JP2006114837A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置の製造方法は、トレンチ分離領域を有する基板上に熱酸化膜を形成する工程を備える半導体装置の製造方法であって、熱酸化膜の形成時に、トレンチ分離領域2を酸化防止膜17で覆うことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、トレンチ分離領域を有する基板上に熱酸化膜を形成する工程を備える半導体装置の製造方法であって、熱酸化膜の形成時に、トレンチ分離領域を酸化防止膜で覆うことを特徴とする。
酸化防止膜は、トレンチ側壁が酸化されるのを防止するための膜であり、例えば、外気中の酸素に対する透過性が小さい膜であり、具体的には、例えば、窒化シリコン膜などである。酸化防止膜の厚さは、酸化防止効果を発揮できる程度であればよく、例えば窒化シリコン膜を用いる場合には、10〜20nmとすることが好ましい。
第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、トレンチ分離領域を有する基板上により薄い熱酸化膜を形成し、得られた基板上に、トレンチ分離領域を覆うと共に、より厚い酸化膜を形成する領域に開口部を有する酸化防止膜を形成し、前記開口部を介して、得られた基板上により厚い熱酸化膜を形成する工程を備える。
基板、トレンチ分離領域などについての説明は、第1の実施形態と同様である。「より薄い熱酸化膜」とは、後述する「より厚い熱酸化膜」よりも薄い熱酸化膜を意味する。
「得られた基板上に」とは、例えば、前工程で形成された膜上、すなわち、より薄い熱酸化膜上に、ということを意味するが、前工程と本工程との間に、別途、保護膜などを形成する工程がある場合には、その膜を介して得られた基板上に、ということを意味する。
より厚い熱酸化膜は、一旦、エッチングなどによって、より薄い熱酸化膜を除去した後に、再度の熱酸化により形成してもよく、また、より薄い熱酸化膜を除去せずに、そのまま、再度の熱酸化を行うことにより形成してもよい。
第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、トレンチ分離領域を有する基板上にCVD酸化膜を形成し、得られた基板上に、トレンチ分離領域を覆うと共に開口部を有する酸化防止膜を形成し、前記開口部を介して、得られた基板上により厚い熱酸化膜を形成し、
酸化防止膜及びCVD酸化膜を除去後により薄い熱酸化膜を形成する工程を備える。
本実施形態では、CVD酸化膜を介して基板上に酸化防止膜を形成しているが、これは、酸化防止膜を基板上に直接形成すると、熱歪みにより結晶欠陥が生じる場合があるからである。従って、熱歪みに対して高い耐性を有する基板を用いる場合などには、トレンチ分離領域を有する基板上に、トレンチ分離領域を覆うと共に開口部を有する酸化防止膜を形成してもよい。
(1)まず、シリコン基板1を熱酸化し、50〜200nmの熱酸化膜3を形成する。この酸化膜3上に、例えばCVD法により、100nm〜200nmの第1シリコン窒化膜5を堆積する。
次に所定のパターンのフォトレジスト層をマスクとして第1シリコン窒化膜5に開口部を形成し、パターニングに用いたフォトレジスト層を除去し、図1(a)に示す構造を得る。
その後、第2シリコン窒化膜17を熱リン酸等により選択的に除去する。
Claims (5)
- トレンチ分離領域を有する基板上に熱酸化膜を形成する工程を備える半導体装置の製造方法であって、
熱酸化膜の形成時に、トレンチ分離領域を酸化防止膜で覆うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - トレンチ分離領域を有する基板上により薄い熱酸化膜を形成し、
得られた基板上に、トレンチ分離領域を覆うと共に、より厚い酸化膜を形成する領域に開口部を有する酸化防止膜を形成し、
前記開口部を介して、得られた基板上により厚い熱酸化膜を形成する工程を備える半導体装置の製造方法。 - より厚い熱酸化膜形成後に、酸化防止膜を除去し、酸素を含むガス中でアニールを行なうことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- トレンチ分離領域を有する基板上にCVD酸化膜を形成し、
得られた基板上に、トレンチ分離領域を覆うと共に、より厚い酸化膜を形成する領域に開口部を有する酸化防止膜を形成し、
前記開口部を介して、得られた基板上により厚い熱酸化膜を形成し、
酸化防止膜及びCVD酸化膜を除去後により薄い熱酸化膜を形成する工程を備える半導体装置の製造方法。 - 酸化防止膜は、窒化シリコン膜からなる請求項1〜4のいずれか1つに記載の製造方法。
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Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPH1022397A (ja) * | 1996-07-05 | 1998-01-23 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2001007305A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-01-12 | Seiko Epson Corp | 不揮発性メモリトランジスタを含む半導体装置 |
JP2002057154A (ja) * | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2002222942A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004119846A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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2004
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1022397A (ja) * | 1996-07-05 | 1998-01-23 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2001007305A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-01-12 | Seiko Epson Corp | 不揮発性メモリトランジスタを含む半導体装置 |
JP2002057154A (ja) * | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2002222942A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004119846A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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