JP2006135292A - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の例に関わる磁化状態のスイッチングメカニズムは、互いに交差する第1及び第2書き込み線WWLi,WBLjの交差部に配置される第1磁気抵抗効果素子Cに対するデータ書き込みに関して、第1書き込み線WWLiに第1書き込み電流IWLを流し、第2書き込み線WBLjに第2書き込み電流IBLを流すことにより、第1磁気抵抗効果素子Cの磁化を反転させ、かつ、データ書き込み中に、第1及び第2書き込み電流IWL,IBLのうちの1つにより発生する磁場のみが印加される第2磁気抵抗効果素子B1,B2の磁化パターンを第1磁気抵抗効果素子Cの磁化パターンとは異なる状態にする。
【選択図】 図1
Description
本発明の例に関わるスイッチングメカニズム(磁化反転方法)では、データ書き込みの前後及び最中における磁気抵抗効果素子の磁気構造(磁化パターン)を制御することにより、データ書き込みに必要なスイッチング磁場の低減、書き込みディスターブの改善、及び、熱的に安定な磁気構造を実現する。
以下、最良と思われる実施の形態について説明する。
図1は、本発明の例に関わる磁化状態のスイッチングメカニズムが適用される磁気ランダムアクセスメモリの主要部を示している。
次に、本発明の例に関わる磁化状態のスイッチングメカニズムを実行するための磁気抵抗効果素子の構造例について説明する。
図12は、磁気抵抗効果素子の構造例1を示している。
磁気抵抗効果素子は、十字形を有し、かつ、容易軸方向に長くなっている。十字形の角部は、全て丸くなっている。尚、同図中、小さな三角は、磁化の向きを表している。
図23は、磁気抵抗効果素子の構造例2を示している。
磁気抵抗効果素子は、十字形を有し、かつ、容易軸方向に長くなっている。十字形の角部は、丸くなっている。尚、同図中、小さな三角は、磁化の向きを表している。
図28乃至図30は、磁気抵抗効果素子の構造例3〜5を示している。
図31は、磁気抵抗効果素子の層構造の例を示している。
本発明の例に関わる磁化状態のスイッチングメカニズムは、磁気抵抗効果素子のフリー層の磁気構造(磁化パターン)に関するものであるが、ここでは、磁気抵抗効果素子の一般的な層構造について説明する。
磁気抵抗効果素子の構造例1〜6においては、強磁性層(フリー層、ピン層)がそれぞれ単層から構成されることを前提に説明したが、磁気抵抗効果素子の強磁性層は、それぞれ複数の層、例えば、2つの強磁性層と、これらの間に配置される非磁性金属層とから構成されていてもよい。
書き込みマージンが大きいアステロイド曲線を実現するには、磁気抵抗効果素子の残留磁化を安定させることが重要である。そして、磁気抵抗効果素子の残留磁化の状態は、その形状に依存するところが大きい。
容易軸方向の端部は、容易軸方向に延びる中心軸X及び困難軸方向に延びる中心軸Yに対して非対称となる形状とする。
全体形状は、2回回転対称性(two times-rotation symmetry)を有し、かつ、容易軸方向に延びる中心軸X及び困難軸方向に延びる中心軸Yに対して非対称である(鏡映対象でない)形状とする。
磁気抵抗効果素子は、容易軸方向に長い平行四辺形(延在部)と、平行四辺形の長辺から困難軸方向に突出する半円形(突出部)とから構成される。また、全ての角部には丸みが付される。
磁気抵抗効果素子は、容易軸方向に長い長方形(延在部)と、長方形の長辺から困難軸方向に突出する半円形(突出部)とから構成され、長方形の2つの対角線上の角が切り落とされている。
従来形としては、ここでは、十字形(従来形1)、楕円形(従来形2)、ビーンズ形(従来形3)の3つを掲げている。
S十字形を有する磁気抵抗効果素子の困難軸方向の幅の最大値は1μm以下であることが好ましく、また、容易軸方向の長さは、困難軸方向の幅の最大値の1倍から10倍の範囲内の値であることが好ましい。
以上のように、本発明の例に関わる磁化状態のスイッチングメカニズムを実行可能であることを条件に、さらに、磁気抵抗効果素子の形状を工夫するにより、誤書き込みのない安定した動作を実現できる。
次に、本発明の例に関わる磁化状態のスイッチングメカニズムを実行できる磁気抵抗効果素子の製造方法について説明する。
次に、本発明の例に関わる磁化状態のスイッチングメカニズムが適用される磁気ランダムアクセスメモリのメモリセルアレイの例について説明する。
本発明の例に関わる磁気抵抗効果素子の磁化状態のスイッチングメカニズム(磁化反転方法)においては、書き込み中の選択セルの磁化パターンと半選択セルの磁化パターンとが異なり、半選択セルについては、磁化反転が生じ難い状態になるため、書き込みディスターブを改善できる。また、熱安定性を高くでき、スイッチング磁場を小さくできる。
Claims (22)
- 第1及び第2強磁性層とこれらの間に配置される非磁性層とを備えた積層構造を有し、前記第1及び第2強磁性層の磁化の相対的角度によりトンネルコンダクタンスが変化する磁気抵抗効果素子において、前記磁気抵抗効果素子がデータ書き込み中に半選択状態となっているときの磁化パターンは、前記磁気抵抗効果素子がデータ書き込み中に選択状態となっているときの磁化パターン及び前記磁気抵抗効果素子の残留磁化のパターンとは異なることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
- 第1及び第2強磁性層とこれらの間に配置される非磁性層とを備えた積層構造を有し、前記第1及び第2強磁性層の磁化の相対的角度によりトンネルコンダクタンスが変化する磁気抵抗効果素子において、前記磁気抵抗効果素子がデータ書き込み中に半選択状態となっているときの磁化パターンは、C型磁区を構成し、前記磁気抵抗効果素子の残留磁化のパターンは、S型磁区を構成することを特徴とする磁気抵抗効果素子。
- 第1及び第2強磁性層とこれらの間に配置される非磁性層とを備えた積層構造を有し、前記第1及び第2強磁性層の磁化の相対的角度によりトンネルコンダクタンスが変化する磁気抵抗効果素子において、前記磁気抵抗効果素子がデータ書き込み中に半選択状態となっているときの磁化パターンは、少なくとも1つのC型磁区を構成することを特徴とする磁気抵抗効果素子。
- 互いに交差する第1及び第2書き込み線の交差部に対応して配置される第1磁気抵抗効果素子に対するデータ書き込みに関して、前記第1書き込み線に第1書き込み電流を流し、前記第2書き込み線に第2書き込み電流を流すことにより、前記第1磁気抵抗効果素子の磁化を反転させ、かつ、前記データ書き込み中に、前記第1及び第2書き込み電流のうちの1つにより発生する磁場のみが印加される第2磁気抵抗効果素子の磁化パターンを前記第1磁気抵抗効果素子の磁化パターンとは異なる状態にし、前記第2磁気抵抗効果素子の磁化の反転を禁止することを特徴とする磁気抵抗効果素子の磁化反転方法。
- 前記データ書き込み中の前記第2磁気抵抗効果素子の磁化パターンは、C型磁区を構成することを特徴とする請求項4に記載の磁気抵抗効果素子の磁化反転方法。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の残留磁化のパターンは、S型磁区を構成することを特徴とする請求項4又は5に記載の磁気抵抗効果素子の磁化反転方法。
- 互いに交差する複数の第1及び第2書き込み線と、前記複数の第1及び第2書き込み線の複数の交差部に対応して配置される記憶素子としての複数の磁気抵抗効果素子とを具備し、第1書き込み電流が流れる選択された第1書き込み線と第2書き込み電流が流れる選択された第2書き込み線との交差部に対応して配置され前記第1及び第2書き込み電流により発生する磁場が印加される磁気抵抗効果素子を第1磁気抵抗効果素子とし、それ以外の交差部に対応して配置され前記第1及び第2書き込み電流のうちの1つにより発生する磁場のみが印加される磁気抵抗効果素子を第2磁気抵抗効果素子とした場合に、前記第1磁気抵抗効果素子のデータ書き込み中における磁化パターンは、前記第2磁気抵抗効果素子のデータ書き込み中における磁化パターンと異なることを特徴とする磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2書き込み電流が流れているときの前記第2磁気抵抗効果素子の磁化パターンは、C型磁区を構成することを特徴とする請求項7に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の残留磁化のパターンは、S型磁区を構成することを特徴とする請求項7又は8に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の各々は、トンネルバリア層を2つの強磁性層で挟み込んだ構造を有し、前記2つの強磁性層の磁化の相対的角度により前記トンネルバリア層のトンネルコンダクタンスが変化することを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の各々は、第1方向に延在する延在部と、前記延在部の側面から前記第1方向に対して垂直な第2方向に突出する突出部とを有することを特徴とする請求項7に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の各々は、2回回転対称性を有し、かつ、前記第1方向に延びる中心軸及び前記第2方向に延びる中心軸に対して非対称であることを特徴とする請求項11に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記延在部は、前記第1方向に長い平行四辺形を有し、前記突出部は、前記平行四辺形の長辺から前記第2方向に突出することを特徴とする請求項11に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記延在部は、前記第1方向に長い長方形を有し、前記突出部は、前記長方形の長辺から前記第2方向に突出し、前記長方形の2つの対角線の少なくとも1つの上に存在する角が切り落とされていることを特徴とする請求項11に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記2つの対角線のうちの1つの上に存在する角は、他の1つの上に存在する角よりも大きく削り取られていることを特徴とする請求項14に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記延在部の前記第1方向の2つの端部には、それぞれ前記第2方向に突出する凸部が設けられていることを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1項に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の磁化困難軸方向の幅の最大値は、1μm以下であることを特徴とする請求項11乃至16のいずれか1項に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の磁化容易軸方向の長さは、前記磁化困難軸方向の幅の最大値の1倍から10倍の範囲内の値であることを特徴とする請求項17に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記延在部及び前記突出部の角部は、全て丸くなっていることを特徴とする請求項11乃至18のいずれか1項に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2磁気抵抗効果素子の厚さは、3nm以上、50nm以下であることを特徴とする請求項11乃至19のいずれか1項に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 前記第1及び第2書き込み電流が流れているときの前記第2磁気抵抗効果素子の磁化パターンは、2つのC型磁区を構成することを特徴とする請求項7乃至20のいずれか1項に記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子を記憶素子として備えることを特徴とする磁気ランダムアクセスメモリ。
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