JPH01159350U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01159350U JPH01159350U JP5505588U JP5505588U JPH01159350U JP H01159350 U JPH01159350 U JP H01159350U JP 5505588 U JP5505588 U JP 5505588U JP 5505588 U JP5505588 U JP 5505588U JP H01159350 U JPH01159350 U JP H01159350U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circumferential surface
- outer tube
- short cylindrical
- gas
- introduction part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 4
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図はこの考案の1実施例の概略を示す部分
縦断側面図、第2図は同実施例の平面図、第3図
は同実施例の外側ガス導入部2の斜視図、第4図
は従来のインダクシヨンプラズマ用トーチの例を
示す部分縦断側面図、第5図は第4図のトーチの
外側ガス導入部の斜視図である。 1……外側管、2……外側ガス導入部、5……
高周波誘導コイル、6……直線溝、7……ら旋溝
。
縦断側面図、第2図は同実施例の平面図、第3図
は同実施例の外側ガス導入部2の斜視図、第4図
は従来のインダクシヨンプラズマ用トーチの例を
示す部分縦断側面図、第5図は第4図のトーチの
外側ガス導入部の斜視図である。 1……外側管、2……外側ガス導入部、5……
高周波誘導コイル、6……直線溝、7……ら旋溝
。
Claims (1)
- 耐火材で形成された外側管の基端部内に供給さ
れる外側ガスが外側管の内周面に沿つて旋回しな
がら先端側から出るようにガス導入部を設けられ
たインダクシヨンプラズマ用トーチにおいて、前
記ガス導入部が、前記外側管基端部の内周面に短
円柱状又は短円筒状の部材を嵌合せしめられ、そ
の部材の外周面に、ガス入口側端面から軸線の方
向に沿い出口側に向う直線溝とその直線溝に続い
て屈曲しら旋状に伸延して前記部材のガス出口側
端面に開口したら旋溝とを設けた構成であること
を特徴とするインダクシヨンプラズマ用トーチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5505588U JPH01159350U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5505588U JPH01159350U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01159350U true JPH01159350U (ja) | 1989-11-06 |
Family
ID=31280960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5505588U Pending JPH01159350U (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01159350U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006114450A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Yutaka Electronics Industry Co Ltd | プラズマ生成装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61183896A (ja) * | 1985-02-09 | 1986-08-16 | 住友電気工業株式会社 | 高周波誘導プラズマ用ト−チ |
-
1988
- 1988-04-22 JP JP5505588U patent/JPH01159350U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61183896A (ja) * | 1985-02-09 | 1986-08-16 | 住友電気工業株式会社 | 高周波誘導プラズマ用ト−チ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006114450A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Yutaka Electronics Industry Co Ltd | プラズマ生成装置 |