JP2006141081A - 圧電アクチュエータおよびこれを用いた光線掃引装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源1から発せられた光線2を掃引させる圧電アクチュエータ6を、支持体7と、一端がこの支持体7に支持された第1のアーム8と、この第1のアーム8の他端に支持されるとともに第1のアーム8の一端から他端に至る延出方向とは逆向きに延出された第2のアーム9と、第1のアーム8に圧電薄膜11からなる圧電駆動電極10を設けた構成としたのである。
【選択図】図2
Description
2 光線(レーザー光線)
4 光線掃引装置
5 ミラー
6 圧電アクチュエータ
7 支持体
8 第1のアーム
9 第2のアーム
10 圧電駆動電極
11 圧電薄膜
Claims (5)
- 支持体と、一端がこの支持体に支持された第1のアームと、この第1のアームの他端部分に支持されるとともに前記第1のアームの一端から他端に至る延出方向とは逆向きに延出された第2のアームとを備え、前記第1のアームに圧電薄膜からなる圧電駆動電極を設け、この圧電駆動電極の駆動周波数を前記第1のアームの自己共振周波数と前記第2のアームの自己共振周波数との間に設定したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 第1のアームにおける第2のアームの接続部分の厚みを前記第2のアームの厚みより大きくしたことを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 光源から発せられた光線をミラーに照射し、前記ミラーを駆動させることにより反射光線を掃引させる光線掃引装置において、前記ミラーを駆動させるアクチュエータは、支持体と、一端がこの支持体に支持された第1のアームと、この第1のアームの他端に支持されるとともに前記第1のアームの一端から他端に至る延出方向とは逆向きに延出された第2のアームと、前記第1のアームに設けられた圧電薄膜からなる圧電駆動電極とから形成し、この圧電駆動電極の駆動周波数を前記第1のアームの自己共振周波数と前記第2のアームの自己共振周波数との間に設定し、前記ミラーを前記第2のアームにおける他端側の表面に設けたことを特徴とする光線掃引装置。
- 第1のアームにおける第2のアームの接続部分の厚みを前記第2のアームの厚みより大きくしたことを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータ。
- 第2のアームにおいてミラーが設けられた領域の厚みを他の部分の厚みより大きくしたことを特徴とする請求項3に記載の圧電アクチュエータ。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008009435A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Harris Corp | 光ファイバ上に屈曲波を励起するアクチュエータ |
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