JP2006238322A - データ取得方法および装置並びに描画方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数の露光ヘッドにそれぞれ設けられた画像処理部によって作成された各露光画像データをパラレルデータとして出力し、その各パラレルデータをシリアルデータに変換して送信回路から送信し、各露光ヘッド毎に設けられた受信回路において受信してパラレルデータに変換し、そのパラレルデータを各露光ヘッドに入力して露光を行う露光装置において、各受信回路において適切なパラレルデータを取得する。
【解決手段】 各画像処理部から出力された各パラレルデータを画像データ変換送信部１０１〜１１０においてシリアルデータに変換するとともに、その各シリアルデータにその先頭位置を示すヘッドデータを付加して各画像データ受信変換部２０１〜２１０に出力し、各画像データ受信変換部２０１〜２１０において上記ヘッドデータを検出し、そのヘッドデータの示す先頭位置に基づいて各シリアルデータをパラレルデータに変換する。
【選択図】 図７

Description

本発明は、複数のデータ変換送信部においてそれぞれパラレルデータをシリアルデータに変換して送信し、その送信された各シリアルデータを複数のデータ受信変換部により受信しそれぞれパラレルデータに変換して取得するデータ取得方法および装置並びに描画方法および装置に関するものである。

従来、画像データが表す所望の２次元パターンを描画面上に形成する描画装置が種々知られている。

上記のような描画装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下、ＤＭＤという）等の空間光変調素子を利用し、画像データに応じて空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上のメモリセル（ＳＲＡＭアレイ）に、微小なマイクロミラーが２次元状に多数配置されて構成されたものである。そして、メモリセルに蓄積される電荷による静電気力を制御することによってマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させることができ、この反射面の角度変化により所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができるものである。

そして、上記のようなＤＭＤを用いた露光装置としては、たとえば、ＤＭＤを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてＤＭＤのメモリセルに多数のマイクロミラーに対応した多数の描画点データからなるフレームデータを入力し、ＤＭＤのマイクロミラーに対応した描画点群を時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置が提案されている。

また、上記のような露光装置として、ＤＭＤが設けられた露光ヘッドを複数備え、その複数の露光ヘッドを走査方向に直交する方向に一列に配列するとともに、その露光ヘッド列を走査方向に複数配列した露光装置も提案されている（たとえば特許文献１参照）。上記のようにラインヘッドを構成して露光を行うことにより露光時間を短縮することができる。

ここで、上記のような複数の露光ヘッドを備えた露光装置を用いて露光を行う際には、各露光ヘッドに、その露光ヘッドの感光材料に対する位置に対応したフレームデータを順次入力する必要がある。

一方、上記のような露光装置の各露光ヘッドに入力されるフレームデータは、たとえば、コンピュータなどによって作成された露光画像データに基づいて、露光装置における画像処理部において作成される。そして、画像処理部において作成されたフレームデータは、たとえば、ＳＥＲＤＥＳ（ｓｅｒｉａｌｉｚｅｒ/ｄｅｓｅｒｉａｌｉｚｅｒ）回路などを利用してシリアルデータに変換されて出力され、各露光ヘッド毎に設けられた受信回路において再びパラレルデータに変換された後、各露光ヘッドに入力される。
特開２００４−２３３７１８号公報

しかしながら、上記のように各露光ヘッドの各フレームデータを画像処理部からシリアルデータで出力し、そのシリアルデータを各受信回路で受信するようにした場合、シリアルデータへの変換速度のばらつきやシリアルデータの転送速度のばらつき（転送スキュー）によって、各受信回路にシリアルデータの先頭が入力されるタイミングにずれが生じてしまう場合がある。そして、従来は、上記のようなタイミングのずれは考慮せず、予め定められた１つ露光ヘッドの受信回路においてフレームデータの先頭を検出し、この検出されたタイミングを利用して他の露光ヘッドの受信回路においてフレームデータを取得していたため、各受信回路にて取得されたフレームデータの整合がとれなくなり、正確な露光画像を露光することができないおそれがあった。

本発明は、上記事情に鑑み、上記の露光装置のように、シリアルデータを複数の送信回路からそれぞれ送信し、その送信された各シリアルデータを複数の受信回路によってそれぞれ受信してパラレルデータに変換して取得するデータ取得方法および装置並びに描画方法および装置において、上記のようなシリアルデータへの変換速度のばらつきやシリアルデータの転送速度のばらつき（転送スキュー）に影響されることなく、各受信回路において適切なパラレルデータを取得することができるデータ取得方法および装置並びに描画方法および装置を提供することを目的とするものである。

本発明のデータ取得方法は、複数のデータ変換送信部においてそれぞれパラレルデータをシリアルデータに変換して送信し、その各データ変換送信部から送信されたシリアルデータを、各データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数のデータ受信変換部により受信し、その受信したシリアルデータを各データ受信変換部においてそれぞれパラレルデータに変換して取得するデータ取得方法において、各データ変換送信部から送信される各シリアルデータに、各シリアルデータの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信し、その送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータを各データ受信変換部によってそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータの示す各シリアルデータの先頭位置に基づいて上記受信した各ヘッダー付シリアルデータをパラレルデータに変換して取得することを特徴とする。

また、上記データ取得方法においては、シリアルデータを所定のデータ量の複数の部分シリアルデータからなるものとするとともに、ヘッダーデータを部分シリアルデータの先頭位置を示すものとし、各データ変換送信部から送信される各シリアルデータに、部分シリアルデータ毎にヘッダーデータを付加して前記ヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信し、その送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータを各データ受信変換部によってそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータに基づいて上記受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータを部分シリアルデータ毎にパラレルデータに変換して取得するようにすることができる。

また、各データ受信変換部においてそれぞれ取得された各パラレルデータを、各データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部にそれぞれ記憶し、その各記憶部に記憶された各パラレルデータを同期させて読み出すようにすることができる。

本発明の描画方法は、複数の画像データ変換送信部においてそれぞれパラレル画像データをシリアル画像データに変換して送信し、その各画像データ変換送信部から送信されたシリアル画像データを、各画像データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数の画像データ受信変換部により受信し、その受信したシリアル画像データを各画像データ受信変換部においてそれぞれパラレル画像データに変換して取得し、各画像データ受信変換部によりそれぞれ取得された各パラレル画像データを、各画像データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の描画ヘッド部にそれぞれ入力して各描画ヘッド部により描画面上に描画を施す描画方法において、各画像データ変換送信部から送信される各シリアル画像データに、各シリアル画像データの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信し、その送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データを各画像データ受信変換部によってそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータの示す各シリアル画像データの先頭位置に基づいて上記受信した各ヘッダー付シリアル画像データをパラレル画像データに変換して取得し、その取得した各パラレル画像データを各描画ヘッド部にそれぞれ入力することを特徴とする。

また、上記描画方法においては、シリアル画像データを所定のデータ量の複数のフレームデータからなるものとするとともに、ヘッダーデータをフレームデータの先頭位置を示すものとし、各画像データ変換送信部から送信される各シリアル画像データに、フレームデータ毎にヘッダーデータを付加してヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信し、その送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データを各データ受信変換部によってそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータに基づいて上記受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データをフレームデータ毎にパラレル画像データに変換して取得し、その取得したフレームデータ毎の各パラレル画像データを各描画ヘッド部にそれぞれ順次入力するとともに、複数の描画ヘッド部を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させて描画を施すようにすることができる。

また、各画像データ受信変換部おいてそれぞれ取得された各パラレル画像データを、各画像データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部にそれぞれ記憶し、各記憶部に記憶された各パラレル画像データを同期させて読み出し、その読み出された各パラレル画像データを各描画ヘッド部にそれぞれ入力するようにすることができる。

本発明のデータ取得装置は、パラレルデータをシリアルデータに変換して送信する、複数のデータ変換送信部と、各データ変換送信部から送信されたシリアルデータを受信し、その受信したシリアルデータをパラレルデータに変換して取得する、各データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数のデータ受信変換部とを備えたデータ取得装置において、各データ変換送信部が、各シリアルデータにその各シリアルデータの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信するものであり、各データ受信変換部が、各データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータをそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータの示すデータ量に基づいて上記受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータをパラレルデータに変換して取得するものであることを特徴とする。

また、上記データ取得装置においては、シリアルデータを所定のデータ量の複数の部分シリアルデータからなるとするとともに、ヘッダーデータを部分シリアルデータの先頭位置を示すものとし、各データ変換送信部を、各シリアルデータに部分シリアルデータ毎にヘッダーデータを付加してヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信するものとし、各データ受信変換部を、各データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータを受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータに基づいて上記受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータを部分シリアルデータ毎にパラレルデータに変換して取得するものとすることができる。

また、各データ受信変換部において取得された各パラレルデータを記憶する、各データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部と、各記憶部に記憶された各パラレルデータを同期させて読み出して出力するデータ出力部とをさらに備えたものとすることができる。

本発明の描画装置は、パラレル画像データをシリアル画像データに変換して送信する、複数の画像データ変換送信部と、各画像データ変換送信部から送信されたシリアルデータを受信し、その受信したシリアル画像データをパラレル画像データに変換して取得する、各画像データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数の画像データ受信変換部と、各画像データ受信変換部により取得された各パラレル画像データがそれぞれ入力され、その入力された各パラレル画像データに基づいて描画面上にそれぞれ描画を施す複数の描画ヘッド部とを備えた描画装置において、各画像データ変換送信部が、各シリアル画像データにその各シリアル画像データの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信するものであり、各画像データ受信変換部が、各画像データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データをそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータの示す各シリアル画像データの先頭位置に基づいて上記受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データをパラレル画像データに変換して取得するものであることを特徴とする。

また、上記描画装置においては、シリアル画像データを所定のデータ量の複数のフレームデータからなるものとするとともに、ヘッダーデータをフレームデータの先頭位置を示すものとし、各画像データ変換送信部を、各シリアル画像データにフレームデータ毎にヘッダーデータを付加してヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信するものとし、各画像データ受信変換部を、各画像データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データをそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータに基づいて上記受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データをフレームデータ毎にパラレル画像データに変換して取得するものとし、描画ヘッド部を、描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動するものとするとともに、各画像データ受信変換部により取得されたフレームデータ毎の各パラレル画像データがそれぞれ上記移動に応じて順次入力されるものとすることができる。

また、各画像データ受信変換部において取得された各パラレル画像データを記憶する、各画像データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部と、各記憶部に記憶された各パラレル画像データを同期させて読み出し、その読み出した各パラレル画像データをそれぞれ各描画ヘッド部に出力する画像データ出力部とをさらに備えるようにすることができる。

本発明のデータ取得方法および装置によれば、各データ変換送信部から送信される各シリアルデータに、各シリアルデータの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信し、その送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータを各データ受信変換部によってそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおけるヘッダーデータを検出し、その検出したヘッダーデータの示す各シリアルデータの先頭位置に基づいて上記受信した各ヘッダー付シリアルデータをパラレルデータに変換して取得するようにしたので、上記のように各シリアルデータ毎にヘッダーデータを付加しこれを検出することによって、各データ変換送信部におけるパラレルデータからシリアルデータへの変換速度のばらつきや、各データ変換送信部から各データ受信変換部へのシリアルデータの転送速度のばらつき（転送スキュー）に影響されることなく、各データ受信変換部において適切なパラレルデータを取得することができる。

本発明の描画方法および装置によれば、上記本発明のデータ取得方法および装置と同様に、各シリアル画像データ毎にヘッダーデータを付加することによって、各画像データ受信変換部において適切なパラレル画像データを取得することができ、そのパラレル画像データを用いて所望の画像を描画することができる。

以下、図面を参照して本発明のデータ取得方法および装置並びに描画方法および装置の一実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。

本発明の実施形態を用いた露光装置は、後述するように複数の露光ヘッドを用いた露光装置であって、その複数の露光ヘッドへ入力されるフレームデータの取得方法に特徴を有するものであるが、まず、本露光装置の全体の構成について説明する。図１は、本発明の実施形態を用いた露光装置１０の概略構成を示す斜視図である。

露光装置１０は、図１に示すように、感光材料１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。移動ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。そして、移動ステージ１４は、後述するステージ駆動装置７０により往復移動させられるものである。

設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には感光材料１２の先端および後端を検知する複数（たとえば２個）のセンサ２６が設けられている。スキャナ２４およびセンサ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４およびセンサ２６は、これらを制御する、後述する全体制御部に接続されている。

スキャナ２４は、図２および図３（Ｂ）に示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０を備えている。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド３０_ｍｎと表記する。

各露光ヘッド３０は、空間光変調素子であるＤＭＤ３６を備えている。ＤＭＤ３６は、描画素子としてのマイクロミラーが一列に配置されたマイクロミラー列が、複数平行に配列されたものであり、そのマイクロミラー列の配列方向が走査方向と所定の傾斜角度θをなすように露光ヘッド３０に取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２は、図２および図３（Ｂ）に示すように、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア３２_ｍｎと表記する。

ＤＭＤ３６の光入射側には、光ファイバの発光点が露光エリア３２の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたファイバアレイ光源（図示省略）とファイバアレイ光源から出射されたレーザ光を平行光化し、その平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正してＤＭＤ３６上に集光する集光レンズ系（図示省略）とが設けられている。

また、ＤＭＤ３６の光反射側には、ＤＭＤ３６で反射されたレーザ光を感光材料１２０の描画面に結像する結像レンズ系（図示省略）が配置されている。

そして、図３（Ａ）に示すように、移動ステージ１４の移動に伴い、感光材料１２には露光ヘッド３０毎に帯状の露光済み領域３４が形成されるが、その帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア３２_１１と露光エリア３２_１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア３２_２１により露光することができる。

ＤＭＤ３６は、図４に示すように、ＳＲＡＭアレイ（メモリセル）５６上に、マイクロミラー５８が支柱により支持されて配置されたものであり、多数の（例えば、ピッチ１３．６８μｍ、１０２４個×７６８個）のマイクロミラー５８が、直交する方向に２次元状に配列されて構成されたミラーデバイスである。そして、上述したようにマイクロミラー５８の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭアレイ５６が配置されている。

ＤＭＤ３６のＳＲＡＭアレイ５６に制御信号としてのデジタル信号が書き込まれると、そのデジタル信号に応じた制御電圧が、マイクロミラー５８毎に設けられた電極部（図示せず）に印加され、その制御電圧の印加により発生した静電気力によって支柱に支えられたマイクロミラー５８が、対角線を中心として±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図５（Ａ）は、マイクロミラー５８がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図５（Ｂ）は、マイクロミラー５８がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。そして、マイクロミラー５８がオン状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２に向けて反射され、マイクロミラー５８がオフ状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２以外の光吸収材料に向けて反射される。そして、１つのマイクロミラー５８により反射された光Ｂが感光材料１２に照射されることによって、露光対象である画像を構成する１つの描画点（画素）が感光材料１２上に露光される。

また、露光装置１０においては、上述したようにＤＭＤ３６が、そのマイクロミラー列３６ａの配列方向が走査方向と所定の傾斜角度θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなすように露光ヘッド３０に取り付けられているので（図６参照）、各マイクロミラー５８の露光軌跡のピッチをマイクロミラー５８の配列ピッチよりも狭くすることができる。

次に、露光装置１０の電気的構成について図７を参照して説明する。

露光装置１０は、感光材料１２上に露光される露光対象画像を表す露光画像データが入力され、露光ヘッド３０毎の露光画像データを生成し、その露光画像データをパラレル露光画像データとして出力する、露光ヘッド３０毎に設けられた画像処理部（図示省略）と、その画像処理部から出力されたパラレル露光画像データが入力され、そのパラレル露光画像データをシリアルデータのシリアル露光画像データに変換するとともに、そのシリアル露光画像データにヘッダーデータを付加してヘッダーデータ付シリアル露光画像データとして送信する画像データ変換送信部１０１〜１１０と、画像データ変換送信部１０１〜１１０から送信されたヘッダーデータ付シリアル露光画像データを受信し、その受信したヘッダーデータ付シリアル露光画像データにおけるヘッダーデータを検出し、その検出されたヘッダーデータに基づいてシリアル露光画像データからフレームデータを取得し、そのフレームデータをパラレル露光画像データに変換して出力する画像データ受信変換部２０１〜２１０と、画像データ受信変換部２０１〜２１０から出力されたパラレル露光画像データをフレームデータ毎に記憶するメモリ３０１〜３０３、メモリ３０１〜３０３に記憶されたフレームデータを同期して読み出し、後段のＤＭＤコントローラ５０１〜５１０に出力する画像データ出力部４００と、画像データ出力部４００から出力されたフレームデータに基づいてＤＭＤ３６に制御信号を出力するＤＭＤコントローラ５０１〜５１０と、露光装置全体を制御する全体制御部６０とを備えている。また、全体制御部６０は、移動ステージ１４を駆動するステージ駆動装置８０とファイバアレイ光源９０の動作も制御するものである。なお、図７においては、各露光ヘッド３０_ｍｎに設けられたＤＭＤ３６をＤＭＤ３６_ｍｎとして表記している。

画像データ変換送信部１０１〜１１０、画像データ受信変換部２０１〜２１０およびメモリ３０１〜３０３は、図７に示すように、各露光ヘッド３０毎に設けられている。なお、画像データ変換送信部１０１〜１１０、画像データ受信変換部２０１〜２１０およびメモリ３０１〜３０３は、各露光ヘッド３０と同じ数だけ設けられているが、図７においてはその一部だけ示し、その一部以外は図示省略してある。

各画像データ変換送信部１０１〜１１０には、上述したように各画像処理部から出力された各露光ヘッド３０毎のパラレル露光画像データがそれぞれ入力される。そして、各画像データ変換送信部１０１〜１１０は、入力されたパラレル露光画像データをシリアル露光画像データに変換するものである。そして、さらにそのシリアル露光画像データをフレームデータ単位に区切り、その各フレームデータの先頭にその先頭位置を示すヘッダーデータを付加するとともに、最後尾にアイドルデータを付加し、そのヘッダーデータ付シリアル露光画像データを、それぞれ後段の画像データ受信変換部２０１〜２１０に出力するものである。図８にヘッダーデータ付シリアル露光画像データのデータ構造の一例を示す。

フレームデータとは、各露光ヘッド３０の感光材料１２に対する位置に応じて、各露光ヘッド３０の各ＤＭＤ３６に入力されるデータであって、上記位置毎に入力されるデータである。１つのフレームデータが各露光ヘッド３０にそれぞれ入力されると、各露光ヘッド３０によって、上述した感光材料１２上の露光エリア３２が露光され、その露光エリア３２が感光材料１２の移動に応じて走査方向に時系列に順次露光されることによって、上述した露光済み領域３４が形成される。

ヘッダーデータとは、各フレームデータの先頭位置を示すものである。

画像データ変換送信部１０１〜１１０には、予めフレームデータのデータ量が設定されており、画像データ変換送信部１０１〜１１０は、その予め設定されたデータ量に応じてシリアル露光画像データをフレームデータ単位で区切り、その区切られた各フレームデータの先頭にヘッダーデータを付加するものである。

また、アイドルデータとは、上記ヘッダーデータとは異なるデータであって、シリアル露光画像データの区切り示すデータである。アイドルデータは、図８に示すようにフレームデータ毎に付加するようにしてもよいし、所定のビット数毎に付加するようにしてもよい。また、アイドルデータとして、いわゆるアライナーコードを利用することができる。

そして、画像データ変換送信部１０１〜１１０は、上記のようにして区切られた各フレームデータの最後尾にアイドルデータを付加するものである。

画像データ受信変換部２０１〜２１０は、入力されたヘッダーデータ付シリアル露光画像データにおけるヘッダーデータを検出するヘッダーデータ検出部２０１ａ〜２１０ａをそれぞれ備えている。そして、そのヘッダーデータ検出部２０１ａ〜２１０ａにより検出されたヘッダーデータに示された各フレームデータの先頭位置および予め設定されたフレームデータのデータ量に基づいて各フレームデータを取得し、その取得された各フレームデータをパラレル露光画像データに変換して後段のメモリ３０１〜３１０に出力するものである。

メモリ３０１〜３１０は、画像データ受信変換部２０１〜２１０から出力された各フレームデータを順次記憶するものである。そして、メモリ３０１〜３１０は、ＦＩＦＯメモリであり、上記のようにして順次記憶した各フレームデータを、その記憶した順番で画像データ出力部４００に出力するものである。

画像データ出力部４００は、各メモリ３０１〜３１０に共通のクロック信号を出力し、そのクロック信号によって各メモリ３０１〜３１０からフレームデータを同期させて読み出し、その各フレームデータをそれぞれ後段のＤＭＤコントローラ５０１〜５１０に順次出力するものである。

次に、露光装置１０の作用について詳細に説明する。

まず、コンピュータなどにおいて、感光材料１２に露光される露光対象画像に応じた露光画像データが作成され、その露光画像データが各露光ヘッド３０毎に設けられた画像処理部に入力される。そして、各画像処理部において各露光ヘッド３０毎の露光画像データが生成され、その露光画像データはパラレル露光画像データとして出力され、各露光ヘッド３０に対応した画像データ変換送信部１０１〜１１０に入力される。

各画像データ変換送信部１０１〜１１０に入力されたパラレル露光画像データは、各画像データ変換送信部１０１〜１１０においてシリアル露光画像データに変換される。そして、さらに各画像データ変換送信部１０１〜１１０は、予め設定されたフレームデータのデータ量に基づいてシリアル露光画像データをフレームデータ単位で区切り、その区切られた各フレームデータの先頭にヘッダーデータを付加するとともに、上記のようにして区切られた各フレームデータの最後尾にアイドルデータを付加する。

つまり、各画像データ変換送信部１０１〜１１０は、入力されたパラレル露光画像データを、図８に示すようなデータ構造のヘッダーデータ付シリアル露光画像データとし、そのヘッダーデータ付シリアル露光画像データを各画像データ受信変換部２０１〜２１０に出力する。

画像データ受信変換部２０１〜２１０は、入力されたヘッダーデータ付シリアル露光画像データにおけるヘッダーデータを検出し、そのヘッダーデータに示された先頭位置および予め設定されたフレームデータのデータ量に基づいて各フレームデータを取得し、その取得された各フレームデータを各メモリ３０１〜３１０に順次出力するものである。具体的には、各画像データ受信変換部２０１〜２１０には、それぞれに図８に示すようなデータ構造のヘッダーデータ付シリアル露光画像データが入力され、各画像データ受信変換部２０１〜２１０は、入力されたヘッダーデータ付シリアル露光画像データにおけるヘッダーデータを各ヘッダーデータ検出部２０１ａ〜２１０ａにより検出し、そのヘッダーデータに示された先頭位置および予め設定されたフレームデータのデータ量に基づいてフレームデータ１、フレームデータ２、フレームデータ３、…、フレームデータｎを順次取得し、フレームデータ１〜ｎをパラレル露光画像データに変換して順次各メモリ３０１〜３１０に出力する。そして、各メモリ３０１〜３０３に、それぞれｎ個のフレームデータがその入力された順に記憶される。

そして、画像データ出力部４００が、各メモリ３０１〜３１０に共通のクロック信号を出力し、そのクロック信号によって各メモリ３０１〜３１０からフレームデータを同期して読み出し、その各フレームデータをそれぞれＤＭＤコントローラ５０１〜５１０に順次出力する。具体的には、画像データ出力部４００から出力されたクロック信号が、各メモリ３０１〜３１０に入力され、そのクロック信号に応じて各メモリ３０１〜３１０から各フレームデータｎが並列に順次読み出される。つまり、各メモリ３０１〜３１０からフレームデータ１がそれぞれ並列に読み出された後、フレームデータ２がそれぞれ並列に読み出され、その後順次各メモリ３０１〜３１０に記憶された順にフレームデータｎがそれぞれ並列に読み出される。

そして、上記のようにして各メモリ３０１〜３１０から並列に読み出されたフレームデータｎは、それぞれＤＭＤコントローラ５０１〜５１０に入力される。そして、各ＤＭＤコントローラ５０１〜５１０は、入力されたフレームデータｎに基づいて、各露光ヘッド３０_１１〜３０_２５のＤＭＤ３６_１１〜３６_２５の制御信号をそれぞれ生成する。

一方、上記のようにして各露光ヘッド３０_１１〜３０_２５のＤＭＤ３６_１１〜３６_２５の制御信号が生成されるとともに、全体制御部６０からステージ駆動装置８０にステージ駆動制御信号が出力され、ステージ駆動装置８０はステージ駆動制御信号に応じて移動ステージ１４をガイド２０に沿ってステージ移動方向へ所望の速度で移動させる。そして、移動ステージ１４がゲート２２下を通過する際、ゲート２２に取り付けられたセンサ２６により感光材料１２の先端が検出されると、ＤＭＤコントローラ５０１〜５１０から各露光ヘッド３０_１１〜３０_２５のＤＭＤ３６_１１〜３６_２５に制御信号が出力され、各露光ヘッド３０毎の描画が開始される。

そして、感光材料１２が移動ステージ１４とともに一定速度で移動し、感光材料１２がスキャナ２４によりステージ移動方向と反対の方向に走査されるとともに順次各露光ヘッド３０_１１〜３０_２５のＤＭＤ３６_１１〜３６_２５に制御信号が入力され、露光ヘッド３０毎に帯状の露光済み領域３４が形成される。

上記のようにして、スキャナ２４による感光材料１２の走査が終了し、センサ２６で感光材料１２の後端が検出されると、移動ステージ１４は、ステージ駆動装置７２により、ガイド２０に沿ってゲート２２の最上流側にある原点に復帰し、新たな感光材料１２が設置された後、再度、ガイド２０に沿ってゲート２２の上流側から下流側に一定速度で移動する。

上記実施形態の露光装置によれば、各画像データ変換送信部１０１〜１１０から送信される各シリアル露光画像データに、各シリアル露光画像データにおける各フレームデータ先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアル露光画像データとしてそれぞれ送信し、その送信された各ヘッダーデータ付シリアル露光画像データを各画像データ受信変換部２０１〜２１０によってそれぞれ受信し、その受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおけるヘッダーデータを各ヘッダーデータ検出部２０１ａ〜２１０ａにより検出し、その検出したヘッダーデータの示すフレームデータの先頭位置に基づいて上記受信した各ヘッダー付シリアル露光画像データをフレームデータ毎にパラレル露光画像データに変換して取得するようにしたので、上記のように各シリアル露光画像データのフレームデータ毎にヘッダーデータを付加することによって、各画像データ変換送信部１０１〜１１０におけるパラレル露光画像データからシリアル露光画像データへの変換速度のばらつきや、各画像データ変換送信部１０１〜１１０から各画像データ受信変換部２０１〜２１０へのシリアル露光画像データの転送速度のばらつき（転送スキュー）に影響されることなく、各画像データ受信変換部２０１〜２１０において適切なフレームデータ毎のパラレル露光画像データを取得することができ、そのパラレル露光画像データを用いて所望の露光画像を露光することができる。

また、画像データ受信変換部２０１〜２１０において取得されたフレームデータ毎のパラレル露光画像データを一旦メモリ３０１〜３１０に記憶させ、そのメモリ３０１〜３１０に記憶されたパラレル露光画像データを画像データ出力部４００によって同期させて読み出し、その読み出されたパラレル露光画像データを各露光ヘッド３０_１１〜３０_２５のＤＭＤコントローラ５０１〜５１０に出力するようにしたので、各露光ヘッド３０_１１〜３０_２５に適切なタイミングでパラレル露光画像データを出力することができ、各露光ヘッド３０_１１〜３０_２５により所望の露光画像を露光することができる。

なお、上記実施形態の露光装置においては、画像データ変換送信部１０１〜１１０においてシリアル露光画像データにヘッダーデータを付加する際、シリアル露光画像データにおけるフレームデータ毎にヘッダーデータを付加するようにしたが、必ずしもフレームデータ毎にヘッダーデータを付加する必要はなく、たとえば、シリアル露光画像データの先頭にのみヘッダーデータを付加し、そのヘッダーデータによりシリアル露光画像データの先頭位置を示すようにしてもよい。

また、上記実施形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光装置について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。また、ＧＬＶ（Grating Light Valve）を使用してもよい。また、空間光変調素子に限らず、発光素子が多数配列されたものを利用するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの露光装置としてもよい。

また、上記実施形態の露光対象である感光材料１２は、プリント基板や、ディスプレイ用のフィルタであってもよい。また、感光材料１２の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板など）であってもよい。

本発明のデータ取得方法および装置並びに描画方法および装置の一実施形態を用いた露光装置の外観を示す斜視図 図１に示す露光装置のスキャナの構成を示す斜視図 感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図（Ａ）、各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図（Ｂ） 図１の露光装置のＤＭＤの構成を示す部分拡大図 ＤＭＤの動作を説明するための斜視図 ＤＭＤの各マイクロミラーの露光軌跡を示す図 図１に示す露光装置における電気的構成を示すブロック図 ヘッダーデータ付シリアル露光画像データのデータ構造の一例を示す図

符号の説明

１０ 露光装置
１２ 感光材料
１４ 移動ステージ
２４ スキャナ
３０ 露光ヘッド（描画ヘッド部）
３６ ＤＭＤ
５６ ＳＲＡＭアレイ
５８ マイクロミラー
６０ 全体制御部
１０１〜１１０ 画像データ変換送信部（データ変換送信部）
２０１〜２１０ 画像データ受信変換部（データ受信変換部）
２０１ａ〜２１０ａ ヘッダーデータ検出部
３０１〜３１０ メモリ（記憶部）
４００ 画像データ出力部（データ出力部）

Claims (12)

1. 複数のデータ変換送信部においてそれぞれパラレルデータをシリアルデータに変換して送信し、該各データ変換送信部から送信されたシリアルデータを、前記各データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数のデータ受信変換部により受信し、該受信したシリアルデータを前記各データ受信変換部においてそれぞれ前記パラレルデータに変換して取得するデータ取得方法において、
   前記各データ変換送信部から送信される各シリアルデータに、該各シリアルデータの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信し、
   該送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータを前記各データ受信変換部によってそれぞれ受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータの示す前記各シリアルデータの先頭位置に基づいて前記受信した各ヘッダー付シリアルデータを前記パラレルデータに変換して取得することを特徴とするデータ取得方法。
2. 前記シリアルデータを所定のデータ量の複数の部分シリアルデータからなるものとするとともに、前記ヘッダーデータを前記部分シリアルデータの先頭位置を示すものとし、
   前記各データ変換送信部から送信される各シリアルデータに、前記部分シリアルデータ毎に前記ヘッダーデータを付加して前記ヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信し、
   該送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータを前記各データ受信変換部によってそれぞれ受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータに基づいて前記受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータを前記部分シリアルデータ毎に前記パラレルデータに変換して取得することを特徴とする請求項１記載のデータ取得方法。
3. 前記各データ受信変換部においてそれぞれ取得された各パラレルデータを、前記各データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部にそれぞれ記憶し、
   該各記憶部に記憶された前記各パラレルデータを同期させて読み出すことを特徴とする請求項１または２記載のデータ取得方法。
4. 複数の画像データ変換送信部においてそれぞれパラレル画像データをシリアル画像データに変換して送信し、該各画像データ変換送信部から送信されたシリアル画像データを、前記各画像データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数の画像データ受信変換部により受信し、該受信したシリアル画像データを前記各画像データ受信変換部においてそれぞれ前記パラレル画像データに変換して取得し、該各画像データ受信変換部によりそれぞれ取得された各パラレル画像データを、前記各画像データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の描画ヘッド部にそれぞれ入力して前記各描画ヘッド部により描画面上に描画を施す描画方法において、
   前記各画像データ変換送信部から送信される各シリアル画像データに、該各シリアル画像データの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信し、
   該送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データを前記各画像データ受信変換部によってそれぞれ受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータの示す各シリアル画像データの先頭位置に基づいて前記受信した各ヘッダー付シリアル画像データを前記パラレル画像データに変換して取得し、該取得した各パラレル画像データを前記各描画ヘッド部にそれぞれ入力することを特徴とする描画方法。
5. 前記シリアル画像データを所定のデータ量の複数のフレームデータからなるものとするとともに、前記ヘッダーデータを前記フレームデータの先頭位置を示すものとし、
   前記各画像データ変換送信部から送信される各シリアル画像データに、前記フレームデータ毎に前記ヘッダーデータを付加して前記ヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信し、
   該送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データを前記各データ受信変換部によってそれぞれ受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータに基づいて前記受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データを前記フレームデータ毎に前記パラレル画像データに変換して取得し、
   該取得したフレームデータ毎の各パラレル画像データを前記各描画ヘッド部にそれぞれ順次入力するとともに、該複数の描画ヘッド部を前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させて前記描画を施すことを特徴とする請求項４記載の描画方法。
6. 前記各画像データ受信変換部おいてそれぞれ取得された各パラレル画像データを、前記各画像データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部にそれぞれ記憶し、
   該各記憶部に記憶された前記各パラレル画像データを同期させて読み出し、
   該読み出された前記各パラレル画像データを前記各描画ヘッド部にそれぞれ入力することを特徴とする請求項４または５記載の描画方法。
7. パラレルデータをシリアルデータに変換して送信する、複数のデータ変換送信部と、該各データ変換送信部から送信されたシリアルデータを受信し、該受信したシリアルデータを前記パラレルデータに変換して取得する、前記各データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数のデータ受信変換部とを備えたデータ取得装置において、
   前記各データ変換送信部が、前記各シリアルデータに該各シリアルデータの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信するものであり、
   前記各データ受信変換部が、前記各データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータをそれぞれ受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータの示す各シリアルデータの先頭位置に基づいて前記受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータを前記パラレルデータに変換して取得するものであることを特徴とするデータ取得装置。
8. 前記シリアルデータが所定のデータ量の複数の部分シリアルデータからなるものであるとともに、前記ヘッダーデータが前記部分シリアルデータの先頭位置を示すものであり、
   前記各データ変換送信部が、前記各シリアルデータに前記部分シリアルデータ毎に前記ヘッダーデータを付加して前記ヘッダーデータ付シリアルデータとしてそれぞれ送信するものであり、
   前記各データ受信変換部が、前記各データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアルデータを受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータに基づいて前記受信した各ヘッダーデータ付シリアルデータを前記部分シリアルデータ毎に前記パラレルデータに変換して取得するものであることを特徴とする請求項７記載のデータ取得装置。
9. 前記各データ受信変換部において取得された前記各パラレルデータを記憶する、前記各データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部と、
   該各記憶部に記憶された前記各パラレルデータを同期させて読み出して出力するデータ出力部とをさらに備えたことを特徴とする請求項８記載のデータ取得装置。
10. パラレル画像データをシリアル画像データに変換して送信する、複数の画像データ変換送信部と、該各画像データ変換送信部から送信されたシリアルデータを受信し、該受信したシリアル画像データを前記パラレル画像データに変換して取得する、前記各画像データ変換送信部に対応してそれぞれ設けられた複数の画像データ受信変換部と、該各画像データ受信変換部により取得された各パラレル画像データがそれぞれ入力され、該入力された各パラレル画像データに基づいて描画面上にそれぞれ描画を施す複数の描画ヘッド部とを備えた描画装置において、
    前記各画像データ変換送信部が、前記各シリアル画像データに該各シリアル画像データの先頭位置を示すヘッダーデータをそれぞれ付加してヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信するものであり、
    前記各画像データ受信変換部が、前記各画像データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データをそれぞれ受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータの示す各シリアル画像データの先頭位置に基づいて前記受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データを前記パラレル画像データに変換して取得するものであることを特徴とする描画装置。
11. 前記シリアル画像データが所定のデータ量の複数のフレームデータからなるものであるとともに、前記ヘッダーデータが前記フレームデータの先頭位置を示すものであり、
    前記各画像データ変換送信部が、前記各シリアル画像データに前記フレームデータ毎に前記ヘッダーデータを付加して前記ヘッダーデータ付シリアル画像データとしてそれぞれ送信するものであり、
    前記各画像データ受信変換部が、前記各画像データ変換送信部から送信された各ヘッダーデータ付シリアル画像データをそれぞれ受信し、該受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データにおける前記ヘッダーデータを検出し、該検出したヘッダーデータに基づいて前記受信した各ヘッダーデータ付シリアル画像データを前記フレームデータ毎に前記パラレル画像データに変換して取得するものであり、
    前記描画ヘッド部が、前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動するものであるとともに、前記各画像データ受信変換部により取得されたフレームデータ毎の各パラレル画像データがそれぞれ前記移動に応じて順次入力されるものであることを特徴とする請求項１０記載の描画装置。
12. 前記各画像データ受信変換部において取得された前記各パラレル画像データを記憶する、前記各画像データ受信変換部に対応してそれぞれ設けられた複数の記憶部と、
    該各記憶部に記憶された前記各パラレル画像データを同期させて読み出し、該読み出した各パラレル画像データをそれぞれ前記各描画ヘッド部に出力する画像データ出力部とをさらに備えたことを特徴とする請求項１０または１１記載の描画装置。

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