JP2006093212A - 多結晶層の形成方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 - Google Patents
多結晶層の形成方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006093212A JP2006093212A JP2004273479A JP2004273479A JP2006093212A JP 2006093212 A JP2006093212 A JP 2006093212A JP 2004273479 A JP2004273479 A JP 2004273479A JP 2004273479 A JP2004273479 A JP 2004273479A JP 2006093212 A JP2006093212 A JP 2006093212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- laser beam
- polycrystalline
- layer
- support substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
【解決手段】 支持基板の表面上に、アモルファス状態の半導体材料からなる半導体層が形成された加工対象物を準備する。半導体層に、支持基板側の面及びその反対側の面の一方からレーザビームを照射して、レーザビームの入射した面側の半導体層の表層部を多結晶化させる。前の工程でレーザビームを照射した方の面とは反対側の面から、半導体層にレーザビームを照射して、半導体層のアモルファス状態の領域を溶融させ、前の工程で多結晶化された領域の結晶粒を種結晶として、半導体層の厚さ方向に結晶を成長させる。
【選択図】 図1
Description
2 半導体層
5、6 レーザビーム
12 透明導電膜
13 p型半導体層
14 i型半導体層
15 n型半導体層
16 n側電極
Claims (11)
- (a)支持基板の表面上に、アモルファス状態の半導体材料からなる半導体層が形成された加工対象物を準備する工程と、
(b)前記半導体層に、前記支持基板側の面及びその反対側の面の一方からレーザビームを照射して、レーザビームの入射した面側の前記半導体層の表層部を多結晶化させる工程と、
(c)前記工程bでレーザビームを照射した方の面とは反対側の面から、前記半導体層にレーザビームを照射して、該半導体層のアモルファス状態の領域を溶融させ、前記工程bで多結晶化された領域の結晶粒を種結晶として、該半導体層の厚さ方向に結晶を成長させる工程と
を有する多結晶層の形成方法。 - 前記工程bで、前記支持基板を通して前記半導体層にレーザビームを照射する請求項1に記載の多結晶層の形成方法。
- 前記半導体層がシリコンで形成されており、前記工程b及び工程cで照射するレーザビームの波長が400nm以上である請求項1または2に記載の多結晶層の形成方法。
- (p)支持基板上に、透明導電膜、第1導電型の第1の半導体層、及び真性半導体からなり、該第1の半導体層のバンドギャップよりも狭いバンドギャップを有する第2の半導体層がこの順番に積層された積層基板を準備する工程と、
(q)前記第2の半導体層の、前記第1の半導体層側の面及びその反対側の面の一方から、該第2の半導体層にレーザビームを入射させて、レーザビームの入射した面側の前記第2の半導体層の表層部を多結晶化させる工程と、
(r)前記第2の半導体層に、前記工程qでレーザビームを入射させた面とは反対側の面からレーザビームを入射させ、該第2の半導体層のアモルファス状態の領域を溶融させ、前記工程qで多結晶化された領域の結晶粒を種結晶として、該第2の半導体層の厚さ方向に結晶を成長させる工程と
を有する半導体装置の製造方法。 - さらに、前記工程rの後、前記第2の半導体層の上に、前記第1導電型とは反対の第2導電型の半導体からなる第3の半導体層を形成する工程を有する請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程qにおいて、前記支持基板、前記透明導電膜、及び前記第1の半導体層を透過させて、前記第2の半導体層にレーザビームを入射させる請求項4または5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の半導体層がシリコンで形成されており、前記工程q及び工程rで照射されるレーザビームの波長が400nm以上である請求項4〜6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 支持基板と、
前記支持基板の上に配置され、厚さ方向に関する結晶粒の寸法の平均値が、面内方向に関する結晶粒の寸法の平均値よりも大きい多結晶半導体層と
を有する半導体装置。 - 前記多結晶半導体層の厚さ方向に関する結晶粒の寸法の平均値が、該多結晶半導体層の厚さの90%以上である請求項8に記載の半導体装置。
- 前記多結晶半導体層の厚さが、0.5μm〜50μmである請求項8または9に記載の半導体装置。
- さらに、前記支持基板と前記多結晶半導体層との間に配置された透明導電膜と、
前記透明導電膜と前記多結晶半導体層との間に配置され、第1導電型を有する第1の半導体層と、
前記多結晶半導体層の上に配置され、前記第1導電型とは反対の第2導電型を有する第2の半導体層と
を有する請求項8〜10のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273479A JP2006093212A (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 多結晶層の形成方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004273479A JP2006093212A (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 多結晶層の形成方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006093212A true JP2006093212A (ja) | 2006-04-06 |
Family
ID=36233920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004273479A Pending JP2006093212A (ja) | 2004-09-21 | 2004-09-21 | 多結晶層の形成方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006093212A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010172881A (ja) * | 2009-02-02 | 2010-08-12 | Hitachi Zosen Corp | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
JP2010177182A (ja) * | 2009-02-02 | 2010-08-12 | Hitachi Zosen Corp | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
JP2011504661A (ja) * | 2007-11-21 | 2011-02-10 | ザ トラスティーズ オブ コロンビア ユニヴァーシティ イン ザ シティ オブ ニューヨーク | エピタキシャルに配向された厚膜を調製するための調製システムおよび方法 |
WO2011132286A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 日立造船株式会社 | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
WO2011132287A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 日立造船株式会社 | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
CN103594355A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-02-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 可控制多晶硅生长方向的多晶硅制作方法 |
US9082615B2 (en) | 2013-11-13 | 2015-07-14 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Polysilicon manufacturing method that controls growth direction of polysilicon |
CN106033707A (zh) * | 2015-03-10 | 2016-10-19 | 上海和辉光电有限公司 | 一种多晶硅膜制备方法 |
JP2017508276A (ja) * | 2014-01-24 | 2017-03-23 | レイザー システムズ アンド ソリューションズ オブ ヨーロッパLaser Systems And Solutions Of Europe | ポリシリコンの形成方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61231772A (ja) * | 1985-04-05 | 1986-10-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置作成方法 |
JPS63170976A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-14 | Fujitsu Ltd | a−Si光ダイオ−ドの製造方法 |
JPH0472615A (ja) * | 1990-07-12 | 1992-03-06 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH0582466A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-04-02 | Sony Corp | 半導体層のアニール処理方法 |
JPH07106596A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Nec Corp | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH09293680A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Japan Steel Works Ltd:The | 半導体結晶膜および該結晶膜の製造方法ならびに該結晶膜の製造装置 |
JP2000022182A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | シリコン系薄膜光電変換装置 |
WO2001069690A1 (en) * | 2000-03-13 | 2001-09-20 | Sony Corporation | Optical energy transducer |
JP2004158845A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-06-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
-
2004
- 2004-09-21 JP JP2004273479A patent/JP2006093212A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61231772A (ja) * | 1985-04-05 | 1986-10-16 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置作成方法 |
JPS63170976A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-14 | Fujitsu Ltd | a−Si光ダイオ−ドの製造方法 |
JPH0472615A (ja) * | 1990-07-12 | 1992-03-06 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH0582466A (ja) * | 1991-09-18 | 1993-04-02 | Sony Corp | 半導体層のアニール処理方法 |
JPH07106596A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Nec Corp | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH09293680A (ja) * | 1996-04-26 | 1997-11-11 | Japan Steel Works Ltd:The | 半導体結晶膜および該結晶膜の製造方法ならびに該結晶膜の製造装置 |
JP2000022182A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | シリコン系薄膜光電変換装置 |
WO2001069690A1 (en) * | 2000-03-13 | 2001-09-20 | Sony Corporation | Optical energy transducer |
JP2004158845A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-06-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011504661A (ja) * | 2007-11-21 | 2011-02-10 | ザ トラスティーズ オブ コロンビア ユニヴァーシティ イン ザ シティ オブ ニューヨーク | エピタキシャルに配向された厚膜を調製するための調製システムおよび方法 |
JP2010172881A (ja) * | 2009-02-02 | 2010-08-12 | Hitachi Zosen Corp | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
JP2010177182A (ja) * | 2009-02-02 | 2010-08-12 | Hitachi Zosen Corp | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
CN102859036A (zh) * | 2010-04-22 | 2013-01-02 | 日立造船株式会社 | 在透明电极上形成光催化膜的方法 |
WO2011132287A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 日立造船株式会社 | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
CN102859037A (zh) * | 2010-04-22 | 2013-01-02 | 日立造船株式会社 | 在透明电极上形成光催化膜的方法 |
WO2011132286A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 日立造船株式会社 | 透明電極上における光触媒膜の形成方法 |
CN103594355A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-02-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 可控制多晶硅生长方向的多晶硅制作方法 |
WO2015070465A1 (zh) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 可控制多晶硅生长方向的多晶硅制作方法 |
US9082615B2 (en) | 2013-11-13 | 2015-07-14 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Polysilicon manufacturing method that controls growth direction of polysilicon |
CN103594355B (zh) * | 2013-11-13 | 2016-03-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 可控制多晶硅生长方向的多晶硅制作方法 |
JP2017508276A (ja) * | 2014-01-24 | 2017-03-23 | レイザー システムズ アンド ソリューションズ オブ ヨーロッパLaser Systems And Solutions Of Europe | ポリシリコンの形成方法 |
CN106033707A (zh) * | 2015-03-10 | 2016-10-19 | 上海和辉光电有限公司 | 一种多晶硅膜制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI528418B (zh) | 在半導體應用上的結晶處理 | |
CN101325156B (zh) | 一种制备多晶硅薄膜太阳电池的方法和装置 | |
JP4511092B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
CN104934372A (zh) | 一种低温多晶硅薄膜及其制作方法、相关器件 | |
JP2006093212A (ja) | 多結晶層の形成方法、半導体装置の製造方法、及び半導体装置 | |
US20180166603A1 (en) | Method of fabricating thin film photovoltaic devices | |
Gawlik et al. | Multicrystalline silicon thin film solar cells on glass with epitaxially grown emitter prepared by a two‐step laser crystallization process | |
US20110192461A1 (en) | Zone Melt Recrystallization of layers of polycrystalline silicon | |
JP2004273887A (ja) | 結晶薄膜半導体装置及び太陽電池素子 | |
JP4594601B2 (ja) | 結晶シリコン系薄膜太陽電池の製造方法及びそれを用いて形成した太陽電池 | |
JPS60202931A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004087667A (ja) | 結晶シリコン系薄膜半導体装置の製造方法 | |
JPH0529638A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP4684306B2 (ja) | 薄膜太陽電池の製造方法 | |
JP2012517706A (ja) | 光起電材料表面をレーザエネルギーで照射する方法および装置 | |
JP4389514B2 (ja) | 薄膜半導体の形成方法 | |
JP4729953B2 (ja) | 薄膜半導体装置の製造方法 | |
JP4289018B2 (ja) | 太陽光発電素子の製造方法 | |
JP2000091604A (ja) | 多結晶半導体膜、光電変換素子及びこれらの製造法 | |
JP2000357808A (ja) | シリコン系薄膜光電変換装置およびその製造方法 | |
JP2001168363A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP4289017B2 (ja) | 結晶シリコン薄膜の製造方法 | |
JP2005064014A (ja) | 薄膜結晶太陽電池およびその製造方法 | |
TW201405857A (zh) | 使用雷射照射製造一光伏打元件之方法 | |
JP2001332494A (ja) | 半導体素子の製造方法および半導体素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091127 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100803 |