JP2003107361A - 顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
たうえで、照明光の迅速にして高精度な調整制御を実現
し得るようにして、観測精度の向上を図るようにするこ
とにある。 【解決手段】光源23から放射され、反射ミラー21を
介して入射された照明光を、オン・オフ切換制御により
選択的に反射制御して標本11面上の任意の位置に、照
明するための複数の微小ミラー201からなる照明手段
を、標本11と共役位置で、且つ、対物レンズ12で形
成される光軸に垂直に配置するように構成したものであ
る。
Description
を備える蛍光顕微鏡等の顕微鏡に関する。
おいては、観察範囲と同じ範囲を照明する視野絞り機能
が設けられている。そして、蛍光観察時等、視野内の一
部分を観察対象とするような場合には、標本の他の部分
が劣化して、蛍光褪色を防ぐために、その視野絞りを小
さくして視野内の必要な部分のみを照明する方法が採ら
れる。
分的に褪色させ、その復帰状態を観察することで、細胞
内の物質移動を観察するFRAP(Fluoresce
nce Recovery After Potobl
eaching)、FLIP(Fluorescenc
e Los In Photovleaching)
や、科学的に特性を封じ込めたCaged試薬で染色し
ておき、部分的に照明光を当てることで、その部分のみ
特性を回復させ、その拡散を観察する手段等が行われて
いる。このため、蛍光観察時、視野内の一部分を、任意
の大きさや形状で照明する要求が高まっている。
光照明光学系の視野絞り位置(標本と共役位置)にピン
ホールやスリットを着脱可能に配設して、部分照明を実
現する方法がある。
に径が変更可能な虹彩絞りが使用されている。例えば特
開平7―134250号公報、特表2000―5024
72号公報には、透過液晶素子(LCD)を絞り位置に
配置し、その濃淡の制御により絞りとして使用する方式
が開示されている。この方式を採用すると、観察範囲と
照明範囲を合わせる機能だけでなく、視野内の一部分を
任意の大きさや形状で照明することが可能となる、しか
しながら、この液晶絞り方式では、その液晶素子に偏光
板を使用していることで、100%透過制御の状態で
も、その透過率が低く、照明光量が落ちるうえ、透過光
の色特性が変化してしまうために、その観測精度が低下
されるという不具合を有する。さらに、蛍光照明には、
UV光が用いられる場合があるが、液晶自体のUV透過
率が低く、また自家蛍光が小さいものを用いるのは困難
である。
が、数十ミリ秒オーダーであるために、視野内で照明位
置や形状を切り替えながら細胞内の時間変化を観察する
場合、その応答速度では高精度な観察が困難であるとい
う不具合を有する。
00―502472号公報には、その特許請求の範囲に
おいて、単に、液晶素子(LCD)の代わりに光変調構
造の異なるDMD(デジタルミラーデバイス)を用いる
との記述があります。しかし、この公報の実施例の説明
においては、当業者により実施可能なDMDを用いた照
明装置の配置構成について、具体的な構成は、全く開示
も、示唆もされてなく、その組み合わせ配置自体が皆無
である。
来の液晶絞り方式の顕微鏡では、透過率が悪く、透過光
の色特性が変化するうえ、制御系の応答特性が悪いため
に、満足の行く観測精度を達成するものでないというこ
とが明確である。
ので、照明光の高精度な色特性を確保しつつ、迅速にし
て高精度な照明光の調整制御を実現し得る高い観測精度
を備えた顕微鏡を提供することを目的とする。
配置される対物レンズと、絞り投影レンズと、前記標本
を照明する照明光を発生する照明手段と、前記標本と共
役位置で、且つ前記対物レンズを通る光軸上の位置に配
置され、電圧制御に連動して選択的に偏向制御可能な複
数の微小光偏向部で前記標本面上に照射される前記照明
手段からの照明光を夫々独立して偏向させる光偏向素子
アレイと、前記光偏向素子アレイを制御する制御部と、
を備えて顕微鏡を構成した。
その複数の微小光偏向部が絞り投影レンズを通して、共
役位置に配置される標本面上に投影され、該微小光偏向
部の電圧制御により、選択的に照明手段から放射された
照明光を、視野絞り投影レンズを通して標本面上の所望
の位置に、所望の大きさと、所望の形状で照射する。こ
れにより、照明手段から照射される照明光の色特性を確
保したうえで、照明光の迅速にして高精度な調整制御が
可能となり、観測精度の向上が図れる。
対物レンズと、絞り投影レンズと、前記標本を照明する
照明光を発生する照明手段と、前記標本と共役位置で、
且つ前記対物レンズを通る光軸上の位置に配置され、電
圧制御に連動して選択的に偏向制御可能な複数の微小光
偏向部で前記標本面上に照射される前記照明手段からの
照明光を夫々独立して偏向させる光偏向素子アレイと、
前記光偏向素子アレイを制御する制御部と、前記光偏向
素子アレイと前記投影レンズとの間、又は前記光偏向素
子アレイと前記照明手段との間の少なくとも一方に配置
される反射部材と、を備えて顕微鏡を構成した。
その複数の微小光偏向部が絞り投影レンズを通して、共
役位置に配置される標本面上に投影されることにより、
該微小光偏向部の電圧制御により、選択的に照明手段か
ら放射された照明光を、反射部材を介して絞り投影レン
ズを通して標本面上の所望の位置に、所望の大きさと、
所望の形状で照射する。これにより、照明手段から照射
される照明光の色特性を確保したうえで、照明光の迅速
にして高精度な調整制御が可能となり、観測精度の向上
が図れる。
いて、図面を参照して詳細に説明する。
微鏡の要部を示すもので、顕微鏡本体のステージ10に
は、標本11が載置される。このステージ11上には、
対物レンズ12が対向配置され、この対物レンズ12の
光軸上には、ダイクロイックミラー13、吸収フィルタ
14、結像レンズ15、プリズム16を介して接眼レン
ズ17が配設される。また、上記ダイクロイックミラー
13の反射光軸(照明光軸)A上には、励起フィルタ1
8、視野絞り投影レンズ19、デジタル微小ミラー装置
20が配設される。そして、このデジタル微小ミラー装
置20の入射路には、反射部材である反射ミラー21、
コレクタレンズ22を介して、例えば水銀ランプで構成
される光源23が配設される。
は、例えば米国特許5,061,049号公報に開示さ
れるところのDMD(Digital Micromi
rror Davices)で、図2に示すように角度
位置が静電的に変化される複数の微小ミラー201を、
2次元空間的に配列し、各微小ミラー201に対する印
加電圧をオン・オフ制御(印加電圧の制御)することに
より、各微小ミラー201が夫々独立に角度制御できる
ものである。
の複数の微小ミラー201が、照明光軸Aに対して垂直
で、対物レンズ12の光軸に対して垂直に投影されるよ
うに上記標本の共役位置に配置され、駆動制御部24を
介して複数の微小ミラー201が、夫々独立して10マ
イクロ秒オーダーの応答速度で選択的にオン・オフ切換
制御される。
4個×768個が配列され(但し、図2中では、図の都
合上、2個のみを図示)、それぞれの垂線に対して予め
決められた傾斜角度α(例えば10°)に個別に傾斜さ
れて配設され、所望の面積(DMDに依存、例えば20
μm以下の方形状)に形成される。そして、これら複数
の微小ミラー201は、例えばオン制御された状態で光
源23からの照明光を照明光軸Aに案内し、オフ制御さ
れた状態で光源23からの照明光を退避光軸(外部)2
03方向に案内するように配設される。
り投影レンズ19は、その焦点位置が対物レンズ12の
瞳位置及び微小ミラー201の面上になるように配設さ
れる。即ち、視野絞り投影レンズ19は、微小ミラー2
01を最適な大きさで投影するように、その焦点距離f
1が50mm〜300mm程度の1枚以上のレンズで形
成されるレンズ群で構成される。これは焦点距離f1が
50mm以下では、実構成を取ることが困難なことと、
焦点距離f1が300mmを超えると、標本11面上に
投影される投影倍率が小さくなりすぎて、使い勝手のよ
い視野を確保することが困難となると共に、照明光が暗
くなるためである。本実施の形態では、例えばf1=1
70mmを使用する。
本11の観察像を撮像する図示しない撮像部の撮像素子
のサイズとの関係が、結像レンズ15の焦点距離をf2
とし、撮像素子の対角サイズをCとし、配列された複数
の微小ミラー201の対角サイズをDとすると、 0.3<f2/f1<5 0.3<C/D<6.6 の関係を満足すると、容易な配置構成が可能となる。本
実施の形態では、例えばf2=180mmの焦点距離を
用いている。
た照明光は、コレクタレンズ22により集光され、反射
ミラー21で反射された後、デジタル微小ミラー装置2
0に導かれる。ここで、デジタル微小ミラー装置20
は、その微小ミラー201がオンになっているものが照
明光軸A方向へ反射させて投影レンズ19に出力する。
この際、微小ミラー201のうちオフになっているもの
は、退避光軸203方向に反射させて照明として使用さ
れない。
明光は、励起フィルタ18により標本11の蛍光物質を
励起するのに適切な光りに撰択された後、ダイクロイッ
クミラー13により反射され、対物レンズ12により標
本11に照射される。ここで、標本11は、照射された
照射光に基づいた蛍光を発生する。
ズ12により集光され、ダイクロイックミラー13を透
過して、吸収フィルタ14により蛍光が選択的に透過さ
れ、結像レンズ15により結像されて、プリズム16に
より偏向され、接眼レンズ17により入射される。この
接眼レンズ17で観察される光学像は、例えば上記撮像
部(図示せず)等に導かれて観察画像として取得するこ
ともできる。
微小ミラー201の像は、視野絞り投影レンズ19と対
物レンズ12により標本11のピント面に結像される。
ここで、オン制御された状態の微小ミラー201の像
は、照明光の反射光が標本11面まで導かれているため
明るく投影され、オフ制御された状態の微小ミラー20
1の像は、照明光の反射光が標本11面に導かれないた
めに、真暗に投影される。つまり標本11上ではデジタ
ル微小ミラー装置20の各微小ミラー201の像は、そ
のオン・オフ制御状態により明暗として投影されるた
め、明の部分のみが照明されている状態となり、微小ミ
ラー201のオン・オフ切換制御によって、標本11の
部分的な照明が可能となる。
装置20の制御状態を示す図で、領域20a、20b、
20cに対応する微小ミラー201のみがオン制御の状
態を示し、その光が図3(b)に示すように標本11面
上の観察視野111の領域11a、11b、11cに投
影される。ここで、デジタル微小ミラー装置20の微小
ミラー201を制御することにより、観察視野111内
の、領域11a、11b、11cの部分のみを順に照明
するように制御することも可能である。
は、その微小ミラー201を最小単位とした制御で可能
であれば領域数に制限は無く、その大きさや形状も任意
に可変設定するように制御することも可能である。そし
て、このデジタル微小ミラー装置20の使用形態として
は、例えば微小ミラー201をすべてオフ制御すると、
照明光を全て遮断できることにより、高速のシャッター
として、使用することもできる。
する部分の微小ミラー201のみをオン制御すること
で、視野絞りとして使用できる。そして、標本11とし
て、例えばシャーレ内に培養された複数の細胞のうち、
一つの細胞のみを観察したい場合は、その細胞に対応す
る部分(例えば領域11a)のみを照明してやることで、
観察対象以外の細胞へなんら影響(腿色等)を与えること
なく、目的の細胞の観察が可能となる。
ジタル微小ミラー装置20を制御することで、褪色させ
る範囲(位置、形状、大きさ)を指定し、照明光を一定時
間照射し部分的に褪色させる。その後、デジタル微小ミ
ラー装置20の視野111に対応する範囲の微小ミラー
201を全てオン制御し、蛍光観察を行い、褪色した部
分への周囲の蛍光色素の拡散を観察する。この時、褪色
のための部分領域照明状態と、視野全体照明状態は、デ
ジタル微小ミラー装置20の応答速度である数十マイク
ロ秒オーダーでの切換が可能で、例えば細胞内の高速な
拡散でもタイムラグが非常に少ない状態で観察できる。
波長を、例えば電動フィルターホイールや電動蛍光キュ
ーブターレット等の顕微鏡で、既知な図示しない手段
で、励起フィルタ18やダイクロイックミラー13を切
換えることで変更することも可能である。そして、同様
の制御でケージド試薬を用いた観察を行うことも可能で
ある。さらに、カルシウム指示薬等で、細胞の蛍光の変
化を明るさ情報として取得したい場合には、対象とする
細胞に相当する一部分(例えば領域11b)のみを照明
し、観察光学系に例えば図示しないPMTを配置して受
光することで、所望の部分のみのデータが測光できる。
領域11a、11b、11cの順に照明光を順次切換え
てやることで、複数の細胞の個々の状況をタイムラグ
が、非常に少ない状態で測光することができる。
ら放射され、反射ミラー21を介して入射された照明光
を、オン・オフ切換制御により選択的に反射制御して標
本11面上の任意の位置に、照明するための複数の微小
ミラー201からなる照明手段を、標本11と共役位置
で、且つ、対物レンズ12で形成される光軸に垂直に配
置するように構成した。
とで、光源23から照射される照明光のコントラストが
高く高精度な色特性を確保することができ、しかも、デ
ジタル微小ミラー装置20の微小ミラー201のオン・
オフ制御により、光源23から放射された照明光を、標
本11面上の所望の位置に、所望の大きさと、所望の形
状で照射することができるため、照明光の迅速にして高
精度な調整制御が可能となり、観測精度の向上が図れ
る。また、これによれば、照明光調整時に機械的な振動
が発生しないことで、観察像に振動の影響を受けること
なく、高精度な観察が実現される。特に、観察形態とし
て、蛍光観察時に、有益な効果が得られる。
ことなく、その他、図4乃至図13に示すように構成し
ても良い。但し、図4乃至図13においては、上記図1
乃至図3と同一部分について、同一符号を付して、その
詳細な説明を省略する。
50%反射のハーフミラー31を、デジタル微小ミラー
装置20とコレクタレンズ22との間に配置するように
構成したものである。本実施の形態によれば、照明光を
さげるために、反射部材を遠ざける必要がないためデジ
タル微小ミラー装置20と視野絞り投影レンズ19との
配置間隔を、短くすることが可能となり、視野絞り投影
レンズ19の焦点距離の自由度を向上させることができ
るため、デジタル微小ミラー装置20の標本11面への
投影倍率の自由度が高められる。
射軸に対応して第1及び第2の光源41、42を、それ
ぞれ第1及び第2のコレクタレンズ43、44、第1及
び第2の反射ミラー45、46を介して対向配置する。
そして、第1のコレクタレンズ43と第1の反射ミラー
45との間の光軸上、及び第2のコレクタレンズ44と
第2の反射ミラー46との間の光軸上には、特性の異な
る第1及び第2の励起フィルタ47、48を介在するよ
うに構成したものである。
された照明光は、第1のコレクタレンズ43により集光
され、第1の励起フィルタ47により選択的に透過され
た後、反射ミラー45で反射されデジタル微小ミラー装
置20に導かれる。ここで、デジタル微小ミラー装置2
0は、その微小ミラー201がオン制御状態で、照明光
を照明光軸A方向に反射させて視野絞り投影レンズ19
に案内する。そして、デジタル微小ミラー装置20の微
小ミラー201かオフ制御状態では、退避光軸203方
向へ反射され、照明として使用されない。
明光は、第2のコレクタレンズ44により集光され、第
2の励起フィルタ48により選択的に透過された後、第
2の反射ミラー46で反射されデジタル微小ミラー装置
20に導かれる。ここで、デジタル微小ミラー装置20
は、その微小ミラー201がオフ制御状態で、照明光を
照明光軸A方向に反射させて視野絞り投影レンズ19に
案内する。そして、デジタル微小ミラー装置20の微小
ミラー201がオン制御状態では、照明光が退避光軸2
03方向へ反射され、照明として使用されない。
11内のデジタル微小ミラー装置20の微小ミラー20
1が、オン制御になっている状態に対応する任意領域G
は、第1の光源41からの照明光で照明され、デジタル
微小ミラー装置20の微小ミラー201がオフ制御にな
っている状態に対応する領域Hは、第2の光源からの照
明光で照明される。
47、48を、例えば異なる波長帯域のバンドパスフィ
ルタで構成した場合には、領域Gと領域Hを異なる波長
で照明することができる。このような構成において、ケ
ージド蛍光試薬による観察を行う場合には、その領域G
をケージド解除の波長で照明し、領域Hを解除後の蛍光
観察の波長で照明することで、まさに解除しながら同時
にタイムラグ無しに拡散の様子を観察することができ
る。
0の全微小ミラー201を同時にオン・オフ切換制御す
ることにより、2つの波長の照明光を、数十マイクロ秒
オーダーの高速、かつ、無振動に切換えることができる
ため、目視観察では、あたかも2波長同時に照明してい
るかの如く観察できる。このように本実施の形態によれ
ば、観察形態の多様化が図れて使い勝手の向上を図るこ
とができる。
45、46を、ハーフミラー49で兼用するように配置
構成したものである。本実施の形態によれば、第1及び
第2の光源の配置位置を変更することが可能となり、空
間的配置構成のバリエーションを得ることが可能とな
り、設計の自由度の向上が図れる。
のデジタル微小ミラー装置50を上記デジタル微小ミラ
ー装置20に対向させて配設し、この第2のデジタル微
小ミラー装置50の後段には、上記コレクタレンズ22
を介して光源が配設するように構成したものである。こ
こで、51は、上記デジタル微小ミラー装置20の微小
ミラー201がオン制御状態での照明光軸で、52は、
第2のデジタル微小ミラー装置50の微小ミラー201
がオン制御の状態での照明光軸である。
た照明光は、コレクタレンズ22により集光され、第2
のデジタル微小ミラー装置50へ導かれる。第2のデジ
タル微小ミラー装置50の微小ミラー201がオン状態
で、照明光は、照明光軸51方向に反射され、デジタル
微小ミラー装置20へ導かれる。このデジタル微小ミラ
ー装置20の微小ミラー201がオン状態で、照明光
は、光軸A方向へ反射され、標本11を照明する。
0は、開口絞りと共役位置に置かれているため、各微小
ミラー201の制御によって、開口絞り位置に様々な形
状の絞りを入れたことと同義になり、一般的に絞りによ
って与えられる顕微鏡の照明変調効果を自由に得ること
ができる。例えば第2のデジタル微小ミラー装置50上
の光軸中心に円形の微小ミラー201のオン領域を作っ
てやり、大きさを制御することで、明るさ調節が可能と
なる。また、開口絞り径の半分に相当する微小ミラー2
01をオン制御にすることで、偏射照明が可能となる。
本実施の形態によれば、デジタル微小ミラー装置20の
効果に加え、第2のデジタル微小ミラー装置50により
開口絞りの機能も加えることができる。
レクタレンズ22及び光源23の配置を変更し、図10
は、デジタル微小ミラー装置20の後段に反射ミラー2
1を配設するようにして、小型化の促進を図るように構
成したものである。
グ面601及び全反射面602を有したプリズム60
を、その全反射面602をデジタル微小ミラー装置に対
向させ、且つそのハーフミラーコーティング面601を
視野絞り投影レンズ19に対向させた状態で、コレクタ
レンズ22及び視野絞り投影レンズ19との間に介在す
るように構成したものである。本実施の形態によれば、
反射面の距離を短くすることができるので、小型化の促
進を図ることが可能となる。
コレクタレンズ22との間に配設される反射ミラー21
を削除し、光源23からの照明光をコレクタレンズ22
で集光して、直接的にデジタル微小ミラー装置20に導
くように構成したもので、部品点数の軽減が図れて小型
化の促進が図れる。
で、接眼レンズ17と結像レンズ15との間に配設され
るプリズム16に代えてリレーレンズ70及び全反射ミ
ラー71を配設するように構成したものである。
ミラー装置の微小ミラーをオン状態で照明軸方向に位置
され、そのオフ状態で、退避軸方向に対応するように構
成した場合で説明したが、これに限ることなく、オン状
態で退避軸方向に対応され、オフ状態で照明軸方向に対
応するように構成することも可能である。
射するデジタル微小ミラー装置を用いて構成した場合で
説明したが、これに限ることなく、反射型の液晶素子を
用いて構成することも可能である。
ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しな
い範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さ
らに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれて
おり、開示される複数の構成要件における適宜な組合せ
により種々の発明が抽出され得る。
幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようと
する課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述
べられている効果が得られる場合には、この構成要件が
削除された構成が発明として抽出され得る。
光源に水銀灯やキセノンランプ、ハロゲンランプなどの
白色光源を用いていたが、照明用の光源はこれらに限ら
れるものではなく、例えば図14に示すようにレーザ光
源81を用いることもできる。
形態と大きく異なるものではないため詳細な説明は省略
するが、図14に示される顕微鏡の構成は、光源にレー
ザ光源81を用いるために、光束を広げるためにレーザ
光源81から発せられるレーザ光の光軸上に凹凸レンズ
からなるビームエクスパンダー82が設けられている点
と、白色光源に比べて波長特性が安定しているため、白
色光源を用いている場合に必要であった励起フィルタが
不要となる点と、レーザ光により励起された標本からの
蛍光を撮像するためのカメラ83及び該カメラ83で撮
像した画像情報をモニタ84に表示するために画像処理
を行うコンピュータ85とを備えている点とが前述した
実施の形態の構成と異なる。
は規制が生じるが、白色光源に比べてより明るい照明を
実現することができる。
ば、照明光の高精度な色特性を確保したうえで、照明光
の迅速にして高精度な調整制御を実現し得るようにし
て、観測精度の向上を図った顕微鏡を提供することがで
きる。
示した構成図である。
るために示した構成説明図である。
明図である。
を示した構成図である。
を示した構成図である。
明図である。
を示した構成図である。
を示した構成図である。
を示した構成図である。
部を示した構成図である。
部を示した構成図である。
部を示した構成図である。
部を示した構成図である。
部を示した構成図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 標本に対向配置される対物レンズと、 絞り投影レンズと、 前記標本を照明する照明光を発生する照明手段と、 前記標本と共役位置で、且つ前記対物レンズを通る光軸
上の位置に配置され、電圧制御に連動して選択的に偏向
制御可能な複数の微小光偏向部で前記標本面上に照射さ
れる前記照明手段からの照明光を夫々独立して偏向させ
る光偏向素子アレイと、 前記光偏向素子アレイを制御する制御部と、 を具備することを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項2】 標本に対向配置される対物レンズと、 絞り投影レンズと、 前記標本を照明する照明光を発生する照明手段と、 前記標本と共役位置で、且つ前記対物レンズを通る光軸
上の位置に配置され、電圧制御に連動して選択的に偏向
制御可能な複数の微小光偏向部で前記標本面上に照射さ
れる前記照明手段からの照明光を夫々独立して偏向させ
る光偏向素子アレイと、 前記光偏向素子アレイを制御する制御部と、 前記光偏向素子アレイと前記投影レンズとの間、又は前
記光偏向素子アレイと前記照明手段との間の少なくとも
一方に配置される反射部材と、 を具備することを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項3】 標本に対向配置される対物レンズと、 絞り投影レンズと、 前記標本を照明する照明光を発生する照明手段と、 前記標本と共役位置で、且つ前記対物レンズを通る光軸
上の位置に配置され、電圧制御に連動して選択的に偏向
制御可能な複数の微小光偏向部で前記標本面上に照射さ
れる前記照明手段からの照明光を夫々独立して偏向させ
る光偏向素子アレイと、 前記光偏向素子アレイを制御する制御部と、 前記光偏向素子アレイのオン・オフに対応する2つの光
軸上の後に配置される少なくとも一つの反射部材と、 を具備することを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項4】 標本に対向配置される対物レンズと、 絞り投影レンズと、 前記標本を照明する照明光を発生する照明手段と、 前記標本と共役位置で、且つ前記対物レンズを通る光軸
上の位置に配置され、電圧制御に連動して選択的に偏向
制御可能な複数の微小光偏向部で前記標本面上に照射さ
れる前記照明手段からの照明光を夫々独立して偏向させ
る第1の光偏向素子アレイと、 開口絞り位置、又は開口絞りと共役な位置に配置され、
電圧制御に連動して前記第1の光偏向素子アレイと協働
させ、選択的に偏向制御可能な複数の微小光偏向部で前
記標本面上に照射される前記照明手段からの照明光を夫
々独立して偏向させる第2の光偏向素子アレイと、 前記第1及び第2の光偏向素子アレイを制御する制御部
と、 を具備することを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項5】 前記投影レンズの照明距離が50〜30
0mmに設定されることを特徴とする請求項1乃至4の
いずれか記載の顕微鏡。
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