まで、極薄化されている。
回路F部分(銅箔部分)の肉厚も、75μm〜35μm、昨今では16μm〜10μm前後まで、極薄化されている。多層基板の場合でも、全体の肉厚が1.0mm〜0.4mm程度まで、極薄化されつつある。回路F幅や回路F間スペースも、30μm〜15μm程度、昨今では10μm前後と微細化傾向にある。
基板Eは、概略このようになっている。
《基板Eの製造方法の例について》
次に、この基板材Aの表面処理装置5そして搬送装置6が使用される基板Eの製造方法について、図8等を参照して、説明する。まず、第1例の製造方法について述べる。この第1例の製造方法において、基板E例えばプリント配線基板は、次のステップを辿って製造される。
最初に、ガラスクロス製,セラミックス製,又はポリイミド等のフィルム状樹脂製の絶縁層(コア材)の外表面に、銅箔が熱プレス等により張り付けられた、銅張り積層板たる基板材Aが準備される。
そして、このように準備された基板材Aについて、張り付けられた銅箔表面を粗化する表面粗化処理(ソフトエッチング)が行われた後、短尺のワークサイズの各葉に切断される。表面粗化処理は、従来は機械研磨によって行われていたが、最近は処理液Bの噴射によって行われることが多くなっている。
そして多くの場合、スルホール用の孔あけ加工が、レーザ等を使用して実施される。スルホールは、基板材A(基板E)の両外表面間の微細な貫通孔よりなり、1枚について、極小径のものが数百個以上形成され、その径は、0.5mm〜0.2mm程度以下のものが多くなっている。そしてスルホールは、両外表面の回路F(銅箔)間や多層基板の回路F(銅箔)間の層間導通接続用や、回路Fに実装される半導体部品の取り付け用として使用される。
なお最近は、孔あけ加工を要するスルホールに代えて、小突起状・略円錐台状の接点たるバンプを形成し、もって多層基板等について、このバンプにより、スルホールと同様の機能を実現する技術も開発されている。なおバンプは、回路Fに準じ、現像工程,エッチング工程,剥膜工程を辿って製造される。
次に、この基板材Aの表面処理装置5そして搬送装置6が使用される基板Eの製造方法について、図8等を参照して、説明する。まず、第1例の製造方法について述べる。この第1例の製造方法において、基板E例えばプリント配線基板は、次のステップを辿って製造される。
最初に、ガラスクロス製,セラミックス製,又はポリイミド等のフィルム状樹脂製の絶縁層(コア材)の外表面に、銅箔が熱プレス等により張り付けられた、銅張り積層板たる基板材Aが準備される。
そして、このように準備された基板材Aについて、張り付けられた銅箔表面を粗化する表面粗化処理(ソフトエッチング)が行われた後、短尺のワークサイズの各葉に切断される。表面粗化処理は、従来は機械研磨によって行われていたが、最近は処理液Bの噴射によって行われることが多くなっている。
そして多くの場合、スルホール用の孔あけ加工が、レーザ等を使用して実施される。スルホールは、基板材A(基板E)の両外表面間の微細な貫通孔よりなり、1枚について、極小径のものが数百個以上形成され、その径は、0.5mm〜0.2mm程度以下のものが多くなっている。そしてスルホールは、両外表面の回路F(銅箔)間や多層基板の回路F(銅箔)間の層間導通接続用や、回路Fに実装される半導体部品の取り付け用として使用される。
なお最近は、孔あけ加工を要するスルホールに代えて、小突起状・略円錐台状の接点たるバンプを形成し、もって多層基板等について、このバンプにより、スルホールと同様の機能を実現する技術も開発されている。なおバンプは、回路Fに準じ、現像工程,エッチング工程,剥膜工程を辿って製造される。
さてしかる後、基板材Aの銅箔の外表面(上面・表面や下面・裏面の一方又は双方)に、感光性のレジストが膜状に塗布又は張り付けられる。それから、回路Fのネガフィルムつまり予め回路F設計された回路F写真を当て、露光することにより、外表面のレジストは、露光されて硬化した回路F形成部分を残し、その他の不要部分が、処理液Bたる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、このような基板材Aの銅箔は、レジストが硬化して被覆された回路F形成部分を残し、現像によりレジストが溶解除去されて露出した不要部分が、処理液Bたるエッチング液(塩化第二銅,塩化第二鉄,その他の腐食液)の噴射により、溶解除去・エッチングされる。それから、残っていた回路F形成部分のレジストが、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、残った回路F形成部分の銅箔にて、基板材Aの外表面に、所定の導体パターンの回路Fが形成され、もって基板Eが製造される。
しかる後、このような基板材Aの銅箔は、レジストが硬化して被覆された回路F形成部分を残し、現像によりレジストが溶解除去されて露出した不要部分が、処理液Bたるエッチング液(塩化第二銅,塩化第二鉄,その他の腐食液)の噴射により、溶解除去・エッチングされる。それから、残っていた回路F形成部分のレジストが、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、残った回路F形成部分の銅箔にて、基板材Aの外表面に、所定の導体パターンの回路Fが形成され、もって基板Eが製造される。
又、上述した現像工程,エッチング工程,剥膜工程には、それぞれの後処理用に、又は剥膜工程の後にまとめての後処理用に、処理液Bとして水洗液,中和剤液,その他の洗浄液を噴射する洗浄工程が付設されている。もって、この洗浄工程において、基板材Aの外表面(含むスルホール内等)に付着していた現像液,エッチング液,剥離液等の処理液Bが、洗浄,除去される。
更に、このような洗浄工程の後には、乾燥工程が付設されている。すなわち、洗浄工程で洗浄された基板材Aの外表面(含むスルホール内等)には、処理液Bである水洗液,その他の洗浄液や,それらの水分等が付着しているので、酸化防止等のためこれらを除去すべく、事後直ちに乾燥工程において乾燥処理される。なお、このような乾燥工程は、付着吸引除去と温風乾燥との2段階に分けて、実施されることも多い。
第1例の製造方法は、このようなウェットプロセス法よりなる。第1例の製造方法は、このようになっている。
更に、このような洗浄工程の後には、乾燥工程が付設されている。すなわち、洗浄工程で洗浄された基板材Aの外表面(含むスルホール内等)には、処理液Bである水洗液,その他の洗浄液や,それらの水分等が付着しているので、酸化防止等のためこれらを除去すべく、事後直ちに乾燥工程において乾燥処理される。なお、このような乾燥工程は、付着吸引除去と温風乾燥との2段階に分けて、実施されることも多い。
第1例の製造方法は、このようなウェットプロセス法よりなる。第1例の製造方法は、このようになっている。
次に、第2例の製造方法について述べる。基板E例えばプリント配線基板の製造方法としては、上述した第1例のウェットプロセス法が代表的であるが、第2例のセミアディティブ法も多用されつつある。
このセミアディティブ法では、まず、予めスルホールが形成された基板材Aの外表面に、無電解銅メッキが施される。→それから、この無電解銅メッキに、感光性のレジストを膜状に塗布又は張り付けた後、→回路Fフィルムである回路F写真を当て、露光する。→そしてレジストは、露光されて硬化した部分を残し、他の部分つまり回路F形成部分が、処理液Bたる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、→回路F形成部分、つまり現像によりレジストが溶解除去されたメッキパターン部分、つまり無電解銅メッキが露出した部分に対し、電解銅メッキが施されて、→回路Fが形成される。→なお、残っていた硬化した回路F形成部分以外のレジストは、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、→露出した無電解銅メッキが、処理液Bたるエッチング液の噴射によりクイックエッチングされて、融解除去される。→なお、各工程の後処理用として、前述した所に準じ、洗浄液を処理液Bとした洗浄工程や、乾燥工程が付設されている。
第2例のセミアディティブ法では、このようにして、電解銅メッキにて回路Fが形成され、もって基板Eが製造される。第2例の製造方法は、このようになっている。
ところで、プリント配線基板その他の回路F用の基板Eの製造方法は、最近ますます多様化しつつあり、上述した第1例,第2例以外にも、各種方法が開発,使用されている。本発明は勿論、このような各種の基板Eの製造方法にも、適用される。
基板Eの製造方法は、このようになっている。
このセミアディティブ法では、まず、予めスルホールが形成された基板材Aの外表面に、無電解銅メッキが施される。→それから、この無電解銅メッキに、感光性のレジストを膜状に塗布又は張り付けた後、→回路Fフィルムである回路F写真を当て、露光する。→そしてレジストは、露光されて硬化した部分を残し、他の部分つまり回路F形成部分が、処理液Bたる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、→回路F形成部分、つまり現像によりレジストが溶解除去されたメッキパターン部分、つまり無電解銅メッキが露出した部分に対し、電解銅メッキが施されて、→回路Fが形成される。→なお、残っていた硬化した回路F形成部分以外のレジストは、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、→露出した無電解銅メッキが、処理液Bたるエッチング液の噴射によりクイックエッチングされて、融解除去される。→なお、各工程の後処理用として、前述した所に準じ、洗浄液を処理液Bとした洗浄工程や、乾燥工程が付設されている。
第2例のセミアディティブ法では、このようにして、電解銅メッキにて回路Fが形成され、もって基板Eが製造される。第2例の製造方法は、このようになっている。
ところで、プリント配線基板その他の回路F用の基板Eの製造方法は、最近ますます多様化しつつあり、上述した第1例,第2例以外にも、各種方法が開発,使用されている。本発明は勿論、このような各種の基板Eの製造方法にも、適用される。
基板Eの製造方法は、このようになっている。
《表面処理装置5について》
まず、本発明の基板材Aの搬送装置6が使用される表面処理装置5について、図4,図5,図6,図7等を参照して、説明する。この表面処理装置5は、基板Eの製造工程で使用され、基板材Aを搬送しつつ表面処理する。
まず、図4,図5,図6に示した表面処理装置5は、基板Eの製造工程の例えば現像工程,エッチング工程,剥膜工程,又は洗浄工程等において、現像装置,エッチング装置,剥離装置,又は洗浄装置、等として使用される。もって、搬送される基板材Aに対し、それぞれ現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを噴射して、基板材Aを薬液処理,洗浄処理等、表面処理する。
そして、この図4,図5,図6の表面処理装置5は、いずれも処理室であるチャンバー7内に、基板材Aを搬送するコンベヤである搬送装置6と、搬送される基板材Aに処理液Bを噴射するスプレーノズル4と、を有している。
まず、本発明の基板材Aの搬送装置6が使用される表面処理装置5について、図4,図5,図6,図7等を参照して、説明する。この表面処理装置5は、基板Eの製造工程で使用され、基板材Aを搬送しつつ表面処理する。
まず、図4,図5,図6に示した表面処理装置5は、基板Eの製造工程の例えば現像工程,エッチング工程,剥膜工程,又は洗浄工程等において、現像装置,エッチング装置,剥離装置,又は洗浄装置、等として使用される。もって、搬送される基板材Aに対し、それぞれ現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを噴射して、基板材Aを薬液処理,洗浄処理等、表面処理する。
そして、この図4,図5,図6の表面処理装置5は、いずれも処理室であるチャンバー7内に、基板材Aを搬送するコンベヤである搬送装置6と、搬送される基板材Aに処理液Bを噴射するスプレーノズル4と、を有している。
スプレーノズル4は、搬送される基板材Aに対向位置しており、現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを、噴射する。図示例のスプレーノズル4は、搬送装置6の搬送ローラー8にて水平姿勢で搬送される基板材Aの真上や真下に、上下間隔を存しつつ配設されており、搬送ローラー8に形成された間隔スペースに臨んで配設されている。
そして、図示例のスプレーノズル4は、前後の搬送方向Cと左右の幅方向Gにわたって、所定ピッチ間隔を置きつつ、基板材Aを挟み上下に多数配列されている。そこで処理液Bは、液槽9からポンプ10や配管11を介し、各スプレーノズル4に圧送されて、基板材Aに噴射される。そして、基板材Aの外表面を、幅方向Gの左方向又は右方向に向けて流れて表面処理した後、基板材Aの左右両サイドから流下されて、再び液槽9に回収され、事後も循環使用される。
そして、図示例のスプレーノズル4は、前後の搬送方向Cと左右の幅方向Gにわたって、所定ピッチ間隔を置きつつ、基板材Aを挟み上下に多数配列されている。そこで処理液Bは、液槽9からポンプ10や配管11を介し、各スプレーノズル4に圧送されて、基板材Aに噴射される。そして、基板材Aの外表面を、幅方向Gの左方向又は右方向に向けて流れて表面処理した後、基板材Aの左右両サイドから流下されて、再び液槽9に回収され、事後も循環使用される。
次に、図7の(1)図に示した表面処理装置5は、搬送装置6の搬送ローラー8が、浸漬槽12の処理液B中に配設されており、搬送される基板材Aを処理液Bにて浸漬処理する。
すなわち、この図7の(1)図の表面処理装置5は、例えば洗浄工程の洗浄装置として用いられており、チャンバー7内上部に浸漬槽12が設けられ、浸漬槽12内が処理液Bたる洗浄液で満たされており、この処理液B中に、搬送装置6の搬送ローラー8が配設されている。
もって基板材Aは、浸漬槽12内を搬送方向Cに図示例では水平搬送されることにより、その外表面(含むスルホール内等)が、処理液Bたる洗浄液で浸漬処理,洗浄処理,表面処理される。なお、処理液Bたる洗浄液は、チャンバー7内上部の浸漬槽12と下部の液槽9間を、配管11やポンプ10を介し循環使用される。図中13は、洗浄用のブラシである。
すなわち、この図7の(1)図の表面処理装置5は、例えば洗浄工程の洗浄装置として用いられており、チャンバー7内上部に浸漬槽12が設けられ、浸漬槽12内が処理液Bたる洗浄液で満たされており、この処理液B中に、搬送装置6の搬送ローラー8が配設されている。
もって基板材Aは、浸漬槽12内を搬送方向Cに図示例では水平搬送されることにより、その外表面(含むスルホール内等)が、処理液Bたる洗浄液で浸漬処理,洗浄処理,表面処理される。なお、処理液Bたる洗浄液は、チャンバー7内上部の浸漬槽12と下部の液槽9間を、配管11やポンプ10を介し循環使用される。図中13は、洗浄用のブラシである。
又、図7の(2)図に示した表面処理装置5は、搬送装置6の搬送ローラー8にて搬送される基板材Aに対し、エアーノズル14からエアーHを吹き付けて、乾燥処理する。
すなわち、この図7の(2)図の表面処理装置5は、乾燥工程の乾燥装置として用いられており、チャンバー7内上部に乾燥室15が設けられ、乾燥室15内に搬送装置6の搬送ローラー8が配設されている。
これと共に乾燥室15内には、図示例では水平搬送される基板材Aの真上や真下に、上下間隔を存しつつエアーノズル14が、搬送ローラー8間に形成された間隔スペースに臨んで配設されている。そして、乾燥エアー,温風エアー等のエアーHが、図示例では温風発生器16を介し、チャンバー7内下部に配設されたブロワー17から、エアーノズル14へと供給される。図中18は、ブロワー17のモータである。
もって基板材Aは、乾燥室15内を搬送方向Cに図示例では水平搬送されることにより、その外表面(含むスルホール内等)に付着していた処理液B、例えば水洗液等の洗浄液が、エアーノズル14から吹き付けられるエアーHにて、除去処理,乾燥処理,表面処理される。
表面処理装置5は、このようになっている。
すなわち、この図7の(2)図の表面処理装置5は、乾燥工程の乾燥装置として用いられており、チャンバー7内上部に乾燥室15が設けられ、乾燥室15内に搬送装置6の搬送ローラー8が配設されている。
これと共に乾燥室15内には、図示例では水平搬送される基板材Aの真上や真下に、上下間隔を存しつつエアーノズル14が、搬送ローラー8間に形成された間隔スペースに臨んで配設されている。そして、乾燥エアー,温風エアー等のエアーHが、図示例では温風発生器16を介し、チャンバー7内下部に配設されたブロワー17から、エアーノズル14へと供給される。図中18は、ブロワー17のモータである。
もって基板材Aは、乾燥室15内を搬送方向Cに図示例では水平搬送されることにより、その外表面(含むスルホール内等)に付着していた処理液B、例えば水洗液等の洗浄液が、エアーノズル14から吹き付けられるエアーHにて、除去処理,乾燥処理,表面処理される。
表面処理装置5は、このようになっている。
《搬送装置6について》
次に、このような表面処理装置5の搬送装置6について、まず図4,図5,図6,図7等を参照して、説明する。
まず、この基板材Aの搬送装置6は、回路用の基板Eの製造工程中、基板材Aの表面処理装置5のチャンバー7内において使用され、多数の搬送ローラー8を備えてなる。
この搬送ローラー8は、上下等で対をなして用いられており、相互間で接触回転すると共に、基板材Aを挟んで接触回転により搬送する。
次に、このような表面処理装置5の搬送装置6について、まず図4,図5,図6,図7等を参照して、説明する。
まず、この基板材Aの搬送装置6は、回路用の基板Eの製造工程中、基板材Aの表面処理装置5のチャンバー7内において使用され、多数の搬送ローラー8を備えてなる。
この搬送ローラー8は、上下等で対をなして用いられており、相互間で接触回転すると共に、基板材Aを挟んで接触回転により搬送する。
基板材Aの搬送形態としては、各図示例のように水平搬送が代表的であるが、処理液Bの液溜まり防止等の観点から、傾斜搬送や縦搬送も考えられる。
すなわち図示例では、表面処理装置5の搬送装置6の搬送ローラー8は、その軸Jを左右の幅方向Gに向けて水平配設されているが、傾斜配設や縦配設も考えられ、もって基板材Aが、水平姿勢の水平搬送以外に、水平から傾斜した姿勢での傾斜搬送や、縦姿勢での縦搬送される場合もある。
勿論、この傾斜搬送や縦搬送の場合において、前述したスプレーノズル4やエアーノズル14も、基板材Aに対し、上下対向姿勢から傾斜した姿勢や左右に配設される。
すなわち図示例では、表面処理装置5の搬送装置6の搬送ローラー8は、その軸Jを左右の幅方向Gに向けて水平配設されているが、傾斜配設や縦配設も考えられ、もって基板材Aが、水平姿勢の水平搬送以外に、水平から傾斜した姿勢での傾斜搬送や、縦姿勢での縦搬送される場合もある。
勿論、この傾斜搬送や縦搬送の場合において、前述したスプレーノズル4やエアーノズル14も、基板材Aに対し、上下対向姿勢から傾斜した姿勢や左右に配設される。
さて、図示例の搬送ローラー8は、軸Jを左右の幅方向Gに向けると共に、前後の搬送方向Cに多数配設されており、搬送装置6は、水平な上側の搬送ローラー8群と、水平な下側の搬送ローラー8群とを、備えている。
そして、それぞれ搬送対象の基板材Aに圧接され、図示例では、下側の搬送ローラー8が、駆動ギヤ19を介しモータ等の駆動機構に接続されて回転駆動され、もって基板材Aが、チャンバー7内を搬送方向Cに沿って、上流側から下流側へと水平搬送される。
又、このような搬送ローラー8としては、ホイールやストレートローラーが使用される。すなわち、図4,図7の(2)図に示した表面処理装置5の搬送装置6では、搬送ローラー8として、ホイールが用いられており(図2の(1)図,(2)図も参照)、軸Jに対し短柱状・車輪状をなすホイールが、所定ピッチ間隔を存しつつ複数取り付けられている。
これに対し、図5,図6,図7の(1)図に示した表面処理装置5の搬送装置6では、搬送ローラー8として、ストレートローラーが用いられており(図2の(3)図も参照)、1本の軸Jに対し長円柱状をなす1本のストレートローラーが、取り付けられている。
搬送装置6は、このようになっている。
そして、それぞれ搬送対象の基板材Aに圧接され、図示例では、下側の搬送ローラー8が、駆動ギヤ19を介しモータ等の駆動機構に接続されて回転駆動され、もって基板材Aが、チャンバー7内を搬送方向Cに沿って、上流側から下流側へと水平搬送される。
又、このような搬送ローラー8としては、ホイールやストレートローラーが使用される。すなわち、図4,図7の(2)図に示した表面処理装置5の搬送装置6では、搬送ローラー8として、ホイールが用いられており(図2の(1)図,(2)図も参照)、軸Jに対し短柱状・車輪状をなすホイールが、所定ピッチ間隔を存しつつ複数取り付けられている。
これに対し、図5,図6,図7の(1)図に示した表面処理装置5の搬送装置6では、搬送ローラー8として、ストレートローラーが用いられており(図2の(3)図も参照)、1本の軸Jに対し長円柱状をなす1本のストレートローラーが、取り付けられている。
搬送装置6は、このようになっている。
《搬送ローラー8の磁化について》
次に、このような搬送装置6の搬送ローラー8の磁化について、図1,図2等を参照して、詳細に説明する。
搬送装置6の上下等で対をなす搬送ローラー8は、対をなす相互間で異種磁極に磁化されている。この搬送ローラー8は、樹脂K製よりなると共に、樹脂K内部に、上下等で対をなす相互間で異種磁極となるように、磁化された磁性体Lが埋め込まれている。
次に、このような搬送装置6の搬送ローラー8の磁化について、図1,図2等を参照して、詳細に説明する。
搬送装置6の上下等で対をなす搬送ローラー8は、対をなす相互間で異種磁極に磁化されている。この搬送ローラー8は、樹脂K製よりなると共に、樹脂K内部に、上下等で対をなす相互間で異種磁極となるように、磁化された磁性体Lが埋め込まれている。
このような搬送ローラー8の磁化について、更に詳述する。すなわち搬送ローラー8は、磁性体Lの埋め込みにより予め永久磁石化されており、上下等で対をなす一方がN極に他方がS極に、それぞれ磁化されている。
埋め込まれる磁性体Lとしては、フェライト,その他の鉄,ニッケル,コバルト,その他の金属が使用され、帯状,ワイヤー状,小片状,粉末状,その他各種の形状のものが使用される。
磁性体Lの埋め込み形態としては、各種可能である。まず、図1の(1)図,(5)図,図2の(1)図等に示したように、磁性体Lを、搬送ローラー8に対し、円周周りに沿って全周的に一体的に連続して、埋め込むことが考えられる。この場合には、帯状,リング状,円筒状等の磁性体Lが用いられる。
次に、図1の(2)図,(3)図等に示したように、磁性体Lを、搬送ローラー8に対し、円周回りに沿って小間隔を置きつつ、非連続で部分的に埋め込むことが考えられる。その一環として、図1の(6)図に示したように、軸J方向に小間隔を置きつつ、埋め込むことも考えられる。これらの場合には、小片状,粉末状の磁性体Lが用いられる。
又、これらの例において磁性体Lは、搬送ローラー8の軸Jと同軸にて埋め込まれていたが、これによらず、図1の(4)図に示したように、軸J方向に沿い螺旋状,コイル状に埋め込むことも考えられる。更に、粉末状の磁性体Lを、搬送ローラー8の樹脂K全体に、均等に粉入することも考えられる。
更に、その他各種の形態で埋め込むことが可能である。
埋め込まれる磁性体Lとしては、フェライト,その他の鉄,ニッケル,コバルト,その他の金属が使用され、帯状,ワイヤー状,小片状,粉末状,その他各種の形状のものが使用される。
磁性体Lの埋め込み形態としては、各種可能である。まず、図1の(1)図,(5)図,図2の(1)図等に示したように、磁性体Lを、搬送ローラー8に対し、円周周りに沿って全周的に一体的に連続して、埋め込むことが考えられる。この場合には、帯状,リング状,円筒状等の磁性体Lが用いられる。
次に、図1の(2)図,(3)図等に示したように、磁性体Lを、搬送ローラー8に対し、円周回りに沿って小間隔を置きつつ、非連続で部分的に埋め込むことが考えられる。その一環として、図1の(6)図に示したように、軸J方向に小間隔を置きつつ、埋め込むことも考えられる。これらの場合には、小片状,粉末状の磁性体Lが用いられる。
又、これらの例において磁性体Lは、搬送ローラー8の軸Jと同軸にて埋め込まれていたが、これによらず、図1の(4)図に示したように、軸J方向に沿い螺旋状,コイル状に埋め込むことも考えられる。更に、粉末状の磁性体Lを、搬送ローラー8の樹脂K全体に、均等に粉入することも考えられる。
更に、その他各種の形態で埋め込むことが可能である。
更に、このように磁性体Lが埋め込まれて磁化された上下等で対をなす搬送ローラー8と、磁性体Lが埋め込まれることなく磁化されていない上下等で対をなす搬送ローラー20とを、規則的に混在配置することも可能である。
すなわち、例えば図2の(1)図に示したように、表面処理装置5の搬送装置6において、磁性体Lが埋め込まれた搬送ローラー8のみを、使用するようにしてもよいが、例えば、図2の(2)図や(3)図に示したように、磁性体Lが埋め込まれた対をなす搬送ローラー8と、磁性体Lが埋め込まれていない通常の対をなす搬送ローラー20とを、規則的に混在配設してもよい。
図2の(2)図では、ホイールを用いた例において、幅方向Gに、磁性体Lが埋め込まれた搬送ローラー8が、2個の通常の搬送ローラー20を介しつつ、配設されている。図2の(3)図では、ストレートローラーを用いた例において、搬送方向Cに、磁性体Lが埋め込まれた搬送ローラー8と通常の搬送ローラーとが、交互に配設されている。
すなわち、例えば図2の(1)図に示したように、表面処理装置5の搬送装置6において、磁性体Lが埋め込まれた搬送ローラー8のみを、使用するようにしてもよいが、例えば、図2の(2)図や(3)図に示したように、磁性体Lが埋め込まれた対をなす搬送ローラー8と、磁性体Lが埋め込まれていない通常の対をなす搬送ローラー20とを、規則的に混在配設してもよい。
図2の(2)図では、ホイールを用いた例において、幅方向Gに、磁性体Lが埋め込まれた搬送ローラー8が、2個の通常の搬送ローラー20を介しつつ、配設されている。図2の(3)図では、ストレートローラーを用いた例において、搬送方向Cに、磁性体Lが埋め込まれた搬送ローラー8と通常の搬送ローラーとが、交互に配設されている。
又、このように磁化された搬送ローラー8は、図1の(5)図に示したように、上下等で対をなす両方共に、その軸Jに対し、固定的に取付け固定してもよい。つまり、搬送ローラー8を共に固定ローラー21とし、そのいずれか一方を、駆動ギア19を介し駆動機構に接続してもよい。
これに対し、図1の(1)図,(2)図,(3)図,(4)図,(6)図等に示したように、磁化された搬送ローラー8について、上下等で対をなす一方の搬送ローラー8は、その軸Jに対し回動可能に取付けられたフリーローラー22とし、他方の搬送ローラー8は、その軸Jに対し取付け固定されると共に、駆動ギヤ19を介し駆動機構に接続されて駆動される固定ローラー21としてもよい。
つまり、搬送ローラー8の一方をフリーローラー22、他方を駆動用の固定ローラー21としてもよい。なおフリーローラー22では、軸Jの外径に対し、外嵌される軸穴の内径が僅かに大きく寸法設定されている。
図示例では、上側の搬送ローラー8がフリーローラー22とされ、下側の搬送ローラー8が固定ローラー21とされている。後述するように、このようにローラーの種類を異ならしめておくと、搬送ローラー8間の吸引力が、弾力的,緩衝的,効果的に作用する利点がある。
搬送ローラー8は、このように磁化されている。
これに対し、図1の(1)図,(2)図,(3)図,(4)図,(6)図等に示したように、磁化された搬送ローラー8について、上下等で対をなす一方の搬送ローラー8は、その軸Jに対し回動可能に取付けられたフリーローラー22とし、他方の搬送ローラー8は、その軸Jに対し取付け固定されると共に、駆動ギヤ19を介し駆動機構に接続されて駆動される固定ローラー21としてもよい。
つまり、搬送ローラー8の一方をフリーローラー22、他方を駆動用の固定ローラー21としてもよい。なおフリーローラー22では、軸Jの外径に対し、外嵌される軸穴の内径が僅かに大きく寸法設定されている。
図示例では、上側の搬送ローラー8がフリーローラー22とされ、下側の搬送ローラー8が固定ローラー21とされている。後述するように、このようにローラーの種類を異ならしめておくと、搬送ローラー8間の吸引力が、弾力的,緩衝的,効果的に作用する利点がある。
搬送ローラー8は、このように磁化されている。
《作用等》
本発明の基板材Aの搬送装置6は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
(1)この基板材Aの搬送装置6は、フレキシブルプリント配線基板、その他の回路用の基板Eの製造工程中、各種の薬液処理工程,洗浄工程,又は乾燥工程等の表面処理工程において、使用される。つまり、その現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置,又は乾燥装置等の表面処理装置5において、使用される。(図4,図5,図6,図7等を参照)。
そして、この基板材Aの搬送装置6は、表面処理装置5のチャンバー7内に、スプレーノズル4,エアーノズル14,又は浸漬槽12等と共に、配設されている。
各スプレーノズル4は、搬送される基板材Aに対し、例えば上下から現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを噴射する。エアーノズル14は、搬送される基板材Aに対し、例えば上下からエアーHを吹き付ける。浸漬槽12は、洗浄液等の処理液Bで満たされている。
本発明の基板材Aの搬送装置6は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
(1)この基板材Aの搬送装置6は、フレキシブルプリント配線基板、その他の回路用の基板Eの製造工程中、各種の薬液処理工程,洗浄工程,又は乾燥工程等の表面処理工程において、使用される。つまり、その現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置,又は乾燥装置等の表面処理装置5において、使用される。(図4,図5,図6,図7等を参照)。
そして、この基板材Aの搬送装置6は、表面処理装置5のチャンバー7内に、スプレーノズル4,エアーノズル14,又は浸漬槽12等と共に、配設されている。
各スプレーノズル4は、搬送される基板材Aに対し、例えば上下から現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを噴射する。エアーノズル14は、搬送される基板材Aに対し、例えば上下からエアーHを吹き付ける。浸漬槽12は、洗浄液等の処理液Bで満たされている。
(2)そして搬送装置6は、多数の搬送ローラー8,20を備えており、搬送ローラー8,20は樹脂製よりなり、上下等で対をなして用いられ、基板材Aを、挟んで接触回転することにより搬送方向Cに搬送する。又、搬送ローラー8,20としては、ホイール(図2の(1)図,(2)図,図4,図7の(2)図等を参照)、又はストレートローラー(図2の(3)図,図5,図6,図7の(1)図等を参照)が使用される。
搬送ローラー8は、上下等対をなす相互間で異種磁極に磁化された磁性体Lが、埋め込まれており、その埋め込み形態としては各種可能である(図1の各図を参照)。又、このように磁化された搬送ローラー8のみを、単独で用いてもよいが(図2の(1)図を参照)、搬送ローラー8と通常の搬送ローラー20とを、混在使用してもよい(図2の(2)図,(3)図を参照)。
更に、軸Jに対する関係では、上下等で対をなす少なくとも一方(多くの場合下側)の搬送ローラー8,20が、固定,駆動ローラーよりなり、他方の搬送ローラー8,20は、フリーローラー22又は固定ローラー21よりなる(図1の各図を参照)。
搬送ローラー8は、上下等対をなす相互間で異種磁極に磁化された磁性体Lが、埋め込まれており、その埋め込み形態としては各種可能である(図1の各図を参照)。又、このように磁化された搬送ローラー8のみを、単独で用いてもよいが(図2の(1)図を参照)、搬送ローラー8と通常の搬送ローラー20とを、混在使用してもよい(図2の(2)図,(3)図を参照)。
更に、軸Jに対する関係では、上下等で対をなす少なくとも一方(多くの場合下側)の搬送ローラー8,20が、固定,駆動ローラーよりなり、他方の搬送ローラー8,20は、フリーローラー22又は固定ローラー21よりなる(図1の各図を参照)。
(3)表面処理装置5のチャンバー7内では、このような搬送装置6の搬送ローラー8(更には20)で搬送される基板材Aが、表面処理される。
すなわち、薬液処理工程や洗浄処理工程の表面処理装置5、つまり現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置では、基板材Aにスプレーノズル4から処理液Bが噴射され、もって基板材Aが薬液処理や洗浄処理される(図4,図5,図6等を参照)。
又、洗浄工程等の表面処理装置5つまり洗浄装置等としては、基板材Aが浸漬槽12の処理液Bたる洗浄液中に浸漬されて、浸漬処理,洗浄処理等されることもある(図7の(1)図を参照)。
更に、乾燥工程の表面処理装置5つまり乾燥装置では、エアーノズル14からエアーHが噴射され、もって基板材Aが乾燥処理される(図7の(2)図を参照)。
すなわち、薬液処理工程や洗浄処理工程の表面処理装置5、つまり現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置では、基板材Aにスプレーノズル4から処理液Bが噴射され、もって基板材Aが薬液処理や洗浄処理される(図4,図5,図6等を参照)。
又、洗浄工程等の表面処理装置5つまり洗浄装置等としては、基板材Aが浸漬槽12の処理液Bたる洗浄液中に浸漬されて、浸漬処理,洗浄処理等されることもある(図7の(1)図を参照)。
更に、乾燥工程の表面処理装置5つまり乾燥装置では、エアーノズル14からエアーHが噴射され、もって基板材Aが乾燥処理される(図7の(2)図を参照)。
(4)ところで、a.フレキシブルプリント配線基板材,その他の回路用の基板材Aは、極薄化,フレキシブル化の進展が著しく、極薄で腰が弱く軟らかくフレキシブル性に富んでいる。フレキシブルプリント配線基板材のコア材のポリイミドは、特に柔軟で曲がり易い。
しかもb.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、乾燥状態では静電気に帯電し易いと共に、処理液Bが噴射されると濡らされ、もって付着性・粘着性を帯びる。
更にc.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、処理液Bの噴射圧や上側から噴射された処理液Bの重量等の影響を受け、圧や重さで曲げられ易い。
しかもb.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、乾燥状態では静電気に帯電し易いと共に、処理液Bが噴射されると濡らされ、もって付着性・粘着性を帯びる。
更にc.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、処理液Bの噴射圧や上側から噴射された処理液Bの重量等の影響を受け、圧や重さで曲げられ易い。
(5)そこで、この表面処理装置5の搬送装置6では、これらa,b,cに鑑み、次のように、搬送ローラー8が磁化されている。
すなわち、搬送装置6の上下等で対をなす搬送ローラー8について、相互間で異種磁極となるように、磁性体Lが埋め込まれている。つまり、一方がN極に他方がS極に、それぞれ磁化されている。そこで、このように磁化された上下等で対をなす搬送ローラー8間では、磁気力に基づき吸引力が作用するようになり、樹脂製の搬送ローラー8は、内部に埋め込まれた磁性体Lにより、互いに吸引し合うようになる。
なお、この磁気力,吸引力の強さは、基板材Aを挟み込んで接触回転することに鑑み、これに適切な力となるべく設定される。
例えば、磁性体Lに与えられる磁気量の設定や、磁性体Lの埋め込み形態の選択や(例えば、全体的か部分的か)、磁性体Lの径方向の埋め込み位置の選択や(例えば、搬送ローラー8の外表面にどの程度近く埋め込むか)、フリーローラー22と固定ローラー21を組み合わせるか(吸引力が基板材Aに弾力的,緩衝的,効果的に作用するようになる)、固定ローラー21どうしの組み合わせにするか(吸引力が基板材Aに直接的,一方的に作用するようになる)、等々の選択設定により、磁気力,吸引力の強さが決定される。
すなわち、搬送装置6の上下等で対をなす搬送ローラー8について、相互間で異種磁極となるように、磁性体Lが埋め込まれている。つまり、一方がN極に他方がS極に、それぞれ磁化されている。そこで、このように磁化された上下等で対をなす搬送ローラー8間では、磁気力に基づき吸引力が作用するようになり、樹脂製の搬送ローラー8は、内部に埋め込まれた磁性体Lにより、互いに吸引し合うようになる。
なお、この磁気力,吸引力の強さは、基板材Aを挟み込んで接触回転することに鑑み、これに適切な力となるべく設定される。
例えば、磁性体Lに与えられる磁気量の設定や、磁性体Lの埋め込み形態の選択や(例えば、全体的か部分的か)、磁性体Lの径方向の埋め込み位置の選択や(例えば、搬送ローラー8の外表面にどの程度近く埋め込むか)、フリーローラー22と固定ローラー21を組み合わせるか(吸引力が基板材Aに弾力的,緩衝的,効果的に作用するようになる)、固定ローラー21どうしの組み合わせにするか(吸引力が基板材Aに直接的,一方的に作用するようになる)、等々の選択設定により、磁気力,吸引力の強さが決定される。
(6)さて、本発明の搬送装置6では、このように搬送ローラー8間に磁気力,吸引力が作用するので、搬送ローラー8が基板材Aを万べんなく挟み込んで接触搬送するようになり、前述したa,b,cの条件下にも拘わらず、基板材Aは、所期のとおり安定搬送される。特に、一方側にフリーローラー22を採用すると、万べんなき挟み込みそして安定搬送が、よりスムーズに実現される。
すなわち、極薄でフレキシブル性に富み付着性・粘着性を帯びた基板材Aではあるが、処理液Bの噴射圧や重さの影響や加圧力の作用を受けることもなく、もって搬送ローラー8にピッタリと張り付いて付着したり巻付いたりすることがなく、更に搬送ローラー8間から落下することもなく、安定搬送される。
この搬送装置6を採用した表面処理装置5によると、基板材A(外表面の回路形成用の銅箔やレジストも含む)は、付着,巻付き,巻込み,吸い付きや、スリップ,めくれ,しわ,湾曲,折曲,折り目,腰折れ,引掛かりや、更には落下や、擦り傷,損傷等、各種の搬送トラブルD(図3を参照)が、発生直前に阻止され未然に防止されて、安定搬送される。
すなわち、極薄でフレキシブル性に富み付着性・粘着性を帯びた基板材Aではあるが、処理液Bの噴射圧や重さの影響や加圧力の作用を受けることもなく、もって搬送ローラー8にピッタリと張り付いて付着したり巻付いたりすることがなく、更に搬送ローラー8間から落下することもなく、安定搬送される。
この搬送装置6を採用した表面処理装置5によると、基板材A(外表面の回路形成用の銅箔やレジストも含む)は、付着,巻付き,巻込み,吸い付きや、スリップ,めくれ,しわ,湾曲,折曲,折り目,腰折れ,引掛かりや、更には落下や、擦り傷,損傷等、各種の搬送トラブルD(図3を参照)が、発生直前に阻止され未然に防止されて、安定搬送される。
(7)又、この搬送装置6の搬送ローラー8は、樹脂製よりなり、高温の処理液Bの温度等に起因して伸縮変化し易い等、使用により精度誤差が生じ易いが、搬送ローラー8間に作用する磁気力,吸引力により、精度誤差は吸収される。精度誤差に起因した撓み,径の不均一,回転ブレ等は、磁気力,吸引力により吸収される。特に、一方側にフリーローラー22を採用すると、よりスムーズに吸収される。
もって、この搬送装置6を採用した表面処理装置5によると、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材Aではあるが、精度誤差に起因した引掛かり,蛇行,しわ,その他の搬送トラブルD発生が阻止され、この面からも、基板材Aは安定搬送される。
もって、この搬送装置6を採用した表面処理装置5によると、極薄化,フレキシブル化が著しい基板材Aではあるが、精度誤差に起因した引掛かり,蛇行,しわ,その他の搬送トラブルD発生が阻止され、この面からも、基板材Aは安定搬送される。
(8)更に、搬送ローラー8間に作用する磁気力,吸引力により、上下等で対をなす搬送ローラー8は、接触圧が必要十分に確保されつつ、基板材Aを介して接触回転する。つまり、重量的に軽い樹脂製の搬送ローラー8が使用され、しかも、一方側がフリーローラー22よりなる場合であっても、更に、挟まれて搬送される基板材Aの極薄化,フレキシブル化が著しいものの、搬送ローラー8間の接触度が向上する。搬送ローラー8間は、例え数ミクロン単位の隙間が生じるようなこともなく、磁気力,吸引力により常時確実に接触している。
従って、この搬送装置6を採用した表面処理装置5によると、搬送対象が極薄化,フレキシブル化が著しい基板材Aではあるが、接触度不足に起因したスリップ,蛇行,しわ,その他の搬送トラブルDの発生が阻止され、この面からも、基板材Aは安定搬送される。
従って、この搬送装置6を採用した表面処理装置5によると、搬送対象が極薄化,フレキシブル化が著しい基板材Aではあるが、接触度不足に起因したスリップ,蛇行,しわ,その他の搬送トラブルDの発生が阻止され、この面からも、基板材Aは安定搬送される。
1 表面処理装置(従来例)
2 搬送装置(従来例)
3 搬送ローラー(従来例)
4 スプレーノズル
5 表面処理装置(本発明)
6 搬送装置(本発明)
7 チャンバー
8 搬送ローラー(本発明)
9 液槽
10 ポンプ
11 配管
12 浸漬槽
13 ブラシ
14 エアーノズル
15 乾燥室
16 温風発生器
17 ブロワ−
18 モータ
19 駆動ギヤ
20 搬送ローラー
21 固定ローラー
22 フリーローラー
A 基板材
B 処理液
C 搬送方向
D 搬送トラブル
E 基板
F 回路
G 幅方向
H エアー
J 軸
K 樹脂
L 磁性体
2 搬送装置(従来例)
3 搬送ローラー(従来例)
4 スプレーノズル
5 表面処理装置(本発明)
6 搬送装置(本発明)
7 チャンバー
8 搬送ローラー(本発明)
9 液槽
10 ポンプ
11 配管
12 浸漬槽
13 ブラシ
14 エアーノズル
15 乾燥室
16 温風発生器
17 ブロワ−
18 モータ
19 駆動ギヤ
20 搬送ローラー
21 固定ローラー
22 フリーローラー
A 基板材
B 処理液
C 搬送方向
D 搬送トラブル
E 基板
F 回路
G 幅方向
H エアー
J 軸
K 樹脂
L 磁性体
Claims (10)
- 回路用基板の製造工程で使用され、基板材を搬送しつつ表面処理する表面処理装置の搬送装置であって、
対をなして用いられ、基板材を挟んで接触回転により搬送すると共に、対をなす相互間で異種磁極に磁化された搬送ローラーを、有していること、を特徴とする基板材の搬送装置。 - 請求項1に記載した基板材の搬送装置において、該搬送ローラーは樹脂製よりなり、樹脂内部に、対をなす相互間で異種磁極となるように磁化された磁性体が、埋め込まれていること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項2に記載した基板材の搬送装置において、上下等で対をなす一方の該搬送ローラーは、その軸に対し回動可能に取付けられたフリーローラーよりなり、対をなす他方の該搬送ローラーは、その軸に対し取付け固定されて駆動される固定ローラーよりなること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項2に記載した基板材の搬送装置において、該搬送ローラーは、上下等で対をなす両方共に、その軸に対し取付け固定された固定ローラーよりなること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項3又は4に記載した基板材の搬送装置において、このように該磁性体が埋め込まれて磁化された対をなす該搬送ローラーと、該磁性体が埋め込まれることなく磁化されていない対をなす搬送ローラーとが、規則的に混在配置されていること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項3又は4に記載した基板材の搬送装置において、該搬送ローラーは、該磁性体が円周回りに沿って全周的に連続して埋め込まれていること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項3又は4に記載した基板材の搬送装置において、該搬送ローラーは、該磁性体が円周回りに沿って間隔を置き部分的に埋め込まれていること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項3又は4に記載した基板材の搬送装置において、該表面処理装置は、該搬送ローラーにて搬送される極薄でフレキシブルな該基板材に対し、スプレーノズルから現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液を噴射して、表面処理すること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項3又は4に記載した基板材の搬送装置において、該表面処理装置は、該搬送ローラーにて搬送される極薄でフレキシブルな該基板材に対し、エアーノズルからエアーを吹き付けて、乾燥処理すること、を特徴とする基板材の搬送装置。
- 請求項3又は4に記載した基板材の搬送装置において、該表面処理装置は、該搬送ローラーが浸漬槽の処理液中に配設されており、搬送される極薄でフレキシブルな該基板材を、処理液にて浸漬処理すること、を特徴とする基板材の搬送装置。
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