JP4642440B2 - 密閉チャンバの湿度調整装置 - Google Patents
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Description
充填塔23内に充填した吸着材の温度を50℃〜100℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、204を開放し、その他のバルブ201、202、205、206、207は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度が中湿度まで上昇する。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を100℃〜200℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、206、207は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を150℃〜300℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、206、207は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
第2の充填塔25内に充填した吸着材の温度を50℃〜100℃程度まで、ヒータ26により加熱する。バルブ212、バルブ204を開放し、その他のバルブはすべて閉じておく。第2の充填塔25内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を中湿度まで上昇させる。
第2の充填塔25内に充填した吸着材の温度を100℃〜200℃程度まで、ヒータ26により加熱する。バルブ212、バルブ204を開放し、その他のバルブは閉じておく。充填塔25内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
第1の充填塔23内に充填した吸着材の温度を150℃〜300℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブは閉じておく。第1の充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分が熱交換機27からバルブ204を介して本体ボックス2に入り、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を50℃〜100℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、204を開放し、その他のバルブ201、202、205、220は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の中湿度まで上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を100℃〜200℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、220は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
充填塔23内に充填した吸着材の温度を150℃〜300℃程度まで、ヒータ24により加熱する。バルブ203、バルブ204を開放し、その他のバルブ201、202、205、220は閉じておく。充填塔23内の吸着材の温度が安定するまで待ち、期待する湿度へ対応する温度に調整する。このとき、送風機210は動作させず、雰囲気ガスは循環させない。吸着材を加熱することにより、吸着材から放出された水分により、本体ボックス2内の湿度を上昇させる。
2 本体ボックス
21 排気口21
22 湿度調整用ガス供給パイプ
20 湿度調節装置
23 充填塔
24 ヒータ
200 コントローラ
201〜207 バルブ
210 送風機
211 真空ポンプ
Claims (4)
- 外部と気密状に区画された密閉チャンバと、このチャンバに設けられた排気口と、前記チャンバに設けられた湿度調整用のガスを流入するための湿度調整用ガス供給パイプと、前記排気口と湿度調整用ガス供給パイプの間に設けられ、内部に吸着材を備えるとともにこの吸着材を加熱する加熱装置を有する湿度調整装置と、前記加熱装置を制御し前記吸着材の温度を制御するコントローラと、を有し、前記コントローラは、前記チャンバ内の水分を吸着する際には、前記吸着材で水分を吸着する温度に前記吸着材の温度を制御して、前記排気口からのガスの水分を前記吸着材で吸着させそのガスを前記湿度調整用ガス供給パイプから前記チャンバ内へ与えて湿度を調整し、前記チャンバ内へ水分を導入させる場合には、前記吸着材への温度を吸着材から水分を放出する温度に制御し、前記吸着材から放出された水分を前記湿度調整用ガス供給パイプから前記チャンバ内へ与えて前記チャンバ内の湿度を調整することを特徴とする密閉チャンバの湿度調整装置。
- 前記湿度調整装置は、吸着材を充填した充填塔と前記吸着材を加熱する加熱装置を備えることを特徴とする請求項1に記載の密閉チャンバの湿度調整装置。
- 前記充填塔を2塔備え、低湿度調整用充填塔と高湿度調整用充填塔を区別したことを特徴とする請求項2に記載の密閉チャンバの湿度調整装置。
- 前記湿度調整装置と前記湿度調整用ガス供給パイプとの間に熱交換機を設けたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の密閉チャンバの湿度調整装置。
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JP2004337594A JP4642440B2 (ja) | 2004-11-22 | 2004-11-22 | 密閉チャンバの湿度調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JPH07163831A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-06-27 | Toyo Living Kk | 密閉型キャビネットの乾燥装置 |
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2004
- 2004-11-22 JP JP2004337594A patent/JP4642440B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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