JP2006108379A - 固体撮像素子及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の固体撮像素子は、縦型オーバーフロー機能を有し、露出開始から露出終了の間に半導体基板の電位を高い電位から低い電位へ段階的に変化させることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
インタートランスファー方式CCD固体撮像素子(特許文献2参照)においては、横型オーバーフロードレイン構造を有して、そのオーバーフローコントロール電極を制御することによって、さらに、CMOS固体撮像素子(非特許文献1参照)では、リセット電圧を制御することによって、それぞれの固体撮像素子のQsを受光期間中に変化させ、光量と出力の関係を従来のリニアの関係からγ特性を持たせて、擬似的にQsを増加させている。
一方、画素のセルサイズの微細化を促進するために、信号電荷の掃き捨てを基板側へ行うようにした縦型オーバーフロー構造のCCD固体撮像素子が知られている。この縦型オーバーフロー構造のCCD固体撮像素子では、受光期間中、基板に一定の基板電圧が印加され、電子シャッターを行うときに基板電位を変えて信号電荷を基板側に掃き捨てるようにしている(特許文献3参照)。
また、γ補正は、TV信号処理のリニアカーブを曲げることに行われているが、しかし、縦型オーバーフロー構造ではγ補正が行われていなかった。
基板電位を水平ブランキング期間に制御する(いわゆる切り替える)ことにより、基板電位の切り替えによるノイズを抑制することができる。
本実施の形態に係る縦型OFD構造のCCD固体撮像素子1は、インターライントランスファ方式に構成され画素となる受光部、すなわちフォトセンサ部3とフォトセンサ部3からの信号電荷を読み出すための読み出し部(いわゆる読み出しゲート部)4と、この読み出し部4によって読み出された信号電荷を垂直方向へ転送するCCD構成による垂直電荷転送部(いわゆる垂直転送レジスタ部)5と、この垂直電荷転送部5によって転送された電荷を、水平ライン毎に、出力回路10に順次転送する水平電荷転送部(いわゆる水平転送レジスタ部)6とを有して成る。各フォトセンサ部3は、画素分離部7により分離されている。
本実施の形態に係るCCD型固体撮像素子は、第1導電型。本例では、n型の半導体基板(以下、サブストレイトという)11に第2導電型、すなわちp型の第1のウェル領域13が形成され、このp型第1のウェル領域13にn型半導体領域14とその表面のp型の電荷蓄積領域(いわゆるp+アキュミュレーション領域)15とにより形成されたフォトセンサ部3、すなわちフォトダイオードPDがマトリックス状に配列され、それぞれフォトセンサ部3の各画素が形成されて成る。
また、p型第1のウェル領域13には、各垂直ライン上に配列されたフォトダイオード14と所要の距離を隔て、p型第2のウェル領域23が形成され、このp型第2のウェル領域23上にn型の電荷転送領域(いわゆる転送チャネル領域)24が形成され、さらに、この上に例えばSiO2等によるゲート絶縁膜16を介して垂直転送電極17が形成されて垂直電荷転送部5が構成される。
この垂直電荷転送部5と、対応するフォトダイオード14との間に、p型の信号電荷の読み出し領域22が形成されて、読み出し部4が構成される。隣り合う、異なる垂直転送部間には、p型の画素分離領域(いわゆるチャネルストップ領域)25による画素分離部7が形成される。1つのフォトセンサ部3と読み出し部4と垂直電荷転送部5と画素分離部7によって、単位画素セル2が構成される。
縦型オーバーフロー構造の固体撮像素子は、元来シャッター電圧を下げる目的で考えられた構造である。すなわち、シャッター電圧を下げられるということは、基板電圧Vsubに対して、センサ部に蓄積される電荷量のコントロールはしやすいことをあらわしている。
ここで、n型サブストレイト11、p型ウェル領域13の構造のCCD固体撮像素子1を例にとれば、固体撮像素子1の取り扱い電荷量(以下、蓄積電荷量と称する)Qs=500mV、サブストレイト基板11の基板電圧(以下、Vsub電圧と称する)Vsub=7Vで、シャッター時はVsub=12V(Qs=0)程度であるので、その間を線形であると仮定すればΔQs/ΔVsub=100mV、すなわちVsub電圧は、1V変化させると取り扱い電荷量Qsを100mV変化させることができることになる。
点線(図5参照)は、この説明例のように蓄積時間内にQsの制限時間を設けず、Vsub電圧の変調を行わなかった通常の動作の光量と蓄積電荷量Qsの特性である。
この特性に対して、本実施の形態の固体撮像素子は、水平ブランキング期間中に基板電圧Vsubを変調することにより、すなわち、サブストレイトの基板電圧Vsubを、蓄積電荷量Qs1tに相当する高い電位Vs1、蓄積電荷量Qs2tに相当する中間の電位Vs2、さらに、蓄積電荷量Qs3tに相当する低い電位Vs3へと段階的に制御することにより、実線の特性が示すようなγ特性(光量−蓄積電荷量に非直線性を持たせる)を実現できる。また、例えば標準設定レベルとしてA点を選んだときに飽和電荷量までのダイナミックレンジとして通常使用状態であると3倍(B参照)であったのが、本実施の形態に示す固体撮像素子では6倍以上(C参照)になっていることがわかる。
n型サブストレイト11の不純物濃度は、1015cm−3オーダーで、例えば 0.2×1015cm−3以上 5.0×1015cm−3以下とする。n+サブストレイト11aの不純物濃度は、1017cm−3オーダーで、例えば 1×1017cm−3以上 1×1018cm−3以下とする。オーバーフローコントロール領域となるp型第1のウェル領域13の不純物濃度は、1015cm−3オーダーで、例えば 0.2×1015cm−3以上 2.0×1015cm−3以下とする。受光部となるn型半導体領域14の不純物濃度は、1016cm−3オーダーで、例えば 0.2×1016cm−3以上 2.0×1016cm−3以下とする。アキュミュレーションとなるp++領域15の不純物濃度は、1018cm−3オーダーで、例えば 0.2×1018cm−3以上 6.0×1018cm−3以下とする。n型埋め込みチャネル24の不純物濃度は、1017cm−3オーダーで例えば 0.2×1017cm−3以上 2.0×1017cm−3以下とする。n型埋め込みチャネル24を囲むようなp型第2のウェル領域23の不純物濃度は、1016cm−3オーダーで、例えば 0.2×1016cm−3以上 5.0×1016cm−3以下とする。
本実施の形態に係るCMOS型固体撮像素子41は、例えば裏面側に高不純物濃度領域43aを有する第1導電型、本例ではn型のサブストレイト43に、第2導電型であるp型の第1ウェル領域52を形成し、この第1のp型ウェル領域52の表面側に各画素を区画するための画素分離領域65を形成し、各区画領域にフォトダイオード53と第2のp型ウェル領域63内に形成した複数のMOSトランジスタ、すなわち電荷読み出しトランジスタ54、リセットトランジスタ55、アンプトランジスタ56及び垂直選択トランジスタ(図示せず)の4つのMOSトランジスタとを形成して単位画素60が構成される。そして、この画素60が多数個、2次元マトリックス状に配列される。
電荷読み出しトランジスタ54は、n+ソース・ドレイン領域57と、フォトダイオード53の表面側の高不純物濃度のn+領域61aと、両領域57及び61a間のp型第1ウェル領域52上にゲート絶縁膜71を介して形成したゲート電極72とにより構成される。
リセットトランジスタ55は、n+ソース・ドレイン領域57及び58と、両領域57及び58間のp型第1ウェル領域52上にゲート絶縁膜71を介して形成したゲート電極73とにより構成される。ここで、n+ソース・ドレイン領域57は、フローティング・ディフュージョン(FD)と呼ばれている。
アンプトランジスタ56は、n型ソース・ドレイン領域58及び59と、両領域58及び59間の基板52上にゲート絶縁膜71を介して形成したゲート電極74とにより構成される。
垂直選択トランジスタは、図示しないけれども同様に、対のソース・ドレイン領域と、その間のp型第1ウェル領域52上にゲート絶縁膜を介して形成したゲート電極とにより構成される。
Claims (3)
- 縦型オーバーフロー機能を有し、
露出開始から露出終了の間に半導体基板の電位を高い電位から低い電位へ段階的に変化させる
ことを特徴とする固体撮像素子。 - 前記半導体基板の電位の段階的な変化で、
飽和電荷量を段階的に大きくなるように制御する
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。 - 前記半導体基板の電位は、水平ブランキング期間に制御される
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008028677A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Sony Corp | 固体撮像装置、及び制御システム |
JP2009152234A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Sony Corp | 固体撮像装置およびカメラ |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006294871A (ja) * | 2005-04-11 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置 |
KR100752654B1 (ko) * | 2006-02-08 | 2007-08-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체 기판의 후면에 전원전압을 인가하는 이미지 센서 및이미지 센서의 제조 방법 |
KR100881200B1 (ko) * | 2007-07-30 | 2009-02-05 | 삼성전자주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 |
US20090108311A1 (en) * | 2007-10-25 | 2009-04-30 | Xinqiao Liu | CMOS Detector with Reduced Sensitivity to X-Rays |
JP2009213135A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-09-17 | Panasonic Corp | 撮像装置及びその駆動方法 |
EP2133918B1 (en) | 2008-06-09 | 2015-01-28 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, drive method thereof and electronic apparatus |
JP5482025B2 (ja) * | 2009-08-28 | 2014-04-23 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
JP5564918B2 (ja) * | 2009-12-03 | 2014-08-06 | ソニー株式会社 | 撮像素子およびカメラシステム |
CN102668081B (zh) | 2009-12-26 | 2016-02-03 | 佳能株式会社 | 固态图像拾取装置和图像拾取系统 |
JP5885401B2 (ja) | 2010-07-07 | 2016-03-15 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
JP5697371B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2015-04-08 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
JP5656484B2 (ja) | 2010-07-07 | 2015-01-21 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
JP5751766B2 (ja) | 2010-07-07 | 2015-07-22 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置および撮像システム |
JP5645513B2 (ja) | 2010-07-07 | 2014-12-24 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び撮像システム |
JP5643555B2 (ja) | 2010-07-07 | 2014-12-17 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び撮像システム |
KR101968197B1 (ko) | 2012-05-18 | 2019-04-12 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 이의 형성 방법 |
WO2014002415A1 (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-03 | パナソニック株式会社 | 撮像装置 |
US10593714B2 (en) * | 2017-07-24 | 2020-03-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Imaging device |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3953733A (en) * | 1975-05-21 | 1976-04-27 | Rca Corporation | Method of operating imagers |
JPS5451218A (en) | 1977-09-30 | 1979-04-21 | Nippon Sougou Bousui Kk | Grout injection pipe |
JPS5919480A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-01-31 | Olympus Optical Co Ltd | 固体撮像装置 |
US4912560A (en) * | 1988-01-29 | 1990-03-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid state image sensing device |
JP2822393B2 (ja) | 1988-07-30 | 1998-11-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及びその駆動方法 |
US5122850A (en) * | 1989-09-05 | 1992-06-16 | Eastman Kodak Company | Blooming control and reduced image lag in interline transfer CCD area image sensors |
US5410349A (en) * | 1990-07-06 | 1995-04-25 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Solid-state image pick-up device of the charge-coupled device type synchronizing drive signals for a full-frame read-out |
JPH0965217A (ja) | 1995-08-22 | 1997-03-07 | Nec Corp | 固体撮像装置およびその駆動方法 |
US5859462A (en) * | 1997-04-11 | 1999-01-12 | Eastman Kodak Company | Photogenerated carrier collection of a solid state image sensor array |
JPH11346331A (ja) | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Sony Corp | 固体撮像装置およびその駆動方法 |
JP2000092395A (ja) | 1998-09-11 | 2000-03-31 | Nec Corp | 固体撮像装置およびその駆動方法 |
JP2000165749A (ja) | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Sony Corp | 固体撮像素子の駆動方法および撮像システム |
JP4532813B2 (ja) * | 2002-08-02 | 2010-08-25 | 富士フイルム株式会社 | ストロボ装置及びカメラ |
JP4484449B2 (ja) * | 2003-05-08 | 2010-06-16 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像装置 |
US20050212936A1 (en) * | 2004-03-25 | 2005-09-29 | Eastman Kodak Company | Extended dynamic range image sensor with fixed pattern noise reduction |
-
2004
- 2004-10-05 JP JP2004292873A patent/JP2006108379A/ja active Pending
-
2005
- 2005-09-26 TW TW094133279A patent/TWI313023B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-09-30 KR KR1020050092361A patent/KR20060051971A/ko not_active Application Discontinuation
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008028677A (ja) * | 2006-07-20 | 2008-02-07 | Sony Corp | 固体撮像装置、及び制御システム |
US8735952B2 (en) | 2006-07-20 | 2014-05-27 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and control system |
US9749505B2 (en) | 2006-07-20 | 2017-08-29 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and control system |
JP2009152234A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Sony Corp | 固体撮像装置およびカメラ |
US8687101B2 (en) | 2007-12-18 | 2014-04-01 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and camera |
KR101534117B1 (ko) * | 2007-12-18 | 2015-07-06 | 소니 주식회사 | 고체 촬상 장치 및 카메라 |
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