JP2006084610A - 顕微鏡装置 - Google Patents
顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006084610A JP2006084610A JP2004267834A JP2004267834A JP2006084610A JP 2006084610 A JP2006084610 A JP 2006084610A JP 2004267834 A JP2004267834 A JP 2004267834A JP 2004267834 A JP2004267834 A JP 2004267834A JP 2006084610 A JP2006084610 A JP 2006084610A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- microscope
- light
- unit
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 探針ユニット21は、試料34と探針78との間に作用する物理量の変化に基づいて試料34の表面の状態の検出を行う。レーザ走査型顕微鏡部22は、試料34からの光の光量に基づいて試料34の画像を得るために、試料34への光の照射と当該照射がされた試料34からの光の光量の検出とを行う。探針ユニット21に対する指示を操作部23が取得すると、コンピュータ180はレーザ走査型顕微鏡部22の動作を抑制する制御を行う。
【選択図】 図2
Description
同図に示す走査型プローブ顕微鏡において、レーザ光源110から射出されたレーザ光はビームエキスパンダ112で適当な径に拡大される。径の拡大されたレーザ光は、ハーフミラー116を通過し、ガルバノスキャナ170及び172で反射された後に結像レンズ122で集光されて探針ユニット(走査型プローブ顕微鏡部)21に入射し、像位置100で一旦集光する。その後、レーザ光は対物レンズ86で再度集光されて試料34の表面にほぼ垂直に入射し、試料34の表面に微小なビームスポットを形成する。但し、ガルバノスキャナ170及び172を動作させることにより、このビームスポットは試料34の表面上を二次元ラスタ走査する。このラスタ走査のための走査信号はコンピュータ180からガルバノスキャナ170及び172並びに画像処理装置175へ供給される。
まず、図1及び図2について説明する。これらの図は、本発明を実施する顕微鏡装置の第一の例の構成を示しており、図1はその概略構成を、また図2はその詳細構成を示している。
図1及び図2に示すように、顕微鏡本体20には、第一の検出手段に相当する、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の機能を提供する探針ユニット21と、第二の検出手段に相当する、レーザ走査型顕微鏡(LSM)の機能を提供するレーザ走査型顕微鏡部22とが設けられており、コンピュータ180が電気的に接続されている。また、コンピュータ180には操作部23とモニタ176とが接続されている。
この処理によってモニタ176に表示される画面の例を図4に示す。この表示画面200には、試料34の画像が表示される画像表示部201と、この顕微鏡装置の動作状態等の各種の情報が表示される情報表示部202と、「SPM」ボタン203と、「LSM」ボタン204とが含まれている。
「LSM」ボタン204は、この顕微鏡装置におけるレーザ走査型顕微鏡の機能に対する指示を行う際に押下状態とされるアイコンである。
S103では、「SPM」ボタン203が押下状態とされているか否かを判定する処理が行われる。ここで、押下状態とされていると判定されたとき(判定結果がYesのとき)にはS105に処理を進め、押下状態とされていないと判定されたとき(判定結果がNoのとき)にはS104に処理を進める。
図3に示した制御処理において、LSM部22に対する動作制御は、後述するS110において行われ、具体的には、LSM部22のうちのレーザ光源110とガルバノスキャナ170及び172との動作が制御される。S110の処理において、レーザ光源110に対してはレーザ光の放射の開始とその放射光量との制御が行われ、ガルバノスキャナ170及び172に対しては走査動作の開始とその走査動作における走査角度との制御が行われる。ここで、放射光量の値と走査角度の値は、いずれも、フォトダイオード127でのレーザ光の検出によって出力される信号で試料34の画像をコンピュータで生成するために充分な値が設定される。
S107では、SPM測定処理が行われる。すなわち、探針ユニット21を動作させて試料34と探針78との間に作用する物理量の変化を検出し、この検出結果に基づいて試料34の表面の状態を測定する処理が行われる。その後はS102へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。
すなわち、コンピュータ180は、電動切替部25を制御して探針プローブ21を試料34の上方に配置させた場合には、走査型プローブ顕微鏡での試料34表面の測定がこれから行われるものとみなし、前述した図3におけるS106におけるものと同様の抑制制御をLSM部22に対して開始する。その一方、電動切替部25を制御して対物レンズ24を試料34の上方に配置させた場合には、LSM部22による試料34表面の画像の取得がこれから行われるものとみなし、前述した図3におけるS109と同様、LSM部22に対して実施中の抑制制御を解除する。
例えば、上述した実施形態においては、図3に示した制御処理をコンピュータ180に行わせるための制御プログラムを記憶部182に予め記憶させておくようにしていたが、その代わりに、この制御プログラムをコンピュータ180で読み取り可能な記録媒体に記録させておくようにし、この記録媒体から制御プログラムをコンピュータ180のデータ読み取り装置(不図示)に読み出させて実行させるようにしてもよい。ここで、記録させた制御プログラムをコンピュータ180で読み取ることの可能な記録媒体としては、例えば、FD(フレキシブルディスク)、MO(光磁気ディスク)、CD−ROM、DVD−ROMなどといった可搬型の記録媒体が利用できる。
20 顕微鏡本体
21 探針ユニット
22 レーザ走査型顕微鏡部(LSM部)
23 操作部
24、86 対物レンズ
25 電動切替部
34 試料
78 探針
100 像位置
110 レーザ光源
112 ビームエキスパンダ
116、174 ハーフミラー
122 結像レンズ
124、126、128 レンズ
127 フォトダイオード
131 白色光源
132 ビデオカメラ
170、172 ガルバノスキャナ
173 ミラー
175 画像処理装置
176 モニタ
178 マーカ
180 コンピュータ
181 CPU
182 記憶部
183 入力部
184 表示処理部
185 インタフェース部
186 バスライン
200 表示画面
201 画像表示部
202 情報表示部
203 「SPM」ボタン
204 「LSM」ボタン
Claims (5)
- 試料と探針との間に作用する物理量の変化に基づいて当該試料の表面の状態の検出を行う第一の検出手段と、
前記試料からの光の光量に基づいて当該試料の画像を得るために、当該試料への光の照射と当該照射がされた当該試料からの光の光量の検出とを行う第二の検出手段と、
前記第一の検出手段に対する指示を取得する第一の指示取得手段と、
前記指示の取得に応じ、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を行う抑制手段と、
を有することを特徴とする顕微鏡装置。 - 前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光はレーザ光であり、
前記第二の検出手段は、前記試料へ照射する前記レーザ光を前記試料の表面で走査させる走査手段を有しており、
前記抑制手段は、前記走査手段による前記レーザ光の走査動作を抑制する制御を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。 - 前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光はレーザ光であり、
前記抑制手段は、前記レーザ光の光量を減少させる若しくは当該レーザ光を遮光する制御を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。 - 前記第二の検出手段が前記試料へ照射する光は白色光であり、
前記抑制手段は、前記白色光の光量を減少させる若しくは当該白色光を遮光する制御を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。 - 前記第二の検出手段に対する指示を取得する第二の指示取得手段を更に有し、
前記第二の指示取得手段が前記第二の検出手段に対する指示を取得したときには、前記抑制手段は、前記第二の検出手段の動作を抑制する制御を解除する、
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004267834A JP4903377B2 (ja) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004267834A JP4903377B2 (ja) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | 顕微鏡装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006084610A true JP2006084610A (ja) | 2006-03-30 |
JP2006084610A5 JP2006084610A5 (ja) | 2007-10-25 |
JP4903377B2 JP4903377B2 (ja) | 2012-03-28 |
Family
ID=36163197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004267834A Expired - Fee Related JP4903377B2 (ja) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | 顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4903377B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03120401A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-22 | Olympus Optical Co Ltd | 微細表面形状計測装置 |
JPH0743372A (ja) * | 1993-07-29 | 1995-02-14 | Agency Of Ind Science & Technol | 蛍光走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10142238A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 複合型顕微鏡 |
JP2002350320A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
-
2004
- 2004-09-15 JP JP2004267834A patent/JP4903377B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03120401A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-22 | Olympus Optical Co Ltd | 微細表面形状計測装置 |
JPH0743372A (ja) * | 1993-07-29 | 1995-02-14 | Agency Of Ind Science & Technol | 蛍光走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10142238A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 複合型顕微鏡 |
JP2002350320A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4903377B2 (ja) | 2012-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7355702B2 (en) | Confocal observation system | |
US11143854B2 (en) | Method for imaging a sample using a fluorescence microscope with stimulated emission depletion | |
JP4700299B2 (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
EP1882967B1 (en) | Scanning examination apparatus | |
JP4928894B2 (ja) | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
JP3896196B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JP4903377B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP5094519B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
JP2004069795A (ja) | 共焦点顕微鏡システム及びパラメータ設定用コンピュータプログラム | |
JP5119111B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP4197898B2 (ja) | 顕微鏡、三次元画像生成方法、三次元画像を生成する制御をコンピュータに行わせるプログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体 | |
JP4994587B2 (ja) | 画像表示方法、プログラム、及び走査型共焦点顕微鏡 | |
JP2010164635A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP4503804B2 (ja) | 三次元情報取得方法及び共焦点走査型顕微鏡 | |
JP5185769B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
JP4792208B2 (ja) | 顕微鏡装置、画像表示方法および画像表示プログラム | |
JPH08271803A (ja) | 共焦点走査型光学顕微鏡の自動画像形成装置 | |
JP6177000B2 (ja) | レーザ走査型顕微鏡 | |
JP4285978B2 (ja) | 高さ測定方法、共焦点走査型光学顕微鏡、及びプログラム | |
JP4694137B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡、該制御方法、及び該制御プログラム | |
JP2006317836A (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JPH10253889A (ja) | 走査型顕微鏡装置 | |
JP2005326601A (ja) | 顕微鏡装置、立体画像出力方法および立体画像出力プログラム | |
CN112230426A (zh) | 一种基于共聚焦成像的焊接熔池成像装置及方法 | |
JP2006010770A (ja) | レーザ走査型顕微鏡装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070907 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070907 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101001 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111227 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120105 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4903377 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150113 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |