JP2006113413A - 描画方法および描画装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 1つの描画ヘッド30に複数の空間光変調素子34a,34bを設け、その複数の空間光変調素子34a,34bにより変調された光を共通の光学系36,37,38を用いて描画面12a上に結像するようにすることにより描画ヘッド30の数を減らす。
【選択図】 図3
Description
ただし、Ttr:各分割領域の変調時間
Tsr:各分割領域への制御信号の転送時間
また、上記実施形態においては、DMD34aとDMD34bとを、走査方向に直交する方向について同じ位置に配置するようにしたが、図20(A)に示すように、DMD34aとDMD34bとを走査方向に直交する方向に所定の距離だけずらして配置するようにしてもよい。なお、図20(A)は、露光ヘッド30の上面図であり、図20(B)は、図20(A)に示すようにDMD34a,34bを配置した場合における露光面上における露光領域40a、露光領域40bを示す図である。なお、複数のDMDの配置については、上記に示した配置に限らず、その他の配置方法で、走査方向または走査方向に直交する方向に並べるようにしてもよい。
12 感光材料
12a 露光面
14 移動ステージ
24 スキャナ
30 露光ヘッド
32a,32b 導光部材
33a,33b 第1のプリズム
34a,34b DMD
35 第2のプリズム
36 第1の投影レンズ
37 マイクロレンズアレイ
38 第2の投影レンズ
56a,56b SRAMアレイ
58a,58b マイクロミラー
60A〜60D 制御信号転送部
Claims (20)
- 入射された光を転送された描画情報に応じた制御信号に応じて変調する描画素子が2次元状に多数配置された空間光変調素子と該空間光変調素子により変調された光を描画面上に結像する光学系とを有する描画ヘッドを用いた描画方法であって、前記空間光変調素子の前記描画素子に前記制御信号を転送して前記変調を行うとともに、前記描画ヘッドを前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させて描画を行う描画方法において、
前記描画ヘッドが、複数の前記空間光変調素子と、該複数の空間光変調素子により変調された光を前記描画面に結像する共通の光学系とを有するものであり、
該描画ヘッドを用いて前記描画を行うことを特徴とする描画方法。 - 前記描画ヘッドにおける前記複数の空間光変調素子および前記光学系が、前記複数の空間光変調素子によって変調された光を前記光学系により前記描画面上に結像した領域が前記走査方向および/または前記走査方向に直交する方向に並んで配置されるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の描画方法。
- 前記複数の空間光変調素子毎の前記制御信号を並列または独立に転送することを特徴とする請求項1または2記載の描画方法。
- 前記各空間光変調素子毎に前記変調を行うとともに、該空間光変調素子毎の前記変調のタイミングおよび/または前記走査方向への移動速度を制御することによって前記各空間光変調素子に対応する前記描画面上における各描画領域の配置を制御することを特徴とする請求項3記載の描画方法。
- 前記複数の空間光変調素子をそれぞれ複数のブロック領域に分割し、
該各空間光変調素子において複数のブロック領域毎の前記制御信号を並列または独立に転送することを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載の描画方法。 - 前記各空間光変調素子において前記各ブロック領域を、複数の分割領域にさらに分割し、
前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域において前記分割領域毎に前記制御信号を順次転送するとともに、該転送終了時点から順次前記変調を行うことを特徴とする請求項5記載の描画方法。 - 前記複数の空間光変調素子をそれぞれ前記走査方向について複数のブロック領域に分割し、
該各空間光変調素子において複数のブロック領域毎の前記制御信号を並列または独立に転送することを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載の描画方法。 - 前記各空間光変調素子において前記ブロック領域毎に前記変調を行うとともに、該ブロック領域毎の前記変調のタイミングおよび/または前記走査方向への移動速度を制御することによって前記各ブロック領域に対応する前記描画面上における各ブロック描画領域の配置を制御することを特徴とする請求項7記載の描画方法。
- 前記各空間光変調素子において前記各ブロック領域を、前記走査方向について複数の分割領域にさらに分割し、
前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域において前記分割領域毎に前記制御信号を順次転送するとともに、該転送終了時点から順次前記変調を行うことを特徴とする請求項7記載の描画方法。 - 前記各空間光変調素子において前記各ブロック領域における前記分割領域の前記変調のタイミングおよび/または前記走査方向への移動速度を制御することによって前記分割領域に対応する前記描画面上における各分割描画領域の配置を制御することを特徴とする請求項9記載の描画方法。
- 入射された光を転送された描画情報に応じた制御信号に応じて変調する描画素子が2次元状に多数配置された空間光変調素子と該空間光変調素子により変調された光を描画面上に結像する光学系とを有する描画ヘッドと、該描画ヘッドを描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させる移動手段と、前記空間光変調素子の前記描画素子に前記制御信号を転送して前記変調を行わせるとともに、前記移動手段の前記走査方向への移動速度を制御する制御手段とを備えた描画装置において、
前記描画ヘッドが、複数の前記空間光変調素子と、該複数の空間光変調素子により変調された光を前記描画面に結像する共通の光学系とを有するものであることを特徴とする描画装置。 - 前記描画ヘッドにおける前記複数の空間光変調素子および前記光学系が、前記複数の空間光変調素子によって変調された光を前記光学系により前記描画面上に結像した領域が前記走査方向および/または前記走査方向に直交する方向に並んで配置されるように構成されていることを特徴とする請求項11記載の描画装置。
- 前記制御手段が、前記複数の空間光変調素子毎の前記制御信号を並列または独立に転送する、前記各空間光変調素子毎に設けられた複数の制御信号転送部を有することを特徴とする請求項11または12記載の描画装置。
- 前記制御手段が、前記各空間光変調素子毎に前記変調を行うとともに、該空間光変調素子毎の前記変調のタイミングおよび/または前記走査方向への移動速度を制御することによって前記各空間光変調素子に対応する前記描画面上における各描画領域の配置を制御するものであることを特徴とする請求項13記載の描画方法。
- 前記各空間光変調素子が、複数のブロック領域に分割されており、
前記制御手段が、前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域に前記制御信号を並列または独立に転送する、前記各ブロック領域毎に設けられた複数のブロック制御信号転送部を有するものであることを特徴とする請求11から14いずれか1項記載の描画装置。 - 前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域が、複数の分割領域にさらに分割されており、
前記制御手段が、前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域において前記分割領域毎に前記制御信号を順次転送するとともに、該転送終了時点から順次前記変調を行わせるものであることを特徴とする請求項15記載の描画装置。 - 前記各空間光変調素子が、前記走査方向について複数のブロック領域に分割されており、
前記制御手段が、前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域に前記制御信号を並列または独立に転送する、前記各ブロック領域毎に設けられた複数のブロック制御信号転送部を有するものであることを特徴とする請求項11から14いずれか1項記載の描画装置。 - 前記制御手段が、前記各空間光変調素子における前記ブロック領域毎に前記変調を行わせるものであるとともに、該ブロック領域毎の前記変調のタイミングおよび/または前記走査方向への移動速度を制御することによって前記各ブロック領域に対応する前記描画面上における各ブロック描画領域の配置を制御するものであることを特徴とする請求項17記載の描画装置。
- 前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域が、前記走査方向について複数の分割領域にさらに分割されており、
前記制御手段が、前記各空間光変調素子における前記各ブロック領域において前記分割領域毎に前記制御信号を順次転送するとともに、該転送終了時点から順次前記変調を行わせるものであることを特徴とする請求項17記載の描画装置。 - 前記制御手段が、前記各空間光変調素子において前記各ブロック領域における前記分割領域の前記変調のタイミングおよび/または前記走査方向への移動速度を制御することによって前記分割領域に対応する前記描画面上における各分割描画領域の配置を制御するものであることを特徴とする請求項19記載の描画装置。
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