JPH10253889A - 走査型顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 観察試料の最適な位置合わせ等の調整作業
を、迅速、かつ、容易に実現でき、操作性の大幅な向上
を可能とした走査型顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】 ステージ１１上に載置された試料Ｂ上に
走査ユニット３により収束されたスポット光を走査する
ことにより試料Ｂを観察する走査型顕微鏡装置におい
て、画像取り込み手段３１により前記試料Ｂに走査され
るスポット光に基づく画像情報から前記試料Ｂの画像情
報を取り込み、輝度算出手段３２により取り込まれた画
像情報の各ライン内の輝度値の分布を算出し、算出した
輝度値を各ライン毎に記憶手段５に記憶し、この記憶手
段５に記憶している前記各ライン毎の輝度値に基づい
て、走査ライン選択手段３６により繰り返し走査の際に
おける試料画像取り込み時の走査ユニット３によるスポ
ット光の走査ラインを選択するようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、迅速な画像取り込
み及び画像表示を可能とする蛍光観察用の走査型顕微鏡
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光源からの光を対物レンズで微小なスポ
ット光に絞り、このスポット光で試料上を走査し、試料
からの透過光や反射光を光検出器で捕らえて電気信号に
変換し、画像モニタ上に試料像を表示する走査型レーザ
ー顕微鏡については、特開昭６１−２１９９１９号公報
等で提案されている。

【０００３】従来、このレーザー顕微鏡においては、観
察試料領域の画像を獲得するためには、まず、通常の顕
微鏡観察により、おおまかな観察対象領域を決定する。
次に、レーザー走査型顕微鏡により、レーザー光を観察
試料表面の走査領域をラスタスキャンＬし、このレーザ
ー走査光の反射光により得られる観察試料領域の画像を
画像モニタで確認しながら、画像が鮮明に観察できるよ
うに、光検出器の感度の調整を行うとともに、観察試料
が載置された顕微鏡ステージの位置の微調整を行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
ー走査型顕微鏡では、レーザー光で観察試料表面を連続
的にラスタスキャンするために用いるガルバノメータの
特性上から、あまり高速で走査することができない。こ
のため、１画面の画像を獲得するのに、数秒の時間を要
することになる。

【０００５】従って、実際の操作の方法としては、１画
面の画像を確認してホトマル等の光検出器の感度の調整
を行った後、走査流域をラスタスキャンして１画面の画
像情報が獲得されるまで数秒待って、画像がどう変化し
たかを確認して感度調整を行う、又は、ステージをＺ方
向に移動して走査領域を変更した後、１画面の画像が獲
得されるまで数秒待って画像の変化を見てから再度ステ
ージをＺ方向に動かすという繰り返し動作が必要とな
る。このように、画像を更新するたびに走査領域全体を
ラスタスキャンしなければならないため、走査時間を短
縮することがてきず、操作性が良くない。

【０００６】また、走査時間の短縮を図るため間引き走
査を行った場合でも、走査するライン数が単純に半分に
なるだけであり、１画面の取り込みの時間は通常の走査
の半分程度にしか短縮できず、かつ、特に着目したい観
察対象が小さい場合に限らず全画面に対して同じように
走査が行われるため、上述した操作性の悪さは解消され
ない。

【０００７】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、観察試料の最適な位置合わせ等の調整作業を、
迅速、かつ、容易に実現でき、操作性の大幅な向上を可
能とした走査型顕微鏡装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】蛍光観察の場合、観察対
象である蛍光の部分だけが明るく、それ以外は暗く観察
される。そのため、明るい部分だけを重点的に走査して
画像を表示できればよい。

【０００９】従って、まず、上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、ステージ上に載置された試
料上に収束光学手段により収束されたスポット光を走査
することにより試料を観察する走査型顕微鏡装置におい
て、前記試料に走査されるスポット光に基づく画像情報
から前記試料の画像情報を取り込む画像取り込み手段
と、前記画像取り込み手段により取り込まれた画像情報
の各ライン内の輝度値の分布を算出する輝度算出手段
と、前記輝度算出手段により算出された輝度値を各ライ
ン毎に記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶してい
る前記各ライン毎の輝度値に基づいて、繰り返し走査の
際における試料画像取り込み時の前記収束光学手段によ
るスポット光の走査ラインを選択する走査ライン選択手
段とを具備したことを特徴とするものである。

【００１０】また、請求項２記載の発明は、ステージ上
に載置された試料上に収束光学手段により収束されたス
ポット光を走査することにより試料を観察する走査型顕
微鏡装置において、前記試料に走査されるスポット光に
よる画像情報から前記試料の画像情報を取り込む画像取
り込み手段と、取り込まれた画像を表示する試料画像表
示手段と、前記画像取り込み手段により取り込まれた画
像情報の各ライン内の輝度値の分布を算出する輝度算出
手段と、前記輝度算出手段により算出された輝度値を各
ライン毎に記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶し
ている前記各ライン毎の輝度値に基づいて、次回の試料
画像取り込み時の前記収束光学手段によるスポット光の
走査ラインを選択する走査ライン選択手段、を具備した
ことを特徴とするものである。

【００１１】請求項３記載の発明は、ステージ上に載置
された試料上に収束光学手段により収束されたスポット
光を走査することにより試料を観察する走査型顕微鏡装
置において、前記試料に走査されるスポット光による画
像情報から試料の画像情報を取り込む画像取り込み手段
と、取り込まれた画像を表示する試料画像表示手段と、
前記画像取り込み手段により取り込まれた各ライン内の
輝度値の分布を算出する輝度算出手段と、前記輝度算出
手段により算出された輝度値を各ライン毎に記憶する記
憶手段と、前記ステージの移動量を計測する計測手段
と、前記記憶手段に記憶している前記各ライン毎の輝度
値及び前記計測手段による前記ステージの移動量の計測
値を基に、次回の試料画像取り込み時の前記収束光学手
段によるスポット光の走査ラインを選択する走査ライン
選択手段とを具備したことを特徴とするものである。

【００１２】請求項１に係る発明においては、試料に走
査されるスポット光による画像情報から取り込んだ試料
に対応する画像情報に対して、輝度算出手段により、各
走査ライン毎の輝度の分布を求め、それを記憶手段に格
納する。そして、繰り返し走査を行う際の画像取り込み
においては、走査ライン選択手段によって、記憶手段か
ら読み出した前回の走査時の輝度値を基に収束光学手段
によるスポット光の走査ラインを選択し走査するかしな
いかを決定することができ、必要な試料の画像情報のみ
を収集することにより、試料の観察を迅速に実行するこ
とができる。

【００１３】請求項２に係る発明においては、試料画像
表示手段により、試料に走査されるスポット光による画
像情報から取り込んだ試料の画像情報に対応する画像を
表示するとともに、輝度算出手段により、各走査ライン
毎の輝度値の分布を求め、それを記憶手段に格納する。
そして、次回の画像取り込みにおいては、走査ライン選
択手段によって、記憶手段から読み出した前回の走査時
の輝度値を基に収束光学手段によるスポット光の走査ラ
インを選択し走査するかしないかを決定することがで
き、必要な試料の画像情報のみを収集することにより、
試料の観察を迅速に実行することができる。

【００１４】請求項３に係る発明においては、試料画像
表示手段により、試料に走査されるスポット光による画
像情報から試料の画像情報に基づいた前記試料の画像を
表示するとともに、輝度算出手段により、各走査ライン
毎の輝度の分布を求め、それを記憶手段に格納する。そ
して、次回の画像取り込みにおいては、まずステージの
移動量を計測手段により計測して、ステージの移動量を
求め、ステージが移動していない場合には、さらに走査
ライン選択手段によって、記憶手段から読み出した前回
の走査時の輝度値を基に走査するかしないかを決定する
ことができ、最低限の必要な領域のみの画像情報の取り
込みを実現できる。一方、ステージが移動している場合
には、通常の走査を行うことで、状況に合わせた試料の
観察を実現できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】

（実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１に係る
走査型顕微鏡装置のシステム構成を示す図である。図１
に示すように、本実施の形態１に係る走査型顕微鏡装置
は、走査型レーザー顕微鏡Ａ、コンピュータシステムを
構成する操作パネル１、コントローラ２、走査ユニット
３、ステージ位置検出器４、記憶手段（メモリ）５、試
料画像表示手段である画像モニタ６により構成されてい
る。

【００１６】前記操作パネル１は、キーボード等の他、
トラックボールやジョイスティック、あるいはマウス等
のポインティングデバイスを含んでおり、ユーザからの
指示によりコントローラ２に対して、レーザー光の走査
指示指令及び画像入力指令等を出力する。

【００１７】コントローラ２は、操作パネル１から走査
指示指令が入力されると走査開始信号を走査ユニット３
に出力する。そして、光検出器２４からの観察試料Ｂの
画像情報（画像データ）を記憶手段５に転送する。

【００１８】走査ユニット３は、レーザー光源１２から
出射し、ミラー１３を介して入力されるレーザー光を、
コントローラ２からの走査制御信号に基づいてレボルバ
１４に取付けられた対物レンズ１５を通してステージ１
１上に載置された観察試料Ｂ上にスポット光としてＸＹ
走査する。そして、走査終了信号をコントローラ２に出
力する。

【００１９】ステージ位置検出器４は、ステージの位置
情報（Ｘ、Ｙ、及びＺ位置）を検出し、コントローラ２
に送信する。観察試料Ｂ上を走査するスポット光による
画像情報として試料Ｂからの反射光もしくは蛍光は対物
レンズ１５、走査ユニット３を介して入射した光路を逆
に戻り、ハーフミラー２１で反射され、レンズ２２で集
光される。その集光位置は対物レンズの瞳位置と共役な
関係になっており、ここにピンホール２３が置かれ、共
集点光学系を形成している。前記ピンホール２３を通過
した光は光検出器２４に入射し、その光量に応じた電気
信号に変換されてコントローラ２に入力される。

【００２０】記憶手段５は、例えば５１２画素×５１２
画素×８ビット（２５６階調）の画像を記憶するメモリ
部と、ステージ１１の移動情報を記憶するメモリ部とを
有する。画像メモリ部は光検出器２４からコントローラ
２を介して転送される画像情報を記憶する。画像モニタ
６は、記憶手段５に取り込まれた観察試料Ｂの画像情報
に応じた画像を画面に表示する。

【００２１】ここで、前記コントローラ２の詳細構成を
図２を参照して説明する。このコントローラ２は、前記
光検出器２４からの画像情報を取り込む画像取り込み手
段３１と、この画像取り込み手段３１により取り込んだ
画像情報を基に走査ライン毎の輝度値の分布を算出する
輝度算出手段３２と、算出した輝度値の分布及び後述す
るステージ１１の移動量を記憶する記憶手段５と、前記
ステージ位置検出器４の検出信号を基にステージ１１の
移動量を計測するステージ移動量計測手段３５と、前記
輝度値の分布又はステージ移動量に基づき前記走査ユニ
ット３による試料Ｂに対する走査ラインを選択する走査
ライン選択手段３６とを有している。

【００２２】次に、上述の如く構成された走査型レーザ
ー顕微鏡の動作について、図３、図４を参照して説明す
る。尚、この実施の形態１では、各走査ラインの輝度値
の分布を算出する方法として各ラインの平均値を求める
方法を取り上げ、同時に走査の実行を判定するために、
予め輝度値に対する観察者の指定によるしきい値が設定
されているものとして以下の説明を行う。

【００２３】まず、通常の顕微鏡観察により観察試料Ｂ
上の観察領域を決定した後、レーザー顕微鏡観察に切り
替えて第１回目のレーザー光によるＸ、Ｙ走査（ラスタ
スキャン）を行う。前記ステージ１１上におけるレーザ
ー光のＸ、Ｙ走査は、観察者が操作パネル１を用いて走
査指示指令を出すと、操作パネル１から走査指示指令が
コントローラ２に出力される。コントローラ２は、操作
パネル１からの走査指示指令を受け取ると、走査ユニッ
ト３に対して１画面分の走査制御信号を出力する。

【００２４】走査ユニット３は、１画面分の走査制御信
号がコントローラ２から送られてくると、走査ユニット
３内のＸ走査用ガルバノミラとＹ走査用ガルバノミラを
駆動してステージ１１に載置された観察試料Ｂ上にレー
ザー光を連続的にＸ、Ｙ走査する。この走査により得ら
れた１画面分の画像情報を光検出器２４を介して画像取
り込み手段３１に取り込む（Ｓｔｅｐ１）。

【００２５】この時、同時に、コントローラ２の輝度算
出手段３２は、画像取り込み手段３１により取り込まれ
た画像情報の各ライン毎に輝度値の平均値を求め（Ｓｔ
ｅｐ２）、その結果を各ラインの走査制御情報ととも
に、記憶手段５に格納する（Ｓｔｅｐ３）。これに引き
続き、次のＸ、Ｙ走査では、コントローラ２の走査ライ
ン選択手段３６は、走査ユニット３に対して１ライン単
位の走査制御信号を出力していく。まず走査ユニット３
は最初の１ライン目の走査位置に配置される（Ｓｔｅｐ
２）。

【００２６】次に、コントローラ２は、走査しようとす
るラインに対する前回（この場合は１回目）の走査時に
得られた平均輝度値を記憶手段５から読み出し（Ｓｔｅ
ｐ６）、その値と、予め設定されている輝度値のしきい
値とを比較し（Ｓｔｅｐ７）、しきい値より大きいと判
断された場合には、そのラインに対する走査制御信号を
出力して光検出器２４を介して、画像取り込み手段３１
に画像情報を取り込み（Ｓｔｅｐ８）、輝度算出手段３
２により平均輝度値を求める（Ｓｔｅｐ９）。そして、
求めた当該ラインの平均輝度値を記憶手段５に記憶する
（Ｓｔｅｐ１３）。

【００２７】一方、Ｓｔｅｐ７でしきい値より小さいと
判断された場合には、さらに、ここまで連続して走査さ
れなかったライン数と、予め設定されている最大間引き
ライン数とを比較して（Ｓｔｅｐ１０）、設定されてい
るライン数を越えてしまう場合には、上述した場合と同
様にして走査を行い、Ｓｔｅｐ８、９、１３の動作を実
行する。

【００２８】しかし、Ｓｔｅｐ１０で最大間引ライン数
を越えていないと判断された場合には、前回の走査によ
って得た同一ラインの画像情報と平均輝度値を記憶手段
５から読み出し（Ｓｔｅｐ１１）、実際の走査は行わ
ず、記憶手段５から読み出した画像情報をそのラインで
走査したものとして、記憶手段５にコピーする（Ｓｔｅ
ｐ１２）。

【００２９】各ラインに対する最後の処理として、Ｓｔ
ｅｐ９又はＳｔｅｐ１１で求めた平均輝度値を各ライン
の走査位置情報とともに、記憶手段５に格納する（Ｓｔ
ｅｐ１３）。処理対象が最終ラインでない場合は、処理
対象を次のラインに移し（Ｓｔｅｐ５）、Ｓｔｅｐ６以
降の処理に戻る。これらＳｔｅｐ５からＳｔｅｐ１３ま
での処理を、最終ラインまで繰り返し（Ｓｔｅｐ１
４）、一画面分の処理を終える。

【００３０】さらに、一画面分の画像データの処理が終
わった後は、次のＺ方向の走査領域に対し、、再びＳｔ
ｅｐ４以降の処理に戻り、操作パネル１から、走査終了
指令が出されるまで、以上の処理を操り返し実行する。
図５は、本実施の形態１による走査の様子を示したもの
であり、観察試料Ｂの領域に対しては通常の操作を行
い、観察試料Ｂの領域より外側の領域では最大間引き数
による粗い走査を行う状態を示している。

【００３１】（実施の形態２）次に、実施の形態２を図
６、図７のフローチャートを参照して説明する。尚、こ
の実施の形態２でも、各ラインの輝度分布を算出する方
法として各ラインの平均値を求める方法を取り上げ、予
め、走査の実行を判定するための輝度のしきい値が設定
されているものとして以下の説明を行う。

【００３２】まず、通常の顕微鏡観察により観察試料Ｂ
上の観察領域を決定した後、レーザー顕微鏡観察に切り
替え、第１回目のＸ、Ｙ走査を行うことは、実施の形態
１と同じである。ただし、このＸ、Ｙ走査中において
は、前記コントローラ２は、走査ラインの位置をずらし
ながら、まずステージ位置検出器４及びステージ移動量
計測手段３５により走査開始時点でのステージ１１の
Ｘ、Ｙ、及びＺ位置情報を獲得し（Ｓｔｅｐ２１）、画
像取り込み手段３１により１ライン分の画像情報を取り
込み（Ｓｔｅｐ２２）、さらに輝度算出手段３２により
そのライン上の輝度値の平均値を求め（Ｓｔｅｐ２
３）、それらを各ラインの走査位置情報とともに、記憶
手段５に格納する（Ｓｔｅｐ２４）。ここで、最終ライ
ンまで走査したかを判断し（Ｓｔｅｐ２５）、走査が終
了していないと判断された場合には、前記走査ユニット
３による走査対象を次のラインに移し（Ｓｔｅｐ２
０）、再びＳｔｅｐ２１以降の処理に戻る。そして、最
終ラインまで走査が終了したと判断された場合には図７
に示す２回目以降の処理に移る。

【００３３】これに引き続き、次のＸ、Ｙ走査では、コ
ントローラ２の走査ライン選択手段３６は、走査ユニッ
ト３に対して１ライン単位の走査制御信号を出力してい
く。まず走査ユニット３は最初の１ライン目の走査開始
位置に配置される（Ｓｔｅｐ２６）。

【００３４】次に、コントローラ２は、ステージ位置検
出器４により現在のステージ１１のＸ、Ｙ、及びＺ位置
情報を調べ（Ｓｔｅｐ２８）、次にそのラインに対する
前回の走査時に得られた位置情報を記憶手段５から読み
出し（Ｓｔｅｐ２９）、前回の走査時の位置情報と現在
のステージ１１の位置情報とを比較する（Ｓｔｅｐ３
０）。この結果、両者が異なる場合には、まず、そのラ
インに対する画像を取り込み（Ｓｔｅｐ３１）、そして
得られた画像情報に対して前記輝度算出手段３２により
平均輝度値を求める（Ｓｔｅｐ３２）。

【００３５】一方、両者が等しいと判断された場合に
は、前回の走査時に得られた平均輝度値を記憶手段５か
ら読み出し（Ｓｔｅｐ３３）、その値と、予め設定され
ているしきい値とを比較し（Ｓｔｅｐ３４）、しきい値
より大きいと判断された場合には、上述した場合と同様
そのラインに対する画像を取り込み（Ｓｔｅｐ３１）、
そして得られた画像情報に対して前記輝度算出手段３２
により平均輝度値を求める（Ｓｔｅｐ３２）。

【００３６】また、記憶手段５から読みだされた値がし
きい値より小さいと判断された場合には、走査は行わ
ず、前回の走査によって得た同一ラインの画像情報と平
均輝度値を記憶手段５から読み出し（Ｓｔｅｐ３５）、
その読み出した画像情報をそのラインで走査したものと
して、記憶手段５にコピーする（Ｓｔｅｐ３６）。

【００３７】そして各ラインに対する最後の処理とし
て、Ｓｔｅｐ２８で獲得したステージ位置情報と、Ｓｔ
ｅｐ３２又はＳｔｅｐ３５で求めた平均輝度値を各ライ
ンの走査位置情報とともに、記憶手段５に格納する（Ｓ
ｔｅｐ３７）。最終ラインまで処理が終了しない場合に
は、処理対象を次のラインに移し（Ｓｔｅｐ２７）、再
びＳｔｅｐ２８以降の処理に戻る。これらＳｔｅｐ２１
からＳｔｅｐ３７までの処理を最終ラインまで繰り返し
（Ｓｔｅｐ３８）、１画面分の処理を終える。

【００３８】尚、一画面分の画像情報の処理が終わった
後は、次のＺ方向の走査領域に対して再びＳｔｅｐ２６
以降の処理に戻り、操作パネル１から、走査終了指令が
出されるまで、以上の処理を繰り返す。

【００３９】尚、本実施の形態１、２によれば、下記の
構成を付記できる。 （１）前記輝度算出手段は、各ラインの輝度分布を各ラ
インに属する画像情報を形成する画素の輝度の平均値に
より求めるものである前記走査型顕微鏡装置。この構成
によれば、各画素の輝度の片寄りを排除し、正確に輝度
分布を得ることができる。 （２）前記コントローラは、繰り返し走査時において、
試料を載置するステージの移動の有無、各ラインの輝度
値と設定したしきい値との大小を加味して走査ユニット
による観察試料の走査の有無を判定するものである前記
走査型顕微鏡装置。この構成によれば、観察試料に対す
る不必要な走査を排除でき、操作性の向上、測定の迅速
化を図れる。

【００４０】

【発明の効果】以上詳述した本発明によれば以下の効果
を奏する。請求項１に係る発明によれば、観察試料に対
する繰り返し走査を行う際に、スポット光の走査ライン
を選択、走査するかしないかの決定をすることができ、
必要な試料の画像情報のみを収集することにより、試料
の観察を迅速に実行することができるとともに、観察試
料の最適な位置合わせ等の調整作業を、迅速、かつ、容
易に実現することができるようになり、時間の短縮、及
び試料への余計なレーザー光の照射を減らし、退色を防
止することが可能な走査型顕微鏡装置を提供できる。

【００４１】請求項２に係る発明によれば、観察試料に
対する２回目以降の走査を行う際に、請求項１に係る発
明と同様、スポット光の走査ラインを選択、走査するか
しないかの決定をすることができ、必要な試料の画像情
報のみを収集することにより、試料の観察を迅速に実行
することができる走査型顕微鏡装置を提供できる。

【００４２】請求項３に係る発明によれば、、最低限の
必要な領域のみの画像情報の取り込みを実現でき、また
状況に合わせた試料の観察を実現できる走査型顕微鏡装
置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１に係る走査型レーザー顕
微鏡装置を示すブロック構成図である。

【図２】本発明の実施の形態１のコントローラの詳細構
成を示すブロック図である。

【図３】実施例の形態１における走査型レーザー顕微鏡
の動作を説明するためのフローチャートである。

【図４】実施例の形態１における走査型レーザー顕微鏡
の動作を説明するためのフローチャートである。

【図５】実施の形態１における走査型レーザー顕微鏡の
走査の様子を示す説明図である。

【図６】実施例の形態２における走査型レーザー顕微鏡
の動作を説明するためのフローチャートである。

【図７】実施例の形態２における走査型レーザー顕微鏡
の動作を説明するためのフローチャートである。

【符号の説明】

１ 操作パネル ２ コントローラ ３ 走査ユニット ４ ステージ位置検出器 ５ 記憶手段 ６ 画像モニタ １１ ステージ １２ レーザー光源 １３ ミラー １４ レボルバ １５ 対物レンズ ２１ ハーフミラー ２２ レンズ ２３ ピンホール ２４ 光検出器 ３１ 画像取り込み手段 ３２ 輝度算出手段 ３５ ステージ移動量計測手段 ３６ 走査ライン選択手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステージ上に載置された試料上に収束光
   学手段により収束されたスポット光を走査することによ
   り試料を観察する走査型顕微鏡装置において、 前記試料に走査されるスポット光に基づく画像情報から
   前記試料の画像情報を取り込む画像取り込み手段と、 前記画像取り込み手段により取り込まれた画像情報の各
   ライン内の輝度値の分布を算出する輝度算出手段と、 前記輝度算出手段により算出された輝度値を各ライン毎
   に記憶する記憶手段と、 この記憶手段に記憶している前記各ライン毎の輝度値に
   基づいて、繰り返し走査の際における試料画像取り込み
   時の前記収束光学手段によるスポット光の走査ラインを
   選択する走査ライン選択手段と、 を具備したことを特徴とする走査型顕微鏡装置。
2. 【請求項２】 ステージ上に載置された試料上に収束光
   学手段により収束されたスポット光を走査することによ
   り試料を観察する走査型顕微鏡装置において、 前記試料に走査されるスポット光による画像情報から前
   記試料の画像情報を取り込む画像取り込み手段と、 取り込まれた画像を表示する試料画像表示手段と、 前記画像取り込み手段により取り込まれた画像情報の各
   ライン内の輝度値の分布を算出する輝度算出手段と、 前記輝度算出手段により算出された輝度値を各ライン毎
   に記憶する記憶手段と、 この記憶手段に記憶している前記各ライン毎の輝度値に
   基づいて、次回の試料画像取り込み時の前記収束光学手
   段によるスポット光の走査ラインを選択する走査ライン
   選択手段と、 を具備したことを特徴とする走査型顕微鏡装置。
3. 【請求項３】 ステージ上に載置された試料上に収束光
   学手段により収束されたスポット光を走査することによ
   り試料を観察する走査型顕微鏡装置において、 前記試料に走査されるスポット光による画像情報から試
   料の画像情報を取り込む画像取り込み手段と、 取り込まれた画像を表示する試料画像表示手段と、 前記画像取り込み手段により取り込まれた各ライン内の
   輝度値の分布を算出する輝度算出手段と、 前記輝度算出手段により算出された輝度値を各ライン毎
   に記憶する記憶手段と、 前記ステージの移動量を計測する計測手段と、 前記記憶手段に記憶している前記各ライン毎の輝度値及
   び前記計測手段による前記ステージの移動量の計測値を
   基に、次回の試料画像取り込み時の前記収束光学手段に
   よるスポット光の走査ラインを選択する走査ライン選択
   手段と、 を具備したことを特徴とする走査型顕微鏡装置。