JP2006317836A - 走査型顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】 スポット光の走査範囲と視野範囲との差に起因する画像が不鮮明化を防止する。
【解決手段】 光源1と、該光源1から出射された光を試料4に対して集束させる対物レンズ3と、集束された光を試料4面に沿って相対的に走査する走査機構2と、試料4からの反射光、透過光または蛍光の強度を検出する光検出器6とを備え、対物レンズ3の視野円を内包する四角形を走査範囲としたとき、視野円の内部だけに光源1からの出射光を出射させる制御手段8を備える走査型顕微鏡を提供する。
【選択図】 図1
【解決手段】 光源1と、該光源1から出射された光を試料4に対して集束させる対物レンズ3と、集束された光を試料4面に沿って相対的に走査する走査機構2と、試料4からの反射光、透過光または蛍光の強度を検出する光検出器6とを備え、対物レンズ3の視野円を内包する四角形を走査範囲としたとき、視野円の内部だけに光源1からの出射光を出射させる制御手段8を備える走査型顕微鏡を提供する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、試料を光で走査し、試料からの反射光または透過光を用いて得られた試料像に対する画像の精細化および解析の容易性を向上する走査型顕微鏡に関するものである。
従来、点光源を用いて試料を走査し、試料からの反射光、透過光、蛍光などを検出し画像化する走査型顕微鏡が一般的に知られており、その代表例として、共焦点走査型顕微鏡がある。共焦点走査型顕微鏡は、スポット光を用いて試料を走査するとともに、試料からの反射光や透過光のうちピンホールを通過した光のみを光検出器により電気信号に変換し、試料の画像を取り込む装置である。
このような共焦点走査型顕微鏡は、レーザ光などのスポット光とピンホールとを組み合わせ、試料をピンポイントで照明することで、測定点以外からの散乱光を抑制している。また、光検出器の前面に空間フィルタとしてのピンホールを配置し、測定点と同一面内にあるノイズ光をピンホール周辺に結像させる。さらに、光軸方向にずれた面からの光を対物レンズによってピンホールの前で広げピンホールを通過する光を抑制することにより、測定点以外からの反射光や透過光をカットして光電変換器により画像化している。
一方、画像化させるためにレーザ光などのスポット光が照射される試料はレーザ光により試料の退色が進むことになる。この問題を解決するために、従来、レーザ光などのスポット光を照射する場所を注目領域として登録し、注目領域内だけに必要な波長を持つレーザ光などのスポット光を照射することで、注目領域以外の場所の退色を防ぐ方法が知られている(例えば、特許文献1参照。)。さらに、注目領域以外の部分にレーザ光などのスポット光が照射されないことで、取り込まれる画像の不必要な輝度データを排除することができる。
特開2000−35400号公報
しかしながら、上記方法では、試料に対して注目領域の指定やレーザ光などのスポット光を設定する必要があるため、試料が多数ある場合や注目領域の絞込みが難しい場合などには多大な労力が必要であった。さらに、上記方法は試料に特化した内容であるため、走査型顕微鏡のハードウェア部分の制限事項については考慮されていない。
走査型顕微鏡は対物レンズを利用しているため、視野範囲が対物レンズに依存するが、対物レンズの視野範囲は円となる。その一方で、走査型顕微鏡はX方向とY方向にレーザ光などのスポット光を走査することで画像を取得するため、通常は四角形の走査範囲となる。
従来の走査型顕微鏡は、視野の円に対して内接する四角形を倍率1とすることが多かった。この場合に、対物レンズの視野範囲の中で上下左右の一定範囲の画像を有効に利用できないという問題がある。この問題を解決するには、走査範囲を視野円に外接する四角形とすることで対物レンズの視野を有効に利用できる。
しかしながら、外接する四角形の画像は中央付近に必要とする画像があり、周辺には反射及び透過像ではない不要画像が取得されることになる。その結果、不要画像領域において、対物レンズ自体にレーザ光などのスポット光を走査すること等に起因して、異常輝度が発生することがあり、必要画像が不鮮明になったり、取得された画像の解析処理が複雑になったりする等の問題が考えられる。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、スポット光の走査範囲と視野範囲との差に起因する画像が不鮮明化を防止するとともに、画像取得後の解析処理を簡易にすることができる走査型顕微鏡を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、光源と、該光源から出射された光を試料に対して集束させる対物レンズと、集束された光を試料面に沿って相対的に走査する走査機構と、試料からの反射光、透過光または蛍光の強度を検出する光検出器とを備え、前記対物レンズの視野円を内包する四角形を走査範囲としたとき、視野円の内部だけに前記光源からの出射光を出射させる制御手段を備える走査型顕微鏡を提供する。
本発明は、光源と、該光源から出射された光を試料に対して集束させる対物レンズと、集束された光を試料面に沿って相対的に走査する走査機構と、試料からの反射光、透過光または蛍光の強度を検出する光検出器とを備え、前記対物レンズの視野円を内包する四角形を走査範囲としたとき、視野円の内部だけに前記光源からの出射光を出射させる制御手段を備える走査型顕微鏡を提供する。
本発明によれば、制御手段の作動により視野円内部に対応する領域のみにおいて光源からの出射光を出射させるので、視野円外の領域に出射光が照射されることがなく、視野円外における不要光の発生が未然に防止される。したがって、不要光の異常輝度によって視野円内の必要画像が不鮮明になることを防止することができる。
また、本発明は、光源と、該光源から出射された光を試料に対して集束させる対物レンズと、集束された光を試料面に沿って相対的に走査する走査機構と、試料からの反射光、透過光または蛍光の強度を検出する光検出器と、前記対物レンズの視野円を内包する四角形からなる走査範囲全域にわたり視野円内外において異なる画素値を有する2値画像を保存する2値画像保存手段と、該2値画像保存手段に保存されている2値画像と、光検出器により取得された画像とを論理積演算する演算手段とを備える走査型顕微鏡を提供する。
本発明によれば、2値画像保存手段に予め保存しておいた2値画像と、光検出器により取得された画像とが、演算手段の作動により論理積演算される。2値画像は、視野円内外において画素値が異なっている。例えば、視野円外の画素値をゼロとし、視野円内の画素値を1としておくことにより、論理積演算の結果、視野円外の画素値はゼロとなり、視野円内のみに画素値を有する画像を取得することができる。したがって、取得された画像の解析処理を容易にすることができる。
上記発明においては、前記演算手段が、論理積演算をリアルタイムに行うことが好ましい。
演算手段が論理積演算をリアルタイムで行うことにより、画像取得中にもリアルタイムで視野円内の画像を観察することができる。
演算手段が論理積演算をリアルタイムで行うことにより、画像取得中にもリアルタイムで視野円内の画像を観察することができる。
また、上記発明においては、前記光源からの出射光を前記対物レンズの視野円外だけで反射させて前記光検出器により取得した画像を2値化して前記2値画像を取得する2値画像取得手段を備えることとしてもよい。
このようにすることで、2値化画像取得手段の作動により、視野円外だけで反射した反射光に基づいて、視野円内外で画素値の異なる2値化画像を容易に取得することができる。
このようにすることで、2値化画像取得手段の作動により、視野円外だけで反射した反射光に基づいて、視野円内外で画素値の異なる2値化画像を容易に取得することができる。
また、上記発明においては、前記対物レンズの視野円内に試料を配置することなく前記光源からの出射光を対物レンズの視野円内だけを透過させて前記光検出器により取得した画像を2値化して前記2値画像を取得する2値画像取得手段を備えることとしてもよい。
このようにすることで、2値化画像取得手段の作動により、視野円内だけを透過した透過光に基づいて、視野円内外で画素値の異なる2値化画像を容易に取得することができる。
このようにすることで、2値化画像取得手段の作動により、視野円内だけを透過した透過光に基づいて、視野円内外で画素値の異なる2値化画像を容易に取得することができる。
本発明によれば、走査範囲より狭い視野範囲しか持たない対物レンズの視野範囲を有効に利用して画像を構築した場合や通常の対物レンズの性能を最大限に引き出すために視野円全体を利用して画像構築する場合に懸念される正確な画像情報以外の輝度データを一切排除する方法を提供できる。また、ハードウェアは従来から変更せずに手段の追加により本発明を実現できる。
以下、本発明の実施形態に係る走査型顕微鏡について、図面を参照して説明する。
第1、第2の実施形態ともに走査型顕微鏡の1つである共焦点走査型光学顕微鏡の光学系を使用して試料を2次元走査することにより試料形状情報を取得する例であり、第1の実施形態は試料走査範囲を限定して走査する例であり、第2の実施形態は取り込まれる画像をリアルタイムで補正する例であり、補正に利用する画像を作成する例である。
第1、第2の実施形態ともに走査型顕微鏡の1つである共焦点走査型光学顕微鏡の光学系を使用して試料を2次元走査することにより試料形状情報を取得する例であり、第1の実施形態は試料走査範囲を限定して走査する例であり、第2の実施形態は取り込まれる画像をリアルタイムで補正する例であり、補正に利用する画像を作成する例である。
[第1の実施形態]
本発明の第1の実施形態に係る走査型顕微鏡について図1および図2を参照して以下に説明する。図1は、本発明を適用する共焦点走査型顕微鏡の概略構成を示している。
本実施形態に係る走査型顕微鏡は、レーザ光のようなスポット光を出射する光源1と、該光源1から出射された光を試料4に対して集束させる対物レンズ3と、集束された光を試料A面に沿って相対的に走査する2次元走査用スキャナ2と、試料Aからの蛍光の強度を検出する光検出器6と、光源1を制御するCPU(制御手段)8とを備えている。図中、符号5は試料4を搭載するステージであり、Z軸方向に移動可能になっていて、試料4をスポット光の光軸方向に移動できるようになっている。
本発明の第1の実施形態に係る走査型顕微鏡について図1および図2を参照して以下に説明する。図1は、本発明を適用する共焦点走査型顕微鏡の概略構成を示している。
本実施形態に係る走査型顕微鏡は、レーザ光のようなスポット光を出射する光源1と、該光源1から出射された光を試料4に対して集束させる対物レンズ3と、集束された光を試料A面に沿って相対的に走査する2次元走査用スキャナ2と、試料Aからの蛍光の強度を検出する光検出器6と、光源1を制御するCPU(制御手段)8とを備えている。図中、符号5は試料4を搭載するステージであり、Z軸方向に移動可能になっていて、試料4をスポット光の光軸方向に移動できるようになっている。
2次元走査用スキャナ2は、光源1からのスポット光を試料4上に2次元走査するためのもので、例えば、X軸方向走査用のガルバノミラーまたはレゾナントスキャナとY軸方向走査用のガルバノミラーとを有している。これらXスキャナとYスキャナをX軸方向およびY軸方向に振ることでスポット光を試料4上でXY方向に振らせることができるようになっている。
光検出器6は、受光面の前面に図示しないピンホールを有するもので、ピンホールを介して得られる光情報を受光し、その光強度に応じた電気信号に変換するようになっている。
光検出器6は、受光面の前面に図示しないピンホールを有するもので、ピンホールを介して得られる光情報を受光し、その光強度に応じた電気信号に変換するようになっている。
CPU8は、A/D変換器7を介して光検出器6に接続されている。また、CPU8には、光源1、2次元走査スキャナ2、ステージ5の他に、メモリ9、フレームメモリ10を介して表示部11、記憶装置12および入力装置13が接続されている。
記憶装置12は、入力装置13により入力された後述する注目領域の位置情報を記憶している。
CPU8は、2次元走査用スキャナを制御して、試料4に照射するスポット光の走査範囲15を制御するとともに、光源1をON/OFF制御して、試料4におけるスポット光の照射位置を制御するようになっている。
記憶装置12は、入力装置13により入力された後述する注目領域の位置情報を記憶している。
CPU8は、2次元走査用スキャナを制御して、試料4に照射するスポット光の走査範囲15を制御するとともに、光源1をON/OFF制御して、試料4におけるスポット光の照射位置を制御するようになっている。
また、CPU8は、A/D変換器7を介して得られた蛍光強度と、2次元操作用スキャナによるスポット光の位置情報とに基づいて蛍光画像(検出画像)を構築し、フレームメモリ10に出力するようになっている。フレームメモリ10に出力された蛍光画像は逐次表示部11に表示されるようになっている。
また、CPU8は、光源1に対してレーザ波長毎のON/OFFを指示し、対物レンズ3を通って試料4に出射する光強度を調整している。
ここで、CPU8、メモリ9、フレームメモリ10等は一般的なパーソナルコンピュータを利用してもかまわない。
ここで、CPU8、メモリ9、フレームメモリ10等は一般的なパーソナルコンピュータを利用してもかまわない。
このように構成された本実施形態に係る走査型顕微鏡の動作について図1および図2を参照して説明する。
光源1から出射されるレーザ光は2次元走査用スキャナ2を通って対物レンズ3に到達する。この際、2次元走査用スキャナ2から出射される光3−2が対物レンズ3の視野範囲3−1を超える範囲で出射される。このとき、レーザ光が照射されることで、試料において発生した蛍光は、対物レンズ3によって集められ、2次元走査用スキャナ2を介して戻り、光検出器6により検出される。検出された光強度の情報は、A/D変換器7を介してCPU8に送られ、メモリ9に展開される。展開された顕微鏡画像Gのイメージが図2である。
光源1から出射されるレーザ光は2次元走査用スキャナ2を通って対物レンズ3に到達する。この際、2次元走査用スキャナ2から出射される光3−2が対物レンズ3の視野範囲3−1を超える範囲で出射される。このとき、レーザ光が照射されることで、試料において発生した蛍光は、対物レンズ3によって集められ、2次元走査用スキャナ2を介して戻り、光検出器6により検出される。検出された光強度の情報は、A/D変換器7を介してCPU8に送られ、メモリ9に展開される。展開された顕微鏡画像Gのイメージが図2である。
図2の画像において、顕微鏡画像Gにおいて有効な範囲は視野円14内である。本実施形態に係る走査型顕微鏡においては、この有効範囲の視野円14内だけにレーザ光を出射するために、視野円14を注目領域として指定するが、対物レンズ3が同じで2次元走査用スキャナ2のスキャン範囲が同一の場合、注目領域は変化しないので、記憶装置12に登録しておき、その都度呼び出して利用する。これにより簡単に図2の画像G内の視野円14内外の範囲を設定することができる。CPU8は、2次元走査用スキャナ2の各ガルバノミラーの位置が、視野円14内にスポット光が照射される位置であるときにだけ、光源1にON指令を出力し、視野円14外にスポット光が照射される位置であるときには、光源1にOFF指令を出力する。
これにより、光源1から出射されるレーザ光がON/OFFされることで、図1の2次元走査用スキャナ2から出射される光3−2を視野範囲3−1だけを通過する設定を指示することができる。したがって、図2の視野円14内の領域GAのみに輝度を有し、視野円14外の領域GBに輝度を有しない顕微鏡画像Gを取得することができる。
[第2の実施形態]
本発明の第2の実施形態に係る走査型顕微鏡について、図1〜図5を参照して説明する。
本実施形態に係る走査型顕微鏡の基本的な構成は、第1の実施形態と同様で、記憶装置(2値画像保存手段)12内に2値画像G0が保存されている点、CPU8が、記憶装置12内に保存されている2値画像G0を用いて画像間演算することにより顕微鏡画像Gを取得する点において第1の実施形態と相違している。
本発明の第2の実施形態に係る走査型顕微鏡について、図1〜図5を参照して説明する。
本実施形態に係る走査型顕微鏡の基本的な構成は、第1の実施形態と同様で、記憶装置(2値画像保存手段)12内に2値画像G0が保存されている点、CPU8が、記憶装置12内に保存されている2値画像G0を用いて画像間演算することにより顕微鏡画像Gを取得する点において第1の実施形態と相違している。
このように構成した本実施形態に係る走査型顕微鏡の動作について説明する。
図1の記憶装置12には、予め対物レンズの視野円14内の画素値を1、視野円14外の画素値を0とする2値画像G0(図3(a)参照。)を保存しておく。この2値画像G0は、例えば、次の方法により作成することができる。
図1の記憶装置12には、予め対物レンズの視野円14内の画素値を1、視野円14外の画素値を0とする2値画像G0(図3(a)参照。)を保存しておく。この2値画像G0は、例えば、次の方法により作成することができる。
まず、図1の構成においてステージ上5に試料4を配置しない状態で、光源1からレーザ光を照射する。試料4が存在しないので、対物レンズ3の視野範囲3−1から戻る蛍光は存在しない。一方、視野範囲3−1外では、鏡筒等において反射して戻る光が検出される。特に、光源1から出射される光の強度を上げることにより、光検出器6には視野範囲3−1外からの光が検出され、検出された光強度情報はCPU8を通してメモリ9の画像メモリ1に展開される。このとき、構築される画像は、図3(a)の視野円14外のみに輝度データが存在し、視野円14内に輝度データが存在しない。そこで、CPU8において、この画像を処理して、図3(b)に示されるように、輝度のある部分の画素値を0、輝度のない部分の画素値を1とすることにより、2値画像G0を得ることができ、その結果を記憶装置12へ保存しておく。
そして、顕微鏡画像を取得する際には、試料4をステージ5上に配置して、レーザ光を照射し、試料4から戻る蛍光を検出して得られた蛍光画像(検出画像)G1(図4(a)参照。)をメモリ9に展開する。断面BBに沿う蛍光画像G1の輝度分布を図4(b)に示す。
CPU8は、蛍光画像G1が得られる毎に、リアルタイムで記憶装置12から予め用意されていた2値画像G0を読み込み、メモリ9内に展開されている蛍光画像G1と論理積計算を行う。これにより、視野円14内の輝度情報のみを残し、視野円14外に輝度のない顕微鏡画像Gを取得することができる(図5参照。)。したがって、高精細で解析が容易な顕微鏡画像Gを簡易に取得することができる。
なお、上記実施形態においては、落射照明系について説明したが、透過照明系の場合には、ステージ5上に試料4を配置することなく透過した光を検出することにより、上記とは逆に、視野円14内のみに輝度を有する画像を取得することができる。したがって、取得された画像を処理して、上記とは逆に輝度のある部分の画素値を1、輝度のない部分の画素値を0とすることにより、上記とほぼ同一の2値画像を準備することができる。
1 光源
2 2次元走査スキャナ
3 対物レンズ
4 試料
5 ステージ
6 光検出器
7 A/D変換器
8 CPU(演算手段:2値画像取得手段)
9 メモリ
10 フレームメモリ
11 表示部
12 記憶装置(2値画像保存手段)
13 入力装置
14 視野円
15 走査範囲
G0 2値画像
G1 蛍光画像(検出画像)
2 2次元走査スキャナ
3 対物レンズ
4 試料
5 ステージ
6 光検出器
7 A/D変換器
8 CPU(演算手段:2値画像取得手段)
9 メモリ
10 フレームメモリ
11 表示部
12 記憶装置(2値画像保存手段)
13 入力装置
14 視野円
15 走査範囲
G0 2値画像
G1 蛍光画像(検出画像)
Claims (5)
- 光源と、
該光源から出射された光を試料に対して集束させる対物レンズと、
集束された光を試料面に沿って相対的に走査する走査機構と、
試料からの反射光、透過光または蛍光の強度を検出する光検出器とを備え、
前記対物レンズの視野円を内包する四角形を走査範囲としたとき、視野円の内部だけに前記光源からの出射光を出射させる制御手段を備える走査型顕微鏡。 - 光源と、
該光源から出射された光を試料に対して集束させる対物レンズと、
集束された光を試料面に沿って相対的に走査する走査機構と、
試料からの反射光、透過光または蛍光の強度を検出する光検出器と、
前記対物レンズの視野円を内包する四角形からなる走査範囲全域にわたり視野円内外において異なる画素値を有する2値画像を保存する2値画像保存手段と、
該2値画像保存手段に保存されている2値画像と光検出器により取得された検出画像とを論理積演算する演算手段とを備える走査型顕微鏡。 - 前記演算手段が、論理積演算をリアルタイムに行う請求項2に記載の走査型顕微鏡。
- 前記光源からの出射光を前記対物レンズの視野円外だけで反射させて前記光検出器により取得した検出画像を2値化して前記2値画像を取得する2値画像取得手段を備える請求項2または請求項3に記載の走査型顕微鏡。
- 前記対物レンズの視野円内に試料を配置することなく前記光源からの出射光を対物レンズの視野円内だけを透過させて前記光検出器2より取得した検出画像を2値化して前記2値画像を取得する2値画像取得手段を備える請求項2または請求項3に記載の走査型顕微鏡。
Priority Applications (4)
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JP2005142376A JP2006317836A (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | 走査型顕微鏡 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010122472A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Hoya Corp | 光走査型内視鏡、光走査型内視鏡プロセッサ、および光走査型内視鏡装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000035400A (ja) * | 1998-07-04 | 2000-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 共焦点顕微鏡による検査方法およびそのシステム構成 |
JP2003107361A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
-
2005
- 2005-05-16 JP JP2005142376A patent/JP2006317836A/ja active Pending
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