JP2006128171A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板10上に第1の絶縁膜11を介してパッド電極12を形成する。次に、パッド電極12上を含む第1の絶縁膜11上に、パッド電極12を露出する開口部14を有した第2の絶縁膜13を形成する。次に、開口部14を含む第2の絶縁膜13上に、当該開口部14を通してパッド電極12と電気的に接続された第1の配線層15を形成する。次に、半導体基板10の裏面からパッド電極12に到達するビアホール16を形成する。次に、ビアホール16の底部のパッド電極12と電気的に接続された貫通電極20及び第2の配線層21を形成する。さらに、保護層22、導電端子23を形成する。最後に、ダイシングにより半導体基板10を半導体チップ10Aに切断分離する。
【選択図】 図13
Description
Claims (7)
- 半導体チップと、
前記半導体チップの表面上に第1の絶縁膜を介して形成されたパッド電極と、
前記パッド電極の一部上及び前記第1の絶縁膜上に形成され、かつ前記パッド電極を露出する開口部を有した第2の絶縁膜と、
前記開口部を通して前記パッド電極と電気的に接続されて前記第2の絶縁膜の一部上に延びる第1の配線層と、
前記半導体チップの裏面から当該パッド電極に到達するビアホールと、
前記ビアホール内に形成され、かつ当該ビアホールを通して前記パッド電極と電気的に接続された貫通電極と、を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記貫通電極と電気的に接続された前記半導体チップの裏面上に延びる第2の配線層と、
前記第2の配線層を含む前記半導体チップ上に、当該第2の配線層の一部上を露出するように形成された保護層と、を備えることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記第2の配線層の一部上に導電端子を備えることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 半導体基板の表面上に第1の絶縁膜を介してパッド電極を形成する工程と、
前記パッド電極を覆うようにして、当該パッド電極上及び当該第1の絶縁膜上に、第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜の一部をエッチングして、前記パッド電極を露出する開口部を形成する工程と、
前記開口部内及び前記第2の絶縁膜の一部上に、当該開口部を通して前記パッド電極と電気的に接続された第1の配線層を形成する工程と、
前記半導体基板の裏面から当該パッド電極に到達するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホールを通して前記パッド電極と電気的に接続された貫通電極を形成する工程と、
前記半導体基板を複数の半導体チップに切断分離する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記貫通電極と電気的に接続された前記半導体基板の裏面上に延びる第2の配線層を形成する工程と、
前記第2の配線層を含む前記半導体基板上に、当該第2の配線層の一部上を露出するようにして保護層を形成する工程と、を有することを特徴とする請求項4記載の半導体装置。 - 前記第2の配線層の一部上に導電端子を形成する工程を有することを特徴とする請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- パッド電極を覆うように形成された第1の絶縁膜上に当該パッド電極を露出する開口部を有する半導体基板の裏面から当該パッド電極に到達するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホールを通して前記パッド電極と電気的に接続された貫通電極を形成する工程と、
前記半導体基板を複数の半導体チップに切断分離する工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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