JP2006140249A - 積層型固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る積層型固体撮像装置は、第1の波長の光を検出する第1の光電変換部と第2の波長の光を検出する第2の光電変換部とが2次元状に配列された半導体基板と、該半導体基板の上に積層され、第3の波長の光を検出する光電変換膜とを備え、光電変換膜には画素毎に一定の間隔で配置された画素電極膜が接続され、第1の光電変換部及び前記第2の光電変換部が、半導体基板に対して垂直な方向から見たときに、画素電極膜同士の間にそれぞれ配置されている。
【選択図】 図2
Description
また、下記特許文献2,3では、積層型撮像素子において、CCD型やCMOS型の撮像素子上にアモルファスシリコンを積層して受光部の開口率を向上する構成が記載されている。
図1は、本発明に係る積層型固体撮像装置の第1の実施形態を示す平面図である。図1に示すように、積層型固体撮像装置10は、半導体基板1を備え、該半導体基板1の表面には、複数の青色光電変換部3と複数の赤色光電変換部4とが配列されている。青色光電変換部3は、青色の波長を受光して青色の信号電荷を蓄積する構成であり、赤色光電変換部4は、赤色の波長の光を受光して赤色の信号電荷を蓄積する構成である。本実施形態では、青色光電変換部3と赤色光電変換部4としては、フォトダイオードを使用する。本実施形態では、青色光電変換部3と赤色光電変換部4は、光の入射方向(図1を正面視した方向)に対して垂直となる、菱形の平面を有する。
積層型固体撮像装置10は、半導体基板1の上面部に、信号蓄積部2と、青色光電変換部3と、赤色光電変換部4とが形成されている。本実施形態では、半導体基板1をn型半導体とし、青色光電変換部3及び赤色光電変換部4を構成するフォトダイオードにpウェル層とn領域を形成した。
積層型固体撮像装置30は、青色光電変換部33と赤色光電変換部34とが2次元状に配列された半導体基板31と、該半導体基板31の上に積層され、緑色の波長の光を検出する光電変換膜41とを備えている。半導体基板31に設けられた青色光電変換部33、赤色光電変換部34、信号蓄積部32、画素電極膜42,縦型配線46、転送電極47及び遮光膜48の機能は、図1及び2に示した第1の実施形態と同様である。
図5は、本実施形態の積層型固体撮像装置の構成を説明する断面図である。本実施形態の積層型固体撮像装置の構成は、基本的に図1及び図2に示す第1の積層型固体撮像装置と同様の構成であり、以下、異なる構成について説明する。
例えば、図2に示す固体撮像装置10において、信号蓄積部2に光が入射することを防止するため画像電極膜12の縁部に半導体基板1側に向って延設されたフランジ状の遮光部を設けてもよい。または、半導体基板1及び垂直転送路6の表面全体に遮光層を形成することで、信号蓄積部2に光が入射することを防止する構成としてもよい。
2,32 信号蓄積部
3,33 青色光電変換部
4,34 赤色光電変換部
6,36 垂直転送路
7,37 水平転送路
10,30,50 積層型固体撮像装置
11,41 光電変換膜
12,42 画素電極膜
13,14,43,44 カラーフィルタ
51 マイクロレンズ
Claims (5)
- 第1の波長の光を検出する第1の光電変換部と第2の波長の光を検出する第2の光電変換部とが2次元状に配列された半導体基板と、該半導体基板の上に積層され、第3の波長の光を検出する光電変換膜とを備えた積層型固体撮像装置であって、
前記光電変換膜には画素毎に一定の間隔で配置された画素電極膜が接続され、前記第1の光電変換部及び前記第2の光電変換部が、前記半導体基板に対して垂直な方向から見たときに、前記画素電極膜同士の間にそれぞれ配置されていることを特徴とする積層型固体撮像装置。 - 前記光電変換膜が透過性の有機半導体であることを特徴とする請求項1に記載の積層型固体撮像装置。
- 前記光電変換膜が、緑色の波長を検出して光電荷を発生する構成であることを特徴とする請求項1又は2に記載の積層型固体撮像装置。
- 前記光電変換膜には電荷蓄積部が接続され、光の入射方向視において、前記電荷蓄積部の面積が、前記第1の光電変換部及び前記第2の光電変換部の各面積より小さいことを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の積層型固体撮像装置。
- 前記第1の光電変換部及び前記第2の光電変換部に入射する光を透過するカラーフィルタがそれぞれ設けられ、前記カラーフィルタの光入射側にマイクロレンズがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の積層型固体撮像装置。
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