JP2006134942A - 熱処理装置および熱処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 連続熱処理装置1Aは、加熱領域である炉体2と、炉体2の内部を被処理基板10が通過するように搬送する搬送用ベルト3と、炉体2の内部に設けられ、被処理基板10に対して熱を供給する加熱ヒータ6と、加熱ヒータ6と搬送用ベルト3との間に開閉自在に設けられ、開状態において加熱ヒータ6から輻射される輻射熱が被処理基板10に対して供給されるようにし、閉状態において加熱ヒータ6から輻射される輻射熱が被処理基板10に対して実質的に供給されないように遮蔽する遮蔽板7a,7bとを備える。遮蔽板7a,7bは、炉体2の入口2a部分および出口2b部分に移動可能に設けられており、被処理基板10の一部が炉体2の内部に位置している状態において、遮蔽板7a,7bが閉状態をとるように制御される。
【選択図】 図1
Description
まず、本実施の形態における連続熱処理装置の構成について説明する。図1は、本発明の実施の形態1における連続熱処理装置の構成を示す概略構成図である。
図11は、本発明の実施の形態2における連続熱処理装置の構成を示す概略構成図である。なお、上述の実施の形態1における連続熱処理装置1Aと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
図12は、本発明の実施の形態3における連続熱処理装置の構成を示す概略構成図である。なお、上述の実施の形態2における連続熱処理装置1Bと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
図17は、本発明の実施の形態4における連続熱処理装置の構成を示す概略構成図である。なお、上述の実施の形態3における連続熱処理装置1Cと同様の部分については図中同一の符号を付し、その説明はここでは繰り返さない。
Claims (12)
- 加熱領域を通過するように設けられた搬送路上において被処理基板を搬送しつつ、前記加熱領域において前記被処理基板に対して熱処理を行なう熱処理装置であって、
前記被処理基板を前記搬送路上において搬送する搬送手段と、
前記加熱領域に設けられ、前記被処理基板に対して熱を供給する加熱源と、
前記加熱源と前記搬送路との間に開閉自在に設けられ、開状態において前記加熱源から輻射される輻射熱が前記被処理基板に対して供給されるようにし、閉状態において前記加熱源から輻射される輻射熱が前記被処理基板に対して実質的に供給されないように遮蔽する遮蔽手段とを備え、
前記被処理基板の一部が前記加熱領域の外部に位置している状態において、前記遮蔽手段が前記閉状態をとる、熱処理装置。 - 前記被処理基板が前記加熱領域に搬入される際に、前記被処理基板の全体が完全に前記加熱領域に搬入されるまでの間、前記遮蔽手段が前記閉状態をとる、請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記被処理基板が前記加熱領域から搬出される際に、前記被処理基板の全体が完全に前記加熱領域から搬出されるまでの間、前記遮蔽手段が前記閉状態をとる、請求項1または2に記載の熱処理装置。
- 前記遮蔽手段は、前記搬送路の上方および下方に対を成して設置され、
これら対を成して設置された遮蔽手段が同時に開閉する、請求項1から3のいずれかに記載の熱処理装置。 - 前記遮蔽手段は、前記加熱領域の入口部分または/および出口部分において、前記被処理基板の搬送方向と平行な方向に移動可能なように設けられた遮蔽板からなる、請求項1から4のいずれかに記載の熱処理装置。
- 前記遮蔽板は、前記被処理基板の搬送方向と平行な方向に独立してスライド移動可能な複数の分割体にて構成され、
前記複数の分割体が個々にスライド移動することにより、前記遮蔽手段が前記開状態と前記閉状態とをとるように構成されている、請求項5に記載の熱処理装置。 - 前記遮蔽手段は、前記加熱領域の入口部分または/および出口部分において、回動可能に設けられた遮蔽板からなる、請求項1から4のいずれかに記載の熱処理装置。
- 前記遮蔽板は、前記閉状態において、前記加熱源から前記搬送路上を移動する前記被処理基板に対する熱の供給方向と交差する方向に延在して位置し、前記開状態において、前記加熱源から前記搬送路上を移動する前記被処理基板に対する熱の供給方向と平行な方向に延在して位置する、請求項7に記載の熱処理装置。
- 前記遮蔽板は、独立して回動可能な複数の分割体にて構成され、
前記複数の分割体が個々に回動することにより、前記遮蔽手段が前記開状態と前記閉状態とをとるように構成されている、請求項7または8に記載の熱処理装置。 - 加熱領域を通過するように設けられた搬送路上において被処理基板を搬送しつつ、前記加熱領域において加熱源を用いて前記被処理基板に対して熱処理を行なう熱処理方法であって、
前記被処理基板が前記加熱領域に完全に収容されている状態においてのみ、前記加熱源からの輻射熱が前記被処理基板全体に対して供給されるようにするとともに、前記被処理基板の一部が前記加熱領域の外部に位置している状態においては、前記加熱源からの輻射熱が前記被処理基板に実質的に供給されないように遮蔽することを特徴とする、熱処理方法。 - 前記被処理基板が前記加熱領域に搬入される際に、前記被処理基板の全体が完全に前記加熱領域に搬入されるまでの間、前記加熱源からの輻射熱が前記被処理基板に実質的に供給されないように遮蔽することを特徴とする、請求項10に記載の熱処理方法。
- 前記被処理基板が前記加熱領域から搬出される際に、前記被処理基板の全体が完全に前記加熱領域から搬出されるまでの間、前記加熱源からの輻射熱が前記被処理基板に実質的に供給されないように遮蔽することを特徴とする、請求項10または11に記載の熱処理方法。
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