JP2006114450A

JP2006114450A - プラズマ生成装置

Info

Publication number: JP2006114450A
Application number: JP2004303240A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Nagasawa; 武長澤
Original assignee: Yutaka Electronics Ind Co Ltd
Current assignee: Yutaka Electronics Ind Co Ltd
Priority date: 2004-10-18
Filing date: 2004-10-18
Publication date: 2006-04-27
Also published as: US20080050291A1; WO2006043420A1

Abstract

【課題】アーク放電を発生させずに、大気圧下で効率良くプラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供することである。
【解決手段】電極棒１と、円筒電極２と、パルス電圧を発生するパルス電源１１とを有し、電極棒１と円筒電極２との間にパルス電源１１による所定のパルス電圧を印加することによって、電極棒１と円筒電極２との間に放電を発生させ、該放電によってプラズマを生成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、密閉された真空環境などではなく、大気圧の環境下でプラズマを生成するプラズマ生成装置に関する。

最近、大気圧の環境下でプラズマを生成する要望が増えてきている。このプラズマによれば、たとえば対象物の表面を改質したりすることが可能である。

このような表面改質の用途の一例として、たとえばポリプロピレン（以下「ＰＰ」という）に対して印刷を施したい場合があるが、通常ＰＰの表面は非常に滑らかでインクがうまくのらない状態であり、これを改善するためにプラズマによって表面状態を故意に荒らして、その上から印刷可能にする用途が知られている。

また、対象物の表面を荒らすことによって、そこに接着剤を塗布して接着する際の接着性を向上することもできる。

ところで、プラズマを生成する方法としては放電を利用することがよく知られている。たとえば特許文献１にはその一例が開示されている。

特許文献１に記載の発明では、スタッド形状の電極とその周囲を覆うケーシング（接地電位）との間でアーク放電を発生させ、この放電路に対して作動ガスを吹き込ませて、その作動ガスのプラズマを発生させる技術について開示している。

特開２００１−６８２９８号公報

特許文献１に記載の発明のように、従来のプラズマ生成装置では、電極間にアーク放電を発生させ、その熱によって作動ガスを分解しプラズマを生成するようにしていた。

ところが、従来のように、作動ガス分解のためにアーク放電を用いる場合には、高電圧を必要とし、消費電力量が大きく、熱で作動ガスを分解するため余分なエネルギーを浪費してしまうし、プラズマ生成のために多くの熱量を発生し、経時的な電極溶解の進行も早いという問題があった。

本発明は上記の点にかんがみてなされたもので、アーク放電を発生させずに、大気圧下で効率良くプラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供することを目的とする。

本発明は上記課題を解決するため、第１の電極と、第２の電極と、パルス電圧を発生するパルス電源とを有し、前記第１の電極と前記第２の電極との間に前記パルス電源による所定のパルス電圧を印加することによって、前記第１の電極と前記第２の電極との間に放電を発生させ、該放電によってプラズマを生成することを特徴とする。

また本発明は、前記第１の電極が電極棒であり、前記第２の電極が円筒電極であり、前記円筒電極の中心に前記電極棒を設け、同軸円筒形状を形成することを特徴とする。

また本発明は、前記第１の電極が電極棒であり、前記第２の電極が電極板であり、前記電極棒の先端を所定の距離だけ離して前記電極板の面に向けて配置することを特徴とする。

本発明によれば、アーク放電を必要とせずに、大気圧下で効率良くプラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供することができる。

すなわち本発明によれば、従来のように作動ガス分解のために（大電流を必要とする）アーク放電を用いないので、消費電力量が小さいという効果を奏することができる。また、熱で作動ガスを分解しないので余分なエネルギー浪費がないし、プラズマ生成のために多くの熱量を発生することもないし、電極溶解のおそれもない。

本発明によれば、火花放電で生成された電子で作動ガスを分解しプラズマを生成するため、従来のようなアークによる余分な熱エネルギーの浪費がない。

また本発明によれば、同軸円筒電極効果によって放電効果を高めることができ、低い放電電圧であってもプラズマ生成のための放電路を形成することができる。

また本発明によれば、電極にパルス電圧を印加するようにしたので、連続放電のアーク放電になってしまわないようにすることができ、グローコロナ放電や火花放電により、消費電力量を少なくすることができる。

また本発明によれば、プラズマ生成のための作動ガスの分解において、電子と気体（作動ガス）との衝突によってその気体を電離するので、熱をほとんど発生しないで済む。

また本発明によれば、電極にパルス電圧を印加するようにしたので、連続放電のアーク放電になってしまわないようにすることができ、グローコロナ放電や火花放電により、熱の発生が少ないので電極の熔解はない。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施の形態によるプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。

電極棒１はたとえば直径０．６ｍｍのイリジウム合金、タングステンまたはステンレス等の棒であり、円筒電極２はたとえば内径４．３ｍｍの円筒形状のステンレス管である。

ケーシング４はたとえば内径１０ｍｍの円筒管であり、その材質は各電極から絶縁されていればＳＵＳ（ステンレス）などの金属でもよいし、アクリルなどの樹脂であってもよい。

底部材５は、円筒管であるケーシング４の内側に嵌る円板状の部材であり、電極棒１およびガス注入管１５を貫通させるための穴が設けられている。この底部材５は絶縁物で形成されている。

支持部材７は、底部材５と同様に円筒管であるケーシング４の内側に嵌るとともに、支持部材７の内側には円筒電極２が嵌めこまれる形状に形成されている。また、この支持部材７には貫通する複数の穴８が設けられている。

ガスボンベ１４から注入された作動ガスはこの穴８を通過するが、その後のガスの流れがスパイラル状ガス流１６となるようにすなわち回転しながら前方に向かうように、図１に示すよう斜めに穴８を形成してある。

支持部材７には電極棒１を貫通させるための穴がさらに設けられている。この支持部材７も絶縁物で形成されている。

ガスポンベ１４からの作動ガスは、ガス注入管１５を介してケーシング４内に注入される。なお、本実施の形態ではガスボンベとしたが、本発明はこれに限られるものではなく、作動ガスであるエアーを送りこむエアーポンプのようなものでもかまわない。

電極棒１は、底部材５および支持部材７を貫通し、この底部材５および支持部材７によって支持される。

一方、円筒電極２は支持部材７の内側に嵌めこまれ、この支持部材７によって、電極棒１と円筒電極２との位置決めがされる。すなわち、円筒電極２の中心に電極棒１を設け、同軸円筒形状を形成する。

本実施の形態においては、支持部材９およびプラズマ加速用の電極板３がさらに設けられ、円筒電極２の一端は支持部材９の内側に嵌めこまれており、支持部材９の内側にはさらに電極板３が嵌めこまれている。電極板３はたとえばステンレス製であり、支持部材９は絶縁物で形成されている。

電極板３には、加速されたプラズマ１７が貫通する穴３ａが設けられている。この穴の直径はたとえば２ｍｍ以上である。

本実施の形態では、円筒電極２は接地１３に接続され、電極棒１には抵抗１０（安定抵抗、保護抵抗）を介してパルス電源１１によるパルス電圧が印加され、この電極棒１と円筒電極２との間にグローコロナ放電、火花放電が発生する。パルス電源の代わりに高周波電源（インバータネオントランス）を用いてもよい。

パルス電源１１からのパルス電圧の一例としては、電圧波形が１／２サイン波で、パルス幅τ＝１６μｓｅｃで、周波数ｆ＝０．７〜０．８ｋＨｚで、放電電圧値Ｖｄ＝２．５ｋＶとすることができる。また、放電電流Ｉｄ＝０．０２１Ａで、抵抗１０の抵抗値ｒ＝１４０ｋΩとすることができる。

このように電極棒１と円筒電極２との間に放電電圧が印加され、放電が発生している状態のときに、ガスボンベ１４からガス注入管１５を介して作動ガスを注入すると、穴８を通過したガスがスパイラル状ガス流１６を生じ、このガス流１６が電極棒１と円筒電極２との間に生じた火花放電路６を先端に噴出するように湾曲させ、またこの湾曲させられた火花放電路６を通過する際に作動ガスはプラズマ化される。

電極板３には直流電源１２による直流電圧が印加され、火花放電路６の領域にて生成されたプラズマ中の電子を引き出す効果を有する。この電子は、ガスボンベ１４によるガス流１６の噴出の勢いおよび電極板３による引出し効果によって穴３ａから射出され、これがプラズマトーチ１７となる。

プラズマトーチ１７の利用方法の一例としては、前述のようにＰＰ等の表面荒らしとして用いることができる。

なお、本実施の形態において、図１に示す円筒電極２と電極板３との距離ｄは、火花放電路６が電極板３に達しない程度で、任意に定めることができる。

本実施の形態では、アーク放電を防ぐため、電極棒１と円筒電極２の電極間にパルス電圧を印加するとともに、安定抵抗として機能する抵抗１０を挿入し、大気圧中のグローコロナ放電、火花放電を実現している。すなわち、電源にパルス電源（または高周波電源（インバータネオントランス））を用いることによって、連続放電によるアーク放電を防ぐようにしている。

ここで、図１に示した実施の形態での電極棒１および円筒電極による同軸円筒効果について説明する。

図２は、図１に示したプラズマ生成装置の同軸円筒効果について説明する図である。

図２に示すように、電極棒１の半径をａとし、円筒電極２の内面の半径をｂとし、パルス電源１１の電圧をＶｄとし、抵抗１０の抵抗値をｒとしたとき、電極棒１と円筒電極２との間に生じる電界Ｅは数１で表される。

したがって、数２に示す範囲において放電はグローコロナ放電となる。

そこで、本実施の形態では、電極棒１の半径ａと円筒電極２の内面の半径ｂとの関係を数２に示す関係にするのがよい。この状態で、電圧をさらに増加させると、グローコロナ放電から火花放電へと移行する。

次に、本発明の図１とは別の実施の形態について説明する。

図３は、本発明の別の実施の形態によるプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。

この図３に示す実施の形態のプラズマ生成装置は、図１のプラズマ生成装置における電極板３、支持部材９および直流電源１２に相当する構成を有さないものとなっている。

以下に図３のプラズマ生成装置の構成について説明する。

電極棒１０１はたとえば直径０．６ｍｍのイリジウム合金、タングステンまたはステンレス等の棒であり、円筒電極１０２はたとえば内径４．３ｍｍの円筒形状のステンレス管である。

ケーシング１０４はたとえば内径１０ｍｍの円筒管であり、その材質はＳＵＳ（ステンレス）などの金属でもよいし、アクリルなどの樹脂であってもよい。

底部材１０５は、円筒管であるケーシング１０４の内側に嵌る円板状の部材であり、電極棒１０１およびガス注入管１１５を貫通させるための穴が設けられている。この底部材５は絶縁物で形成されている。

支持部材１０７は、底部材１０５と同様に円筒管であるケーシング１０４の内側に嵌るとともに、支持部材１０７の内側には円筒電極１０２が嵌めこまれる形状に形成されている。また、この支持部材１０７には貫通する複数の穴１０８が設けられている。

ガスボンベ１１４から注入された作動ガスはこの穴１０８を通過するが、その後のガスの流れがスパイラル状ガス流１１６となるようにすなわち回転しながら前方に向かうように、図３に示すよう斜めに穴１０８を形成してある。

支持部材１０７には電極棒１０１を貫通させるための穴がさらに設けられている。この支持部材１０７も絶縁物で形成されている。

ガスポンベ１１４からの作動ガスは、ガス注入管１１５を介してケーシング１０４内に注入される。

電極棒１０１は、底部材１０５および支持部材１０７を貫通し、この底部材１０５および支持部材１０７によって支持される。

一方、円筒電極１０２は支持部材１０７の内側に嵌めこまれ、この支持部材１０７によって、電極棒１０１と円筒電極１０２との位置決めがされる。

本実施の形態では、図１の実施の形態と異なり、円筒電極２の先端が露出し、火花放電路１０６が外部に噴出される構成となっており、この火花放電路１０６がプラズマトーチとなる。前述のようにＰＰ等の表面荒らしをしたい場合には、表面荒らしをしたい対象物に対して円筒電極２の先端を向け、その対象物に火花放電路１０６が接触するようにすればよい。

円筒電極１０２は接地１１３に接続され、電極棒１０１には抵抗１１０（安定抵抗、保護抵抗）を介してパルス電源１１１によるパルス電圧が印加され、この電極棒１０１と円筒電極１０２との間にグローコロナ放電、火花放電が発生する。

電極棒１０１と円筒電極１０２との間に放電電圧が印加され、放電が発生している状態のときに、ガスボンベ１１４からガス注入管１１５を介して作動ガスを注入すると、穴１０８を通過したガスがスパイラル状ガス流１１６を生じ、このガス流１１６が電極棒１０１と円筒電極１０２との間に生じた火花放電路１０６を先端に噴出するように湾曲させ、またこの湾曲させられた火花放電路１０６を通過する際に作動ガスはプラズマ化される。

本実施の形態においても、アーク放電を防ぐため、電極棒１０１と円筒電極１０２の電極間にパルス電圧を印加するとともに、安定抵抗として機能する抵抗１１０を挿入し、大気圧中のグローコロナ放電、火花放電を実現している。

この図３に示す実施の形態においてそのほかの点については、図１に示した実施の形態と同様であるので、さらなる説明は省略する。

次に、本発明のさらに別の実施の形態について説明する。

図４は、本発明のさらに別の実施の形態によるプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。

この図４に示す実施の形態のプラズマ生成装置は、図１や図３に示した実施の形態とは異なり、同軸円筒電極を用いるのではなく、電極棒と平板電極との間に放電を生じさせる構成にて、複数の電極棒を設けるようにしている。

電極棒２０５はたとえば直径０．６ｍｍ〜１ｍｍのイリジウム合金、タングステンまたはステンレス等の棒であり、電極板２０２はたとえばアルミ箔またはステンレス板等である。

ケーシング２０４はたとえば内径１２ｍｍの円筒管であり、その材質は各電極から絶縁されていればＳＵＳ（ステンレス）などの金属でもよいし、アクリルなどの樹脂であってもよい。

電極棒２０５はそれぞれ絶縁管２０１に覆われている。この絶縁管２０１としてはいわゆる「がいし」を用いることができる。

電極板２０２は接地２０８に接続され、電極棒２０５にはパルス電源２０３によるパルス電圧が印加され、この電極棒２０５と電極板２０２との間に放電が発生する。パルス電源の代わりに高周波電源（インバータネオントランス）を用いてもよい。

パルス電源２０３からのパルス電圧の一例としては、パルス周波数ｆ＝２ｋＨｚで、放電電圧値Ｖｄ＝９．８ｋＶとし、電極棒２０５と電極板２０２との間の距離を７〜１０ｍｍとすることができる。このような放電電圧を印加すると、電極棒２０５と電極板２０２との間に放電路２０６が形成され、プラズマが生成される。

電極板２０２の上には、図４に示すように、表面を荒らしたい対象物２０７を置く。このとき、荒らし対面が上側すなわち電極棒２０５側になるようにする。

上述のように、電極棒２０５と電極板２０２との間にパルス電源２０３によって高電圧パルスを印加すると、電極間にグロー放電を生じ、電極棒２０５の近傍は電気力線が集中して高電界となり、高密度のプラズマが生成される。

このとき、電極棒２０５を正極にすると、プラズマ中のイオンは電極板２０５の方向に加速され、電極板２０２の上に置かれた対象物２０７をスパッタすることができる。なお、生成するプラズマの密度は放電電流で制御し、放電間隔は放電電圧で制御する。

印加電圧は高電圧で、放電電流は低電流であることが望ましい。また、電源にパルス電源を用いることによって、連続放電によるアーク放電を防ぐことができる。

本実施の形態によれば、図１や図３の実施の形態のように作動ガスをポンプ等によって送りこみ、その勢いでプラズマを前方に噴出する必要がないので、ポンプ等を備える必要がないという効果がある。

また、本実施の形態によれば、電極棒２０５を複数備えることによって、対象物２０７の面の広い領域に対して一度に面荒らしを行うことができ、広範囲にわたる処理をスムーズに行うことができるという効果がある。

なお、図４では複数の電極棒を備えているが、処理を施す面領域が狭くてもよいのであれば１本の電極棒でもよいことはいうまでもない。

次に、図４に示した実施の形態のように複数の電極棒を備える場合において、それぞれの設置の位置関係について説明する。

図５は、図３に示したプラズマ生成装置の電極棒の部分を見た底面図であり、（ａ）５本の電極棒を互いに近接して設けた場合を示す図であり、（ｂ）は５本の電極棒を互いに離隔して設けた場合を示す図である。

図５（ａ）および図５（ｂ）において、２０１ａ〜２０１ｅは絶縁管であり、２０５ａ〜２０５ｅは電極棒であり、２０４はケーシングである。

図５（ａ）に示すように複数の電極棒２０５ａ〜２０５ｅを互いに近接して設けた場合、中心の電極棒２０５ｅからの放電が行われないという状況が発生するおそれがある。中心の電極棒２０５ｅから放出される電子は、他の周囲の電極棒２０５ａ〜２０５ｄの放電によるローレンツ力によって、電極棒２０５ｅと垂直な方向すなわち電極板２０２と水平な方向に曲げられてしまう。このとき、電界も同様な方向に曲げられることになり、他の電極棒２０５ａ〜２０５ｅによる電界と反対方向になり、打ち消されてしまう。このため、中心の電極棒２０５ｅの近傍では放電が生じない状態もしくは弱い放電になってしまい、効率が悪くなるおそれがあった。

そこで、本実施の形態では、この点についての対策を以下のように施した。

まず、第１の対策として、図５（ｂ）に示すように複数の電極棒２０５ａ〜２０５ｅを互いに離隔して設けるようにした。

このようにすることによって、中心の電極棒２０５ｅから放出される電子が、他の周囲の電極棒２０５ａ〜２０５ｄの放電による影響を、それほど受けなくすることができ、中心の電極棒２０５ｅの放電も生じさせることができる。

また別の対策として、図６に示すようにすることも可能である。

図６は、中心の電極棒からの放電が行われないため効率が悪いという問題に対する、図５（ｂ）とは別の対策を示す図である。

図６は、図４と同様にプラズマ発生装置を側面から見た図であり、電極棒２０５ｅが中心電極であり、電極棒２０５ｂおよび電極棒２０５ｄがその周囲の電極である。図６において、極棒２０５ａおよび電極棒２０５ｃについて見やすさのため図示を省略してある。

この図６に示す対策では、中心の電極棒２０５ｅを他の電極棒２０５ａ〜２０５ｄよりも長く（たとえば、電極棒の直径が１ｍｍ程度で、電極どうしの距離が４ｍｍ程度のとき、他の電極棒よりも２ｍｍ程度長く）し、他の電極棒２０５ａ〜２０５ｄの放電による影響を受け難くし、中心の電極棒２０５ｅの放電も生じさせることができるようにしている。

さらに別の対策について図７を参照して説明する。

図７は、中心の電極棒からの放電が行われないため効率が悪いという問題に対する、図５（ｂ）や図６とは別の対策を示す図である。この図７は、図５（ｂ）と同様に、図３に示したプラズマ生成装置の電極棒の部分を見た底面図である。

この図７に示す対策では、中心電極である電極棒２０５ｅを初めから設けないようにし、中心電極で放電が行われないという問題を根本から解決するものである。

次に、図１に示した実施の形態の応用例について説明する。

図８は、図１に示した同軸円筒電極のプラズマ生成装置を複数備えて成るマルチ型のプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。

図８において、３０２ａ〜３０２ｃは円筒電極であり、３０１ａ〜３０１ｃは電極棒である。

この図８の例では、円筒電極３０２ａと電極棒３０１ａとの組み合わせ、円筒電極３０２ｂと電極棒３０１ｂとの組み合わせ、および円筒電極３０２ｃと電極棒３０１ｃとの組み合わせの３つのプラズマ生成装置を、ケーシング３０４に収納して構成される。

ケーシング３０４の先端には、図１の電極板３に相当する電極部材３０３を備え、この電極部材３０３には、図１の穴３ａに相当する穴３０３ａが設けられている。

円筒電極３０２ａ〜３０２ｃは接地３１３に接続され、電極棒３０１ａ〜３０１ｃにはそれぞれパルス電源３１１ａ〜３１１ｃからパルス電圧が印加される。また、電極部材３０３には直流電源３１２から正電圧が印加される。

ケーシング４内にはガス注入管３１４を介して作動ガスが注入され、円筒電極３０２ａと電極棒３０１ａとの組み合わせ、円筒電極３０２ｂと電極棒３０１ｂとの組み合わせ、および円筒電極３０２ｃと電極棒３０１ｃとの組み合わせの３つのプラズマ生成装置によって生成されたプラズマは、電極部材３０３によって引き出され、穴３０３ａから射出され、これがプラズマトーチとなる。

このようなマルチ型にすれば、放電電圧を増加させることなく、大容量のプラズマを生成することができる。

本発明の一実施の形態によるプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。図１に示したプラズマ生成装置の同軸円筒効果について説明する図である。本発明の別の実施の形態によるプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。本発明のさらに別の実施の形態によるプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。図３に示したプラズマ生成装置の電極棒の部分を見た底面図であり、（ａ）５本の電極棒を互いに近接して設けた場合を示す図であり、（ｂ）は５本の電極棒を互いに離隔して設けた場合を示す図である。中心の電極棒からの放電が行われないため効率が悪いという問題に対する、図５（ｂ）とは別の対策を示す図である。中心の電極棒からの放電が行われないため効率が悪いという問題に対する、図５（ｂ）や図６とは別の対策を示す図である。図１に示した同軸円筒電極のプラズマ生成装置を複数備えて成るマルチ型のプラズマ生成装置の構成を示す概略断面ブロック図である。

符号の説明

１電極棒
２円筒電極
３電極板
３ａ穴
４ケーシング
５底部材
６火花放電路
７支持部材
８ガス注入口
９支持部材
１０抵抗
１１パルス電源
１２直流電源
１３接地
１４ガスボンベ
１５ガス注入管
１６スパイラル状ガス流
１７プラズマトーチ

Claims

第１の電極と、第２の電極と、パルス電圧を発生するパルス電源とを有し、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に前記パルス電源による所定のパルス電圧を印加することによって、前記第１の電極と前記第２の電極との間に放電を発生させ、該放電によってプラズマを生成することを特徴とするプラズマ生成装置。
第１の電極と、第２の電極と、高周波電圧を発生する高周波電源とを有し、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に前記高周波電源による所定の高周波電圧を印加することによって、前記第１の電極と前記第２の電極との間に放電を発生させ、該放電によってプラズマを生成することを特徴とするプラズマ生成装置。
前記第１の電極が電極棒であり、前記第２の電極が円筒電極であり、前記円筒電極の中心に前記電極棒を設け、同軸円筒形状を形成することを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ生成装置。
前記プラズマを出射すべき所望の方向に誘導する第３の電極板をさらに設けたことを特徴とする請求項１ないし３のうちのいずれか１項に記載のプラズマ生成装置。
請求項３または４に記載のプラズマ生成装置を複数備えてなることを特徴とするマルチ型のプラズマ生成装置。
前記第１の電極が電極棒であり、前記第２の電極が電極板であり、前記電極棒の先端を所定の距離だけ離して前記電極板の面に向けて配置することを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ生成装置。
前記電極棒が複数であることを特徴とする請求項６に記載のプラズマ生成装置。
前記複数の電極棒どうしを所定の距離だけ離隔して配置することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ生成装置。
前記複数の電極棒のうち中心の電極棒を他の電極棒よりも前記電極板に近づけて配置することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ生成装置。
前記複数の電極棒の中心位置には電極棒を配置しないようにして、前記複数の電極棒を配置することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ生成装置。
前記第１の電極がイリジウム合金であることを特徴とする請求項１ないし１０のうちのいずれか１項に記載のプラズマ生成装置。
前記第１の電極がタングステンであることを特徴とする請求項１ないし１０のうちのいずれか１項に記載のプラズマ生成装置。