JP2005322779A - 基板材の表面処理装置 - Google Patents
基板材の表面処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005322779A JP2005322779A JP2004139708A JP2004139708A JP2005322779A JP 2005322779 A JP2005322779 A JP 2005322779A JP 2004139708 A JP2004139708 A JP 2004139708A JP 2004139708 A JP2004139708 A JP 2004139708A JP 2005322779 A JP2005322779 A JP 2005322779A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate material
- surface treatment
- treatment apparatus
- transport
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
【課題】第1に、張り付き,付着,巻付き,落下,その他の基板材の搬送上のトラブルが解消されて、基板材のスムーズな安定搬送が実現されると共に、第2に、基板材上における処理液の乱流発生が抑えられて、処理精度が維持される、基板材の表面処理装置を提案する。
【解決手段】この表面処理装置5は、フレキシブルプリント配線基板等の回路用基板の製造工程で使用される。そして、基板材Aを搬送する搬送ローラー9,10と、基板材Aに処理液Bを噴射するスプレーノズルと、搬送ローラー9,10間に配された介装部材8と、を有している。そして、搬送ローラー9,10や介装部材8は、外表面に凹凸13,14,26が形成され、基板材Aとの接触面積が少なくなっている。凹凸13,14,26としては、前後の搬送方向Cに多数形成された溝15,16,27が、代表的である。
【選択図】図2
【解決手段】この表面処理装置5は、フレキシブルプリント配線基板等の回路用基板の製造工程で使用される。そして、基板材Aを搬送する搬送ローラー9,10と、基板材Aに処理液Bを噴射するスプレーノズルと、搬送ローラー9,10間に配された介装部材8と、を有している。そして、搬送ローラー9,10や介装部材8は、外表面に凹凸13,14,26が形成され、基板材Aとの接触面積が少なくなっている。凹凸13,14,26としては、前後の搬送方向Cに多数形成された溝15,16,27が、代表的である。
【選択図】図2
Description
本発明は、基板材の表面処理装置に関する。すなわち、フレキシブルプリント配線基板等の極薄の回路用基板の製造工程で使用され、基板材を搬送しつつ処理液を噴射して表面処理する、表面処理装置に関する。
《技術的背景》
電子機器の高性能化,高機能化,小型軽量化に伴い、その回路用基板、例えばフレキシブルプリント配線基板も、高精度化,ファイン化,極薄化,多様化が進み、形成される回路もミクロ単位での高密度化,微細化が著しい。
そして、この種の基板の製造工程では、各工程において、それぞれ表面処理装置が用いられており、搬送される基板材に対し各々処理液が噴射され、もって基板材について、各種の薬液処理や洗浄処理が行われている。
例えば、基板材について、現像液→エッチング液→剥離液や洗浄液等の処理液が順次噴射され、もって現像→エッチング→剥膜等の表面処理が順次実施されて、回路が形成され基板が製造されていた。又例えば、基板材について、無電解銅メッキ→現像→電解銅メッキ→剥離液の噴射や洗浄液の噴射等、処理液の噴射が行われ、表面処理が順次実施されて、回路が形成され基板が製造されていた。
電子機器の高性能化,高機能化,小型軽量化に伴い、その回路用基板、例えばフレキシブルプリント配線基板も、高精度化,ファイン化,極薄化,多様化が進み、形成される回路もミクロ単位での高密度化,微細化が著しい。
そして、この種の基板の製造工程では、各工程において、それぞれ表面処理装置が用いられており、搬送される基板材に対し各々処理液が噴射され、もって基板材について、各種の薬液処理や洗浄処理が行われている。
例えば、基板材について、現像液→エッチング液→剥離液や洗浄液等の処理液が順次噴射され、もって現像→エッチング→剥膜等の表面処理が順次実施されて、回路が形成され基板が製造されていた。又例えば、基板材について、無電解銅メッキ→現像→電解銅メッキ→剥離液の噴射や洗浄液の噴射等、処理液の噴射が行われ、表面処理が順次実施されて、回路が形成され基板が製造されていた。
《従来技術》
図8の(1)図は、この種従来例の側面説明図である。現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置等のこの種の表面処理装置1では、基板材Aが、コンベヤ2の搬送ローラー3にて搬送されつつ、スプレーノズル4から処理液Bが噴射され、もって、所定の薬液処理や洗浄処理が行われて、回路が形成され基板が製造されていた。
コンベヤ2の搬送ローラー3としては、ストレートローラーが代表的に使用されており、上下に配設されると共に前後の搬送方向Cに多数配設され、もって基板材Aを挟んで接触回転して、水平搬送していた。そしてスプレーノズル4が、搬送される基板材Aに対向位置し、上下から処理液Bを噴射していた。
図8の(1)図は、この種従来例の側面説明図である。現像装置,エッチング装置,剥離装置,洗浄装置等のこの種の表面処理装置1では、基板材Aが、コンベヤ2の搬送ローラー3にて搬送されつつ、スプレーノズル4から処理液Bが噴射され、もって、所定の薬液処理や洗浄処理が行われて、回路が形成され基板が製造されていた。
コンベヤ2の搬送ローラー3としては、ストレートローラーが代表的に使用されており、上下に配設されると共に前後の搬送方向Cに多数配設され、もって基板材Aを挟んで接触回転して、水平搬送していた。そしてスプレーノズル4が、搬送される基板材Aに対向位置し、上下から処理液Bを噴射していた。
《先行技術文献情報》
このような従来例の基板材Aの表面処理装置1としては、例えば次の特許文献1や特許文献2中に、示されたものが挙げられる。
特許第3479636号公報
特開2002−009420号公報
このような従来例の基板材Aの表面処理装置1としては、例えば次の特許文献1や特許文献2中に、示されたものが挙げられる。
《問題点について》
ところで、このような従来例の基板材Aの表面処理装置1については、次の問題が指摘されていた。
すなわちa.この種の回路用の基板材Aは、前述したように、極薄化,フレキシブル化が著しい。特にフレキシブルプリント配線基板材は、極薄化が進むと共に、腰が弱く軟らかくフレキシブル性に富んでいる。例えば、絶縁層(コア材)部分の肉厚が10μm程度で、回路(銅箔)部分の肉厚が10μm程度のものも出現している。
しかもb.このような基板材Aは、乾燥状態では静電気を帯びやすく、又、処理液Bが噴射されると濡らされ、もって、付着性・粘着性を帯びている。
更にc.このような基板材Aは、処理液Bの噴射圧や重量の影響を受けやすい。又d.搬送ローラー3に挟まれて、接触回転されることにより、加圧力も作用する。
ところで、このような従来例の基板材Aの表面処理装置1については、次の問題が指摘されていた。
すなわちa.この種の回路用の基板材Aは、前述したように、極薄化,フレキシブル化が著しい。特にフレキシブルプリント配線基板材は、極薄化が進むと共に、腰が弱く軟らかくフレキシブル性に富んでいる。例えば、絶縁層(コア材)部分の肉厚が10μm程度で、回路(銅箔)部分の肉厚が10μm程度のものも出現している。
しかもb.このような基板材Aは、乾燥状態では静電気を帯びやすく、又、処理液Bが噴射されると濡らされ、もって、付着性・粘着性を帯びている。
更にc.このような基板材Aは、処理液Bの噴射圧や重量の影響を受けやすい。又d.搬送ローラー3に挟まれて、接触回転されることにより、加圧力も作用する。
そこで、これらa.b.c.dが原因となって、このような基板材Aを、表面処理装置1の搬送ローラー3にて水平搬送しつつ、スプレーノズル4から処理液Bを噴射すると、各種の搬送上のトラブルDが発生し、問題となっていた。
すなわち、付着,巻付き,巻込み,吸い付き,めくれ,しわ,湾曲,折曲,腰折れ,引掛かり,落下等の搬送上のトラブルDが多発して、安定搬送が困難化し、スムーズな搬送の実現が切望されていた。
例えば、搬送される基板材Aが、先端部から通過直後の搬送ローラー3の外周面に対し、ピッタリと張り付き付着して巻付いたり、搬送ローラー3間から落下したりする事故が発生していた。
すなわち、付着,巻付き,巻込み,吸い付き,めくれ,しわ,湾曲,折曲,腰折れ,引掛かり,落下等の搬送上のトラブルDが多発して、安定搬送が困難化し、スムーズな搬送の実現が切望されていた。
例えば、搬送される基板材Aが、先端部から通過直後の搬送ローラー3の外周面に対し、ピッタリと張り付き付着して巻付いたり、搬送ローラー3間から落下したりする事故が発生していた。
《本発明について》
本発明の基板材の表面処理装置は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果なされたものである。
そして、搬送ローラーやその介装部材について、溝等の凹凸を形成して接触面積を少なくしたこと、を特徴とする。更に、上側の搬送ローラーについて、細溝としたり、溝が重ならないようにずらしたことや、介装部材の突状端部を搬送ローラーの溝に嵌入したことや、更に、上側の搬送ローラーに剥がし材を隣接付設したこと、等を特徴とする。
もって本発明は、第1に、搬送上のトラブルが解消されて、基板材のスムーズな安定搬送が実現されると共に、第2に、基板材上における処理液の乱流発生が抑えられて、処理精度が維持される、基板材の表面処理装置を提案すること、を目的とする。
本発明の基板材の表面処理装置は、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべく、発明者の鋭意研究努力の結果なされたものである。
そして、搬送ローラーやその介装部材について、溝等の凹凸を形成して接触面積を少なくしたこと、を特徴とする。更に、上側の搬送ローラーについて、細溝としたり、溝が重ならないようにずらしたことや、介装部材の突状端部を搬送ローラーの溝に嵌入したことや、更に、上側の搬送ローラーに剥がし材を隣接付設したこと、等を特徴とする。
もって本発明は、第1に、搬送上のトラブルが解消されて、基板材のスムーズな安定搬送が実現されると共に、第2に、基板材上における処理液の乱流発生が抑えられて、処理精度が維持される、基板材の表面処理装置を提案すること、を目的とする。
《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項1については次のとおり。
請求項1の基板材の表面処理装置は、回路用基板の製造工程で使用され、基板材に処理液を噴射して表面処理する。そして、該基板材を搬送する搬送ローラーと、該基板材に該処理液を噴射するスプレーノズルと、該搬送ローラー間に配された介装部材と、を有している。
そして該搬送ローラーは、外表面に凹凸が形成され、該基板材との接触面積が少なくなっていること、を特徴とする。
請求項2については次のとおり。請求項2の基板材の表面処理装置では、請求項1において、該介装部材は、外表面に凹凸が形成され、該基板材との接触面積が少なくなっていること、を特徴とする。
請求項3については次のとおり。請求項3の基板材の表面処理装置では、請求項2において、該搬送ローラーは、ストレートローラー状よりなり、上下に配設されると共に前後の搬送方向に多数配設されており、該基板材を挟んで接触回転して水平搬送する。
該介装部材は、該搬送ローラーの水平搬送面より僅かに上下に引込んだ高さレベルで、上下に配設されており、該基板材を搬送方向に接触ガイドする。又、該スプレーノズルは、搬送される該基板材に対向位置しており、上下から該処理液を噴射すること、を特徴とする。
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項1については次のとおり。
請求項1の基板材の表面処理装置は、回路用基板の製造工程で使用され、基板材に処理液を噴射して表面処理する。そして、該基板材を搬送する搬送ローラーと、該基板材に該処理液を噴射するスプレーノズルと、該搬送ローラー間に配された介装部材と、を有している。
そして該搬送ローラーは、外表面に凹凸が形成され、該基板材との接触面積が少なくなっていること、を特徴とする。
請求項2については次のとおり。請求項2の基板材の表面処理装置では、請求項1において、該介装部材は、外表面に凹凸が形成され、該基板材との接触面積が少なくなっていること、を特徴とする。
請求項3については次のとおり。請求項3の基板材の表面処理装置では、請求項2において、該搬送ローラーは、ストレートローラー状よりなり、上下に配設されると共に前後の搬送方向に多数配設されており、該基板材を挟んで接触回転して水平搬送する。
該介装部材は、該搬送ローラーの水平搬送面より僅かに上下に引込んだ高さレベルで、上下に配設されており、該基板材を搬送方向に接触ガイドする。又、該スプレーノズルは、搬送される該基板材に対向位置しており、上下から該処理液を噴射すること、を特徴とする。
請求項4については次のとおり。請求項4の基板材の表面処理装置では、請求項3において、該搬送ローラーおよび該介装部材は、それぞれ凹凸が溝にて形成されている。そして該溝は、左右の幅方向に間隔を置きつつ、前後の搬送方向に沿って多数形成されていること、を特徴とする。
請求項5については次のとおり。請求項5の基板材の表面処理装置では、請求項4において、上側の該搬送ローラーは、該溝が幅狭の細溝よりなる。下側の該搬送ローラーは、該溝が幅広の広溝よりなること、を特徴とする。
請求項6については次のとおり。請求項6の基板材の表面処理装置では、請求項4において、該スプレーノズルの前後付近に配された上側の該搬送ローラーは、該溝が幅狭の細溝よりなる。それ以外の上側の該搬送ローラーおよび下側の該搬送ローラーは、それぞれ該溝が幅広の広溝よりなること、を特徴とする。
請求項7については次のとおり。請求項7の基板材の表面処理装置では、請求項4において、上側の該搬送ローラーは、該溝が幅方向に等ピッチで形成されると共に、搬送方向の前後相互間で該溝が重ならないように、該溝のピッチをずらして配されていること、を特徴とする。
請求項5については次のとおり。請求項5の基板材の表面処理装置では、請求項4において、上側の該搬送ローラーは、該溝が幅狭の細溝よりなる。下側の該搬送ローラーは、該溝が幅広の広溝よりなること、を特徴とする。
請求項6については次のとおり。請求項6の基板材の表面処理装置では、請求項4において、該スプレーノズルの前後付近に配された上側の該搬送ローラーは、該溝が幅狭の細溝よりなる。それ以外の上側の該搬送ローラーおよび下側の該搬送ローラーは、それぞれ該溝が幅広の広溝よりなること、を特徴とする。
請求項7については次のとおり。請求項7の基板材の表面処理装置では、請求項4において、上側の該搬送ローラーは、該溝が幅方向に等ピッチで形成されると共に、搬送方向の前後相互間で該溝が重ならないように、該溝のピッチをずらして配されていること、を特徴とする。
請求項8については次のとおり。請求項8の基板材の表面処理装置では、請求項4において、該介装部材は、搬送方向に向け多数の個別に延出された突状端部を備えている。そして該突状端部が、対応する該搬送ローラーの該溝に、前後から食い込むように嵌入,摺接されていること、を特徴とする。
請求項9については次のとおり。請求項9の基板材の表面処理装置では、請求項4において、上側の該搬送ローラーは、多数の剥がし材が隣接付設されている。
そして該剥がし材は、該搬送ローラーの下流側に位置し、上端部が、前後の搬送方向に揺動可能に軸支されると共に、下端部が、該搬送ローラーの該溝に上側から食い込むように嵌入,摺接されていること、を特徴とする。
請求項10については次のとおり。請求項10の基板材の表面処理装置は、請求項5,6,7,8,又は9において、フレキシブルプリント配線基版の製造工程中、薬液処理工程や洗浄工程にて使用される。そして該基板材は、極薄で腰が弱く軟らかくフレキシブル性に富んでいる。該スプレーノズルは、該処理液として現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液を噴射すること、特徴とする。
請求項9については次のとおり。請求項9の基板材の表面処理装置では、請求項4において、上側の該搬送ローラーは、多数の剥がし材が隣接付設されている。
そして該剥がし材は、該搬送ローラーの下流側に位置し、上端部が、前後の搬送方向に揺動可能に軸支されると共に、下端部が、該搬送ローラーの該溝に上側から食い込むように嵌入,摺接されていること、を特徴とする。
請求項10については次のとおり。請求項10の基板材の表面処理装置は、請求項5,6,7,8,又は9において、フレキシブルプリント配線基版の製造工程中、薬液処理工程や洗浄工程にて使用される。そして該基板材は、極薄で腰が弱く軟らかくフレキシブル性に富んでいる。該スプレーノズルは、該処理液として現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液を噴射すること、特徴とする。
《作用について》
本発明の基板材の表面処理装置は、このようになっているので、次のようになる。
(1)この表面処理装置は、フレキシブルプリント配線基板、その他の回路用基板の製造工程中、薬液処理工程や洗浄工程において使用され、搬送ローラー,スプレーノズル,介装部材等を、有している。
(2)搬送ローラーは、基板材を挟んで接触回転して、水平搬送する。スプレーノズルは、基板材に上下から、現像液,エッチング液,剥離液,洗浄液等の処理液を噴射する。介装部材は、搬送ローラー間にそれぞれ配設され、基板材を接触ガイドする。
(3)そこで表面処理装置は、基板材を搬送しつつ、処理液を噴射して表面処理する。処理液は、基板材の外表面を左右の幅方向に流れた後、両サイドから流下する。
本発明の基板材の表面処理装置は、このようになっているので、次のようになる。
(1)この表面処理装置は、フレキシブルプリント配線基板、その他の回路用基板の製造工程中、薬液処理工程や洗浄工程において使用され、搬送ローラー,スプレーノズル,介装部材等を、有している。
(2)搬送ローラーは、基板材を挟んで接触回転して、水平搬送する。スプレーノズルは、基板材に上下から、現像液,エッチング液,剥離液,洗浄液等の処理液を噴射する。介装部材は、搬送ローラー間にそれぞれ配設され、基板材を接触ガイドする。
(3)そこで表面処理装置は、基板材を搬送しつつ、処理液を噴射して表面処理する。処理液は、基板材の外表面を左右の幅方向に流れた後、両サイドから流下する。
(4)ところで、a.回路用の基板材は、極薄化,フレキシブル化が著しく、腰が弱く軟らかい。そしてb.このような基板材は、静電気や処理液に濡らされて、付着性・粘着性を帯びており、更にc.処理液の噴射圧や重量の影響を受けやすく、d.搬送ローラーに挟まれて加圧力も作用する。
(5)そこでこの表面処理装置では、その対策1として、搬送ローラー間に介装部材を配設すると共に、搬送ローラーや介装部材の外表面に、搬送方向に沿った溝等の凹凸が形成され、基板材との接触面積が少なくなっている。
そこで、a,b,c,dの条件下にも拘わらず、基板材は、搬送ローラー更には介装部材に張り付き,付着,巻付いたりせず、落下することもなく、巻込み,吸い付き,めくれ,しわ,折曲,腰折れ,引掛かり等のトラブルが防止されて、安定搬送される。
これに加え、介装部材の配設は、更に次の利点を発揮する。すなわち、処理液が上下の介装部材間、特に下側の介装部材上に溜まって液溜まりを形成し、このような処理液の液溜まりの液中を、極薄でフレキシブルな基板材が搬送される。もって、このような液溜まりの液中搬送により、基板材の付着性・粘着性が失われると共に、僅かな搬送力であっても確実な搬送が達成され、これらの面からも、安定搬送が実現される。
(6)更に対策2として、この表面処理装置では、介装部材に凹凸櫛状の突状端部を付設して、対応する搬送ローラーの溝に、前後から食い込むように嵌入,摺接させている。そこで基板材は、この面からも、トラブル発生が防止されて、確実に安定搬送される。
(7)更に対策3として、上側の搬送ローラーの下流側に、前後に揺動可能な凹凸櫛状の剥がし材を隣接付設して、搬送ローラーの溝に上側から食い込むように嵌入,摺接させ、もって、張り付き,付着,巻付こうとする基板材を、剥がすようにしてもよい。基板材は、この面からもトラブル発生が防止され、パーフェクトに安定搬送される。
(5)そこでこの表面処理装置では、その対策1として、搬送ローラー間に介装部材を配設すると共に、搬送ローラーや介装部材の外表面に、搬送方向に沿った溝等の凹凸が形成され、基板材との接触面積が少なくなっている。
そこで、a,b,c,dの条件下にも拘わらず、基板材は、搬送ローラー更には介装部材に張り付き,付着,巻付いたりせず、落下することもなく、巻込み,吸い付き,めくれ,しわ,折曲,腰折れ,引掛かり等のトラブルが防止されて、安定搬送される。
これに加え、介装部材の配設は、更に次の利点を発揮する。すなわち、処理液が上下の介装部材間、特に下側の介装部材上に溜まって液溜まりを形成し、このような処理液の液溜まりの液中を、極薄でフレキシブルな基板材が搬送される。もって、このような液溜まりの液中搬送により、基板材の付着性・粘着性が失われると共に、僅かな搬送力であっても確実な搬送が達成され、これらの面からも、安定搬送が実現される。
(6)更に対策2として、この表面処理装置では、介装部材に凹凸櫛状の突状端部を付設して、対応する搬送ローラーの溝に、前後から食い込むように嵌入,摺接させている。そこで基板材は、この面からも、トラブル発生が防止されて、確実に安定搬送される。
(7)更に対策3として、上側の搬送ローラーの下流側に、前後に揺動可能な凹凸櫛状の剥がし材を隣接付設して、搬送ローラーの溝に上側から食い込むように嵌入,摺接させ、もって、張り付き,付着,巻付こうとする基板材を、剥がすようにしてもよい。基板材は、この面からもトラブル発生が防止され、パーフェクトに安定搬送される。
(8)ところで、この表面処理装置では、前述したように、前後の搬送方向に溝が多数形成されている。そこで、この表面処理装置では、これへの対策1として、上側の搬送ローラー、又はスプレーノズルの前後付近に配された上側の搬送ローラーは、溝が幅狭の細溝よりなる。対策2として、上側の搬送ローラーは、溝が重ならないように、搬送方向に溝をずらして配されている。
すなわち、噴射された処理液は、前述したように、基板材の外表面を左右の幅方向に流れることが予定されており、溝を伝って前後の搬送方向に多量に乱流することは好ましくない。そこで、流れが少ない細溝を採用したり、溝をずらしたことにより、乱流発生は最小限に抑えられる。
(9)これに対し、基板材の外表面に下側から噴射された処理液は、表面処理後直ちに重力落下するので、乱流発生の虞はない。そこで、下側の搬送ローラーは、溝として幅広の広溝が採用され、又、溝が重ならないようにずらすことも、要しない。
すなわち、噴射された処理液は、前述したように、基板材の外表面を左右の幅方向に流れることが予定されており、溝を伝って前後の搬送方向に多量に乱流することは好ましくない。そこで、流れが少ない細溝を採用したり、溝をずらしたことにより、乱流発生は最小限に抑えられる。
(9)これに対し、基板材の外表面に下側から噴射された処理液は、表面処理後直ちに重力落下するので、乱流発生の虞はない。そこで、下側の搬送ローラーは、溝として幅広の広溝が採用され、又、溝が重ならないようにずらすことも、要しない。
《本発明の特徴》
本発明に係る基板材の表面処理装置は、以上説明したように、搬送ローラーや介装部材について、溝等の凹凸を形成して接触面積を少なくしたこと、を特徴とする。更に、上側の各搬送ローラーについて、細溝としたり、溝が重ならないようにずらしたことや、介装部材の突状端部を搬送ローラーの溝に嵌入したことや、更に、上側の搬送ローラーに剥がし材を隣接付設したこと、等を特徴とする。
そこで、本発明の基板材の表面処理装置は、次の効果を発揮する。
本発明に係る基板材の表面処理装置は、以上説明したように、搬送ローラーや介装部材について、溝等の凹凸を形成して接触面積を少なくしたこと、を特徴とする。更に、上側の各搬送ローラーについて、細溝としたり、溝が重ならないようにずらしたことや、介装部材の突状端部を搬送ローラーの溝に嵌入したことや、更に、上側の搬送ローラーに剥がし材を隣接付設したこと、等を特徴とする。
そこで、本発明の基板材の表面処理装置は、次の効果を発揮する。
《第1の効果》
第1に、搬送上のトラブルが解消され、基板材のスムーズな安定搬送が実現される。すなわち、本発明の基板材の表面処理装置は、基板材を接触搬送する搬送ローラー間に、基板材を接触ガイドする介装部材を配設すると共に、搬送ローラーや介装部材の外表面に、溝等の凹凸を形成して、基板材との接触面積を少なくしてなる。
更に、介装部材に突状端部を付設して、対応する搬送ローラーの溝に前後から嵌入,摺接したり、上側の搬送ローラーに剥がし材を隣接付設して、搬送ローラーの溝に嵌入,摺接してなる。
これらにより、基板材の安定搬送が実現される。すなわち基板材は、a.極薄化,フレキシブル化が著しく、b.静電気や処理液にて付着性・粘着性を帯び、c.処理液の噴射圧や重量の影響も受け、d.搬送ローラーにて加圧力も作用しやすいが、トラブルなく搬送される。
基板材の付着,巻付き,巻込み,吸い付き,めくれ,しわ,湾曲,折曲,腰折れ,引掛かり,更には落下等は、確実に解消される。
第1に、搬送上のトラブルが解消され、基板材のスムーズな安定搬送が実現される。すなわち、本発明の基板材の表面処理装置は、基板材を接触搬送する搬送ローラー間に、基板材を接触ガイドする介装部材を配設すると共に、搬送ローラーや介装部材の外表面に、溝等の凹凸を形成して、基板材との接触面積を少なくしてなる。
更に、介装部材に突状端部を付設して、対応する搬送ローラーの溝に前後から嵌入,摺接したり、上側の搬送ローラーに剥がし材を隣接付設して、搬送ローラーの溝に嵌入,摺接してなる。
これらにより、基板材の安定搬送が実現される。すなわち基板材は、a.極薄化,フレキシブル化が著しく、b.静電気や処理液にて付着性・粘着性を帯び、c.処理液の噴射圧や重量の影響も受け、d.搬送ローラーにて加圧力も作用しやすいが、トラブルなく搬送される。
基板材の付着,巻付き,巻込み,吸い付き,めくれ,しわ,湾曲,折曲,腰折れ,引掛かり,更には落下等は、確実に解消される。
これらに加え、介装部材の配設は、更に次の効用を発揮する。すなわち、処理液が上下の介装部材間、特に下側の介装部材上に溜まって液溜まりを形成し、このように形成された処理液の液溜まりの液中を、極薄でフレキシブルであり付着性・粘着性を帯びた基板材が、搬送される。
そして、このような液溜まりの液中搬送により、基板材の付着性・粘着性が失われるようになると共に、僅かな搬送力であっても確実な搬送が達成され、これらの面からも、基板材の安定搬送が実現される。
そして、このような液溜まりの液中搬送により、基板材の付着性・粘着性が失われるようになると共に、僅かな搬送力であっても確実な搬送が達成され、これらの面からも、基板材の安定搬送が実現される。
《第2の効果》
第2に、しかも基板材上における処理液の乱流発生が抑えられて、処理精度が維持される。
すなわち、本発明の基板材の表面処理装置は、搬送方向に沿った溝を採用したものの、上側の各搬送ローラーについて、溝を細溝としたり、搬送方向に溝がずらされている。
これらにより、基板材上に噴射された処理液が溝を伝って前後に流れることは、最小限となり、乱流発生が抑えられる。もって、乱流に基因して、基板材上に縦縞模様等の処理ムラが発生することは防止され、薬液処理や洗浄処理の処理精度が確保される。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
第2に、しかも基板材上における処理液の乱流発生が抑えられて、処理精度が維持される。
すなわち、本発明の基板材の表面処理装置は、搬送方向に沿った溝を採用したものの、上側の各搬送ローラーについて、溝を細溝としたり、搬送方向に溝がずらされている。
これらにより、基板材上に噴射された処理液が溝を伝って前後に流れることは、最小限となり、乱流発生が抑えられる。もって、乱流に基因して、基板材上に縦縞模様等の処理ムラが発生することは防止され、薬液処理や洗浄処理の処理精度が確保される。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
《図面について》
以下、本発明の基板材の表面処理装置を、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。図1,図2,図3,図4,図5等は、本発明を実施するための最良の形態の説明に供する。
そして図1は、側面説明図である。図2の(1)図は、要部の側面説明図、(2)図は、(1)図の上側の搬送ローラー等の拡大図、(3)図は、(1)図の下側の搬送ローラー等の拡大図である。図3の(1)図は、上側の搬送ローラー等の要部の平面図、(2)図は、下側の搬送ローラー等の要部の平面図である。
図4の(1)図は、上下の搬送ローラーの要部の正面図、(2)図は、上下の搬送ローラーの他の例の要部の正面図である。図5の(1)図は、上側の各搬送ローラーの平面図であり、(2)図は、剥がし材の説明に供する要部の正面図、(3)図は、同剥がし材の説明に供する要部の側面説明図である。
なお図6は、表面処理装置の全体の側面説明図、図7は、表面処理装置の全体の正面説明図である。図8の(2)図は、基板(基板材)の模式化した平面説明図である。
以下、本発明の基板材の表面処理装置を、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。図1,図2,図3,図4,図5等は、本発明を実施するための最良の形態の説明に供する。
そして図1は、側面説明図である。図2の(1)図は、要部の側面説明図、(2)図は、(1)図の上側の搬送ローラー等の拡大図、(3)図は、(1)図の下側の搬送ローラー等の拡大図である。図3の(1)図は、上側の搬送ローラー等の要部の平面図、(2)図は、下側の搬送ローラー等の要部の平面図である。
図4の(1)図は、上下の搬送ローラーの要部の正面図、(2)図は、上下の搬送ローラーの他の例の要部の正面図である。図5の(1)図は、上側の各搬送ローラーの平面図であり、(2)図は、剥がし材の説明に供する要部の正面図、(3)図は、同剥がし材の説明に供する要部の側面説明図である。
なお図6は、表面処理装置の全体の側面説明図、図7は、表面処理装置の全体の正面説明図である。図8の(2)図は、基板(基板材)の模式化した平面説明図である。
《基板Fについて》
この基板材Aの表面処理装置5は、回路E用の基板Fの製造工程で使用される。そこでまず、図8の(2)図を参照しつつ、基板Fの概略について説明しておく。
回路E用の基板Fは、AV機器,パソコン,携帯電話,デジカメ,その他各種の電子機器において、電気的接続用に広く用いられており、部品間を接続するための回路Eパターンを、絶縁層の外表面や内部に形成してなる。
そして、このような回路E用の基板Fとしては、片面基板,両面基板,多層基板(含、最近のビルドアップ法のもの)等、各種のものがあり、硬質のリジット系のものと、フィルム状のフレキシブル系のものとに、区分けられる。
このような基板Fの一環として、IC,LSI素子,受動部品,駆動部品,コンデンサー等々の半導体部品が、回路Eと一体的に組み込まれたモジュール基板(半導体一体型のパッケージ基板)や、ガラスベースに回路Eと共に半導体部品が埋め込まれたガラス基板、つまりプラズマディスプレイPDP用のガラス基板や、液晶LCD用のガラス基板や、CSP,PBGA等も出現している。勿論、本明細書において基板Fとは、従来よりのプリント配線基板の外、このようなものも広く包含する。
この基板材Aの表面処理装置5は、回路E用の基板Fの製造工程で使用される。そこでまず、図8の(2)図を参照しつつ、基板Fの概略について説明しておく。
回路E用の基板Fは、AV機器,パソコン,携帯電話,デジカメ,その他各種の電子機器において、電気的接続用に広く用いられており、部品間を接続するための回路Eパターンを、絶縁層の外表面や内部に形成してなる。
そして、このような回路E用の基板Fとしては、片面基板,両面基板,多層基板(含、最近のビルドアップ法のもの)等、各種のものがあり、硬質のリジット系のものと、フィルム状のフレキシブル系のものとに、区分けられる。
このような基板Fの一環として、IC,LSI素子,受動部品,駆動部品,コンデンサー等々の半導体部品が、回路Eと一体的に組み込まれたモジュール基板(半導体一体型のパッケージ基板)や、ガラスベースに回路Eと共に半導体部品が埋め込まれたガラス基板、つまりプラズマディスプレイPDP用のガラス基板や、液晶LCD用のガラス基板や、CSP,PBGA等も出現している。勿論、本明細書において基板Fとは、従来よりのプリント配線基板の外、このようなものも広く包含する。
そして、このような回路E用の基板Fは、電子機器の高性能化,高機能化,小型軽量化に伴い、高精度化,ファイン化,そして極薄化,フレキシブル化,更には多層化,多様化等が進み、外表面(上面・表面や下面・裏面の一方又は双方)に形成される回路E、更には内部に形成される回路Eの高密度化,微細化が著しい。
基板F例えばプリント配線基板は、縦横のカットサイズが、例えば500mm×500mm程度よりなる。肉厚は、絶縁層(コア材)部分が、従来の1.6mmから、1.0mm〜60μm程度、昨今では50μmから10μm前後まで、極薄化されている。
回路E部分(銅箔部分)の肉厚も、75μm〜35μm、昨今では16μm〜10μm前後まで、極薄化されている。多層基板の場合でも、全体の肉厚が1.0mm〜0.4mm程度まで、極薄化されつつある。回路E幅や回路E間スペースも、30μm〜15μm程度、昨今では10μm前後と、微細化傾向にある。
基板Fは、概略このようになっている。
基板F例えばプリント配線基板は、縦横のカットサイズが、例えば500mm×500mm程度よりなる。肉厚は、絶縁層(コア材)部分が、従来の1.6mmから、1.0mm〜60μm程度、昨今では50μmから10μm前後まで、極薄化されている。
回路E部分(銅箔部分)の肉厚も、75μm〜35μm、昨今では16μm〜10μm前後まで、極薄化されている。多層基板の場合でも、全体の肉厚が1.0mm〜0.4mm程度まで、極薄化されつつある。回路E幅や回路E間スペースも、30μm〜15μm程度、昨今では10μm前後と、微細化傾向にある。
基板Fは、概略このようになっている。
《基板Fの製造方法の例について》
次に、この基板材Aの表面処理装置5が使用される基板Fの製造方法について、図8の(2)図,更には図6,図7等を参照して、説明する。
まず、第1例の製造方法について述べる。この第1例の製造方法において、基板F例えばプリント配線基板は、次のステップを辿って製造される。
最初に、ガラスクロス製,セラミックス製,又はポリイミド等のフィルム状樹脂製の絶縁層(コア材)の外表面に、銅箔が熱プレス等により張り付けられた、銅張り積層板たる基板材Aが準備される。
そして、このように準備された基板材Aについて、張り付けられた銅箔表面を粗化する表面粗化処理(ソフトエッチング)が行われた後、短尺のワークサイズに切断される。表面粗化処理は、従来は機械研磨によって行われていたが、最近は処理液Bの噴射によって行われることが多くなっている。
そして多くの場合、スルホール用の孔あけ加工が、レーザ等を使用して実施される。スルホールは、基板材A(基板F)の両外表面間の微細な貫通孔よりなり、1枚について、極小径のものが数百個以上形成され、その径は、0.5mm〜0.2mm程度以下のものが多くなっている。そしてスルホールは、両外表面の回路E(銅箔)間や多層基板の回路E(銅箔)間の層間導通接続用や、回路Eに実装される半導体部品の取り付け用として使用される。
なお最近は、孔あけ加工を要するスルホールに代えて、小突起状・略円錐台状の接点たるバンプを形成し、もって多層基板等について、このバンプにより、スルホールと同様の機能を実現する技術も開発されている。なおバンプは、回路Eに準じ、現像工程,エッチング工程,剥膜工程を辿って製造される。
次に、この基板材Aの表面処理装置5が使用される基板Fの製造方法について、図8の(2)図,更には図6,図7等を参照して、説明する。
まず、第1例の製造方法について述べる。この第1例の製造方法において、基板F例えばプリント配線基板は、次のステップを辿って製造される。
最初に、ガラスクロス製,セラミックス製,又はポリイミド等のフィルム状樹脂製の絶縁層(コア材)の外表面に、銅箔が熱プレス等により張り付けられた、銅張り積層板たる基板材Aが準備される。
そして、このように準備された基板材Aについて、張り付けられた銅箔表面を粗化する表面粗化処理(ソフトエッチング)が行われた後、短尺のワークサイズに切断される。表面粗化処理は、従来は機械研磨によって行われていたが、最近は処理液Bの噴射によって行われることが多くなっている。
そして多くの場合、スルホール用の孔あけ加工が、レーザ等を使用して実施される。スルホールは、基板材A(基板F)の両外表面間の微細な貫通孔よりなり、1枚について、極小径のものが数百個以上形成され、その径は、0.5mm〜0.2mm程度以下のものが多くなっている。そしてスルホールは、両外表面の回路E(銅箔)間や多層基板の回路E(銅箔)間の層間導通接続用や、回路Eに実装される半導体部品の取り付け用として使用される。
なお最近は、孔あけ加工を要するスルホールに代えて、小突起状・略円錐台状の接点たるバンプを形成し、もって多層基板等について、このバンプにより、スルホールと同様の機能を実現する技術も開発されている。なおバンプは、回路Eに準じ、現像工程,エッチング工程,剥膜工程を辿って製造される。
さてしかる後、基板材Aの銅箔の外表面(上面・表面や下面・裏面の一方又は双方)に、感光性レジストが膜状に塗布又は張り付けられる。それから、回路Eのネガフィルムである予め回路E設計された回路E写真を当て、露光することにより、外表面の感光性レジストは、露光されて硬化した回路E形成部分を残し、その他の不要部分が、処理液Bたる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、このような基板材Aの銅箔は、感光性レジストが硬化して被覆された回路E形成部分を残し、現像により感光性レジストが溶解除去されて露出した不要部分が、処理液Bたるエッチング液(塩化第二銅,塩化第二鉄,その他の腐食液)の噴射により、溶解除去・エッチングされる。
それから、残っていた回路E形成部分の感光性レジストが、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、残った回路E形成部分の銅箔にて、基板材Aの外表面に、所定の導体パターンの回路Eが形成され、もって基板Fが製造される。
なお、上述した現像工程,エッチング工程,剥膜工程には、それぞれの後処理用に、又は剥膜工程の後にまとめての後処理用に、処理液Bとして水洗液,中和剤液,その他の洗浄液を噴射する洗浄工程が付設されており、もって、基板材Aの外表面に付着していた現像液,エッチング液,剥離液等の処理液Bが、洗浄,除去される。
第1例の製造方法は、このようなウェットプロセス法よりなる。第1例の製造方法は、このようになっている。
しかる後、このような基板材Aの銅箔は、感光性レジストが硬化して被覆された回路E形成部分を残し、現像により感光性レジストが溶解除去されて露出した不要部分が、処理液Bたるエッチング液(塩化第二銅,塩化第二鉄,その他の腐食液)の噴射により、溶解除去・エッチングされる。
それから、残っていた回路E形成部分の感光性レジストが、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、残った回路E形成部分の銅箔にて、基板材Aの外表面に、所定の導体パターンの回路Eが形成され、もって基板Fが製造される。
なお、上述した現像工程,エッチング工程,剥膜工程には、それぞれの後処理用に、又は剥膜工程の後にまとめての後処理用に、処理液Bとして水洗液,中和剤液,その他の洗浄液を噴射する洗浄工程が付設されており、もって、基板材Aの外表面に付着していた現像液,エッチング液,剥離液等の処理液Bが、洗浄,除去される。
第1例の製造方法は、このようなウェットプロセス法よりなる。第1例の製造方法は、このようになっている。
次に、第2例の製造方法について述べる。基板F例えばプリント配線基板の製造方法としては、上述した第1例のウェットプロセス法が代表的であるが、第2例のセミアディティブ法も多用されつつある。
このセミアディティブ法では、まず、予めスルホールが形成された基板材Aの外表面に、無電解銅メッキが施される。→それから、この無電解銅メッキに、感光性レジストを膜状に塗布又は張り付けた後、→回路Eフィルムである回路E写真を当て、露光する。→そして感光性レジストは、露光されて硬化した部分を残し、他の部分つまり回路E形成部分が、処理液Bたる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、→回路E形成部分、つまり現像により感光性レジストが溶解除去されたメッキパターン部分、つまり無電解銅メッキが露出した部分に対し、電解銅メッキが施されて、→回路Eが形成される。→なお、残っていた硬化した回路E形成部分以外の感光性レジストは、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、→露出した無電解銅メッキが、処理液Bたるエッチング液の噴射によりクイックエッチングされて、融解除去される。→なお、各工程の後処理用として、前述した所に準じ、洗浄液を処理液Bとした洗浄工程が付設されている。
第2例のセミアディティブ法では、このようにして、電解銅メッキにて回路Eが形成され、もって基板Fが製造される。第2例の製造方法は、このようになっている。
ところで、プリント配線基板その他の回路E用の基板Fの製造方法は、最近ますます多様化しつつあり、上述した第1例,第2例以外にも、各種方法が開発,使用されている。本発明は勿論、このような各種の基板Fの製造方法にも、適用される。
基板Fの製造方法は、このようになっている。
このセミアディティブ法では、まず、予めスルホールが形成された基板材Aの外表面に、無電解銅メッキが施される。→それから、この無電解銅メッキに、感光性レジストを膜状に塗布又は張り付けた後、→回路Eフィルムである回路E写真を当て、露光する。→そして感光性レジストは、露光されて硬化した部分を残し、他の部分つまり回路E形成部分が、処理液Bたる現像液の噴射により溶解除去される。
しかる後、→回路E形成部分、つまり現像により感光性レジストが溶解除去されたメッキパターン部分、つまり無電解銅メッキが露出した部分に対し、電解銅メッキが施されて、→回路Eが形成される。→なお、残っていた硬化した回路E形成部分以外の感光性レジストは、処理液Bたる剥離液の噴射により剥膜除去され、→露出した無電解銅メッキが、処理液Bたるエッチング液の噴射によりクイックエッチングされて、融解除去される。→なお、各工程の後処理用として、前述した所に準じ、洗浄液を処理液Bとした洗浄工程が付設されている。
第2例のセミアディティブ法では、このようにして、電解銅メッキにて回路Eが形成され、もって基板Fが製造される。第2例の製造方法は、このようになっている。
ところで、プリント配線基板その他の回路E用の基板Fの製造方法は、最近ますます多様化しつつあり、上述した第1例,第2例以外にも、各種方法が開発,使用されている。本発明は勿論、このような各種の基板Fの製造方法にも、適用される。
基板Fの製造方法は、このようになっている。
《表面処理装置5の概要について》
以下、本発明の基板材Aの表面処理装置5について、図1,図2,図3,図4,図5,図6,図7等を参照して、詳細に説明する。
この表面処理装置5は、上述した基板Fの製造工程で使用され、搬送される基板材Aに対し処理液Bを噴射して、基板材Aを表面処理する。
すなわち表面処理装置5は、基板Fの製造方法の各工程、例えば現像工程,エッチング工程,剥膜工程,又は洗浄工程等において、現像装置,エッチング装置,剥離装置,又は洗浄装置等として用いられ、搬送される基板材Aに対し、それぞれ現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを噴射して、基板材Aを薬液処理,洗浄処理等、表面処理する。
そして、このような各表面処理装置5は、いずれも共通に、処理室6内にコンベヤ7,スプレーノズル4,介装部材8等、を有している。すなわち、基板材Aを水平搬送するコンベヤ7と、搬送される基板材Aに処理液Bを噴射するスプレーノズル4と、コンベヤ7の上下の搬送ローラー9,10間にそれぞれ配された介装部材8と、を有している。
そして、この表面処理装置5は、特にフレキシブルプリント配線基板その他の極薄の基板Fの製造工程において、薬液処理工程や洗浄工程にて使用され、その基板材Aは、極薄で腰が弱く柔らかく、フレキシブル性に富んでいる。
表面処理装置5は、概略このようになっている。
以下、本発明の基板材Aの表面処理装置5について、図1,図2,図3,図4,図5,図6,図7等を参照して、詳細に説明する。
この表面処理装置5は、上述した基板Fの製造工程で使用され、搬送される基板材Aに対し処理液Bを噴射して、基板材Aを表面処理する。
すなわち表面処理装置5は、基板Fの製造方法の各工程、例えば現像工程,エッチング工程,剥膜工程,又は洗浄工程等において、現像装置,エッチング装置,剥離装置,又は洗浄装置等として用いられ、搬送される基板材Aに対し、それぞれ現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを噴射して、基板材Aを薬液処理,洗浄処理等、表面処理する。
そして、このような各表面処理装置5は、いずれも共通に、処理室6内にコンベヤ7,スプレーノズル4,介装部材8等、を有している。すなわち、基板材Aを水平搬送するコンベヤ7と、搬送される基板材Aに処理液Bを噴射するスプレーノズル4と、コンベヤ7の上下の搬送ローラー9,10間にそれぞれ配された介装部材8と、を有している。
そして、この表面処理装置5は、特にフレキシブルプリント配線基板その他の極薄の基板Fの製造工程において、薬液処理工程や洗浄工程にて使用され、その基板材Aは、極薄で腰が弱く柔らかく、フレキシブル性に富んでいる。
表面処理装置5は、概略このようになっている。
《コンベヤ7について》
まず、この表面処理装置5のコンベヤ7について、図1,図2,図6,図7等を参照して、説明する。
コンベヤ7は、処理室6内に配設され、ストレートローラーよりなる搬送ローラー9,10を備えており、搬送ローラー9,10は、上下に配設されると共に、前後の搬送方向Cに多数配設されており、基板材Aを、挟んで接触回転して水平搬送する。
まず、この表面処理装置5のコンベヤ7について、図1,図2,図6,図7等を参照して、説明する。
コンベヤ7は、処理室6内に配設され、ストレートローラーよりなる搬送ローラー9,10を備えており、搬送ローラー9,10は、上下に配設されると共に、前後の搬送方向Cに多数配設されており、基板材Aを、挟んで接触回転して水平搬送する。
このようなコンベヤ7について、更に詳述する。コンベヤ7は、水平な上側の搬送ローラー9群と、同じく水平な下側の搬送ローラー10群とを、備えており、上下の両搬送ローラー9,10共に、長円柱状のストレートローラーよりなる。そして共に、ローラー軸11,12を左右の幅方向Gに向けると共に、前後の搬送方向Cに沿い、それぞれ若干の前後間隔Hを存しつつ、多数本が1列に配設されている(なお図6では、前後間隔Hの図示は省略)。
そして、上下の搬送ローラー9,10は、より上位や下位のスプレーノズル4に対向位置する処理液B噴射用の広い間隔スペースJを除き、搬送対象の基板材Aを挟むように、上下で対となって配設されている。なお間隔スペースJは、上側の搬送ローラー9群や下側の搬送ローラー10群の途中に、それぞれ間欠的形成されると共に、搬送方向Cに上下で形成位置がずれている。
そして搬送ローラー9,10は、それぞれ上下から搬送対象の基板材Aに圧接されており、少なくとも下側の搬送ローラー10が回転駆動されることにより、基板材Aが処理室6内を搬送方向Cに沿い、上流側から下流側へと水平搬送される。
コンベヤ7は、このようになっている。
そして、上下の搬送ローラー9,10は、より上位や下位のスプレーノズル4に対向位置する処理液B噴射用の広い間隔スペースJを除き、搬送対象の基板材Aを挟むように、上下で対となって配設されている。なお間隔スペースJは、上側の搬送ローラー9群や下側の搬送ローラー10群の途中に、それぞれ間欠的形成されると共に、搬送方向Cに上下で形成位置がずれている。
そして搬送ローラー9,10は、それぞれ上下から搬送対象の基板材Aに圧接されており、少なくとも下側の搬送ローラー10が回転駆動されることにより、基板材Aが処理室6内を搬送方向Cに沿い、上流側から下流側へと水平搬送される。
コンベヤ7は、このようになっている。
《搬送ローラー9,10の凹凸13,14について》
次に、この表面処理装置5の搬送ローラー9,10の凹凸13,14について、図2、図3,図4等を参照して、説明する。
上下の搬送ローラー9,10は、共に外表面に凹凸13,14が形成され、もって基板材Aとの接触面積が少なくなっている。これらの凹凸13,14は、例えば溝15,16にて形成されており、この溝15,16は、左右の幅方向Gに間隔を置きつつ、前後の搬送方向Cに沿って多数形成されている。
次に、この表面処理装置5の搬送ローラー9,10の凹凸13,14について、図2、図3,図4等を参照して、説明する。
上下の搬送ローラー9,10は、共に外表面に凹凸13,14が形成され、もって基板材Aとの接触面積が少なくなっている。これらの凹凸13,14は、例えば溝15,16にて形成されており、この溝15,16は、左右の幅方向Gに間隔を置きつつ、前後の搬送方向Cに沿って多数形成されている。
このような凹凸13,14について、更に詳述する。まず、搬送ローラー9,10の外表面の凹凸13,14としては、溝15,16が代表的であるが、その他、基板材Aとの接触面積を、全面接触に比し減少させる各種の手段・形状が可能である。例えば、多数の穴を形成したり、ローレット加工等の粗面加工も可能である。
代表例たる溝15,16は、1本の搬送ローラー9又は10毎に、その外表面について、幅方向Gに等間隔ピッチを置きつつ、前後の搬送方向Cに向けて、多数形成されている。つまり、搬送ローラー9,10の外周面には、溝15,16の凹部分と溝15,16間の間隔の凸部分とが、幅方向Gに交互に周設形成されている。
そして凸部分のみが、搬送対象の基板材Aに接触して搬送し、もって溝15,16の凹部分の分だけ、基板材Aとの接触面積が減少する。
代表例たる溝15,16は、1本の搬送ローラー9又は10毎に、その外表面について、幅方向Gに等間隔ピッチを置きつつ、前後の搬送方向Cに向けて、多数形成されている。つまり、搬送ローラー9,10の外周面には、溝15,16の凹部分と溝15,16間の間隔の凸部分とが、幅方向Gに交互に周設形成されている。
そして凸部分のみが、搬送対象の基板材Aに接触して搬送し、もって溝15,16の凹部分の分だけ、基板材Aとの接触面積が減少する。
図示例では、図3の(1)図の平面図や図4の(1)図,(2)図の正面図に示したように、上側の搬送ローラー9は、その溝15が幅狭の細溝よりなり、図3の(2)図の平面図や図4の(1)図,(2)図の正面図に示したように、下側の搬送ローラー10は、その溝16が幅広の広溝よりなる。
又は、スプレーノズル4の前後付近に配された上側の搬送ローラー9は、溝15が幅狭の細溝よりなり、それ以外の上側の搬送ローラー9および搬送ローラー10は、それぞれ溝15,16が幅広の広溝よりなる。
すなわち、下側の搬送ローラー10の溝16としては、すべて、左右の幅方向Gの横幅寸法が大きく広い広溝が採用されている。これに対し、上側の搬送ローラー9については、少なくともスプレーノズル4の前後付近、つまり処理室6中央部の溝15としては、左右の幅方向Gの横幅寸法が小さく狭い細溝が採用されているが、処理室6の入口付近や出口付近の溝15としては、必ずしも細溝の必要はなく広溝を採用してもよい。
なお、これらによらず、上側の搬送ローラー9の溝15と下側の搬送ローラー10の溝16とについて、同じ幅のものを採用してもよく、共に細溝又は広溝を採用するようにしてもよい。この場合はコスト面に優れる、という利点がある。
又は、スプレーノズル4の前後付近に配された上側の搬送ローラー9は、溝15が幅狭の細溝よりなり、それ以外の上側の搬送ローラー9および搬送ローラー10は、それぞれ溝15,16が幅広の広溝よりなる。
すなわち、下側の搬送ローラー10の溝16としては、すべて、左右の幅方向Gの横幅寸法が大きく広い広溝が採用されている。これに対し、上側の搬送ローラー9については、少なくともスプレーノズル4の前後付近、つまり処理室6中央部の溝15としては、左右の幅方向Gの横幅寸法が小さく狭い細溝が採用されているが、処理室6の入口付近や出口付近の溝15としては、必ずしも細溝の必要はなく広溝を採用してもよい。
なお、これらによらず、上側の搬送ローラー9の溝15と下側の搬送ローラー10の溝16とについて、同じ幅のものを採用してもよく、共に細溝又は広溝を採用するようにしてもよい。この場合はコスト面に優れる、という利点がある。
又、図5の(1)図の平面図に示したように、図示例では、上側の搬送ローラー9は、溝15が幅方向Gに等ピッチで形成されると共に、前後の搬送方向Cに相互間で溝15が重ならないように、溝15のピッチを幅方向Gにずらして配されている。
すなわち、上側の搬送ローラー9群については、それぞれ等ピッチで形成された溝15が、各搬送ローラー9相互間において、前後の搬送方向Cに直線的に重ならないように、左右の幅方向Gに少しずつずらして配されている。
なお、下側の搬送ローラー10群についても、上側の搬送ローラー9群に準じて同様に、等ピッチで形成された溝16を、各搬送ローラー10相互間において、前後の搬送方向Cに直線的に重ならないように、左右の幅方向Gに少しずつずらして配するようにしてもよい。その場合の利点は、上側の搬送ローラー9群について、後述する所に準じる。
搬送ローラー9,10の凹凸13,14は、このようになっている。
すなわち、上側の搬送ローラー9群については、それぞれ等ピッチで形成された溝15が、各搬送ローラー9相互間において、前後の搬送方向Cに直線的に重ならないように、左右の幅方向Gに少しずつずらして配されている。
なお、下側の搬送ローラー10群についても、上側の搬送ローラー9群に準じて同様に、等ピッチで形成された溝16を、各搬送ローラー10相互間において、前後の搬送方向Cに直線的に重ならないように、左右の幅方向Gに少しずつずらして配するようにしてもよい。その場合の利点は、上側の搬送ローラー9群について、後述する所に準じる。
搬送ローラー9,10の凹凸13,14は、このようになっている。
《溝15等の形成方法について》
次に、この表面処理装置5における搬送ローラー9,10の溝15,16の形成方法について、説明する。
まず、図3や図4の(1)図に示した例では、ローラー軸11,12に対し、溝15,16が予め刻設形成された搬送ローラー9,10が、外嵌,固定されている。つまり、溝15,16付の搬送ローラー9,10の軸穴に、それぞれローラー軸11,12が、嵌挿,固定されている。
これに対し、図4の(2)図に示した例では、上側の搬送ローラー9について、短柱状の多数のローラー部材17と、溝15間隔形成用の多数のカラー18とが、使用されている。そして、ローラー軸11,12に対し、軸穴付のローラー部材17とカラー18とを、順次交互に外嵌して行くことにより、ローラー部材17の集合体により搬送ローラー9が形成され、カラー18部分が溝15となる。
つまり、ローラー軸11を軸穴付の各ローラー部材とカラー18に、交互に嵌挿することにより、溝15付の上側の搬送ローラー9が形成されている。
次に、この表面処理装置5における搬送ローラー9,10の溝15,16の形成方法について、説明する。
まず、図3や図4の(1)図に示した例では、ローラー軸11,12に対し、溝15,16が予め刻設形成された搬送ローラー9,10が、外嵌,固定されている。つまり、溝15,16付の搬送ローラー9,10の軸穴に、それぞれローラー軸11,12が、嵌挿,固定されている。
これに対し、図4の(2)図に示した例では、上側の搬送ローラー9について、短柱状の多数のローラー部材17と、溝15間隔形成用の多数のカラー18とが、使用されている。そして、ローラー軸11,12に対し、軸穴付のローラー部材17とカラー18とを、順次交互に外嵌して行くことにより、ローラー部材17の集合体により搬送ローラー9が形成され、カラー18部分が溝15となる。
つまり、ローラー軸11を軸穴付の各ローラー部材とカラー18に、交互に嵌挿することにより、溝15付の上側の搬送ローラー9が形成されている。
なお、この図4の(2)図の場合、ローラー軸11とローラー部材17との間を、固定してもよいが、回動可能に取り付けてもよく、後者の場合、上側の搬送ローラー9はフリーローラーとなる。
又、下側の搬送ローラー10も、このようなローラー部材17とカラー18とを利用して形成してもよいが、下側の搬送ローラー10は駆動ローラーなので、ローラー軸12とローラー部材17等との間は固定された固定ローラーとされる。
これに対し、上側の搬送ローラー9をフリーローラーとした場合は、上側の搬送ローラー9の取付精度に余裕が生じる、という利点がある。つまり、上側の搬送ローラー9を従動ローラー・フリーローラーとすると、上側の搬送ローラー9を固定ローラーとした場合に比し、下側の固定ローラーの搬送ローラー10との位置関係等について、厳密さが要求されなくなり、コスト面に優れる利点がある。
溝15等の形成方法は、このようになっている。
又、下側の搬送ローラー10も、このようなローラー部材17とカラー18とを利用して形成してもよいが、下側の搬送ローラー10は駆動ローラーなので、ローラー軸12とローラー部材17等との間は固定された固定ローラーとされる。
これに対し、上側の搬送ローラー9をフリーローラーとした場合は、上側の搬送ローラー9の取付精度に余裕が生じる、という利点がある。つまり、上側の搬送ローラー9を従動ローラー・フリーローラーとすると、上側の搬送ローラー9を固定ローラーとした場合に比し、下側の固定ローラーの搬送ローラー10との位置関係等について、厳密さが要求されなくなり、コスト面に優れる利点がある。
溝15等の形成方法は、このようになっている。
《剥がし材19について》
次に、この表面処理装置5の剥がし材19について、図5の(2)図,(3)図を参照しつつ、説明する。
これらの図面に示した表面処理装置5では、上側の搬送ローラー9に、多数の剥がし材19が隣接付設されている。そして剥がし材19は、搬送ローラー9の下流側に位置し、上端部が、前後の搬送方向Cに揺動可能に軸支されると共に、下端部が、搬送ローラー9の溝15に、上側から食い込むように嵌入,摺接されている。
次に、この表面処理装置5の剥がし材19について、図5の(2)図,(3)図を参照しつつ、説明する。
これらの図面に示した表面処理装置5では、上側の搬送ローラー9に、多数の剥がし材19が隣接付設されている。そして剥がし材19は、搬送ローラー9の下流側に位置し、上端部が、前後の搬送方向Cに揺動可能に軸支されると共に、下端部が、搬送ローラー9の溝15に、上側から食い込むように嵌入,摺接されている。
このような剥がし材19について、更に詳述する。上側の搬送ローラー9群の各搬送ローラー9のすべて、又はスプレーノズル4の前後付近つまり処理室6中央部の各搬送ローラー9には、それぞれ剥がし材19が隣接付設されている。
剥がし材19は、対向する搬送ローラー9の搬送方向C下流側に位置しており、略縦細棒状・杆状をなし、多数が左右の幅方向Gに列設されている。そして各剥がし材19は、それぞれ上端部が、ブラケット20を介し左右の幅方向Gの軸21に軸支されており、搬送方向Cに前後揺動可能となっている。
各剥がし材19の下端部は、下位置にて対応する搬送ローラー9の溝15内に、上側から嵌入,摺接され、もって搬送ローラー9つまり溝15の下流側先端付近に、食い込んでいる。そして、各剥がし材19の下端部は、左右の幅方向Gに沿い、溝15と同じ幅とピッチで列設されている。
なお図示例では、上側の剥がし材19が隣接付設された搬送ローラー9の前後間隔Hについて、介装部材8の図示が省略されているが、介装部材8を配設する例も、介装部材8を配設しない例も、いずれも可能である。つまり剥がし材19は、上側の搬送ローラー9について、同じ機能の介装部材8と共に用いることも可能であり、又、介装部材8を用いず単独で用いることも、可能である。
剥がし材19は、このようになっている。
剥がし材19は、対向する搬送ローラー9の搬送方向C下流側に位置しており、略縦細棒状・杆状をなし、多数が左右の幅方向Gに列設されている。そして各剥がし材19は、それぞれ上端部が、ブラケット20を介し左右の幅方向Gの軸21に軸支されており、搬送方向Cに前後揺動可能となっている。
各剥がし材19の下端部は、下位置にて対応する搬送ローラー9の溝15内に、上側から嵌入,摺接され、もって搬送ローラー9つまり溝15の下流側先端付近に、食い込んでいる。そして、各剥がし材19の下端部は、左右の幅方向Gに沿い、溝15と同じ幅とピッチで列設されている。
なお図示例では、上側の剥がし材19が隣接付設された搬送ローラー9の前後間隔Hについて、介装部材8の図示が省略されているが、介装部材8を配設する例も、介装部材8を配設しない例も、いずれも可能である。つまり剥がし材19は、上側の搬送ローラー9について、同じ機能の介装部材8と共に用いることも可能であり、又、介装部材8を用いず単独で用いることも、可能である。
剥がし材19は、このようになっている。
《スプレーノズル4について》
次に、この表面処理装置5のスプレーノズル4について、図1,図6,図7等を参照して、説明する。
スプレーノズル4は、処理室6内に配設され、搬送される基板材Aに対向位置しており、現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを、上下から噴射する。
次に、この表面処理装置5のスプレーノズル4について、図1,図6,図7等を参照して、説明する。
スプレーノズル4は、処理室6内に配設され、搬送される基板材Aに対向位置しており、現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを、上下から噴射する。
このようなスプレーノズル4について、更に詳述する。スプレーノズル4は、コンベヤ7の搬送ローラー9,10にて水平姿勢で搬送される基板材Aの真上や真下に、上下間隔を存しつつ配設され、前述した搬送ローラー9,10の間隔スペースJに、臨んで配設されている。
そしてスプレーノズル4は、前後の搬送方向Cと左右の幅方向Gにわたって、所定ピッチ間隔を置きつつ、基板材Aを挟み上下に多数配列されている。
そこで処理液Bは、液槽22からポンプ23や配管24を介し、各スプレーノズル4に圧送されて、基板材Aに噴射される。そして、基板材Aの外表面を、左方向又は右方向に向けて流れて表面処理した後、基板材Aの左右両サイドから流下されて、再び液槽22に回収され、事後も循環使用される。
スプレーノズル4は、このようになっている。
そしてスプレーノズル4は、前後の搬送方向Cと左右の幅方向Gにわたって、所定ピッチ間隔を置きつつ、基板材Aを挟み上下に多数配列されている。
そこで処理液Bは、液槽22からポンプ23や配管24を介し、各スプレーノズル4に圧送されて、基板材Aに噴射される。そして、基板材Aの外表面を、左方向又は右方向に向けて流れて表面処理した後、基板材Aの左右両サイドから流下されて、再び液槽22に回収され、事後も循環使用される。
スプレーノズル4は、このようになっている。
《介装部材8について》
次に、この表面処理装置5の介装部材8について、図1,図2,図3等を参照して、説明する。
介装部材8は、上側の各搬送ローラー9間や下側の搬送ローラー10間に、それぞれ配されると共に、搬送ローラー9,10による基板材Aの水平搬送面より、僅かに上下に引込んだ高さレベルで、上下に配設されており、基板材Aを搬送方向Cに接触ガイドする。
次に、この表面処理装置5の介装部材8について、図1,図2,図3等を参照して、説明する。
介装部材8は、上側の各搬送ローラー9間や下側の搬送ローラー10間に、それぞれ配されると共に、搬送ローラー9,10による基板材Aの水平搬送面より、僅かに上下に引込んだ高さレベルで、上下に配設されており、基板材Aを搬送方向Cに接触ガイドする。
このような介装部材8について、更に詳述する。介装部材8は、置き板状,又は敷板状,又は櫛棒状をなし、各搬送ローラー9間の前後間隔Hや、各搬送ローラー10間の前後間隔Hに、それぞれ脱着可能に介在配設されている。更に、搬送ローラー10間の間隔スペースJ間や、搬送ローラー10間の間隔スペースJについても、中央に処理液Bの噴射スペースを残しつつ、その前後に配設されている。
そして介装部材8は、左右の幅方向Gに沿って長い長板状や長棒状をなし、基板材Aの搬送面から、例えば基板材Aの肉厚程度だけ上や下に離れた位置関係で、上下に配設されている。
すなわち、上側の介装部材8は、その下面が、同じく上側に配設された搬送ローラー9の外周下面より、やや高い位置に配設されており、もって搬送される基板材A表面を、上から接触,保持,ガイドする。これに対し、下側の介装部材8は、その上面が、同じく下側に配設された搬送ローラー10の外周上面より、やや低い位置に配設されており、もって搬送される基板材A裏面を、下から接触,当接,ガイドする。
又、このような介装部材8の処理室6内の位置決め保持方式は、各種可能である。図示例では、上下縦の保持材25が用いられているが、左右横から保持するようしてもよく、後者の場合は、各介装部材8が横の端縁で連結止着されるので、全体が略櫛状をなす。
介装部材8は、このようになっている。
そして介装部材8は、左右の幅方向Gに沿って長い長板状や長棒状をなし、基板材Aの搬送面から、例えば基板材Aの肉厚程度だけ上や下に離れた位置関係で、上下に配設されている。
すなわち、上側の介装部材8は、その下面が、同じく上側に配設された搬送ローラー9の外周下面より、やや高い位置に配設されており、もって搬送される基板材A表面を、上から接触,保持,ガイドする。これに対し、下側の介装部材8は、その上面が、同じく下側に配設された搬送ローラー10の外周上面より、やや低い位置に配設されており、もって搬送される基板材A裏面を、下から接触,当接,ガイドする。
又、このような介装部材8の処理室6内の位置決め保持方式は、各種可能である。図示例では、上下縦の保持材25が用いられているが、左右横から保持するようしてもよく、後者の場合は、各介装部材8が横の端縁で連結止着されるので、全体が略櫛状をなす。
介装部材8は、このようになっている。
《介装部材8の凹凸26について》
次に、この表面処理装置5の介装部材8の凹凸26について、図2,図3等を参照して、説明する。
上下の介装部材8は、それぞれ外表面に凹凸26が形成され、基板材Aとの接触面積が少なくなっており、この凹凸26は、例えば溝27にて形成されている。そして溝27は、左右の幅方向Gに間隔を置きつつ、前後の搬送方向Cに沿って多数形成されている。
次に、この表面処理装置5の介装部材8の凹凸26について、図2,図3等を参照して、説明する。
上下の介装部材8は、それぞれ外表面に凹凸26が形成され、基板材Aとの接触面積が少なくなっており、この凹凸26は、例えば溝27にて形成されている。そして溝27は、左右の幅方向Gに間隔を置きつつ、前後の搬送方向Cに沿って多数形成されている。
このような凹凸26について、更に詳述する。この介装部材8の外表面に形成される溝27等の凹凸26については、基本的に、搬送ローラー9,10の溝15,16等の凹凸13,14として、前述した所に準じる。そこでここでは、そのポイントのみを説明しておく。
上側の介装部材8の下面、および下側の介装部材8の上面には、基板材Aとの接触面積を、全面接触に比し減少させる凹凸26が形成されており、凹凸26の代表例たる溝27は、左右の幅方向Gに等間隔ピッチを置きつつ、前後の搬送方向Cに向け直線的に形成されている。もって、溝27間の凸部分のみが基板材Aに接触するので、凹部分の溝27の分だけ、基板材Aとの接触面積が減少している。
なお、前述した搬送ローラー9,10の場合に準じ、上側の介装部材8の溝27として幅狭の細溝を採用し、下側の介装部材8の溝27として幅広の広溝を採用してもよいが、これによらず、上下の介装部材8について、同じ幅の溝27を採用してもよく、共に細溝又は広溝を採用するようにしてもよく、更に、部分的に広溝と細溝とを使い分けてもよい。
介装部材8の凹凸26は、このようになっている。
上側の介装部材8の下面、および下側の介装部材8の上面には、基板材Aとの接触面積を、全面接触に比し減少させる凹凸26が形成されており、凹凸26の代表例たる溝27は、左右の幅方向Gに等間隔ピッチを置きつつ、前後の搬送方向Cに向け直線的に形成されている。もって、溝27間の凸部分のみが基板材Aに接触するので、凹部分の溝27の分だけ、基板材Aとの接触面積が減少している。
なお、前述した搬送ローラー9,10の場合に準じ、上側の介装部材8の溝27として幅狭の細溝を採用し、下側の介装部材8の溝27として幅広の広溝を採用してもよいが、これによらず、上下の介装部材8について、同じ幅の溝27を採用してもよく、共に細溝又は広溝を採用するようにしてもよく、更に、部分的に広溝と細溝とを使い分けてもよい。
介装部材8の凹凸26は、このようになっている。
《介装部材8の突状端部28について》
次に、この表面処理装置5の介装部材8の突状端部28について、図2,図3を参照して説明する。
上下の介装部材8は、搬送方向Cに向け多数の個別に延出された突状端部28を備えており、この突状端部28が、対応する搬送ローラー9,10の溝15,16に対し、前後から食い込むように嵌入,摺接されている。
次に、この表面処理装置5の介装部材8の突状端部28について、図2,図3を参照して説明する。
上下の介装部材8は、搬送方向Cに向け多数の個別に延出された突状端部28を備えており、この突状端部28が、対応する搬送ローラー9,10の溝15,16に対し、前後から食い込むように嵌入,摺接されている。
このような突状端部28について、更に詳述する。上側の介装部材8の下面付近の前後端部や、下側の介装部材8の上面付近の前後端部は、それぞれ搬送方向Cに沿い、前後に細棒状・杆状に突出した多数の突状端部28となっている。
つまり平面で見た場合、各突状端部28は、左右の幅方向Gに沿い、溝15,16と同じ幅とピッチで列設されている。上側の介装部材8の突状端部28は、上側の搬送ローラー9の溝15と同じ幅とピッチで、幅狭まの凹凸状に列設され、下側の介装部材8の突状端部28は、下側の搬送ローラー9の溝16と同じ幅とピッチで、幅広の平面凹凸状に列設されている。
そして、このような前後の各突状端部28が、前後で隣接する搬送ローラー9,10の溝15,16に対し、搬送方向Cに沿い嵌入,摺接され、もって搬送ローラー9,10つまり溝15,16の頂端(上端や下端)付近に、食い込んでいる。
又、搬送ローラー9,10の前後間隔Hに配設された介装部材8については、このような突状端部28が前後に形成されている。これに対し、搬送ローラー9,10の間隔スペースJに臨んで配設された介装部材8については、前後端部のいずれか一方の突状端部28は、形成されないか、形成されても溝15,16への嵌入,摺接,食い込みは行われずフリーとなっている。処理室6の入口や出口側の搬送ローラー9,10の介装部材8についても、同様である。
介装部材8の突状端部28は、このようになっている。
つまり平面で見た場合、各突状端部28は、左右の幅方向Gに沿い、溝15,16と同じ幅とピッチで列設されている。上側の介装部材8の突状端部28は、上側の搬送ローラー9の溝15と同じ幅とピッチで、幅狭まの凹凸状に列設され、下側の介装部材8の突状端部28は、下側の搬送ローラー9の溝16と同じ幅とピッチで、幅広の平面凹凸状に列設されている。
そして、このような前後の各突状端部28が、前後で隣接する搬送ローラー9,10の溝15,16に対し、搬送方向Cに沿い嵌入,摺接され、もって搬送ローラー9,10つまり溝15,16の頂端(上端や下端)付近に、食い込んでいる。
又、搬送ローラー9,10の前後間隔Hに配設された介装部材8については、このような突状端部28が前後に形成されている。これに対し、搬送ローラー9,10の間隔スペースJに臨んで配設された介装部材8については、前後端部のいずれか一方の突状端部28は、形成されないか、形成されても溝15,16への嵌入,摺接,食い込みは行われずフリーとなっている。処理室6の入口や出口側の搬送ローラー9,10の介装部材8についても、同様である。
介装部材8の突状端部28は、このようになっている。
《作用等》
本発明の基板材Aの表面処理装置5は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
(1)この基板材Aの表面処理装置5は、フレキシブルプリント配線基板、その他の回路E用基板Fの製造工程中、各種の薬液処理工程や洗浄工程等の表面処理工程において、現像装置,エッチング装置,剥離装置,又は洗浄装置として使用される。
そして、処理室6内に搬送ローラー9,10,スプレーノズル4,介装部材8等を、有している。
本発明の基板材Aの表面処理装置5は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
(1)この基板材Aの表面処理装置5は、フレキシブルプリント配線基板、その他の回路E用基板Fの製造工程中、各種の薬液処理工程や洗浄工程等の表面処理工程において、現像装置,エッチング装置,剥離装置,又は洗浄装置として使用される。
そして、処理室6内に搬送ローラー9,10,スプレーノズル4,介装部材8等を、有している。
(2)搬送ローラー9,10は、ストレートローラーよりなり、上下に配設されると共に前後の搬送方向Cに多数配設されており、基板材Aを挟んで、接触回転して水平搬送する。
スプレーノズル4は、このように搬送される基板材Aに対向位置しており、基板材Aに対し、上下から現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを、噴射する。
介装部材8は、上側や下側の搬送ローラー9,10間にそれぞれ配され、搬送ローラー9,10の水平搬送面より僅かに上下に引込んだ高さレベルで、上下に配設されており、基板材Aを搬送方向Cに接触ガイドする。
スプレーノズル4は、このように搬送される基板材Aに対向位置しており、基板材Aに対し、上下から現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液等の処理液Bを、噴射する。
介装部材8は、上側や下側の搬送ローラー9,10間にそれぞれ配され、搬送ローラー9,10の水平搬送面より僅かに上下に引込んだ高さレベルで、上下に配設されており、基板材Aを搬送方向Cに接触ガイドする。
(3)そこで表面処理装置5は、搬送される基板材Aに処理液Bを噴射して、基板材Aを表面処理する(図1,図6,図7を参照)。
すなわち基板材Aは、上下で接触回転する搬送ローラー9,10や上下で接触ガイドする介装部材8にて、搬送方向Cに水平搬送される。これと共に、スプレーノズル4から噴射された処理液Bが、基板材Aの外表面を左右の幅方向Gに流れて、表面処理される。なお処理液Bは、事後、基板材Aの左右両サイドから、流下,回収される。
すなわち基板材Aは、上下で接触回転する搬送ローラー9,10や上下で接触ガイドする介装部材8にて、搬送方向Cに水平搬送される。これと共に、スプレーノズル4から噴射された処理液Bが、基板材Aの外表面を左右の幅方向Gに流れて、表面処理される。なお処理液Bは、事後、基板材Aの左右両サイドから、流下,回収される。
(4)ところで、a.フレキシブルプリント配線基板材,その他の回路E用の基板材Aは、極薄化,フレキシブル化の進展が著しく、極薄で腰が弱く軟らかく、フレキシブル性に富んでいる。フレキシブルプリント配線基板材のコア材のポリイミド樹脂は、特に柔軟で曲がりやすい。
しかもb.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、乾燥状態では静電気に帯電しやすく、処理液Bが噴射されると濡らされ、もって付着性・粘着性を帯びている。
更にc.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、処理液Bの噴射圧や上側から噴射された処理液Bの重量等の影響を受け、圧や重さで曲げられやすい。又d.上下の搬送ローラー9,10に挟まれて接触搬送されるので、加圧力も作用して曲げられやすい。
しかもb.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、乾燥状態では静電気に帯電しやすく、処理液Bが噴射されると濡らされ、もって付着性・粘着性を帯びている。
更にc.このように極薄でフレキシブルな基板材Aは、処理液Bの噴射圧や上側から噴射された処理液Bの重量等の影響を受け、圧や重さで曲げられやすい。又d.上下の搬送ローラー9,10に挟まれて接触搬送されるので、加圧力も作用して曲げられやすい。
(5)そこで、この表面処理装置5では、これらa,b,c,dに鑑み、対策1,対策2,対策3が採用されている。
まず、最も基本的な対策1として、この表面処理装置5では、搬送ローラー9,10間にガイド用の介装部材8を配設すると共に、搬送ローラー9,10および介装部8の外表面に、凹凸13,14が形成され、もって搬送される基板材Aとの接触面積が、少なくなっている。凹凸13,14は、代表的には溝15,16にて形成され、溝15,16は、左右の幅方向Gに間隔を置きつつ前後の搬送方向Cに沿って、多数形成されている(図2,図3,図4を参照)。
そして、接触ガイドする介装部材8の存在と、張り付きや付着の対象削減を意味する接触面積の少なさと、がポイントなり、上述したa,b,c,dの条件下にも拘わらず、基板材Aは、搬送ローラー9,10更には介装部材8に対し、ピッタリと張り付いて付着したり巻付いたりすることがなく、搬送ローラー9,10間から落下することもなく、所期のとおり安定搬送される。
すなわち、a.極薄でフレキシブル性に富み付着性・粘着性を帯びた基板材Aではあるが、処理液Bの噴射圧や重さの影響や加圧力の作用を受けることなく、安定搬送される。その際、下側の介装部材8は、特に落下防止用として機能し、接触面積の少なさは、特に張り付き,付着,巻付き防止用として機能する。
このように、対策1の採用により、この表面処理装置5によると、基板材Aは、付着,巻付き,巻込み,吸い付きや,めくれ,しわ,湾曲,折曲,腰折れ,引掛かり,更には落下等、各種トラブルD(図8の(1)図を参照)の発生が、未然に防止されて、安定搬送される。
まず、最も基本的な対策1として、この表面処理装置5では、搬送ローラー9,10間にガイド用の介装部材8を配設すると共に、搬送ローラー9,10および介装部8の外表面に、凹凸13,14が形成され、もって搬送される基板材Aとの接触面積が、少なくなっている。凹凸13,14は、代表的には溝15,16にて形成され、溝15,16は、左右の幅方向Gに間隔を置きつつ前後の搬送方向Cに沿って、多数形成されている(図2,図3,図4を参照)。
そして、接触ガイドする介装部材8の存在と、張り付きや付着の対象削減を意味する接触面積の少なさと、がポイントなり、上述したa,b,c,dの条件下にも拘わらず、基板材Aは、搬送ローラー9,10更には介装部材8に対し、ピッタリと張り付いて付着したり巻付いたりすることがなく、搬送ローラー9,10間から落下することもなく、所期のとおり安定搬送される。
すなわち、a.極薄でフレキシブル性に富み付着性・粘着性を帯びた基板材Aではあるが、処理液Bの噴射圧や重さの影響や加圧力の作用を受けることなく、安定搬送される。その際、下側の介装部材8は、特に落下防止用として機能し、接触面積の少なさは、特に張り付き,付着,巻付き防止用として機能する。
このように、対策1の採用により、この表面処理装置5によると、基板材Aは、付着,巻付き,巻込み,吸い付きや,めくれ,しわ,湾曲,折曲,腰折れ,引掛かり,更には落下等、各種トラブルD(図8の(1)図を参照)の発生が、未然に防止されて、安定搬送される。
これに加え、介装部材8の配設は、更に次の利点を発揮する。すなわち、スプレーノズル4から基板材Aに噴射された処理液Bは、基板材Aと共に搬送されて、上下の介装部材8間に付着して溜まり、液溜まりを形成する。特に、下側の介装部材8上に溜まって、液溜まりを形成する。
そして、このように介装部材8間に形成された処理液Bの液溜まりの液中を、極薄でフレキシブルであり付着性・粘着性を帯びた基板材Aが、搬送されるが、このような液溜まりの液中搬送により、基板材Aの付着性・粘着性が失われる現象が生じると共に、僅かな搬送力であっても確実な搬送が達成される。もって、これらの面からも、基板材Aの安定搬送が実現される。
そして、このように介装部材8間に形成された処理液Bの液溜まりの液中を、極薄でフレキシブルであり付着性・粘着性を帯びた基板材Aが、搬送されるが、このような液溜まりの液中搬送により、基板材Aの付着性・粘着性が失われる現象が生じると共に、僅かな搬送力であっても確実な搬送が達成される。もって、これらの面からも、基板材Aの安定搬送が実現される。
(6)更にこれに加え、対策2として、この表面処理装置5では、介装部材8について、搬送方向Cに向け個別に延出された、多数の突状端部28が付設されている。そして、この突状端部28が、対応する搬送ローラー9,10の溝15,16に対し、前後から食い込むように嵌入,摺接されている(図2,図3を参照)。
そこで基板材Aは、この面からも、上記各種トラブルD発生が防止され、より確実に安定搬送されるようになる。
すなわち、この表面処理装置5では、この対策2により、介装部材8の凹凸櫛状をなす突状端部28が、搬送ローラー9,10の溝15,16に対し、平面における前後隙間を塞ぐように食い込んでいるので、基板材Aの搬送ローラー9,10への張り付き,付着,巻付きや、搬送ローラー9,10間からの落下等は、発生直前に突状端部28にて阻止される。
そこで基板材Aは、この面からも、上記各種トラブルD発生が防止され、より確実に安定搬送されるようになる。
すなわち、この表面処理装置5では、この対策2により、介装部材8の凹凸櫛状をなす突状端部28が、搬送ローラー9,10の溝15,16に対し、平面における前後隙間を塞ぐように食い込んでいるので、基板材Aの搬送ローラー9,10への張り付き,付着,巻付きや、搬送ローラー9,10間からの落下等は、発生直前に突状端部28にて阻止される。
(7)更に、対策3として、このような表面処理装置5において、上側の搬送ローラー9に、多数の剥がし材19を隣接付設することが考えられる。この剥がし材19は、搬送ローラー9の下流側に位置しており、上端部が、前後の搬送方向に揺動可能に軸支されると共に、下端部が、搬送ローラー9の溝15に対し、上側から食い込むように嵌入,摺接される(図5の(2)図,(3)図を参照)。
基板材Aは、この面からも、上記各種トラブルD発生が防止され、パーフェクトに安定搬送されるようになる。
すなわち、このような表面処理装置5では、この対策3により、凹凸櫛状をなす剥がし材19の下端部が、搬送ローラー9の溝15に上側から食い込んでいるので、基板材Aの先端部が、搬送ローラー9に対して下側から張り付き,付着,巻付こうとしても、上側から直ちに剥がし材19にて剥がされる。もって、基板材Aの張り付き,付着,巻付き等の発生が、未然に阻止される。
基板材Aは、この面からも、上記各種トラブルD発生が防止され、パーフェクトに安定搬送されるようになる。
すなわち、このような表面処理装置5では、この対策3により、凹凸櫛状をなす剥がし材19の下端部が、搬送ローラー9の溝15に上側から食い込んでいるので、基板材Aの先端部が、搬送ローラー9に対して下側から張り付き,付着,巻付こうとしても、上側から直ちに剥がし材19にて剥がされる。もって、基板材Aの張り付き,付着,巻付き等の発生が、未然に阻止される。
(8)ところで、この表面処理装置5では、前述したように、接触面積を少なくするために、前後の搬送方向Cに沿って溝15を多数形成する例が、代表的である。
そこで表面処理装置5では、これに対する対策1,対策2が採用されている。まず対策1として、上側の搬送ローラー9、又は上側のスプレーノズル4の前後付近に配された上側の搬送ローラー9は、それぞれ溝15が幅狭の細溝よりなる(図3の(1)図,図4の(1)図,(2)図を参照)。
更に対策2として、上側の搬送ローラー9は、溝15が幅方向Gに等ピッチで形成されると共に、前後の搬送方向Cで隣接位置する搬送ローラー9相互間で、溝15が重ならないように、溝15のピッチをずらして配されている(図5の(1)図を参照)。
このような対策1,対策2の採用により、この表面処理装置5は、前後の搬送方向Cに溝15を形成したにもかかわらず、乱流発生が最小限に抑えられる。
そこで表面処理装置5では、これに対する対策1,対策2が採用されている。まず対策1として、上側の搬送ローラー9、又は上側のスプレーノズル4の前後付近に配された上側の搬送ローラー9は、それぞれ溝15が幅狭の細溝よりなる(図3の(1)図,図4の(1)図,(2)図を参照)。
更に対策2として、上側の搬送ローラー9は、溝15が幅方向Gに等ピッチで形成されると共に、前後の搬送方向Cで隣接位置する搬送ローラー9相互間で、溝15が重ならないように、溝15のピッチをずらして配されている(図5の(1)図を参照)。
このような対策1,対策2の採用により、この表面処理装置5は、前後の搬送方向Cに溝15を形成したにもかかわらず、乱流発生が最小限に抑えられる。
すなわち、スプレーノズル4から噴射された処理液Bは、前述したように、基板材Aの外表面を左右の幅方向Gに流れて表面処理した後、基板材Aの左右両サイドから流下,回収されることが、予定されている。従って、基板材Aの外表面に噴射された処理液Bが、前後の搬送方向Cの溝15を伝って、前後に直線的に多量に流れること、つまり前後への乱流発生は好ましくない。
そこで、この表面処理装置5では、これに対する対策1として、上側の搬送ローラー9等については、このような流れが少量に絞り込まれる細溝を、溝15として採用すると共に、対策2として、上側の各搬送ローラー9相互間で溝15がずらされ、搬送方向Cに直線的に重ならないようになっている。もって、このような対策1,2により、処理液Bが前後の搬送方向Cに直線的に多量に流れることは、確実に阻止される。
このように、この表面処理装置5では、前後に沿った溝15を採用したにもかかわらず、基板材Aの外表面(上面)に上側から噴射された処理液Bが、溝15を伝って前後に流れてしまうことは、最小限に抑えられ、前後への乱流発生が抑えられる。もって、乱流発生による表面処理への悪影響も、防止される。
なお、溝15として細溝が採用されているので、広溝に比し基板材Aとの接触面積が増加するが、程度の問題に過ぎず、溝15として基板材Aの張り付き,付着,巻付き等を防止する機能は、維持される。
そこで、この表面処理装置5では、これに対する対策1として、上側の搬送ローラー9等については、このような流れが少量に絞り込まれる細溝を、溝15として採用すると共に、対策2として、上側の各搬送ローラー9相互間で溝15がずらされ、搬送方向Cに直線的に重ならないようになっている。もって、このような対策1,2により、処理液Bが前後の搬送方向Cに直線的に多量に流れることは、確実に阻止される。
このように、この表面処理装置5では、前後に沿った溝15を採用したにもかかわらず、基板材Aの外表面(上面)に上側から噴射された処理液Bが、溝15を伝って前後に流れてしまうことは、最小限に抑えられ、前後への乱流発生が抑えられる。もって、乱流発生による表面処理への悪影響も、防止される。
なお、溝15として細溝が採用されているので、広溝に比し基板材Aとの接触面積が増加するが、程度の問題に過ぎず、溝15として基板材Aの張り付き,付着,巻付き等を防止する機能は、維持される。
(9)これに対し、基板材Aの外表面(下面)に対して、下側から噴射された処理液Bは、表面処理後直ちに重力落下するので、上述した乱流発生の虞はない。
そこで、下側の搬送ローラー10については、上側の搬送ローラー9について上述した所とは異なり、溝16として、より接触面積が広い幅広の広溝を採用可能である。又、前後の搬送ローラー10相互間で溝16が重ならないように、搬送方向Cに溝16のピッチをずらすことも、要しない。
そこで、下側の搬送ローラー10については、上側の搬送ローラー9について上述した所とは異なり、溝16として、より接触面積が広い幅広の広溝を採用可能である。又、前後の搬送ローラー10相互間で溝16が重ならないように、搬送方向Cに溝16のピッチをずらすことも、要しない。
1 表面処理装置(従来例)
2 コンベヤ(従来例)
3 搬送ローラー(従来例)
4 スプレーノズル
5 表面処理装置(本発明)
6 処理室
7 コンベヤ(本発明)
8 介装部材
9 搬送ローラー(本発明)
10 搬送ローラー(本発明)
11 ローラー軸
12 ローラー軸
13 凹凸
14 凹凸
15 溝
16 溝
17 ローラー部材
18 カラー
19 剥がし材
20 ブラケット
21 軸
22 液槽
23 ポンプ
24 配管
25 保持材
26 凹凸
27 溝
28 突状端部
A 基板材
B 処理液
C 搬送方向
D トラブル
E 回路
F 基板
G 幅方向
H 前後間隔
J 間隔スペース
2 コンベヤ(従来例)
3 搬送ローラー(従来例)
4 スプレーノズル
5 表面処理装置(本発明)
6 処理室
7 コンベヤ(本発明)
8 介装部材
9 搬送ローラー(本発明)
10 搬送ローラー(本発明)
11 ローラー軸
12 ローラー軸
13 凹凸
14 凹凸
15 溝
16 溝
17 ローラー部材
18 カラー
19 剥がし材
20 ブラケット
21 軸
22 液槽
23 ポンプ
24 配管
25 保持材
26 凹凸
27 溝
28 突状端部
A 基板材
B 処理液
C 搬送方向
D トラブル
E 回路
F 基板
G 幅方向
H 前後間隔
J 間隔スペース
Claims (10)
- 回路用基板の製造工程で使用され、基板材に処理液を噴射して表面処理する表面処理装置であって、該基板材を搬送する搬送ローラーと、該基板材に該処理液を噴射するスプレーノズルと、該搬送ローラー間に配された介装部材と、を有しており、
該搬送ローラーは、外表面に凹凸が形成され、該基板材との接触面積が少なくなっていること、を特徴とする基板材の表面処理装置。 - 請求項1に記載した基板材の表面処理装置において、該介装部材は、外表面に凹凸が形成され、該基板材との接触面積が少なくなっていること、を特徴とする基板材の表面処理装置。
- 請求項2に記載した基板材の表面処理装置において、該搬送ローラーは、ストレートローラー状よりなり、上下に配設されると共に前後の搬送方向に多数配設されており、該基板材を挟んで接触回転して水平搬送し、
該介装部材は、該搬送ローラーの水平搬送面より僅かに上下に引込んだ高さレベルで、上下に配設されており、該基板材を搬送方向に接触ガイドし、
該スプレーノズルは、搬送される該基板材に対向位置しており、上下から該処理液を噴射すること、を特徴とする基板材の表面処理装置。 - 請求項3に記載した基板材の表面処理装置において、該搬送ローラーおよび該介装部材は、それぞれ凹凸が溝にて形成されており、該溝は、左右の幅方向に間隔を置きつつ、前後の搬送方向に沿って多数形成されていること、を特徴とする基板材の表面処理装置。
- 請求項4に記載した基板材の表面処理装置において、上側の該搬送ローラーは、該溝が幅狭の細溝よりなり、下側の該搬送ローラーは、該溝が幅広の広溝よりなること、を特徴とする基板材の表面処理装置。
- 請求項4に記載した基板材の表面処理装置において、該スプレーノズルの前後付近に配された上側の該搬送ローラーは、該溝が幅狭の細溝よりなり、それ以外の上側の該搬送ローラーおよび下側の該搬送ローラーは、それぞれ該溝が幅広の広溝よりなること、を特徴とする基板材の表面処理装置。
- 請求項4に記載した基板材の表面処理装置において、上側の該搬送ローラーは、該溝が幅方向に等ピッチで形成されると共に、搬送方向の前後相互間で該溝が重ならないように、該溝のピッチをずらして配されていること、を特徴とする基板材の表面処理装置。
- 請求項4に記載した基板材の表面処理装置において、該介装部材は、搬送方向に向け多数の個別に延出された突状端部を備えており、該突状端部が、対応する該搬送ローラーの該溝に、前後から食い込むように嵌入,摺接されていること、を特徴とする基板材の表面処理装置。
- 請求項4に記載した基板材の表面処理装置において、上側の該搬送ローラーは、多数の剥がし材が隣接付設されており、
該剥がし材は、該搬送ローラーの下流側に位置し、上端部が、前後の搬送方向に揺動可能に軸支されると共に、下端部が、該搬送ローラーの該溝に上側から食い込むように嵌入,摺接されていること、を特徴とする基板材の表面処理装置。 - 請求項5,6,7,8,又は9に記載した基板材の表面処理装置において、該表面処理装置は、フレキシブルプリント配線基版の製造工程中の薬液処理工程や洗浄工程にて使用され、
該基板材は、極薄で腰が弱く軟らかくフレキシブル性に富んでおり、該スプレーノズルは、該処理液として現像液,エッチング液,剥離液,又は洗浄液を噴射すること、特徴とする基板材の表面処理装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004139708A JP2005322779A (ja) | 2004-05-10 | 2004-05-10 | 基板材の表面処理装置 |
TW93115206A TW200536618A (en) | 2004-05-10 | 2004-05-28 | Surface treatment device for substrate |
CN 200410048251 CN1697597A (zh) | 2004-05-10 | 2004-06-14 | 基板原材的表面处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004139708A JP2005322779A (ja) | 2004-05-10 | 2004-05-10 | 基板材の表面処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005322779A true JP2005322779A (ja) | 2005-11-17 |
Family
ID=35350067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004139708A Pending JP2005322779A (ja) | 2004-05-10 | 2004-05-10 | 基板材の表面処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005322779A (ja) |
CN (1) | CN1697597A (ja) |
TW (1) | TW200536618A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005055731A1 (de) * | 2005-11-23 | 2007-05-24 | Volkswagen Ag | Tragrolle, Tragrollenanordnung und Transporteinrichtung |
CN101840156A (zh) * | 2009-03-19 | 2010-09-22 | 住友精密工业株式会社 | 基板处理装置 |
CN107333395A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-11-07 | 湖北华锐铝基板科技有限公司 | 一种铝基板清洁铺装生产线 |
KR102031743B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2019-10-15 | 비욘드솔루션 주식회사 | 기판 이송을 위한 브릿지 어셈블리 |
KR102031747B1 (ko) * | 2019-04-05 | 2019-10-15 | 비욘드솔루션 주식회사 | 기판 이송을 위한 가이드 핀 및 브릿지를 구비한 기판 이송 시스템 |
KR102041324B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2019-11-07 | 비욘드솔루션 주식회사 | 기판 이송을 위한 가이드 핀 |
JP2021190658A (ja) * | 2020-06-04 | 2021-12-13 | 株式会社ケミトロン | 基板処理装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102161261A (zh) * | 2010-12-18 | 2011-08-24 | 江苏锐毕利实业有限公司 | 挠性印刷电路板多工位喷印系统 |
CN105252818A (zh) * | 2015-09-15 | 2016-01-20 | 无锡鼎茂机械制造有限公司 | 制袋机用塑料薄膜导料机构 |
CN108495461B (zh) * | 2018-02-10 | 2019-10-25 | 嘉兴市上村电子有限公司 | 一种旋转平移顶出式的线路板热压机 |
CN109648999B (zh) * | 2018-12-13 | 2021-03-26 | 杭州国瑞印务有限公司 | 一种门票的印刷系统 |
CN112607300B (zh) * | 2020-12-22 | 2023-04-14 | 惠州市富丽电子有限公司 | 一种八字输送带分离错位收集设备 |
TWI776780B (zh) * | 2022-02-11 | 2022-09-01 | 金協鑫科技股份有限公司 | 表面處理設備 |
-
2004
- 2004-05-10 JP JP2004139708A patent/JP2005322779A/ja active Pending
- 2004-05-28 TW TW93115206A patent/TW200536618A/zh unknown
- 2004-06-14 CN CN 200410048251 patent/CN1697597A/zh active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005055731A1 (de) * | 2005-11-23 | 2007-05-24 | Volkswagen Ag | Tragrolle, Tragrollenanordnung und Transporteinrichtung |
DE102005055731B4 (de) * | 2005-11-23 | 2020-01-02 | Volkswagen Ag | Tragrollenanordnung und Transporteinrichtung |
CN101840156A (zh) * | 2009-03-19 | 2010-09-22 | 住友精密工业株式会社 | 基板处理装置 |
CN107333395A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-11-07 | 湖北华锐铝基板科技有限公司 | 一种铝基板清洁铺装生产线 |
CN107333395B (zh) * | 2017-08-17 | 2023-05-05 | 广东省华锐高新材料股份有限公司 | 一种铝基板清洁铺装生产线 |
KR102031743B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2019-10-15 | 비욘드솔루션 주식회사 | 기판 이송을 위한 브릿지 어셈블리 |
KR102041324B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2019-11-07 | 비욘드솔루션 주식회사 | 기판 이송을 위한 가이드 핀 |
KR102031747B1 (ko) * | 2019-04-05 | 2019-10-15 | 비욘드솔루션 주식회사 | 기판 이송을 위한 가이드 핀 및 브릿지를 구비한 기판 이송 시스템 |
JP2021190658A (ja) * | 2020-06-04 | 2021-12-13 | 株式会社ケミトロン | 基板処理装置 |
JP7056972B2 (ja) | 2020-06-04 | 2022-04-19 | 株式会社ケミトロン | 基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200536618A (en) | 2005-11-16 |
CN1697597A (zh) | 2005-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005322779A (ja) | 基板材の表面処理装置 | |
JP2008285323A (ja) | 基板材のコンベア | |
JP2008085119A (ja) | 薬液処理装置 | |
JP4015667B2 (ja) | メッキ基板のエッチング装置 | |
TWI327450B (en) | Conveyer for surface treatment | |
JP2006222117A (ja) | 基板材の搬送装置 | |
TWI301820B (en) | Conveyance device for thin substrate | |
TW556459B (en) | Substrate processing equipment | |
JP5166367B2 (ja) | 基板材の表面処理装置 | |
JP2005232494A (ja) | 基板材の表面処理装置 | |
JP3908242B2 (ja) | 基板材の搬送機構 | |
JP2004214490A (ja) | 洗浄装置 | |
JP3479636B2 (ja) | プリント配線基板材の搬送機構 | |
TW595285B (en) | The substrate treating device | |
JP3576467B2 (ja) | プリント配線基板材の搬送機構 | |
TWI229048B (en) | Transportation device for substrate materials | |
JP2007109987A (ja) | 基板のエッチング装置 | |
JP3398345B2 (ja) | 薬液噴射装置 | |
JP4890413B2 (ja) | 搬送用治具板 | |
TWI280216B (en) | An apparatus for transporting printed circuit board | |
JP2008126220A (ja) | 表面処理装置のコンベア | |
JP2008013270A (ja) | 軟性基板材の表面処理装置 | |
JP2920525B1 (ja) | 薄板材の液切り装置 | |
JP2004330085A (ja) | 基板材の薬液処理装置 | |
JP2009125675A (ja) | 基板材の表面処理用のスプレーユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060530 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061024 |