JP5752396B2 - ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法 - Google Patents
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Description
長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置された2つのワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置において、
互いに対向して配置された2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置であって、
前記補助ローラのうち一方の補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するようになっており、
前記補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤとワークと反対側のワイヤにそれぞれの補助ローラが押し付けられ、前記補助ローラ移動機構を介して前記2つの補助ローラを前記ワイヤ保持ローラの中心軸線間を結ぶ線と直交する方向に移動させるようになっており、
前記各ワークは、前記ワーク側ワイヤに押し付けられた補助ローラとこれを挟むように配置された2本の前記ワイヤ保持ローラとの間をそれぞれ走行する前記ワーク側ワイヤによってそれぞれ切断されるようになったことを特徴としている。
長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置されたワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置において、
互いに対向して配置された少なくとも2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された少なくとも2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置であって、
前記補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するようになっており、
前記各補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤにそれぞれ押し付けられていることを特徴としている。
長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置された2つのワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法において、
互いに対向して配置された2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置を用意し、
前記2つのワークをそれぞれ前記2つのワークに対応するワーク切断部に押し付け、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークに対するワイヤの切断時の接触長さをワーク切断過程の少なくとも一部においてワークの幅よりも減少させると共にワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させながらワークを切断し、多数のウエハを製造するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であって、
前記補助ローラのうち一方の補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であって、
前記補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤとワークと反対側のワイヤにそれぞれの補助ローラが押し付けられ、前記補助ローラ移動機構を介して前記2つの補助ローラを前記ワイヤ保持ローラの中心軸線間を結ぶ線と直交する方向に移動させるようになっており、
前記各ワークは、前記ワーク側ワイヤに押し付けられた補助ローラとこれを挟むように配置された2本の前記ワイヤ保持ローラとの間をそれぞれ走行する前記ワーク側ワイヤによってそれぞれ切断されるようになったことを特徴としている。
長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置されたワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法において、
互いに対向して配置された少なくとも2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された少なくとも2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置を用意し、
前記複数のワークをそれぞれ前記複数のワーク切断部に押し付け、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークに対するワイヤの切断時の接触長さをワーク切断過程の少なくとも一部においてワークの幅よりも減少させると共にワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させながらワークを切断し、多数のウエハを製造するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であって、
前記補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であり、
前記各補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤにそれぞれ押し付けられていることを特徴としている。
また、本発明によると、ワーク切断箇所が増えるので、ワークの切断効率を高めることができる。
11,12 ワイヤ保持ローラ
15,16 補助ローラ
21,22 ワイヤ保持ローラ
25,26 補助ローラ
31,32 ワイヤ保持ローラ
35,36,37 補助ローラ
40 補助ローラ移動機構
50 ワーク
100 ワイヤソー装置
101,102 基台
106 取り付けプレート
111,112 ワイヤ保持ローラ
121,122 補助ローラ支持プレート
125 ガイド
125a 横溝
131 連結ブラケット
131a カムシャフト貫通孔
141,142 スライダ
151,152 LMガイド
160 カムシャフト
161 カムフォロア取り付け部
163 カムフォロア
170 支持ブラケット
171 カップリング
172 減速機
173 駆動モータ
206 取り付けプレート
215,216 補助ローラ
221,222 支持プレート
222a カムシャフト貫通孔
223,224 ブラケット
223a,224a 下側面
230 モータ取り付けブラケット
231 カップリング
232 減速機
233 モータ
241,242 スライダ
251,252 LMガイド
260 カムシャフト
261,262 カム
305,306 取り付けプレート
315,316 補助ローラ
321,322 支持プレート
325,326 アーム型ブラケット
341,342 スライダ
351,352 LMガイド
361,362 ボールねじ
371,372 ボールねじ支持部
381,382 モータブラケット
383,384 カップリング
385,386 減速機
387,388 モータ
W ワイヤ
Claims (4)
- 長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置された2つのワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置において、
互いに対向して配置された2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置であって、
前記補助ローラのうち一方の補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するようになっており、
前記補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤとワークと反対側のワイヤにそれぞれの補助ローラが押し付けられ、前記補助ローラ移動機構を介して前記2つの補助ローラを前記ワイヤ保持ローラの中心軸線間を結ぶ線と直交する方向に移動させるようになっており、
前記各ワークは、前記ワーク側ワイヤに押し付けられた補助ローラとこれを挟むように配置された2本の前記ワイヤ保持ローラとの間をそれぞれ走行する前記ワーク側ワイヤによってそれぞれ切断されるようになったことを特徴とするワイヤソー装置。 - 長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置されたワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置において、
互いに対向して配置された少なくとも2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された少なくとも2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置であって、
前記補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するようになっており、
前記各補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤにそれぞれ押し付けられていることを特徴とするワイヤソー装置。 - 長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置された2つのワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法において、
互いに対向して配置された2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置を用意し、
前記2つのワークをそれぞれ前記2つのワークに対応するワーク切断部に押し付け、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークに対するワイヤの切断時の接触長さをワーク切断過程の少なくとも一部においてワークの幅よりも減少させると共にワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させながらワークを切断し、多数のウエハを製造するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であって、
前記補助ローラのうち一方の補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であって、
前記補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤとワークと反対側のワイヤにそれぞれの補助ローラが押し付けられ、前記補助ローラ移動機構を介して前記2つの補助ローラを前記ワイヤ保持ローラの中心軸線間を結ぶ線と直交する方向に移動させるようになっており、
前記各ワークは、前記ワーク側ワイヤに押し付けられた補助ローラとこれを挟むように配置された2本の前記ワイヤ保持ローラとの間をそれぞれ走行する前記ワーク側ワイヤによってそれぞれ切断されるようになったことを特徴とするワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法。 - 長手方向の断面が略円形状又は略角形状をなすワークであって並列に配置されたワークを当該ワークの長手方向所定の厚さを有する板状のウエハに複数枚同時に切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法において、
互いに対向して配置された少なくとも2本のワイヤ保持ローラと、
前記ワイヤ保持ローラ間に配置され、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を形成するように配置された少なくとも2つの補助ローラと、
前記ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台と、を有し、
前記基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構が備わり、
前記補助ローラ移動機構を介して前記ワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させるワイヤソー装置を用意し、
前記複数のワークをそれぞれ前記複数のワーク切断部に押し付け、前記ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させることで、ワークに対するワイヤの切断時の接触長さをワーク切断過程の少なくとも一部においてワークの幅よりも減少させると共にワークの幅方向におけるワイヤによる切断位置を逐次変化させながらワークを切断し、多数のウエハを製造するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であって、
前記補助ローラは、前記並列に配置されたワークの間に侵入することで前記ワイヤを介して前記ワークを切断するワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法であり、
前記各補助ローラは、前記各ワイヤ保持ローラの一方の端部側から見て前記2本のワイヤ保持ローラに巻かれたワイヤで囲まれる領域に配置され、前記ワイヤ保持ローラに巻かれたワーク側ワイヤにそれぞれ押し付けられていることを特徴とするワイヤソー装置を用いたウエハの製造方法。
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