JPH11245155A - ワイヤソー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動伝達側の回転力以外の力が加工用ローラ
の支持部に伝達されるのを防ぐことができ、加工精度に
悪影響を及ぼすおそれを防止することができるワイヤソ
ーを提供する。 【解決手段】 支持フレーム１４Ａ，１４Ｂに複数対の
軸受ユニット２９，３０を対向配置する。各対の軸受ユ
ニット２９，３０の回転軸３２，３５間にはそれぞれテ
ーパ状結合部３２ａ，３５ａ，３６，３７を介して加工
用ローラを着脱可能に装着し、それらの加工用ローラ間
にはワイヤ１８を所定ピッチで巻回する。１つの加工用
ローラ１７には、プーリ４０，４３及びベルト４４を介
してモータ３９を作動連結する。モータ３９にて回転さ
れる被動プーリ４３と、１つの加工用ローラ１７の駆動
側回転軸３２との間には、ベルト４４の緊張力により被
動プーリ４３に付与される軸線と直交する方向への変位
を吸収するための弾性カップリング４５を介装する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークに対し、切断等の加工を施すようにしたワ
イヤソーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のワイヤソーにおいて
は、複数の加工用ローラが所定間隔おきに配設され、そ
れらのローラの外周には複数の環状溝が所定ピッチで形
成されている。また、各加工用ローラ間において、環状
溝には１本のワイヤが順に巻回されている。そして、加
工用ローラの回転に伴いワイヤが走行されながら、その
ワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリが供給され、この状態
でワイヤに対しワークが押し付け接触されて、ワークに
切断等の加工が施されるようになっている。

【０００３】この種のワイヤソーにおいては、ワークの
切断加工に伴い、加工用ローラ上の環状溝が摩耗したと
き、それらの加工用ローラを新しいものと脱着交換する
必要がある。このため、従来のワイヤソーでは、各加工
用ローラが、例えば図８に示すような軸受構成により支
持されていた。

【０００４】すなわち、ワイヤソーの基台上には支持フ
レーム６１，６２が所定間隔をおいて対向配置され、そ
れらの支持フレーム６１，６２には軸受ユニット６３，
６４が配設されている。各一対の軸受ユニット６３，６
４の回転軸６５，６６間には、加工用ローラ６７が結合
部６８を介して着脱可能に装着されている。従動側回転
軸６６と駆動側回転軸６５との間には、加工用ローラ６
７を介して締付ネジ６９が螺合されている。そして、こ
の締付ネジ６９を取り外して、図８に鎖線で示すよう
に、従動側軸受ユニット６４を駆動側軸受ユニット６３
から離間する方向に移動させた状態で、加工用ローラ６
７を両回転軸６５，６６間に対して脱着するようになっ
ている。

【０００５】また、従来のワイヤソーにおいては、加工
用ローラ６７を回転させるためのモータ７０が配設さ
れ、そのモータ軸には駆動プーリ７１が取り付けられて
いる。駆動プーリ７１に対応して１つの加工用ローラ６
７の駆動側回転軸６５の先端には被動プーリ７２が取り
付けられ、この被動プーリ７２と駆動プーリ７１との間
にはベルト７３が掛装されている。そして、モータ７０
の回転が駆動プーリ７１、ベルト７３及び被動プーリ７
２を介して駆動側回転軸６５に伝達され、加工用ローラ
６７が回転されてワイヤが走行されるようになってい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
ワイヤソーにおいては、１つの加工用ローラ６７の駆動
側回転軸６５の先端に被動プーリ７２が取り付けられ、
その被動プーリ７２にベルト７３が掛装されている。こ
のため、被動プーリ７２にベルト７３の大きな緊張力が
付与されると、駆動側回転軸６５の先端が軸線Ｌ１と直
交する方向に強く引っ張られて、その軸線Ｌ１が傾動も
しくは湾曲変位する。これにより、駆動側回転軸６５と
加工用ローラ６７との間における結合部６８の結合状態
が悪くなり、加工精度及び加工用ローラ６７の寿命に悪
影響を及ぼすという問題があった。

【０００７】この発明の目的は、被動プーリに付与され
るベルトの緊張力等、回転伝達側の回転力以外の力が加
工用ローラの駆動側回転軸に伝達されるのを防ぎ、駆動
側回転軸の軸線の変位により、加工精度及び加工用ロー
ラの寿命に悪影響を及ぼすおそれを防止することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明では、加工用ローラの回転
にてワイヤを走行させながら、そのワイヤに対しワーク
を接触させて、加工を施すようにしたワイヤソーにおい
て、前記加工用ローラの同心上には、駆動手段から加工
用ローラに回転を伝達する回転伝達手段を設け、この回
転伝達手段と加工用ローラの連結部との間には、加工用
ローラ及び回転伝達手段間の相対変位を吸収するための
変位吸収手段を介装したものである。

【０００９】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、前記加工用ローラの両端は軸
受に回転自在に支持された両回転軸間に支持され、一方
の回転軸を介して加工用ローラと回転伝達手段とが連結
されているものである。

【００１０】請求項３に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、前記一方の回転軸と回転伝達
手段との間に変位吸収手段を配設したものである。請求
項４に記載の発明では、請求項１〜３のうち何れか一項
に記載のワイヤソーにおいて、前記回転伝達手段はプー
リ及びベルトを介して駆動手段に連結されているもので
ある。

【００１１】請求項５に記載の発明では、請求項１〜４
のうち何れか一項に記載のワイヤソーにおいて、前記変
位吸収手段は弾性カップリングである。

【００１２】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下に、この
発明の第１の実施形態を、図１〜図３に基づいて説明す
る。

【００１３】図１に示すように、この実施形態のワイヤ
ソーは基台１１を備え、その上面にはコラム１２が立設
されている。コラム１２の前面側には切断機構１３が一
対の支持フレーム１４Ａ，１４Ｂを介して装設されてい
る。この切断機構１３は平行に延びる３本の加工用ロー
ラ１５，１６，１７を備え、それらの外周には多数の環
状溝１５ａ，１６ａ，１７ａが所定のピッチで形成され
ている。

【００１４】前記加工用ローラ１５，１６，１７の環状
溝１５ａ，１６ａ，１７ａには、１本の線材よりなるワ
イヤ１８が連続的に巻回されている。支持フレーム１４
Ａ，１４Ｂの前部には複数のガイドローラ２０よりなる
ワイヤガイド機構１９が装設され、加工用ローラ１５，
１６，１７に対するワイヤ１８の供給及び引き出しを案
内するようになっている。そして、後述するワイヤ走行
用モータ３９及びワイヤを介して、加工用ローラ１５，
１６，１７が回転されることにより、ワイヤ１８がワイ
ヤガイド機構１９を介して加工用ローラ１５，１６，１
７上に給送されて所定の走行速度で走行される。

【００１５】前記切断機構１３の上方に対向配置される
ように、支持フレーム１４Ａ，１４Ｂ上にはスラリ供給
機構２１が配設され、このスラリ供給機構２１から加工
用ローラ１５，１６，１７間のワイヤ１８上に、遊離砥
粒を含む水性または油性のスラリが供給される。スラリ
供給機構２１の上方において、コラム１２の前面にはワ
ーク支持機構２２が昇降可能に配設され、その下部には
硬脆材料よりなるワーク２３が着脱自在にセットされ
る。コラム１２上にはワーク昇降用モータ２４が配設さ
れ、このモータ２４により図示しないボールスクリュー
等を介して、ワーク支持機構２２が昇降される。

【００１６】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１８が切断機構１３の加工用ローラ１５，１６，１
７間で走行されながら、ワーク支持機構２２が切断機構
１３に向かって下降される。このとき、スラリ供給機構
２１からワイヤ１８上へ遊離砥粒を含むスラリが供給さ
れるとともに、そのワイヤ１８に対しワーク２３が押し
付け接触され、ラッピング作用によってワーク２３がウ
ェハ状に切断加工される。

【００１７】次に、前記加工用ローラ１５，１６，１７
の軸受構成について説明する。図２に示すように、前記
支持フレーム１４Ａ，１４Ｂには、複数対の軸支筒２
７，２８が形成されている。支持フレーム１４Ａ上の各
軸支筒２７には駆動側軸受ユニット２９が配設され、支
持フレーム１４Ｂ上の各軸支筒２８には従動側軸受ユニ
ット３０が軸線方向へ移動可能に嵌挿されている。

【００１８】前記駆動側軸受ユニット２９は、軸支筒２
７内に複数のベアリング３１を介して回転可能に支持さ
れた駆動側回転軸３２を備えている。そして、この駆動
側回転軸３２の端部にはテーパ状結合凸部３２ａが形成
されている。一方、従動側軸受ユニット３０は、軸支筒
２８内に移動可能に嵌挿された軸受スリーブ３３と、そ
の軸受スリーブ３３内に複数のベアリング３４を介して
回転可能に支持された従動側回転軸３５とを備えてい
る。そして、この従動側回転軸３５の端部にはテーパ状
結合凸部３５ａが形成されている。

【００１９】前記各回転軸３２，３５のテーパ状結合凸
部３２ａ，３５ａと係脱可能に対応するように、各加工
用ローラ１５，１６，１７の両端にはテーパ状結合凹部
３６，３７が形成されている。そして、これらのテーパ
状結合凹部３６，３７がテーパ状結合凸部３２ａ，３５
ａに係合されることにより、各加工用ローラ１５，１
６，１７が対向する軸受ユニット２９，３０の回転軸３
２，３５間に着脱可能に装着されている。

【００２０】前記各従動側回転軸３５と駆動側回転軸３
２との間には、加工用ローラ１５，１６，１７を介して
締付ネジ３８が螺合され、これらの締付ネジ３８によっ
て、各加工用ローラ１５，１６，１７が回転軸３２，３
５間で装着状態に締め付け保持されている。そして、こ
れらの締付ネジ３８を取り外して、図２に鎖線で示すよ
うに、従動側軸受ユニット３５を駆動側軸受ユニット２
９から離間する方向に移動させた状態で、加工用ローラ
１５，１６，１７を両回転軸３２，３５間に対して脱着
するようになっている。

【００２１】前記基台１１上には駆動手段としてのワイ
ヤ走行用モータ３９が配設され、そのモータ軸には駆動
プーリ４０が取り付けられている。１つの加工用ローラ
１７の駆動側回転軸３２の延長上、すなわち加工用ロー
ラ１７の同心上に位置するように、支持フレーム１４Ａ
には回転伝達手段としての駆動軸４１が複数のベアリン
グ４２を介して回転可能に支持されている。駆動軸４１
上にはそのネジ部４１ａにナット４８が締め付けられる
ことにより被動プーリ４３が取り付けられている。この
被動プーリ４３と駆動プーリ４０との間にはベルト４４
が掛装されている。

【００２２】図２及び図３に示すように、前記１つの加
工用ローラ１７の駆動側回転軸３２と駆動軸４１との対
向端部間には変位吸収手段としての弾性カップリング４
５が介装されている。この弾性カップリング４５は、駆
動軸４１に固定された駆動カップリング部材４６と、駆
動側回転軸３２に固定された被動カップリング部材４７
とを備え、それらのカップリング部材４６，４７には交
互に係合可能な複数の係合片４６ａ，４７ａが形成さ
れ、両片４６ａ，４７ａは回転方向に結合されている。

【００２３】そして、ベルト４４の大きな緊張力によ
り、被動プーリ４３が駆動プーリ４０側に強く引っ張ら
れて、駆動軸４１及び被動プーリの軸線Ｌ２が傾動もし
くは湾曲変位した場合でも、その変位が弾性カップリン
グ４５により吸収されるようになっている。これによ
り、駆動軸４１の軸線Ｌ２の変位が加工用ローラ１７の
駆動側回転軸３２に伝達されるのが防止されて、その駆
動側回転軸３２の軸線Ｌ１が常に従動側回転軸３５と同
一軸線上に保持されるようになっている。

【００２４】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。さて、このワイヤソーにおいて、ワ
イヤ走行用モータ３９が回転されると、その回転が駆動
プーリ４０、ベルト４４、被動プーリ４３、駆動軸４１
及び弾性カップリング４５を介して駆動側回転軸３２に
伝達される。これにより、１つの加工用ローラ１７が回
転されるとともに、ワイヤ１８を介して他の加工用ロー
ラ１５，１６が同方向に回転される。

【００２５】そして、これらの加工用ローラ１５〜１７
上にワイヤ１８が、ワイヤガイド機構１９を介して走行
される。また、スラリ供給機構２１から加工用ローラ１
５〜１７間のワイヤ１８上に遊離砥粒を含むスラリが供
給されながら、ワーク支持機構２２の下降により、ワイ
ヤ１８に対してワーク２３が押し付け接触される。これ
により、ワーク２３が所定の厚さに切断加工される。

【００２６】このワーク２３の切断加工時には、図２に
示すように、ベルト４４の大きな緊張力が被動プーリ４
３に付与されて、被動プーリ４３が駆動プーリ４０側に
強く引っ張られているので、駆動軸４１の軸線Ｌ２が傾
動もしくは湾曲変位する。駆動軸４１と駆動側回転軸３
２との間には弾性カップリング４５が介装されているた
め、駆動軸４１の軸線Ｌ２の変位が弾性カップリング４
５により吸収されて、加工用ローラ１７の駆動側回転軸
３２に伝達されることはない。従って、駆動側回転軸３
２の軸線Ｌ１が常に従動側回転軸３５と同一軸線上に保
持された状態で、加工用ローラ１７が回転されて、ワー
ク２３が高精度に切断加工される。

【００２７】ワーク２３の切断加工に伴って、加工用ロ
ーラ１５，１６，１７の環状溝１５ａ，１６ａ，１７ａ
が摩耗した場合には、各加工用ローラ１５，１６，１７
を新しい物と交換する必要がある。この場合には、締付
ネジ３８を取り外した後、図２に鎖線で示すように、従
動側軸受ユニット３０を駆動側軸受ユニット２９から離
間する方向に移動させる。これにより、従動側回転軸３
５のテーパ状凸部３５ａが加工用ローラ１５，１６，１
７のテーパ状結合凹部３７から離脱される。

【００２８】その後、加工用ローラ１５，１６，１７を
駆動用軸受ユニット２９から離間する方向に移動させれ
ば、加工用ローラ１５，１６，１７のテーパ状結合凹部
３６が駆動側回転軸３２のテーパ状凸部３２ａから離脱
される。これによって、加工用ローラ１５，１６，１７
を両軸受ユニット２９，３０間から取り外すことができ
る。

【００２９】加工用ローラ１５，１６，１７の取り外し
後に、両軸受ユニット２９，３０間に新しい加工用ロー
ラ１５，１６，１７を取り付ける場合には、前記の取り
外し時と逆順に操作すればよい。

【００３０】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。・ 支持フレーム１４Ａ，１
４Ｂに複数対の軸受ユニット２９，３０が対向配置され
ている。各対の軸受ユニット２９，３０の回転軸３２，
３５間には加工用ローラ１５，１６，１７が着脱可能に
装着され、それらの加工用ローラ１５，１６，１７間に
はワイヤ１８が所定ピッチで巻回されている。１つの加
工用ローラ１７には、プーリ４０，４３及びベルト４４
を介してワイヤ走行用モータ３９が作動連結されてい
る。モータ３９にて回転される被動プーリ４３と、１つ
の加工用ローラ１７の駆動側回転軸３２との間には、両
者４３，３２を回転方向に連結するとともに、ベルト４
４の緊張力により被動プーリ４３に付与される軸線と直
交する方向への変位を吸収する変位吸収手段である弾性
カップリング４５が介装されている。

【００３１】このため、ベルト４４の緊張力による駆動
軸４１及び被動プーリ４３の軸線Ｌ２の変位が、加工用
ローラ１７の支持部へ影響するのを防ぐことができ、加
工精度及び加工用ローラ１７の寿命に悪影響を及ぼすお
それを防止することができる。

【００３２】・加工用ローラ１７の両端は軸受ユニット
２９，３０に回転自在に支持された両回転軸３２，３５
に支持されている。そして、加工用ローラ１７と駆動軸
４１は駆動側回転軸３２を介して連結されている。この
ため、駆動軸４１及び被動プーリ４３の軸線Ｌ２の変位
が、加工用ローラ１７に伝達されるのを確実に防止する
ことができる。

【００３３】・弾性カップリング４５が駆動側回転軸３
２と駆動軸４１との間に配置されているため、駆動側回
転軸３２への変位伝達が防止されるので、駆動軸４１及
び被動プーリ４３の軸線Ｌ２の変位が、加工用ローラ１
７の支持部へ影響するのをさらに確実に防止できる。

【００３４】・駆動軸４１及び被動プーリ４３は、ベル
ト４４及び駆動プーリ４０を介してワイヤ走行用モータ
３９に駆動連結されている。このため、ベルト４４の緊
張力を適宜調整しても、その緊張力による駆動プーリ４
０の軸線と直交する方向の変位が駆動軸４１及び被動プ
ーリ４３から加工用ローラ１７側へ伝達されることが防
止され、加工精度を向上させることができる。

【００３５】・変位吸収手段を弾性カップリング４５か
ら構成したため、簡単な構成にも拘わらず、変位吸収性
を高くすることができ、加工精度に悪影響を及ぼすおそ
れを確実に防止することができる。

【００３６】・ １つの加工用ローラ１７の駆動側回転
軸３２の延長上に駆動軸４１が回転可能に配設され、そ
の駆動軸４１上に被動プーリ４３が嵌着されるととも
に、駆動軸４１と駆動側回転軸３２との対向端部間に弾
性カップリング４５が配設されている。このため、弾性
カップリング４５の簡単な配置構成にて、ベルト４４の
緊張力による被動プーリ４３の軸線と直交する方向への
変位が、加工用ローラ１７の駆動側回転軸３２に伝達さ
れるのを確実に防止することができる。

【００３７】・軸受ユニット２９，３０の回転軸３２，
３５間にはテーパ状結合部３２ａ，３５ａ，３６，３７
を設けたため、各加工用ローラ１５，１６，１７の着脱
を容易に行うことができる。

【００３８】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００３９】さて、この第２の実施形態においては、図
４に示すように、１つの加工用ローラ１７と対応する駆
動側回転軸３２の先端に延長軸部５１が形成されてい
る。この延長軸部５１の外周に位置するように、軸支筒
２７の端部には支持筒５２が取り付けられ、その支持筒
５２の外周には回転伝達手段としての被動プーリ４３が
複数のベアリング５３を介して、駆動側回転軸３２と同
心上で相対回転可能に支持されている。

【００４０】前記被動プーリ４３の端面には取付板５４
が取り付けられ、この取付板５４と延長軸部５１の先端
との間には変位吸収手段としての弾性カップリング４５
が介装されている。そして、この弾性カップリング４５
は、前記第１の実施形態と同様に、駆動カップリング部
材４６と被動カップリング部材４７とから構成され、そ
れらのカップリング部材４６，４７には交互に係合可能
な複数の係合片４６ａ，４７ａが形成され、両片４６
ａ，４７ａは回転方向に結合されている。

【００４１】従って、この第２の実施形態においても、
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を発揮する。
また、１つの加工用ローラ１７の駆動側回転軸３２の先
端外周に被動プーリ４３が同心上で相対回転可能に配設
され、その被動プーリ４３の端面と駆動側回転軸３２の
先端との間に弾性カップリング４５が配設されている。
このため、駆動側回転軸３２を軸線方向に大きく延長さ
せることなく、被動プーリ４３及び弾性カップリング４
５をコンパクトにまとめて配置することができる。

【００４２】（第３の実施形態）次に、この発明の第３
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００４３】さて、この第３の実施形態においては、図
５に示すように、変位吸収手段として機械的ジョイン
ト、例えばユニバーサルジョイント６０が採用されてい
る。ユニバーサルジョイントは、駆動カップリング部材
５７と、被動カップリング部材５８と、ほぼ十字状の連
結部材５９とを備えている。両カップリング部材５７，
５８にはそれぞれ一対の挿通孔５７ａ，５８ａが形成さ
れ、連結部材５９には両カップリング部材５７，５８の
挿通孔５７ａ，５８ａに係合可能な各一対のピン５９
ａ，５９ｂが突設されている。

【００４４】そして、ユニバーサルジョイント６０によ
り、前記第１の実施形態における駆動軸４１及び駆動側
回転軸３２、または第２の実施形態における取付板５４
及び駆動側回転軸３２が、相対的に揺動変位可能に連結
されて、それらの間で回転が伝達されるようになってい
る。

【００４５】従って、この第３の実施形態においても、
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を発揮する。
また、変位吸収手段をユニバーサルジョイント６０とし
たため、被動プーリ４３の変位吸収性が高い。従って、
被動プーリ４３が軸線Ｌ２と直交する方向に大きく変位
しても、その変位をいっそう確実に吸収することができ
る。

【００４６】（第４の実施形態）次に、この発明の第４
の実施形態を、前記第１の実施形態と異なる部分を中心
に説明する。

【００４７】図６，図７に示すように、この第４の実施
形態における弾性カップリング４５の駆動及び被動カッ
プリング部材４６，４７には各一対の取付部４６ｂ，４
７ｂが突設され、各取付部４６ｂ，４７ｂは交互に等間
隔をおいて配置されている。各取付部４６ｂ，４７ｂの
間には円形状をなす板バネ８１が介装され、この板バネ
８１はネジ８１により締付け固定されている。そして、
第１実施形態と同様に、ベルト４４の大きな緊張力によ
り、駆動軸４１の軸線Ｌ２が傾動もしくは湾曲変位した
場合でも、その変位が弾性カップリング４５により吸収
されるようになっている。これにより、駆動軸４１の軸
線Ｌ２の変位が加工用ローラ１７の駆動側回転軸３２に
伝達されるのが防止されて、その駆動側回転軸３２の軸
線Ｌ１が常に従動側回転軸３５と同一軸線上に保持され
るようになっている。

【００４８】従って、この第４の実施形態においても、
前述した第１の実施形態とほぼ同様の効果を発揮する。
また、等間隔をおいて配置した各取付部４６ｂ，４７ｂ
の間に板バネ８１を介装したという簡素な構成であるた
め、弾性カップリング４５の軽量化を図ることができ
る。従って、駆動軸４１の駆動力を低減することができ
る。

【００４９】なお、この発明は、次のように変更して具
体化することも可能である。 ・ 前記第１〜第４の実施形態において、軸受ユニット
２９，３０の構成を適宜に変更すること。

【００５０】・ 前記第１〜第４の実施形態において、
駆動側回転軸３２，３５のテーパ状結合凸部３２ａ，３
５ａを省略すること。 ・ 前記第３の実施形態において、ユニバーサルジョイ
ント６０に代えて、オルダムカップリング等を用いるこ
と。

【００５１】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発
明によれば、変位吸収手段により、駆動手段を連結す
る、例えばベルトの緊張力等、回転力以外の力が加わっ
て生じる回転伝達手段の軸線の変位が、加工用ローラの
支持部へ影響するのを防ぐことができ、加工精度及び加
工用ローラの寿命に悪影響を及ぼすおそれを防止するこ
とができる。

【００５２】請求項２に記載の発明によれば、加工用ロ
ーラはその両端を回転軸に支持され、この一方の回転軸
を介して回転が伝達される構成としたため、回転伝達手
段の軸線の変位が、加工用ローラに伝達されるのを確実
に防止することができる。

【００５３】請求項３に記載の発明によれば、変位吸収
手段により、回転軸への変位伝達が防止されるので、回
転伝達手段の軸線の変位が、加工用ローラの支持部へ影
響するのをさらに確実に防止することができる。

【００５４】請求項４に記載の発明によれば、プーリ間
に掛け渡されたベルトの緊張力を適宜調整しても、その
緊張力によるプーリの軸線と直交する方向の変位が回転
伝達手段から加工用ローラ側へ伝達されることが防止さ
れ、加工精度を向上させることができる。

【００５５】請求項５に記載の発明によれば、前記変位
吸収手段を弾性カップリングとしたため、簡単な構成に
も拘わらず、変位吸収性を高くすることができ、加工精
度に悪影響を及ぼすおそれを確実に防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明のワイヤソーの第１の実施形態を示
す要部側断面図。

【図２】 加工用ローラの駆動構成を示す要部拡大断面
図。

【図３】 図２の３−３線における要部拡大断面図。

【図４】 加工用ローラの駆動構成の第２の実施形態を
示す要部断面図。

【図５】 駆動構成におけるカップリングの第３の実施
形態を示す要部分解斜視図。

【図６】 第４の実施形態を示す要部拡大正面図。

【図７】 図６の７−７線における要部拡大断面図

【図８】 従来の加工用ローラの駆動構成を示す要部断
面図。

【符号の説明】

１３…切断機構、１４Ａ，１４Ｂ…支持フレーム、１
５，１６，１７…加工用ローラ、１５ａ，１６ａ，１７
ａ…環状溝、１８…ワイヤ、２１…スラリ供給機構、２
２…ワーク支持機構、２３…ワーク、２９…駆動側軸受
ユニット、３０…従動側軸受ユニット、３２…駆動側回
転軸、３２ａ…テーパ状結合凸部、３５…従動側回転
軸、３５ａ…テーパ状結合凸部、３６，３７…テーパ状
結合凹部、３９…ワイヤ走行用モータ（駆動手段）、４
０…駆動プーリ、４１…駆動軸（回転伝達手段）、４３
…被動プーリ（回転伝達手段）、４４…ベルト、４５…
弾性カップリング（変位吸収手段）、４６…駆動カップ
リング部材、４７…被動カップリング部材、５１…延長
軸部、５２…支持筒、５４…取付板、５７…駆動カップ
リング部材、５８…被動カップリング部材、５９…連結
部材、６０…ユニバーサルジョイント（変位吸収手
段）、Ｌ１，Ｌ２…軸線

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工用ローラの回転にてワイヤを走行さ
   せながら、そのワイヤに対しワークを接触させて、加工
   を施すようにしたワイヤソーにおいて、 前記加工用ローラの同心上には、駆動手段から加工用ロ
   ーラに回転を伝達する回転伝達手段を設け、この回転伝
   達手段と加工用ローラの連結部との間には、加工用ロー
   ラ及び回転伝達手段間の相対変位を吸収するための変位
   吸収手段を介装したワイヤソー。
2. 【請求項２】 前記加工用ローラの両端は軸受に回転自
   在に支持された両回転軸間に支持され、一方の回転軸を
   介して加工用ローラと回転伝達手段とが連結されている
   請求項１に記載のワイヤソー。
3. 【請求項３】 前記一方の回転軸と回転伝達手段との間
   に変位吸収手段を配設した請求項１に記載のワイヤソ
   ー。
4. 【請求項４】 前記回転伝達手段は、プーリ及びベルト
   を介して駆動手段に連結されている請求項１〜３のうち
   何れか一項に記載のワイヤソー。
5. 【請求項５】 前記変位吸収手段は弾性カップリングで
   ある請求項１〜４のうち何れか一項に記載のワイヤソ
   ー。