JP3484148B2 - ワイヤソー - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤを使用して
被加工物を切断するように構成したワイヤソーに係り、
特に、被加工物の切断位置に配設されるメインローラの
周辺構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、シリコン等の半導体材料のイン
ゴットを切断して半導体ウエハを製造するに際しては、
多数のローラ群に亘って走行するワイヤを利用して所定
の切断加工を行うように構成したワイヤソーが使用され
る。

【０００３】この種のワイヤソーの具体例として、特開
昭６３−６２６５５号公報によれば、繰出リールから繰
り出された一本のワイヤを、上流側の張力調整用ローラ
等を経由して、被加工物の切断位置に配設された三本の
メインローラ（同公報では回転ロール）に多列状に巻き
掛け、更に下流側の張力調整用ローラ等を経由して、巻
取リールにより巻き取る構成が開示されている。

【０００４】この場合、三本のメインローラは三角形状
に配列されており、これらのうちの二本のメインローラ
に水平に張り渡されているワイヤ列に被加工物を圧接し
て、砥粒の供給の下で切断加工を行う構成とされてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のワイ
ヤソーは、被加工物の切断位置に配備されるローラ群と
して、上記例示のように三本のメインローラを三角形状
に配列させるのが通例であるため、左右方向のみならず
上下方向に対しても比較的大きな配列スペースが必要に
なり、装置の大型化、特に切断加工に供せられる装置部
分の上下方向に対する大型化を招く。

【０００６】また、この種のワイヤソーは、三本のメイ
ンローラのうちの二本のメインローラ間に張り渡されて
いるワイヤ列に、被加工物が押し当てられるに留まる。
すなわち、三本のメインローラに三角形状に巻き掛けら
れたワイヤ列には、直線状の張り渡し部位が計三箇所の
領域に存在するにも拘らず、被加工物の切断領域は単一
の領域とされるに留まる。このため、ワイヤ列の配列ス
ペースに無駄が生じると共に、切断加工に要する作業時
間が長期化されて作業能率が悪化するという問題が生じ
る。

【０００７】しかも、各メインローラには、ワイヤ列と
の接触による摩耗が生じるため、これらのメインローラ
を定期的に或いは寿命に応じて交換する必要があるが、
従来においては、その交換作業が面倒且つ煩雑なものと
なっていた。

【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、メインローラの配列スペースの無駄を可及的に
低減させて装置を効果的に小型化すると共に、被加工物
に対する切断加工の作業能率を向上させることを第１の
技術的課題とし、またメインローラの交換作業の容易化
を図ることを第２の技術的課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るため、本発明は、複数のメインローラにワイヤを所定
ピッチで巻き掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走
行させると共に、前記ワイヤ列の切断領域を被加工物に
圧接させて、前記被加工物の切断加工を行うワイヤソー
において、前記メインローラを一対として互いに平行に
離間させて配置し、上側に張り渡されたワイヤ列と下側
に張り渡されたワイヤ列とが形成されるように前記一対
のメインローラにワイヤを巻き掛け、前記一対のメイン
ローラ間に、前記被加工物との圧接によって前記上側ま
たは下側の何れかに張り渡されたワイヤ列に加わる荷重
を支持する一本の中間ローラを配置すると共に、前記一
対のメインローラと前記中間ローラとを水平方向に一列
状に配列させ、且つ、前記一対のメインローラのうちの
一方のメインローラと前記中間ローラとの間、及び他方
のメインローラと前記中間ローラとの間に、それぞれ被
加工物を切断する切断領域を設け、この両切断領域を、
それぞれ複数の被加工物を切断する領域とし、前記一対
のメインローラ及び中間ローラの回転駆動系が配置され
る側の一方の軸端部を軸受ユニットを介して基台上にそ
れぞれ支持し、回転駆動系が配置される側と反対側の他
方の軸端部を軸受ユニットを介してアームで相互に連結
すると共に、前記中間ローラの他方の軸端部を軸受ユニ
ットを介して基台上に支持し、前記一対のメインローラ
の他方の軸端部をそれぞれ軸受ユニットに着脱自在に装
着すると共に、前記アームを前記中間ローラの他方の軸
受ユニットに対して揺動および軸方向移動自在に装着
し、前記メインローラを取り外し方向に移動させた際
に、前記アーム及び軸受ユニットと、前記メインローラ
とが干渉しなくなる位置まで、前記アームを揺動可能と
したことに特徴づけられる。

【００１０】従って、被加工物の切断位置においては、
一対のメインローラにワイヤが所定のピッチで巻き掛け
られてワイヤ列が形成される。中間ローラは、被加工物
からワイヤ列に加わる荷重を支持して、ワイヤ列の撓み
を防止する役目を果たす。

【００１１】そして、一対のメインローラと中間ローラ
との間にはそれぞれ、ワイヤ列の切断領域が設けられ
る。従って、ワイヤ列の切断領域は、一対のメインロー
ラ間の複数箇所に存在することになり、これらの複数箇
所の切断領域による被加工物の同時切断加工が可能とな
る。

【００１２】この場合、一対のメインローラ及び中間ロ
ーラの回転駆動系が配置される側の一方の軸端部を軸受
ユニットを介して基台上にそれぞれ支持し、回転駆動系
が配置される側と反対側の他方の軸端部を軸受ユニット
を介してアームで相互に連結すると共に、前記中間ロー
ラの他方の軸端部を軸受ユニットを介して基台上に支持
する構成とすれば、各ローラの支持が適切になされる。

【００１３】すなわち、一対のメインローラ及び中間ロ
ーラの一方側の端部はそれぞれ、各軸受ユニットを介し
て基台上に支持されるのに対して、一対のメインローラ
の他方側の端部は、中間ローラの他方側の軸受ユニット
およびアームを介して基台上に支持される。従って、各
ローラは効率良く両持ち的に支持された状態となり、充
分な支持剛性が得られる。

【００１４】また、一対のメインローラの他方の軸端部
をそれぞれ軸受ユニットに着脱自在に装着すると共に、
アームを中間ローラの他方の軸受ユニットに対して揺動
および軸方向移動自在に装着する構成とすれば、メイン
ローラの交換作業を簡便に行うことができる。

【００１５】すなわち、一対のメインローラの一方側に
は、回転駆動系が配設されているため、メインローラを
一方側から取り外すとしたならば、軸受ユニットだけで
なく回転駆動系をも取り外す必要があり、作業が面倒且
つ煩雑なものとなる。しかしながら、上記の構成によれ
ば、一対のメインローラから他方側の軸受ユニットを離
脱させ、アームを中間ローラの他方側の軸受ユニットに
対して軸方向移動させ且つ揺動させることにより、各メ
インローラの他方側スペースからアームおよびこれに連
結されている軸受ユニットが退避し、各メインローラの
取り外し及び取り付けを他方側スペースから容易に行え
ることになる。

【００１６】そして、メインローラを取り外し方向に移
動させた際に、アーム及び軸受ユニットとメインローラ
とが干渉しなくなる位置まで、アームを揺動可能とする
構成とされる。

【００１７】この場合、一対のメインローラのうちの何
れか一方を回転駆動手段に連結すると共に、一対のメイ
ンローラおよび中間ローラを動力伝達手段を介して連結
し、且つ、動力伝達手段にトルクリミッタを介装すれ
ば、回転駆動手段および動力伝達手段の動作により、各
メインローラおよび中間ローラに回転トルクが付与され
てワイヤが円滑に走行する。この場合、ワイヤ列からメ
インローラ及び中間ローラを介して動力伝達手段に過負
荷が作用した場合には、トルクリミッタの動作により各
ローラへのトルク伝達が遮断されるため、ワイヤの断線
等の弊害が回避される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
従って説明する。図１は、本発明の実施形態に係るワイ
ヤソーの要部概略構成を例示している。図外の繰出リー
ルから巻取リールに至るワイヤ１の走行経路の途中に
は、図示のような被加工物Ｗの切断位置２が設けられて
いる。この切断位置２には、所定ピッチでワイヤ１が多
列状に巻き掛けられる一対のメインローラ３が配置され
ている。

【００１９】一対のメインローラ３の相互間、すなわち
ワイヤ列１ａの張り渡し方向略中央部には、被加工物Ｗ
からワイヤ列１ａに加わる荷重を支持する中間ローラ４
が設けられている。この中間ローラ４は、例えば一対の
メインローラ３に比して小径とされている。そして、一
対のメインローラ３と中間ローラ４とは、相互に平行に
且つ一列状に配列されている。こ実施形態において、一
方のメインローラ３と中間ローラ４との間には、複数
（図例では２個）の被加工物Ｗを切断する切断領域５が
設けられ、また他方のメインローラ３と中間ローラ４と
の間にも、同様にして複数（図例では２個）の被加工物
Ｗを切断する切断領域５が設けられている。

【００２０】被加工物Ｗとしては、シリコン等の半導体
材料のインゴットや、ガラス或いはセラミックス等のイ
ンゴットが挙げられる。この実施形態では、一対のメイ
ンローラ３にワイヤ１が０．３〜０．３５ｍｍピッチで
約５００列に巻き掛けられている。また、被加工物Ｗ
は、１５ｃｍ角で長さ３０ｃｍのシリコンブロックであ
る。

【００２１】図２に示すように、中間ローラ４は、一対
のメインローラ３に対して中高になるように配置されて
いる。詳述すると、中間ローラ４は、被加工物Ｗが押し
当てられるワイヤ列１ａの張り渡し方向略中央部が所定
寸法だけ上側に張り出された状態となるように配置され
ている。そして、ワイヤ列１ａが中間ローラ４からメイ
ンローラ３にかけて下り勾配となる傾斜角αは、０．３
度程度とされている。尚、各メインローラ３及び中間ロ
ーラ４の外周面には、ワイヤ列１ａをローラ軸方向に対
して所定ピッチ間隔に位置決めするための多列状の周溝
３ａ，４ａが形成されている。

【００２２】この実施形態では、被加工物Ｗが上方から
下降してワイヤ列１ａに押し当てられる構成であるた
め、上側に張り渡されているワイヤ列１ａに切断領域５
が形成されているが、被加工物Ｗが下方から上昇する構
成とする場合には、下側に張り渡されているワイヤ列１
ｂに切断領域が形成され、且つ中間ローラ４は、下側に
ワイヤ列１ｂを押し下げた状態（中高の状態）になるよ
うに配置されることになる。

【００２３】図３は、メインローラ３及び中間ローラ４
の支持構造並びに駆動構造を例示している。一対のメイ
ンローラ３及び中間ローラ４の軸方向一端側には、各ロ
ーラ３，４に回転トルクを付与する回転駆動系６が配備
されている。尚、以下の説明においては、各ローラ３，
４の軸方向における回転駆動系６が配備されている側を
基端側と言い、その反対側を先端側と言う。

【００２４】一対のメインローラ３の基端側の軸端部及
び先端側の軸端部はそれぞれ、基端側軸受ユニット７及
び先端側軸受ユニット８に回転自在に支持されており、
また中間ローラ４の基端側の軸端部及び先端側の軸端部
も、基端側軸受ユニット９及び先端側軸受ユニット１０
に回転自在に支持されている。

【００２５】各ローラ３，４のそれぞれの基端側軸受ユ
ニット７，９は、取付部材としてのコラム１１を介して
基台１２ａに支持されると共に、各ローラ３，４のそれ
ぞれの先端側軸受ユニット８，１０は、水平方向に延び
る単一のアーム１３により相互に連結され、中間ローラ
４の先端側軸受ユニット１０は、基台１２ｂに支持され
ている。この場合、各ローラ３，４は、その軸方向がコ
ラム１１と直角になるように配列されている。尚、各基
端側軸受ユニット７，９は、回転駆動系６と各ローラ
３，４との間に介設されている。

【００２６】図４に拡大して示すように、各メインロー
ラ３の先端側軸受ユニット８はそれぞれ、アーム１３の
端ボス部１３ａに嵌合固定された外筒８ａと、この外筒
８ａの内周側に複数の軸受８ｂを介して回転自在に支持
された内筒８ｃとを備え、この内筒８ｃとメインローラ
３とが締結部材（コレット）１５により一体回転可能に
締結固定されている。締結部材１５は、テーパ状の内周
面を有する環状体であって、メインローラ３の先端部に
一体形成されたテーパ状の外周面を有する突状部３ｂに
嵌合されている。

【００２７】締結部材１５の先端側には、メインローラ
３に螺合されているボルト１６のねじ込み量に応じて軸
方向に移動する押圧体１７が配設されており、ボルト１
６をねじ込むことにより、押圧体１７が締結部材１５を
基端側に移動させ、これに伴って締結部材１５が拡径し
て、そのくさび作用により内筒８ｃとメインローラ３と
が締結固定されるようになっている。内筒８ｃの内孔
は、ボルト１６に対する工具の挿入空間とされており、
この内筒８ｃよりも先端側に突出する外筒８ａの先端部
に蓋体１８がネジ等により固定されている。各メインロ
ーラ３の外周には、例えば樹脂でなる外嵌体３ｘが着脱
自在に装着されており、この外嵌体３ｘの外周面に上述
の周溝３ａが形成されている。尚、図示しないが、各メ
インローラ３の基端部は、各基端側軸受ユニット７から
分離可能とされている。

【００２８】中間ローラ４の先端側軸受ユニット１０
は、基台１２ｂに固定された支持ブラケット１４と、ア
ーム１３の中間ボス部１３ｂが嵌合され且つ支持ブラケ
ット１４に固定された外筒１０ａと、この外筒１０ａの
内周側に複数の軸受１０ｂを介して回転自在に支持され
た内軸１０ｃとを備え、この内軸１０ｃと中間ローラ４
とがボルト１９により一体回転可能に固定されている。
外筒１０ａの内孔は、ボルト１９に対する工具の挿入空
間とされており、この外筒１０ａの先端部に蓋体２０が
ネジ等により固定されている。

【００２９】アーム１３は、中間ローラ４の先端側軸受
ユニット１０（外筒１０ａ）に軸方向移動自在に且つ揺
動自在に支持されている。この場合、図５に鎖線で示す
ように、アーム１３は、各メインローラ３の先端側スペ
ースから退避した状態となる角度まで揺動するように構
成されている。すなわち、アーム１３が揺動端に達した
時点では、各メインローラ３を先端側に向かって移動さ
せても、各メインローラ３とアーム１３とが干渉しない
状態となるようにその揺動範囲が設定されている。

【００３０】図３及び図６に示すように、回転駆動系６
は、一対のメインローラ３及び中間ローラ４に動力を伝
達する動力伝達手段としての巻き掛け伝動手段６ｘと、
この巻き掛け伝動手段６ｘを駆動する回転駆動手段とし
ての駆動モータ６ｙとを備えている。巻き掛け伝動手段
６ｘは、一方のメインローラ３と一体回転可能なメイン
駆動車輪２１と、中間ローラ４と一体回転可能な中間従
動車輪２２と、他方のメインローラ３と一体回転可能な
メイン従動車輪２３とを備え、これらの各車輪２１，２
２，２３に亘って無端状伝動部材２４が巻き掛けられて
いる。尚、中間従動車輪２２とメイン従動車輪２３との
間には、無端状伝動部材２４の張力を調整する２個のテ
ンション車輪２５が配設されている。

【００３１】一方のメインローラ３の基端側には、メイ
ン駆動車輪２１と一体回転可能な駆動入力車輪２６が同
軸上に配設されており、この駆動入力車輪２６に駆動モ
ータ６ｙから回転トルクが伝達されるようになってい
る。この場合、中間従動車輪２２およびメイン従動車輪
２３にはそれぞれ、所定の回転トルク以上で各ローラ
３，４への動力伝達を遮断するトルクリミッタ２７が付
設されている。尚、上記の各車輪２１，２２，２３，２
５としては、タイミングプーリ、Ｖプーリ、スプロケッ
ト等が使用され、上記の無端状伝動部材２４としては、
タイミングベルト、Ｖベルト、チェーン等が使用され
る。

【００３２】以上の構成によれば、回転駆動系６の作動
により各メインローラ３及び中間ローラ４が回転して、
ワイヤ列１ａが巻き掛け駆動されている間に、上下動可
能な昇降機構（図示略）に把持された四個の被加工物Ｗ
が上方から下降し、例えばスラリーなどの供給の下でワ
イヤ列１ａに押し当てられて切断加工が行われる。この
場合、中間ローラ４は、ワイヤ列１ａの張り渡し方向略
中央部を上側に張り出させるように配置されているた
め、被加工物Ｗは、傾斜しているワイヤ列１ａに垂直下
方に向かって押し当てられることになり、ワイヤ列１ａ
が非傾斜状態の場合と比較して、切断能力或いは切断性
が向上する。そして、一回の切断工程で、複数個（図例
では四個）の被加工物Ｗが同時に切断加工されるため、
作業能率が大幅に向上する。

【００３３】このような切断加工が行われている間に、
巻き掛け伝動手段６ｘの中間従動車輪２２またはメイン
従動車輪２３に過負荷が作用した場合には、トルクリミ
ッタ２７の動作により各ローラ３，４への動力伝達が遮
断されて、各車輪２２，２３が空転状態になる。これに
より、ワイヤ１の断線等が生じなくなり、優れた安定性
を確保できることになる。

【００３４】更に、一対のメインローラ３と中間ローラ
４とは、水平方向に一列状に配列されているので、これ
らの各ローラ３，４の配列スペースを上下方向に対して
小さくでき、装置の上下方向に対するコンパクト化を図
ることが可能となる。

【００３５】一方、メインローラ３の取り換えを行う場
合には、先ず図４に示す先端側軸受ユニット８の先端部
を封止している蓋体１８を取り外し、内筒８ｃの工具挿
入空間に工具を挿入してボルト１６を弛める。これによ
り、押圧体１７が先端側に移動して締結部材１５による
くさび作用が解除され、メインローラ３が先端側軸受ユ
ニット８の内筒８ｃから離脱した状態となる。このよう
な作業を二本のメインローラ３について行った後、アー
ム１３を先端側軸受ユニット８と共に同図に鎖線で示す
ように軸方向先端側に移動させ、更に図５に鎖線で示す
ようにアーム１３を揺動させる。この後、各メインロー
ラ３の外周から外嵌体３ｘを離脱させて先端側に向かっ
て引き抜くと共に、新たな外嵌体３ｘを同一箇所に嵌合
固定し、アーム１３を当初の状態に復帰動させる。そし
て、ボルト１６をメインローラ３にねじ込むことによっ
て、締結部材１５のくさび作用によりメインローラ３と
先端側軸受ユニット８の内筒８ｃとを締結固定し、更に
蓋体１８を固定することによってメインローラ３の取り
換え作業が完了する。

【００３６】このように、メインローラ３と先端側軸受
ユニット８との着脱作業と、アーム１３の軸方向移動及
び揺動操作により、メインローラ３の外嵌体３ｘの取り
換えが行えることになり、その取り換え作業が極めて容
易化される。

【００３７】尚、上記の実施形態は、一対のメインロー
ラ３の相互間に一本の中間ローラ４を配設したものであ
るが、二本以上の中間ローラを配設して、これらの中間
ローラと一対のメインローラとを一列状に配列させても
良い。

【００３８】また、上記実施形態では、外嵌体３ｘが別
体として嵌合固定されたメインローラ３を使用したが、
外嵌体３ｘが一体となったメインローラ３を使用しても
良い。

【００３９】

【発明の効果】本発明は、上述の通り構成されているの
で、以下に示す効果を奏する。

【００４０】すなわち、被加工物の切断位置に配備され
るメインローラ群を一対のメインローラで構成し、この
一対のメインローラと中間ローラとを水平方向に一列状
に配列したから、ローラの配列スペースに無駄が生じな
くなり、効率良く装置の小型化を図ることが可能とな
る。

【００４１】また、一対のメインローラ間に複数のワイ
ヤ列の切断領域を設けたから、一回の切断工程において
複数の切断領域で被加工物を同時に切断加工できること
になり、切断に要する作業時間の短縮および作業能率の
向上が図られる。

【００４２】一方、一対のメインローラ及び中間ローラ
の基端側の軸端部を軸受ユニットを介して基台上にそれ
ぞれ支持し、これらの先端側の軸端部を軸受ユニットを
介してアームで相互に連結し、且つ、中間ローラの先端
側の軸端部を軸受ユニットを介して基台上に支持したか
ら、各ローラが効率良く両持ち的に支持された状態にな
り、充分な支持剛性を確保できる。

【００４３】更に、一対のメインローラの先端側の軸端
部をそれぞれ軸受ユニットに着脱自在に装着すると共
に、アームを中間ローラの先端側の軸受ユニットに揺動
および軸方向自在に装着し、且つ、メインローラを取り
外し方向に移動させた際に、アーム及び軸受ユニット
と、メインローラとが干渉しなくなる位置まで、アーム
を揺動可能としたから、メインローラの取り換えをその
先端側から容易に行うことができ、取り換え時の作業性
が改善される。

【００４４】この場合、各メインローラと中間ローラと
を、トルクリミッタが介装された動力伝達手段により回
転駆動させるようにすれば、ワイヤ列に対する過負荷が
防止されて、装置の安定性を確保することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るワイヤソーの要部概略
斜視図である。

【図２】本発明の実施形態に係るワイヤソーの要部を示
す概略縦断正面図である。

【図３】本発明の実施形態に係るワイヤソーの要部を示
す一部破断平面図である。

【図４】本発明の実施形態に係るワイヤソーの要部を示
す拡大横断平面図である。

【図５】本発明の実施形態に係るワイヤソーの要部を示
す正面図である。

【図６】本発明の実施形態に係るワイヤソーの巻き掛け
伝動手段を示す概略正面図である。

【符号の説明】

１ ワイヤ １ａ ワイヤ列 ２ 被加工物の切断位置 ３ メインローラ ４ 中間ローラ ５ 切断領域 ６ 回転駆動系 ６ｘ 巻き掛け伝動手段（動力伝達手段） ６ｙ 駆動モータ（回転駆動手段） ７ メインローラの基端側軸受ユニット ８ メインローラの先端側軸受ユニット ９ 中間ローラの基端側軸受ユニット １０ 中間ローラの先端側軸受ユニット １２ａ 基台 １２ｂ 基台 １３ アーム １４ 支持ブラケット（取付部材） １５ 締結部材 ２７ トルクリミッタ

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−70746（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−42633（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−99262（ＪＰ，Ａ) 特開2000−84826（ＪＰ，Ａ) 国際公開99／041034（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のメインローラにワイヤを所定ピッ
   チで巻き掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行さ
   せると共に、前記ワイヤ列の切断領域を被加工物に圧接
   させて、前記被加工物の切断加工を行うワイヤソーにお
   いて、 前記メインローラを一対として互いに平行に離間させて
   配置し、上側に張り渡されたワイヤ列と下側に張り渡さ
   れたワイヤ列とが形成されるように前記一対のメインロ
   ーラにワイヤを巻き掛け、 前記一対のメインローラ間に、前記被加工物との圧接に
   よって前記上側または下側の何れかに張り渡されたワイ
   ヤ列に加わる荷重を支持する一本の中間ローラを配置す
   ると共に、前記一対のメインローラと前記中間ローラと
   を水平方向に一列状に配列させ、 且つ、前記一対のメインローラのうちの一方のメインロ
   ーラと前記中間ローラとの間、及び他方のメインローラ
   と前記中間ローラとの間に、それぞれ被加工物を切断す
   る切断領域を設け、この両切断領域を、それぞれ複数の
   被加工物を切断する領域とし、 前記一対のメインローラ及び中間ローラの回転駆動系が
   配置される側の一方の軸端部を軸受ユニットを介して基
   台上にそれぞれ支持し、回転駆動系が配置される側と反
   対側の他方の軸端部を軸受ユニットを介してアームで相
   互に連結すると共に、前記中間ローラの他方の軸端部を
   軸受ユニットを介して基台上に支持し、 前記一対のメインローラの他方の軸端部をそれぞれ軸受
   ユニットに着脱自在に装着すると共に、前記アームを前
   記中間ローラの他方の軸受ユニットに対して揺動および
   軸方向移動自在に装着し、 前記メインローラを取り外し方向に移動させた際に、前
   記アーム及び軸受ユニットと、前記メインローラとが干
   渉しなくなる位置まで、前記アームを揺動可能としたこ
   とを特徴とするワイヤソー。
2. 【請求項２】 前記一対のメインローラのうちの何れか
   一方を回転駆動手段に連結すると共に、前記一対のメイ
   ンローラおよび中間ローラを動力伝達手段を介して連結
   し、且つ、前記動力伝達手段にトルクリミッタを介装し
   たことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。