JP2006135316A - 半導体ウエハの処理方法及びシステム並びに半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
半導体ウエハの処理方法及びシステム並びに半導体デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006135316A JP2006135316A JP2005308116A JP2005308116A JP2006135316A JP 2006135316 A JP2006135316 A JP 2006135316A JP 2005308116 A JP2005308116 A JP 2005308116A JP 2005308116 A JP2005308116 A JP 2005308116A JP 2006135316 A JP2006135316 A JP 2006135316A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- substrate
- wafer
- light
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/28008—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes
- H01L21/28017—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes the insulator being formed after the semiconductor body, the semiconductor being silicon
- H01L21/28158—Making the insulator
- H01L21/28167—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation
- H01L21/28185—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation with a treatment, e.g. annealing, after the formation of the gate insulator and before the formation of the definitive gate conductor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02164—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon oxide, e.g. SiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02345—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to radiation, e.g. visible light
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02345—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to radiation, e.g. visible light
- H01L21/02348—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to radiation, e.g. visible light treatment by exposure to UV light
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/06—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising selenium or tellurium in uncombined form other than as impurities in semiconductor bodies of other materials
- H01L21/08—Preparation of the foundation plate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/28008—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes
- H01L21/28017—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes the insulator being formed after the semiconductor body, the semiconductor being silicon
- H01L21/28158—Making the insulator
- H01L21/28167—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation
- H01L21/28194—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation by deposition, e.g. evaporation, ALD, CVD, sputtering, laser deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/28008—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes
- H01L21/28017—Making conductor-insulator-semiconductor electrodes the insulator being formed after the semiconductor body, the semiconductor being silicon
- H01L21/28158—Making the insulator
- H01L21/28167—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation
- H01L21/28211—Making the insulator on single crystalline silicon, e.g. using a liquid, i.e. chemical oxidation in a gaseous ambient using an oxygen or a water vapour, e.g. RTO, possibly through a layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/316—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass
- H01L21/31604—Deposition from a gas or vapour
- H01L21/31608—Deposition of SiO2
- H01L21/31612—Deposition of SiO2 on a silicon body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/316—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass
- H01L21/3165—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass formed by oxidation
- H01L21/31654—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass formed by oxidation of semiconductor materials, e.g. the body itself
- H01L21/31658—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass formed by oxidation of semiconductor materials, e.g. the body itself by thermal oxidation, e.g. of SiGe
- H01L21/31662—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass formed by oxidation of semiconductor materials, e.g. the body itself by thermal oxidation, e.g. of SiGe of silicon in uncombined form
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
Abstract
【課題】皮膜の品質を向上させた薄いゲート酸化皮膜のような絶縁皮膜或いは酸化皮膜が形成可能な半導体ウエハの処理方法を提供する。
【解決手段】酸化皮膜をプロセスチャンバ204内にて形成するために、ウエハ210を加熱するための熱源214に加えて、光源216により紫外線光等のような光のエネルギをウエハ210に照射することにより、皮膜の品質を向上させる。
【選択図】図2
【解決手段】酸化皮膜をプロセスチャンバ204内にて形成するために、ウエハ210を加熱するための熱源214に加えて、光源216により紫外線光等のような光のエネルギをウエハ210に照射することにより、皮膜の品質を向上させる。
【選択図】図2
Description
本発明は、一般に、半導体製造方法に関し、特に処理中に絶縁皮膜を処理する方法に関する。
一般に、半導体デバイスは、最初に、Si、Ge及びGaAs等のバルク材料を、半導体基板或いはウエハとして提供することにより製造される。次に、処理チャンバ或いは反応チャンバ内にて、ドーパントを基板内に導入し、p-型或いはn-型領域を形成する。ドーパントは、熱拡散或いはイオン注入法により導入することができる。後者の方法では、注入されたイオンが、最初は格子間不純物として導入されるが、ドープされた領域が、ドーナ或いはアクセプタとして電気的に活性状態となるためには、格子内の置換型不純物として導入されなければならない。このような活性化処理は、バルクウエハを、600℃から1300℃の範囲で加熱することにより達成される。例えば、シリコンウエハを用いた場合、酸化シリコン等の絶縁皮膜が、電気的な界面を提供するように、成長或いは被着される。最後に、アルミニウムのような金属皮膜が、蒸着或いはスパッタリングにより被着される。
例えば、ゲートの絶縁に用いられる、このような薄い酸化物皮膜或いは絶縁皮膜の質は、半導体デバイスの製造技術に於いて、益々重要となってきている。電気的に消去可能なプログラマブルROM(EEPROM)、DRAM、或いはより最近の高速ロジックデバイス等のような、広範囲な商用デバイスは、高品質の極めて薄い酸化物皮膜を再現性良く製造し得る能力に強く依存する。このようなデバイスに於いては、速度及び寿命の点で、満足できる性能を発揮するためには、高品質の絶縁皮膜が必要とされている。
現在のゲート絶縁皮膜は、将来のデバイスに於ける必要を必ずしも満足するものとはなっていない。従来のゲート絶縁皮膜の多くは、熱酸化により形成された純粋な酸化シリコン(SiO2)からなる。熱成長により形成された酸化シリコンに、高温被着された酸化シリコンを組み合わせたものもある。
半導体デバイスが小型化し、その構造の密度が高まるにつれて、ゲート酸化皮膜は、15Åから20Åのオーダの厚さにまで、一層薄いものが求められる。しかしながら、酸化皮膜が薄くなるに従って、特に、低品質の酸化皮膜の場合には、トンネル効果により電流のリークが問題となる。現在の酸化皮膜成長技術では、このような極めて薄い酸化物皮膜を可能とするような高い品質を確保することができない。一般に、酸化物皮膜の品質を向上する1つの方法としては、酸化皮膜を成長させるための温度或いは熱エネルギを高めることがある。その場合問題となるのは、温度を高めるに従って、他のドーパントも拡散することであり、それにより半導体デバイスの特性が悪影響を受ける。その反面、既に比較的低くされた熱エネルギを更に低めると、堆積特性或いは拡散特性が劣化する等の理由により、熱成長した酸化皮膜の特性が劣化する。このように、従来の熱処理では、一定した高品質を及び厚さを有するような酸化皮膜を形成することが困難であった。
純粋な酸化シリコン(SiO2)は、形成されたときには集積特性が不十分であり、固有の物理的及び電気的な特性には限界があることから、薄い或いは極めて薄い酸化皮膜或いは絶縁皮膜を必要とするデバイスには適していない。また、SiO2は、薄い皮膜として形成されたときには、均一にかつ欠陥なく形成され難いという問題もある。更に、後段VLSI処理では、既に脆弱な集積特性を有する薄いSiO2の劣化が継続して引き起こされる。しかも、純粋な酸化シリコンの皮膜は、界面形成及び電荷のトラッピングなどにより注入される電荷に暴露されると、劣化する傾向を有する。従って、薄い純粋なSiO2の皮膜は、将来のデバイスに於いて求められるような薄い皮膜としては、不十分である。
トンネル酸化皮膜では、酸化物内で電荷がトラッピングされることにより、降伏が引き起こされ、酸化皮膜に加わる電界が上昇し、やがて酸化皮膜が印加された電圧に耐えられなくなる。高品質の酸化皮膜は、それよりも時間当たりにトラッピングされる電荷の数が少ないことから、それだけ降伏に至るまでの時間が長くなる。従って、高品質の酸化皮膜が望まれる。
更に、一般に、酸化皮膜はアモルファスであって、酸化物の原子の近いもの同士では同様の構造を有するが、互いに距離が離れるに従って、構造の状態が予測不能となるように、弱い周期性を有する。酸化皮膜はまた、相手の欠落したペアやダングリングボンドを有する場合がある。イオンや電荷が存在すると、ダングリングボンドの存在が問題となり、デバイス間の性能に大きなばらつきができる。
このように、ダングリングボンドは、不活性とされるのが望ましい。その方法の1つとしては、ダングリングボンドを有する皮膜を水素に暴露することである。化学反応により、ダングリングボンドが不活性となる。しかしながら、この反応には高いエネルギが必要であり、そのためには、温度或いは熱エネルギを高めることが必要となる。高温下では酸化物が成長し、薄い筈の酸化皮膜の厚さを増大させてしまうという問題が引き起こされる。
このように、上記したような従来の技術の問題を克服するような、薄い酸化皮膜を形成することのできる方法が望まれている。
本発明のある側面によれば、紫外線光等のような光のエネルギが、絶縁皮膜或いは酸化皮膜を形成する間に及び又はそのような皮膜形成過程の前後に、皮膜に照射される。光源から提供される追加のエネルギは、プロセス温度が低いにも関わらず、高品質の皮膜を形成可能とする。
本発明の或る実施例では、150nmから1μmの範囲の波長を有する光源により、0.1msから3600sの範囲の時間に渡って、0℃から1300℃の範囲の温度及び0.001mTorrから1000Torrの範囲の圧力に於いて、約1Åから1000Åの厚さを有する薄い酸化皮膜を形成するために、プロセスチャンバ内の半導体ウエハに対して、光エネルギが照射される。照射過程は、従来の薄膜形成過程と同時に、或いはその後に、その場で或いは別のチャンバで実行される。照射過程に関連して用いられるプロセスガスとしては、限定的ではないが、空気、O2、N2、HCl、NH3、N2H4或いはH2O等がある。
本発明の或る実施例では、プロセスチャンバは、ウエハの上方に設けられたグリッドランプや、複数のランプ等からなる光源を有する。光源は、チャンバ上部の反射器とウエハとの間に配置される。光源は、ハロゲンランプ、水銀ランプ、キセノンランプ、アルゴンランプ、クリプトンランプ或いはカドミウムランプからなり、単一の連続的なランプでも、ランプ群からなるものであっても良い。或る実施例では、ウエハと光源との間には、ウィンドウが配置され、このウィンドウは、フィルタ作用を伴うものであっても、フィルタ作用を伴わないものであっても良い。プロセスガスがプロセスチャンバ内に導入される間に、サセプタ或いはホットプレートのような制御可能な熱源により、ウエハが加熱される。移送機構により、ウエハを、チャンバから出し入れしたり、チャンバ内で移動させることができる。プロセスチャンバ内の圧力は、約0.001mTorrから1000Torrの範囲で調節することができる。少なくとも1つガス出口/入口ポートにより、プロセスガスをチャンバに導入し、或いはチャンバから排出することができる。プロセスチャンバは、シングルウエハプロセスチャンバでも、ウエハバッチプロセスチャンバであっても良い。
熱エネルギと共に紫外線光を用いることにより、約100nm以下の薄い皮膜として、絶縁皮膜或いは酸化皮膜を、高い品質レベルを確保しつつ形成することができる。低い温度が用いられることにより、好ましくない拡散による影響、電荷トラッピング或いはダングリングボンドを減少させることにより、酸化物の品質を向上させることができる。皮膜の電気的特性も向上する。シリコン−二酸化シリコン界面のような相手の欠落したペアの結合の数が大幅に低減される。本発明の更に別の利点としては、状態の好ましくない電気トラップ/ミッドギャップ密度の低減、好ましくないSi−OH結合の低減、皮膜内のH2Oの低減等がある。
図1は、絶縁皮膜を形成するための本発明に基づく方法の実施例を示すフロー図である。ステップ100では、半導体ウエハが処理チャンバ内に投入される。ウエハは、それに形成される皮膜に応じたものであれば、処理過程の様々な段階のものが混在しているものであっても良い。ステップ102では、処理チャンバ内に1つ又は複数のプロセスガスを導入することにより、ゲート酸化皮膜のような絶縁皮膜或いは酸化皮膜が形成される。プロセスガスは、ウエハ上に絶縁皮膜或いは酸化皮膜を形成するために用いられる。この形成プロセスは、化学蒸着(CVD)、物理蒸着(PVD)又は液体材料を用いたスピンコーティングによる酸化皮膜の成長又は被着からなる。適切なプロセスガスとしては、空気、O2、N2、HCl、NH3或いはH2Oがある。チャンバ内の圧力及び温度は、プロセス及びシステムパラメータに応じて選択される。例えば、圧力は、0.001mTorrから1000Torrの範囲であって良く、温度は、0℃から1300℃の範囲であって良い。或る実施例では、温度は800℃以下であって良い。酸化皮膜の成長或いは被着プロセスは良く知られていることから、特定のプロセスパラメータについての記載を省略する。当業者であれば、皮膜の特定の特性に応じて、適切なプロセスパラメータを選択することができる。本発明の重要な特徴の1つは、薄い絶縁皮膜を形成する間に、皮膜の品質を高めるために温度をそれ程高める必要がないことである。
ステップ104では、ウエハに、光又はフォトンエネルギを照射する。或る実施例では、酸化皮膜を形成する間に、照射過程が実行される。別の実施例では、酸化皮膜を形成した後に、例えば、酸化皮膜を形成サイクルの間の硬化処理(curing)の際に、照射過程が実行される。このように、光源は、皮膜を形成する様々な過程に際して、様々な持続時間をもって点滅される。例えば、光源は、皮膜を形成する過程の最初から、皮膜を形成する過程の終了まで、連続的に点灯されたり、或いは、その間の1つ又は複数の時間に於いて点灯される。
更に、或る実施例では、ステップ104に於ける照射過程が、その場(同一のチャンバ内)で実行される。別の実施例では、照射過程が、ウエハを、皮膜被着用のチャンバから、同一の装置内の或いは別の装置内の別のチャンバに移送した後に行われるプロセスとして、別のチャンバ内で実行される。或る実施例では、光の波長は、可視領域及び紫外線(UV)領域に位置する150nmから1μmの範囲である。特に、紫外線は、3eV以上の比較的高いエネルギを有する。ステップ102及びステップ104に於いて絶縁皮膜が形成された後、当該半導体デバイスを製造するための必要に応じて、ステップ106に於いて処理過程が継続される。
図2は、本発明の好適実施例に基づく、プロセスリアクタ200の単純化された断面図である。プロセスリアクタ200は、アルミニウム等の金属からなり、ロードロックチャンバ等からなるプロセスチャンバ204を外囲するシェル202を含む。プロセスチャンバ204は、石英、シリコンカーバイド、Al2O3等の適切な材料からなるプロセス管をなすものであって良い。プロセスを実行するためには、プロセスチャンバ204は加圧可能であることを要する。通常、プロセスチャンバ204は、約0.001mTorrから1000Torrの範囲、好ましくは約0.1Torrから760Torrの範囲の内圧に耐え得るものであることを要する。プロセスチャンバ204の開口206は、ゲートバルブ208により閉じることができる。ゲートバルブ208は、例えば、ウエハの処理の間に、開口206を閉じ、ウエハをチャンバ204から出し入れする際には、開口206が閉じられる。ウエハ210を、例えばウエハカセットとチャンバ204との間で受け渡すために、ロボットアセンブリ或いは他の形式のアセンブリを用いることができる。
プロセスチャンバ204内には、処理の間にウエハ210を支持するためのウエハサポート212が配置されている。ウエハサポート212は、固定されているものでも、ウエハ210を、プロセスチャンバ204内で上下させたり、回転させたりするために可動にされたものでも良い。ウエハサポート212は、図示されているように、板状のものでも、或いは個別の隔離部材等、別の形式の支持体からなるものであって良い。プロセスチャンバ204内には、更に熱源214が、例えばウエハ210の下側に配置されている。熱源214は、サセプタ、ホットプレート或いはランプ等の任意の形式のものであって良い。ランプが用いられた場合には、単一のランプでも、その上方のウエハを均一に加熱し得るように、ウエハから或いは互いに間隔をおいて配置された複数のランプからなるアレイでも良い。
上記したように、処理の間に、ウエハに対して紫外線エネルギ等の光エネルギを照射するために、ウエハ210の上方に、光源216が配置されている。光源216は、単一の連続的なランプでも、ランプ群からなるものであっても良い。適切なランプの種類としては、ハロゲンランプ、水銀ランプ、キセノンランプ、アルゴンランプ、クリプトンランプ或いはカドミウムランプなどがある。光源の選択は、所望の光エネルギの種類或いは量を含む様々なファクタに基づいてなされる。例えば、タングステンハロゲンランプは、可視光及び紫外線を提供するために選択される。低圧、中圧或いは高圧水銀ランプは、様々な強度比のスペクトル線を提供する。ランプの起動及び動作は、任意の公知の方法により行うことができる。
光の波長或いは周波数は、プロセス及び形成される皮膜の種類などのファクタに基づいて調整される。或る実施例では、光の波長は、150nmから1μmの範囲から選択される。ウエハ210に入射される光の量を最大化するために、光源216の上方に反射器218を配置し、ウエハ210に向けて光を反射させている。反射器218を、光源216の外周に配置することもできる。別の実施例では、反射器218は、鏡、コーティングされたプロセスチャンバ204の内面或いはそれらの組み合わせからなる別体の反射器からなる。所望に応じて、フィルタを介して或いはフィルタを介することなく、処理過程の間にウエハ210に向けて光の透過を許容するウィンドウ220が、光源216とウエハ210との間に設けられる。従って、ウィンドウ220は、石英やZnSeからなる、フィルタ作用を伴う或いはフィルタ作用を伴わないウィンドウからなる。
本発明は、様々なプロセスチャンバ及びプロセスを用いて実施することができる。例えば、プロセスチャンバは、急速熱処理のためのシングルウエハチャンバであっても、或いは複数ウエハチャンバであっても良い。処理の種類も、熱アニール、ドーパント拡散、熱酸化、窒化、化学蒸着等様々であって良く、このような薄い絶縁皮膜を形成する過程の間に、光エネルギを照射することにより、形成される皮膜の品質を向上させる。
光エネルギを用いることの1つの利点は、サセプタ或いはホットプレートのような熱エネルギに比較して、エネルギレベルが高いことである。熱エネルギは効率が低いことから、電子エネルギに変換されたときに、そのエネルギレベルが低い。それに対して、可視光スペクトルの光エネルギは1eV以上のエネルギレベルに対応し、紫外線光スペクトルの光エネルギは3eV以上のエネルギレベルに対応する。このように、熱エネルギに加えて、光の形式をなす高エネルギが処理の間にウエハに提供される。光は、酸化皮膜或いは絶縁皮膜を成長させないが、そのような皮膜の品質を向上させる。それ以外の利点としては、電荷のトラッピングを抑制し、ダングリングボンドを減少させ或いは回避し、製造されたデバイスの特性を改善できることがある。
上記したような本発明の実施例は、単なる例示であって、本発明を何ら限定するものではない。例えば、上記した説明は、酸化皮膜或いは絶縁皮膜に関するものであったが、半導体の処理間に形成される他の種類の皮膜についても、本発明に基づいて光を照射することにより、有益な結果を得ることができる。このように、当業者であれば、本発明の広い概念から逸脱することなく、様々な変形変更を加えることができる。従って、添付の請求の範囲は、本発明の真の技術範囲内の様々な変形変更を包含するものである。
200 プロセスリアクタ 202 シェル
204 プロセスチャンバ 206 開口
208 ゲートバルブ 210 ウエハ
212 ウエハサポート 214 熱源
216 光源 218 反射器
220 ウィンドウ
204 プロセスチャンバ 206 開口
208 ゲートバルブ 210 ウエハ
212 ウエハサポート 214 熱源
216 光源 218 反射器
220 ウィンドウ
Claims (33)
- 半導体ウエハの処理方法であって、
プロセスチャンバ内に半導体基板を配置する過程と、
前記プロセスチャンバ内にプロセスガスを導入する過程と、
前記基板上に絶縁皮膜を形成する間に前記基板を加熱する過程と、
前記絶縁皮膜の質を向上するために前記基板に光を照射する過程とを有することを特徴とする半導体ウエハの処理方法。 - 前記絶縁皮膜が酸化皮膜からなることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記酸化皮膜が約1Åから1000Åの厚さを有する薄い酸化皮膜からなることを特徴とする請求項2に記載の処理方法。
- 前記光照射過程が、前記基板の上方に配置された光源により行われることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記光が、紫外線光からなることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記加熱過程が熱加熱からなることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記プロセスチャンバ内に第2の半導体基板を配置する過程と、
前記第2の基板上に絶縁皮膜を形成する間に前記第2の基板に光を照射する過程とを更に有することを特徴とする請求項1に記載の処理方法。 - 前記加熱過程により、前記絶縁皮膜が成長することを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記光照射過程が、前記絶縁皮膜を形成する間に行われることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記光照射過程が、前記絶縁皮膜を形成した後に行われることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記絶縁皮膜を形成した後であって、前記光照射過程を行う前に、前記基板を第2のプロセスチャンバ内に移送する過程を有することを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- 前記加熱過程及び前記光照射過程が、その場(in situ)で行われることを特徴とする請求項1に記載の処理方法。
- プロセスチャンバ内にて半導体デバイスを製造するための方法であって、
前記プロセスチャンバ内に半導体基板を配置する過程と、
前記基板上に絶縁皮膜を形成する過程と、
前記絶縁皮膜の質を向上するために前記基板に光を照射する過程とを有することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 前記絶縁皮膜が酸化皮膜からなることを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記酸化皮膜が約1Åから10000Åの厚さを有する薄い酸化皮膜からなることを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記光照射過程が、前記基板の上方に配置された光源により行われることを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記光が、150nmから1μmの範囲の波長を有することを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記絶縁皮膜形成過程が、前記基板を加熱し、少なくとも1つのプロセスガスを前記プロセスチャンバ内に導入する過程を含むことを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記加熱過程が熱加熱からなることを特徴とする請求項18に記載の製造方法。
- 前記加熱過程により、前記絶縁皮膜が成長することを特徴とする請求項18に記載の製造方法。
- 前記光照射過程が、前記絶縁皮膜を形成する間に行われることを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記光照射過程が、前記絶縁皮膜を形成した後に行われることを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記絶縁皮膜を形成した後であって、前記光照射過程を行う前に、前記基板を第2のプロセスチャンバ内に移送する過程を有することを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記加熱過程及び前記光照射過程が、その場(in situ)で行われることを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 半導体ウエハの処理システムであって、
プロセスチャンバと、
前記プロセスチャンバ内にプロセスガスを導入するように構成されたガス配給システムと、
処理される間の前記ウエハを支持するためのウエハサポートと、
前記ウエハの下方に配置された加熱要素と、
前記ウエハの上方に配置された照射光源とを有することを特徴とする処理システム。 - 前記基板上に絶縁皮膜を形成するように前記プロセスガスを選択することを特徴とする請求項25に記載の処理システム。
- 前記光源が、ハロゲンランプ、水銀ランプ、キセノンランプ、アルゴンランプ、クリプトンランプ或いはカドミウムランプからなる群から選択されることを特徴とする請求項25に記載の処理システム。
- 前記光源が、複数のランプを含むことを特徴とする請求項25に記載の処理システム。
- 前記加熱要素が、熱加熱要素からなることを特徴とする請求項25に記載の処理システム。
- 前記ウエハと前記光源との間に配置されたウィンドウを更に有することを特徴とする請求項25に記載の処理システム。
- 前記ウィンドウがフィルタ作用を伴うウィンドウからなることを特徴とする請求項30に記載の処理システム。
- 前記光源の上方に配置された反射器を更に有することを特徴とする請求項25に記載の処理システム。
- 前記光源及び前記加熱要素が、いずれも前記ウエハ上に前記絶縁皮膜を形成する間に作動可能にされていることを特徴とする請求項25に記載の処理システム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/982,045 US20060099827A1 (en) | 2004-11-05 | 2004-11-05 | Photo-enhanced UV treatment of dielectric films |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006135316A true JP2006135316A (ja) | 2006-05-25 |
Family
ID=36217429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005308116A Pending JP2006135316A (ja) | 2004-11-05 | 2005-10-24 | 半導体ウエハの処理方法及びシステム並びに半導体デバイスの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060099827A1 (ja) |
JP (1) | JP2006135316A (ja) |
KR (1) | KR20060052438A (ja) |
DE (1) | DE102005052719A1 (ja) |
NL (1) | NL1030341C2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070026690A1 (en) * | 2004-11-05 | 2007-02-01 | Yoo Woo S | Selective frequency UV heating of films |
US20080132045A1 (en) * | 2004-11-05 | 2008-06-05 | Woo Sik Yoo | Laser-based photo-enhanced treatment of dielectric, semiconductor and conductive films |
KR101782874B1 (ko) * | 2012-10-09 | 2017-09-28 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인덱싱된 인라인 기판 처리 툴 |
KR102653233B1 (ko) * | 2016-10-25 | 2024-03-29 | 삼성전자주식회사 | 증착 장치 및 이를 이용한 비휘발성 메모리 장치의 제조 방법 |
US10026620B1 (en) * | 2017-06-22 | 2018-07-17 | National Applied Research Laboratories | Method of irradiating ultraviolet light on silicon substrate surface for improving quality of native oxide layer and apparatus using the same |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5814644B2 (ja) * | 1975-05-14 | 1983-03-22 | 松下電器産業株式会社 | ヒカリデンソウロノセイゾウホウホウ |
US4548688A (en) * | 1983-05-23 | 1985-10-22 | Fusion Semiconductor Systems | Hardening of photoresist |
US4880493A (en) * | 1988-06-16 | 1989-11-14 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Electronic-carrier-controlled photochemical etching process in semiconductor device fabrication |
US5122440A (en) * | 1988-09-06 | 1992-06-16 | Chien Chung Ping | Ultraviolet curing of photosensitive polyimides |
GB2250751B (en) * | 1990-08-24 | 1995-04-12 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Process for the production of dielectric thin films |
EP0600303B1 (en) * | 1992-12-01 | 2002-02-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for fabrication of dielectric thin film |
GB2279659B (en) * | 1993-07-05 | 1998-04-22 | Merck Patent Gmbh | Liquid crystalline material |
EP0728125B1 (de) * | 1993-11-11 | 1999-02-24 | Grabbe, Klaus, Dr. | Verfahren und vorrichtung zur biologischen behandlung von stoffen und/oder stoffgemengen in geschlossenen rottereaktoren |
US6607991B1 (en) * | 1995-05-08 | 2003-08-19 | Electron Vision Corporation | Method for curing spin-on dielectric films utilizing electron beam radiation |
JPH0982696A (ja) * | 1995-09-18 | 1997-03-28 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
US5846375A (en) * | 1996-09-26 | 1998-12-08 | Micron Technology, Inc. | Area specific temperature control for electrode plates and chucks used in semiconductor processing equipment |
US5711987A (en) * | 1996-10-04 | 1998-01-27 | Dow Corning Corporation | Electronic coatings |
US6090723A (en) * | 1997-02-10 | 2000-07-18 | Micron Technology, Inc. | Conditioning of dielectric materials |
US6284050B1 (en) * | 1998-05-18 | 2001-09-04 | Novellus Systems, Inc. | UV exposure for improving properties and adhesion of dielectric polymer films formed by chemical vapor deposition |
JP3417866B2 (ja) * | 1999-03-11 | 2003-06-16 | 株式会社東芝 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4470274B2 (ja) * | 2000-04-26 | 2010-06-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
EP1326271A4 (en) * | 2000-09-18 | 2005-08-24 | Tokyo Electron Ltd | METHOD FOR FILMING A GATE INSULATOR, DEVICE FOR FILMING A GATE INSULATOR AND A CLUSTER TOOL |
US7022530B2 (en) * | 2001-04-03 | 2006-04-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device and method for fabricating the same |
US20030179981A1 (en) * | 2002-03-22 | 2003-09-25 | Lnl Technologies,Inc. | Tunable inorganic dielectric microresonators |
US6743721B2 (en) * | 2002-06-10 | 2004-06-01 | United Microelectronics Corp. | Method and system for making cobalt silicide |
AU2003279020A1 (en) * | 2002-09-26 | 2004-04-19 | Rensselaer Polytechnic Institute | Analytical instruments for monitoring photopolymerization |
JP2004193368A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 |
JP2004311827A (ja) * | 2003-04-09 | 2004-11-04 | Seiko Epson Corp | 絶縁膜の形成方法、トランジスタの製造方法、電気光学装置、集積回路、並びに電子機器 |
JP3910603B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2007-04-25 | 株式会社東芝 | 熱処理装置、熱処理方法及び半導体装置の製造方法 |
US7622378B2 (en) * | 2005-11-09 | 2009-11-24 | Tokyo Electron Limited | Multi-step system and method for curing a dielectric film |
-
2004
- 2004-11-05 US US10/982,045 patent/US20060099827A1/en not_active Abandoned
-
2005
- 2005-10-24 JP JP2005308116A patent/JP2006135316A/ja active Pending
- 2005-11-03 KR KR1020050104855A patent/KR20060052438A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-11-03 NL NL1030341A patent/NL1030341C2/nl not_active IP Right Cessation
- 2005-11-04 DE DE102005052719A patent/DE102005052719A1/de not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060099827A1 (en) | 2006-05-11 |
NL1030341A1 (nl) | 2006-05-09 |
DE102005052719A1 (de) | 2006-05-11 |
KR20060052438A (ko) | 2006-05-19 |
NL1030341C2 (nl) | 2008-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI553734B (zh) | 用於半導體元件之低溫氧化的方法 | |
US6190973B1 (en) | Method of fabricating a high quality thin oxide | |
US9431237B2 (en) | Post treatment methods for oxide layers on semiconductor devices | |
US8546271B2 (en) | Method of improving oxide growth rate of selective oxidation processes | |
US6897149B2 (en) | Method of producing electronic device material | |
US6191011B1 (en) | Selective hemispherical grain silicon deposition | |
US6784103B1 (en) | Method of formation of nanocrystals on a semiconductor structure | |
JP5015134B2 (ja) | 基板から酸化物を除去する方法 | |
US8043981B2 (en) | Dual frequency low temperature oxidation of a semiconductor device | |
US7871940B2 (en) | Apparatus and process for producing thin films and devices | |
JP2004523134A (ja) | 誘電体膜の形成方法 | |
JP3914362B2 (ja) | タンタル酸化膜を備えたキャパシタ製造方法 | |
US20020172756A1 (en) | Method for selectively oxidizing a silicon/metal composite film stack | |
TW202027198A (zh) | 用於形成過渡金屬材料的群集處理系統 | |
JP2006135316A (ja) | 半導体ウエハの処理方法及びシステム並びに半導体デバイスの製造方法 | |
KR20200024360A (ko) | 저-k 막들의 증착을 위한 방법들 및 장치 | |
WO2010088348A2 (en) | Methods for forming conformal oxide layers on semiconductor devices | |
US20080132045A1 (en) | Laser-based photo-enhanced treatment of dielectric, semiconductor and conductive films | |
TW569345B (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
US20070026690A1 (en) | Selective frequency UV heating of films | |
JP2006216774A (ja) | 絶縁膜の成膜方法 | |
JPH0472626A (ja) | 窒化膜の形成方法 | |
JPH05144742A (ja) | 薄膜形成方法 |