JP2006114881A - 発熱電気抵抗素子を有する電気装置及びそのための熱放散手段 - Google Patents
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Abstract
【課題】発熱素子が設けられる基板の熱伝導性を改良した電力抵抗器等の電気装置の提供。
【解決手段】電気装置10は導電性抵抗素子18を具備し、抵抗素子18は、抵抗素子18からの熱を移送するために熱移送媒体上に設けられる。抵抗素子18は、窒化アルミニウム基板の一表面にスパッタリングされた80/20ニッケル・クロム材料を具備する。80/20ニッケル・クロム材料は0.5〜25μmの範囲内の厚さで基板表面に付着される。抵抗素子の抵抗は、スパッタリング工程で反応ガスを導入することによってスパッタリングされた膜の化学組成を変更することにより、制御される。
【選択図】図2
【解決手段】電気装置10は導電性抵抗素子18を具備し、抵抗素子18は、抵抗素子18からの熱を移送するために熱移送媒体上に設けられる。抵抗素子18は、窒化アルミニウム基板の一表面にスパッタリングされた80/20ニッケル・クロム材料を具備する。80/20ニッケル・クロム材料は0.5〜25μmの範囲内の厚さで基板表面に付着される。抵抗素子の抵抗は、スパッタリング工程で反応ガスを導入することによってスパッタリングされた膜の化学組成を変更することにより、制御される。
【選択図】図2
Description
本発明は電力抵抗器等の電気装置に関し、特にこのような装置の熱放散特性の改良に関する。
電力抵抗器等の電気装置は、作動中に著しく発熱し、装置から金属板又は別の熱伝導材料性本体等の適当なヒートシンクに熱を移送させる熱移送媒体を装置に提供することが通常である。
引用文献1には、接合されたセラミック・銅積層板の一面に発熱導電素子が固定された電力抵抗器が開示されている。発熱素子は、ハウジングの一開放端に熱伝導性板を取り付けることにより、抵抗器ハウジング内に収容される。積層板は、第1及び第2のアルミナ(酸化アルミニウム)セラミック層間に挟まれたニッケルめっきされた銅製の中間層を具備する。発熱素子が板の一側のアルミナ基板に固定されているのに対し、板の他側のセラミック基板はニッケルめっきされると共に組立後の装置の外部に配置される。内部では、発熱素子が、ハウジングの外部に設けられた端子に電気的に接続されている。この種の装置において代表的には、ハウジングの内部が、絶縁部内の隙間(void)を無くすために真空条件下で混合されたシリコーン樹脂の絶縁材料製のいわゆる「ポッティングコンパウンド」で充填されるので、作動中の高電圧抵抗素子の部分的放電は最小になる。
米国特許第5355281号明細書
欧州特許出願公開第0548652号明細書
欧州特許出願公開第0484731号明細書
米国特許第5266529号明細書
独国特許出願公開第4105786号明細書
英国特許第2136213号明細書
英国特許第1379478号明細書
上述した電力抵抗器は、発熱抵抗素子がアルミナ(酸化アルミニウム)セラミック基板上に設けられる代表的な公知の電力抵抗器である。熱伝導性基板は、抵抗器の熱移送媒体の一部を構成する。基板の熱伝導性は、抵抗素子から使用時に通常、抵抗に取り付けられるヒートシンクへの熱移送の最大速度を決定する。酸化アルミニウムは約30W/m°Kの熱伝導性を有し、多くの用途では十分であるのに対し、例えばスナバ用途等のの特定用途のワット損要求事項に合致するために、複数の電力抵抗器を使用する必要があることが多い。
従って、電力抵抗器等の電気装置内に発熱素子が設けられる基板の熱伝導性を改良するニーズが存在する。特に、そのような装置に使用される電力抵抗器の構造及び材料を改良するニーズが存在する。
本発明の一側面によれば、窒化アルミニウム基板上に蒸着されたワット損(power dissipating)電気抵抗素子を具備する電気装置が提供される。
窒化アルミニウムの熱伝導性は約165W/m°Kであるので、酸化アルミニウムの熱伝導性の少なくとも5倍である。窒化アルミニウムはまた酸化アルミニウムと同様な誘電特性を有するので、発熱電気抵抗素子を有する電気装置の使用に適当な基板材料である。窒化アルミニウム基板の表面に抵抗素子材料を蒸着すると、基板に対して抵抗素子を良好に接着するので、装置の耐用年数の間、抵抗素子及び基板の剥離を最小にする。
蒸着素子及び基板間に達成される高品質の接着はまた、抵抗素子から使用中の基板への熱移送を改善することになる。
好適な実施形態において、抵抗素子は、例えばアルゴンに代表される不活性ガスと組み合わせた窒素又は酸素反応ガスを使用し、好適にはスパッタリングにより、最も好適には反応スパッタリングによる物理蒸着工程により、窒化アルミニウム基板上に付着される。反応スパッタリングは、スパッタリング工程中に蒸着炉内に導入される反応ガスの濃度を調整することにより、抵抗素子の蒸着材料の化学的組成を容易に変更することができる。これにより、スパッタリング中の反応ガスの相対濃度に従って製造中に抵抗素子の抵抗を容易に制御できる。
好適には、抵抗素子は、基板上に付着された電気抵抗材料製の膜を有する。膜厚は0.5〜25μmの範囲内、好適には8〜20μmの範囲内にある。8μmより薄い膜厚では、例えば10.5msで460Jのオーダーのパルス等、短時間で大量パルスエネルギーを吸収する抵抗素子の能力が限定される。8μmの膜厚では、代表的には深さ6μmまでの基板材料の穴又は窪みが蒸着材料で十分に覆われない。このため、電気装置の作動中に高電圧を受けると、表面の窪み領域においてコーティングされていない、又は部分的にコーティングされた基板材料を放電侵食するおそれもある。
好適には、抵抗素子は基板上に付着した金属材料膜を有する。一実施形態において、高純度80/20ニッケル・クロム合金が使用される。
好適には、抵抗素子の少なくとも縁は、これら縁で隣接する基板材料上に延びる電気絶縁膜で覆われる。絶縁膜は、絶縁及び保護(不動態化)層の形成に適当な例えば低温ガラス封入組成物又は同様の材料等の厚膜シリカ釉薬(over-glaze)を有してもよい。或いは、絶縁膜は、抵抗網等の封入用途に適当な厚膜ポリマ封入組成物を有してもよい。別の実施形態において、水晶又はアルミナ等の薄膜誘電材料を使用してもよい。
絶縁膜は抵抗素子のほぼ全領域にわたって付加され、絶縁膜により囲まれる膜のない領域に接触領域が設けられ、膜のない領域又は接触領域で抵抗素子に電気接続されてもよい。絶縁膜は、抵抗膜を酸化から保護し、電気素子の安定性を改善する。
好適には、本発明の上述の側面に従った電気装置は、少なくとも1ワットの電力定格を有する電力抵抗器を具備する。
本発明の別の側面によれば、物理蒸着工程により窒化アルミニウム基板上に抵抗材料層を付加する方法が提供される。この方法は、
i)プラズマを発生する工程、
ii)目標物の領域にプロセスガス少なくとも一部を導入する工程、及び
iii)基板の領域に反応ガスを導入する工程
とを具備する。
i)プラズマを発生する工程、
ii)目標物の領域にプロセスガス少なくとも一部を導入する工程、及び
iii)基板の領域に反応ガスを導入する工程
とを具備する。
上述の方法は、容認可能な製造及び性能の許容差を有し、「目標毒作用」(目標物及び反応ガス間の反応)がなく、抵抗の広い範囲で、大量生産環境での高度な再現性で、ワット損抵抗素子を有する電気装置を製造することができる。抵抗材料の蒸着を経済的に容認できる割合で再現できることは、基板領域での蒸着炉内の反応ガスの導入を制御することにより容易に達成することができる。好適には、高密度プラズマが、蒸着炉から離れたプラズマ発生管の回りに配置された螺旋状高周波(RF)アンテナにより発生する。
好適には、プラズマは高密度プラズマとして発生し、好適な実施形態においては、目標物の表面及びコーティングされる基板から離れて発生する。
この方法は、基板のマスクされていない部分のみが蒸着中にコーティングされるように、コーティングされる基板表面をマスクする工程を具備するのが好適である。
この方法は、コーティングされる基板表面を蒸着前に清浄する工程をさらに具備するのが好適である。この表面は、溶剤を使用して最初に清浄されてもよい。基板表面は、高周波清浄工程により清浄されてもよい。基板表面は、プラズマ洗淨により、さらに又は或いはプラズマエッチングにより清浄されるのが好適である。基板表面清浄工程は、目標物ではなく、基板に向かってプラズマを向けることにより、蒸着炉内で実施されるのが好適である。
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態を例示としてのみより詳細に説明する。
図1を参照すると、電気装置10は、電力抵抗器、すなわち1ワット以上の電力定格を有する抵抗器を具備する。装置10は射出成形された外部ケース12を有し、外部ケース12は、各透孔16を貫通する1対の電気端子14を有する。4本以上の端子14が設けられた実施形態も可能である。端子14は、熱伝導性誘電セラミック基板20上に設けられた抵抗素子18(図2参照)を有する抵抗器に電気接続されている。本発明の実施形態において、セラミック基板20は窒化アルミニウム基板である。端子14は、線22を介して抵抗素子18に接続されている。線22は内部ケース26の開口24を通過し、各3点電気コンタクト28で終端する。コンタクト28は、各圧縮ばね30により抵抗素子18上の接触面に付勢される。使用の際、セラミック基板20は、円盤状ばね部材32により与えられる所定強度の圧縮締付け力により、隣接するヒートシンク(図示せず)の一表面に抗して保持される。締付け力は、装置10の固定ねじを締め付けることにより与えられる。装置10はヒートシンクに締め付けられ、それらの間には熱グリスが塗布される。締付け力は中央に印加され、最適な熱移送を確保するよう所定の大きさである。内部ケース26は、好適にはシリコーンを主材料とする接着剤でセラミック基板20に接合される。内部ケース26は、その内部が基板20により閉じられるようにセラミック基板20上に着座する。内部ケース26の内部は、当業者に周知の方法でシリコーン樹脂絶縁材料で「ポッティング」される。
セラミック基板29は、使用時に抵抗素子18が発生する熱を移送するための熱移送媒体を提供する。
円盤状弾性ばね部材32は内部ケース26及び外部ケース12間に設けられ、それらケース26,12を分離する方向に付勢する。外部ケース12の内部にある弾性フック34は、図1の分解図に示される部品が組み立てられる際に、内部ケース26の外表面の対応する窪み36に係止する。
図2は、基板20上の抵抗素子18を示す平面図である。窒化アルミニウム基板20上に抵抗素子18の製造工程を順に示す図3及び図4を参照して、抵抗素子18の詳細な構造を説明する。図3において、80/20ニッケル・クロム材料製の複数の平行なストリップ40は、蒸着により基板20上に設けられる。この工程において、窒化アルミニウム基板20は、抵抗材料でコーティングされた窒化アルミニウム基板20の表面をプラズマエッチングする工程を具備するのが好適である清浄工程に最初に曝される。基板20が一旦清浄されると、抵抗材料が付着した平行ストリップ40を除いた基板20全体を覆うように、基板20の表面にマスクが貼られる。抵抗材料は物理蒸着工程によって付着される。この工程において、高密度プラズマが、目標のニッケル・クロム材料の表面及びコーティングされる窒化アルミニウム基板20から離れて発生する。ニッケル・クロム材料は基板20上に付着し、蒸着炉内の目標物の領域に例えばアルゴン等の少なくともプロセスガスの一部を導入し、基板20の領域に例えば酸素又は窒素等の制御された量の反応ガスを導入することにより、平行ストリップ40を形成する。この工程は、英国特許出願第2360530号で説明されたタイプのスパッタリングシステムで実施されるのが好適である。当該英国特許出願は、主蒸着炉に接続されるが主蒸着炉から離れたプラズマ発生管の周囲に配置された螺旋状高周波アンテナを使用し、高密度のプラズマを発生させる工程を説明する。この工程により、0.5〜25μmの間のニッケル・クロム膜を平行ストリップ40として基板20上に付着させることができる。反応ガスの量を制御することにより、基板20のスパッタリングされた材料の化学組成は、平行ストリップ40の抵抗率が製造中に制御できて大量生産環境で高度の再現性が達成されるように、変更できる。
さて、図4を参照すると、基板20上に抵抗材料の平行ストリップ40が一旦付着されると、例えば銅等の薄膜金属の接続ストリップ42が平行ストリップ40の各縁上に付着され、基板20上に蛇行した導電材料の連続ストリップを形成する。接続ストリップ42は隣接する平行ストリップ40の端部間の間隙を架橋し、隣接する平行ストリップ40対の端部にU形状曲げ部を形成して蛇行状の抵抗素子18を提供する。接続ストリップ42は、接続ストリップ42が抵抗材料を有していたなら生じたであろう、接続ストリップ42の内側隅のいわゆる「電流込み合い」を防止する。ストリップ42に導電材料が使用されていない場合、電流集中による内側隅の焼損という結果となる。
接続ストリップ42は4μmの厚さを有するのが好適である。接続ストリップ42に加えて、やはり4μmの銅薄膜が、電力抵抗器の3点接触28と接触するために蛇行の端子端に付加される。銅膜が抵抗素子18に一旦付加されると、例えば30nmの薄膜80/20ニッケル・クロムが接続ストリップ42の全表面及び端子端部46の銅コンタクト上に付加される。この最終ニッケル・クロム膜はまた、スパッタリングにより付加される。最後に図2に示されるように、ハッチング線領域で示される絶縁膜48が基板20の表面に付加され、端子端部46を除いた抵抗素子18全体を覆う。絶縁膜48は、抵抗素子18が付加される基板20の表面に部分放出シールを与える。基板20の反対側もまた、基板20の反対面全体にわたって導電性厚膜又は薄膜のコーティングを設けることにより形成される部分放出層を有する。この層により、基板20を隣接する表面上に同じ電位で実装することができ、基板20及び隣接する表面間の隙間の発生を回避する。
添付図面に示された実施形態を参照して本発明の側面を説明したが、本発明はこれら特定実施形態に限定されず、発明的な技能及び努力をさらに伴うことなく、種々の変更及び変形が可能であることを理解すべきである。例えば、本発明は、接続線22が端子端部46に直接食んだ付けされる実施形態、又は抵抗素子18が筒状物(管状、中実又は円弧状の直径窒化アルミニウム基板)に設けられる実施形態も意図している。本発明はまた、図1ないし図4の実施形態のような直列である代わりに、各端部で平行に結合された平行ストリップ40等の、窒化アルミニウム基板上の複数の平行なストリップを有する抵抗素子18も意図している。
10 電気装置
18 抵抗素子
20 窒化アルミニウム基板
48 絶縁膜
18 抵抗素子
20 窒化アルミニウム基板
48 絶縁膜
Claims (20)
- 窒化アルミニウム基板上に蒸着されたワット損抵抗素子を具備することを特徴とする電気装置。
- 前記抵抗素子は物理蒸着により前記基板に付着されていることを特徴とする請求項1記載の電気装置。
- 前記抵抗素子はスパッタリングにより前記基板に付着されていることを特徴とする請求項2記載の電気装置。
- 前記抵抗素子は反応スパッタリングにより付着されていることを特徴とする請求項3記載の電気装置。
- 前記抵抗素子は、反応スパッタリングにより付着されると共に窒素又は酸素反応ガスを使用してドープされていることを特徴とする請求項4記載の電気装置。
- 前記抵抗素子は前記基板上に付着された抵抗材料製の膜を具備することを特徴とする請求項1ないし5のうちいずれか1項記載の電気装置。
- 前記膜の厚さは0.5〜25μmの範囲内にあることを特徴とする請求項6記載の電気装置。
- 前記膜の厚さは8〜20μmの範囲内にあることを特徴とする請求項7記載の電気装置。
- 前記抵抗素子は前記基板上に付着された金属材料製の膜を具備することを特徴とする請求項1ないし8のうちいずれか1項記載の電気装置。
- 前記金属材料はニッケル・クロム合金からなることを特徴とする請求項9記載の電気装置。
- 前記抵抗素子の少なくとも縁は、該抵抗素子の縁で隣接する基板材料上に延びる絶縁膜でコーティングされていることを特徴とする請求項1ないし10のうちいずれか1項記載の電気装置。
- 前記抵抗素子全体は、該抵抗素子と電気的に接触するために該抵抗素子上の非コーティング領域を有して絶縁膜でコーティングされていることを特徴とする請求項11記載の電気装置。
- 前記電気装置は電力抵抗器を具備することを特徴とする請求項1ないし12のうちいずれか1項記載の電気装置。
- 前記電力抵抗器は少なくとも1ワットの電力定格を有することを特徴とする請求項13記載の電気装置。
- 物理蒸着工程により窒化アルミニウム基板上に抵抗材料層を付加する方法であって、
プラズマを発生する工程と
目標物の領域にプロセスガス少なくとも一部を導入する工程と
前記基板の領域に反応ガスを導入する工程と
を具備することを特徴とする抵抗材料層の付加方法。 - 前記高密度プラズマは、プラズマ発生管の回りに配置された螺旋状高周波アンテナにより発生することを特徴とする請求項15記載の付加方法。
- 蒸着前にコーティングされる前記基板の表面をプラズマ清浄する工程をさらに具備することを特徴とする請求項15又は16記載の付加方法。
- 前記基板の表面をマスクする工程と、
前記基板の非マスク部分に金属層を付加する工程とをさらに具備することを特徴とする請求項15ないし17のうちいずれか1項記載の付加方法。 - 前記プラズマは高密度プラズマであることを特徴とする請求項15ないし18のうちいずれか1項記載の付加方法。
- 前記プラズマは、前記目標物の表面及びコーティングされる前記窒化アルミニウム基板から離れて高密度に発生することを特徴とする請求項15ないし19のうちいずれか1項記載の付加方法。
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