JP2006082156A - 加工物の曲面切断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多溝ローラ間に張設されたワイヤ列と、加工物を搭載してワイヤに加工物を進退させるフィード機構と、上記フィード機構による進退方向に対してほぼ直角方向にスライド可能なスライド台と、当該スライド台の駆動手段とを有し、前記フィード機構により加工物を進退させ、かつ前記スライド台を前記駆動手段により前記フィード機構による進退方向に対してほぼ直角方向にスライドさせながら、前記加工物をワイヤに押し付けて、加工物を切断することを特徴とする加工物の曲面切断方法。
【選択図】 図1
Description
例えば太陽電池用の多結晶シリコンを簡単に曲面加工することができれば、太陽の運行に応じて効率よく受光することができる太陽電池を得ることができ、またコアレスモータの永久磁石用の磁性体を低コストで得ることができるという大きなメリットがある。
その理由としては、切断時にワイヤが加工物に押圧されて変形するため、高精度に所定の曲率の曲面を有するウエハや基板を得ることが難しいということ等が挙げられる。
図1はこの発明に係わる加工物の曲面切断方法の1実施例を示す概略図、図2はこの発明に係わる加工物の曲面切断方法の他の実施例を示す概略図、図3はワイヤ部分との関係を示す概略図である。
なお前記ワイヤ列4には適宜スラリーを供給するようになっている
すなわち、スライド台6の少なくとも一方の端部に側壁10を形成し、上記駆動アーム9の先端をこの側壁10に当接することにより、例えば駆動アーム9の伸縮に応じてスライド台6をフィード機構5の昇降に同期して水平移動させるものである。
上記駆動アーム9の制御部8はシーケンス制御もしくはプログラム制御のための機器類が内蔵されていても、スペクトラム拡散無線機(SS無線)データ通信モジュール等を用いた遠隔操作により制御できる機構となっていてもよい。
シーケンス制御もしくはプログラム制御により予め制御部8に組み込まれる曲面形状は、製品に要求される所定の曲面形状であり、既存の製品の曲面形状を読み取って利用することができる。またCAD等を用いて所定の曲面形状を割り出し、そのデータをシーケンス制御もしくはプログラム制御のために利用することもできる。
この実施例では、上記スライド台の駆動手段が、スライド台21の側壁に設けたセンサアーム22からなっている。そしてこのセンサアーム22が、スライド台21と一定間隔で対向するように設けた半導体インゴットWのならい面23をなぞり、当該ならい面23に応じてスライド台21を移動させるようになっている。
すなわち、スライド台21には予め上記ならい面23側に牽引するコイルバネ(図示せず)が取り付けてあり、当初はフィード機構24上の基準位置(0点)に位置している。次いでフィード機構24が上昇すると、スライド台21の側壁に設けたセンサアーム22がスライド台21と一定間隔で対向するように設けた半導体インゴットWのならい面23をなぞり、ならい面23に設けた曲面形状に応じてスライド台21を、フィード機構24による進退方向に対してほぼ直角方向にスライドさせる。上記ならい面としては、(a)のくの字状、(b)の波状、(c)の円弧状等を採用することができ、またそれ以外の形状であってもよいことはいうまでもない。
センサアーム22がならい面23の前傾部分を移行する間、前記コイルバネの牽引力に抗してスライド台21を右方向にスライドさせる。またセンサアーム22がならい面23の後傾部分に移行すると、前記コイルバネの牽引力によってならい面23に沿ってスライド台21を左方向にスライドさせ、その端部で曲面形状の切断が完了する。25は半導体インゴットWを取り付けるベースである。
2 ワイヤ
3a、3b ドリブンローラ
3d ドライブローラ
4 ワイヤ列
5 フィード機構
6 スライド台
7 ベース
8 制御部
9 駆動アーム
10 側壁
21 スライド台
22 センサアーム
23 ならい面
24 フィード機構
25 ベース
W 半導体インゴット
Claims (3)
- 多溝ローラ間に張設されたワイヤ列と、加工物を搭載してワイヤに加工物を進退させるフィード機構と、上記フィード機構による進退方向に対してほぼ直角方向にスライド可能なスライド台と、当該スライド台の駆動手段とを有し、前記フィード機構により加工物を進退させ、かつ前記スライド台を前記駆動手段により前記フィード機構による進退方向に対してほぼ直角方向にスライドさせながら、前記加工物をワイヤに押し付けて、加工物を切断することを特徴とする加工物の曲面切断方法。
- スライド台の駆動手段が、スライド台の側壁に当接し、予め組み込まれた曲面形状に応じてスライド台を移動させる駆動アームからなる請求項1に記載の加工物の曲面切断方法。
- スライド台の駆動手段が、スライド台の側壁に設けたセンサアームで、スライド台と一定間隔で対向するように設けた加工物のならい面をなぞり、当該ならい面に応じてスライド台を移動させるようにしてなる請求項1に記載の加工物の曲面切断方法。
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JP2004267620A JP2006082156A (ja) | 2004-09-15 | 2004-09-15 | 加工物の曲面切断方法 |
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Family
ID=36161072
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP2360734A2 (en) * | 2008-11-22 | 2011-08-24 | Rin Soon Park | Silicon substrate for solar battery, manufacturing apparatus thereof, manufacturing method thereof, and solar battery |
CN110370481A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-10-25 | 玉田县昌通电子有限公司 | 一种五罗拉线锯加工中心及其操作方法 |
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2004
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EP2360734A4 (en) * | 2008-11-22 | 2012-06-20 | Rin Soon Park | SILICON SUBSTRATE FOR A SOLAR BATTERY, MANUFACTURING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD AND SOLAR BATTERY THEREFOR |
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