JP2006142238A - 密閉チャンバの湿度調整装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この発明は、外部と気密状に区画されたグローブボックス1の本体ボックス2と、この本体ボックス2に連通可能に設けられ、内部に吸着材を備えた充填塔23とこの吸着材を加熱するヒータ24を有する湿度調整装置20とを有し、本体ボックス2と充填塔23との間を置換ガスを循環させ、吸着材への水分の吸着又は放出により本体ボックス2内の湿度を調整する。
【選択図】 図2
Description
充填塔23内に充填した吸着材の温度を50℃〜100℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、204を開放し、その他のバルブ201、202、205、206、207は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度が中湿度まで上昇する。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を100℃〜200℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、206、207は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を150℃〜300℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、206、207は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
第2の充填塔25内に充填した吸着材の温度を50℃〜100℃程度まで、ヒータ26により加熱する。バルブ212、バルブ204を開放し、その他のバルブはすべて閉じておく。第2の充填塔25内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を中湿度まで上昇させる。
第2の充填塔25内に充填した吸着材の温度を100℃〜200℃程度まで、ヒータ26により加熱する。バルブ212、バルブ204を開放し、その他のバルブは閉じておく。充填塔25内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
第1の充填塔23内に充填した吸着材の温度を150℃〜300℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブは閉じておく。第1の充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分が熱交換機27からバルブ204を介して本体ボックス2に入り、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を50℃〜100℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、204を開放し、その他のバルブ201、202、205、220は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の中湿度まで上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を100℃〜200℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、220は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を150℃〜300℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、220は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
2 本体ボックス
21 排気口21
22 湿度調整用ガス供給パイプ
20 湿度調節装置
23 充填塔
24 ヒータ
200 コントローラ
201〜207 バルブ
210 送風機
211 真空ポンプ
Claims (5)
- 外部と気密状に区画された密閉チャンバと、このチャンバに連通可能に設けられ、内部に吸着材を備えるとともにこの吸着材を加熱する加熱装置を有する湿度調整装置とを有し、前記吸着材の温度を制御し、吸着材への水分の吸着又は放出により密閉チャンバ内の湿度を調整することを特徴とする密閉チャンバの湿度調整装置。
- 前記密閉チャンバと湿度調整装置との間で密閉チャンバ内の置換ガスを循環させて湿度調整を行うことを特徴とする請求項1に記載の密閉チャンバの湿度調整装置。
- 前記湿度調整装置は、吸着材を充填した充填塔と前記吸着材を加熱する加熱装置を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の密閉チャンバの湿度調整装置。
- 前記充填塔を2塔備え、低湿度調整用充填塔と高湿度調整用充填塔を区別したことを特徴とする請求項3に記載の密閉チャンバの湿度調整装置。
- 前記加湿調整装置と密閉チャンバとの間に熱交換機を設けたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の密閉チャンバの湿度調整装置。
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- 2004-11-22 JP JP2004337594A patent/JP4642440B2/ja active Active
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