JP2006136162A - 静電アクチュエータ及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 静電アクチュエータは、第1及び第2の基板が互いに対向する第1及び第2の固定子電極を備え、その間に第1及び第2の対向面を有する可動子が配置されている。第1及び第2移動モードにおいては、駆動回路からの信号電圧で可動子が第1及び第2の基板間で微動され、保持モードにおいては、可動子が第1及び第2の固定子電極の一方に保持された状態で、当該一方の固定子電極及び可動子の少なくとも一方が電気的にフローティングに維持されてそのままに保持される。
【選択図】 図1
Description
第1の固定子電極を備える第1の基板と、
前記第1の固定子電極に対向する第2の固定子電極を備える第2の基板と、
前記第1及び第2の固定子電極に夫々対向する第1及び第2の対向面を有する可動子と、
前記可動子を前記第1の基板に向けて移動させる第1移動モードで、前記第1の対向面及び第2の固定子電極に第1電位、前記第1の固定子電極に前記第1電位と異なる電位の第2電位を付与し、前記可動子を前記第2の基板に向けて移動させる第2移動モードで、前記第2の対向面及び第1の固定子電極に前記第1電位、前記第2の固定子電極に前記第2電位を付与し、前記可動子を前記第1及び第2の基板の一方の側に前記可動子を保持させる保持モードで、前記第1の固定子電極と前記第2の固定子電極と第1及び第2の対向面の少なくとも1つを電気的にフローティングに維持するための駆動回路と、
を具備することを特徴とする静電アクチュエータが提供される。
第1の固定子電極を備える第1の基板と、
前記第1の固定子電極に対向する第2の固定子電極を備える第2の基板と、
前記第1及び第2の固定子電極に夫々対向する第1及び第2の対向面を有する可動子と、
を具備する静電アクチュエータの駆動方法において、
前記第1の対向面及び第2の固定子電極に第1電位を付与し、前記第1の固定子電極に前記第1電位と異なる電位の第2電位を付与して前記可動子を前記第1の基板に向けて移動させ、
前記第2の対向面及び第1の固定子電極に前記第1電位を付与し、前記第2の固定子電極に前記第2電位を付与して前記可動子を前記第2の基板に向けて移動させ、
前記第1の固定子電極と前記第2の固定子電極と前記第1及び第2の対向面の少なくとも1つを電気的にフローティングに維持して前記可動子を保持させること、
を特徴とする静電アクチュエータの駆動方法が提供される。
Claims (10)
- 第1の固定子電極を備える第1の基板と、
前記第1の固定子電極に対向する第2の固定子電極を備える第2の基板と、
前記第1及び第2の固定子電極に夫々対向する第1及び第2の対向面を有する可動子と、
前記可動子を前記第1の基板に向けて移動させる第1移動モードで、前記第1の対向面及び第2の固定子電極に第1電位、前記第1の固定子電極に前記第1電位と異なる電位の第2電位を付与し、前記可動子を前記第2の基板に向けて移動させる第2移動モードで、前記第2の対向面及び第1の固定子電極に前記第1電位、前記第2の固定子電極に前記第2電位を付与し、前記可動子を前記第1及び第2の基板の一方の側に前記可動子を保持させる保持モードで、前記第1の固定子電極と前記第2の固定子電極と第1及び第2の対向面の少なくとも1つを電気的にフローティングに維持するための駆動回路と、
を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記可動子は、前記第1及び第2の対向面に夫々第1及び第2の可動子電極を備えることを特徴とする第1項に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第1及び第2の固定子は、前記第1及び第2の固定子電極を夫々被覆する第1及び第2の誘電体膜を有することを特徴とする第1項に記載の静電アクチュエータ。
- 前記駆動回路は、供給される制御信号に応じて前記保持モードを設定して前記可動子を保持することを特徴とする第1項に記載の静電アクチュエータ。
- 前記駆動回路は、前記保持モードにおいて、周期的に前記第1及び第2の固定子電極の少なくとも一方と、前記第1及び第2の対向面の少なくとも一方との間に電圧を印加して電荷を充電することを特徴とする第1項に記載の静電アクチュエータ。
- 前記可動子は、前記第1の基板と前記第2の基板との間に所定方向に移動可能に配置され、前記第2の固定子電極は、前記第2の基板上に前記所定方向に沿って配列されている複数のセグメント電極から構成され、前記駆動回路は、前記可動子を前記所定方向に移動させるシフトモードにおいて、前記セグメント電極に選択的に前記第1及び第2電位を付与することを特徴とする第1項に記載の静電アクチュエータ。
- 第1の固定子電極を備える第1の基板と、
前記第1の固定子電極に対向する第2の固定子電極を備える第2の基板と、
前記第1及び第2の固定子電極に夫々対向する第1及び第2の対向面を有する可動子と、
を具備する静電アクチュエータの駆動方法において、
前記第1の対向面及び第2の固定子電極に第1電位を付与し、前記第1の固定子電極に前記第1電位と異なる電位の第2電位を付与して前記可動子を前記第1の基板に向けて移動させ、
前記第2の対向面及び第1の固定子電極に前記第1電位を付与し、前記第2の固定子電極に前記第2電位を付与して前記可動子を前記第2の基板に向けて移動させ、
前記第1の固定子電極と前記第2の固定子電極と前記第1及び第2の対向面の少なくとも1つを電気的にフローティングに維持して前記可動子を保持させること、
を特徴とする静電アクチュエータの駆動方法。 - 前記駆動回路は、供給される制御信号に応じて前記可動子を保持することを特徴とする第7項に記載の静電アクチュエータの駆動方法。
- 前記駆動回路は、前記可動子を保持する際に、周期的に前記第1及び第2の固定子電極の少なくとも一方と前記第1及び第2の対向面の少なくとも一方との間に電圧を印加して電荷を充電することを特徴とする第7項に記載の静電アクチュエータの駆動方法。
- 前記可動子は、前記第1の基板と前記第2の基板との間に所定方向に移動可能に配置され、前記第2の固定子電極は、前記第2の基板上に前記所定方向に沿って配列されている複数のセグメント電極から構成され、前記駆動回路は、前記セグメント電極に選択的に前記第1及び第2電位を付与して前記可動子を前記所定方向に移動させることを特徴とする第7項に記載の静電アクチュエータの駆動方法。
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