JP4252193B2 - ワイヤソーおよびこれを用いた切断方法 - Google Patents
ワイヤソーおよびこれを用いた切断方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4252193B2 JP4252193B2 JP2000153715A JP2000153715A JP4252193B2 JP 4252193 B2 JP4252193 B2 JP 4252193B2 JP 2000153715 A JP2000153715 A JP 2000153715A JP 2000153715 A JP2000153715 A JP 2000153715A JP 4252193 B2 JP4252193 B2 JP 4252193B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- wire row
- deflection
- cutting
- row
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はワイヤソーに係わり、特に被切断物を均一な厚さに切断可能なワイヤソーに関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンウェーハは、多結晶シリコンから例えばチョクラルスキー法により単結晶のインゴットを作り、ワイヤソーで所定の厚さに切断されて製造される。
【0003】
図6に示すように、被切断物であるシリコンインゴットの切断に用いられる従来のワイヤソー41は、1本のワイヤ42を3個の多溝ローラ43、43r、43rに巻き付けて、ワイヤ列44を構成し、ワイヤ列44を往復運動させる。そこへ、スラリー(SiC砥粒を分散させた加工液)を流しながら、シリコンインゴット45をワイヤ列44に押し付けて研磨切断するものである。
【0004】
ワイヤソー41は、シリコンインゴット45がワイヤ列44に押付けられてから、ワイヤ42がたわみはじめ、ワイヤ42の強度(反力)とワイヤたわみのバランスが保たれると一定状態になる。
【0005】
しかし、ワイヤソー41は、切断工程の開始直後(初期)において、ワイヤ42のたわみがある程度大きくなるまでは、ワイヤ42の反力が小さいことから、シリコンインゴット45の送り量よりもワイヤ42の切込み量は少なく(シリコンインゴット45の送りがワイヤ42のたわみに変わるため)、シリコンインゴット45に対してワイヤ42が通過する時間が長くなり、その分シリコンインゴット45が多く除去される。この現象は、被切断物が円柱形状のシリコンインゴット45などにおいて極端に現れる。
【0006】
さらに、図7に示すように、シリコンインゴット45のように円柱形状の場合は、切断終了部位で切断長さl1が短くなるため、シリコンインゴット45への切込みが速くなり、除去される量が少なくなる。
【0007】
図8に示すように、結果として切断されたシリコンウェーハ46は、切断はじめの部位46sでは厚さが薄く、終了部位46eでは厚くなる傾向となり、シリコンウェーハ46の厚さが部位によって異なり、厚さのバラツキが大きくなり、均一な厚さ(平行度)のシリコンウェーハが得られなかった。
【0008】
ワイヤのたわみを制御するワイヤソーとして、特開平4−122566号公報のワイヤソーがあるが、この開示のワイヤソーは、大きな被切断物を切断するために一対のたわみローラ間に大きな間隔を設ける必要があり、この間隔間にワイヤを支持する非駆動補助案内ローラを設け、非駆動補助案内ローラがワイヤに付加的なたわみを与え、大きな被切断物から小さな被切断物まで切断を可能にしたワイヤソーである。
【0009】
このワイヤソーは、非駆動補助案内ローラを切断工程の進行に沿って切断方向に移動させるものでなく、シリコンウェーハの加工はじめ部位の厚さと終了部位との厚さを等しく切断し均一なシリコンウェーハを得るワイヤソーではない。
【0010】
このため、加工はじめの部位と終了部位とで、厚さに差異がなく、均一な厚さを有するシリコンウェーハを製造できるワイヤソーおよびこれを用いた切断方法が要望されていた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、加工はじめの部位と終了部位とで、厚さに差異がなく、均一な厚さを有するシリコンウェーハを製造できるワイヤソーおよびこれを用いた切断方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた本願請求項1の発明は、回転自在に設けられた複数個の多溝ローラと、これらの多溝ローラ間に張設されたワイヤ列と、このワイヤ列に被切断物を押圧し切断するワイヤソーにおいて、被切断物側でかつ、被切断物とこの被切断物を挟んで配置された一対の多溝ローラとの間に、各々進退自在に設けられ、被切断物に当接するワイヤ列を被切断物側から適宜押圧して、このワイヤ列のたるみを調整するたわみ調整手段を有し、このたわみ調整手段を進退させることにより、切断工程の開始時にはたわみ調整手段でワイヤ列をたわませ、切断工程の後期にはたわみ調整手段で被切断物側からワイヤ列を押圧し続けて、ワイヤ列のたわみを維持したままの状態で切断が行えることを特徴とするワイヤソーであることを要旨としている。
【0013】
本願請求項2の発明では、上記たわみ調整手段はローラであることを特徴とする請求項1に記載のワイヤソーであることを要旨としている。
【0014】
本願請求項3の発明は、ワイヤ列に被切断物を押圧し、ワイヤ列を押圧してワイヤ列のたるみを調整するたわみ調整手段によりたわみを調整し、ワイヤ列を線方向に送りながらワイヤ列と被切断物間にスラリを供給して、被切断物を切断するするワイヤソー切断方法において、切断工程の開始時、調整手段によりワイヤ列を被切断物側から押圧して、ワイヤ列をたわませた後切断を開始し、切断工程の後期には、調整手段によりワイヤ列を被切断物側から押圧して、ワイヤ列のたわみを維持したままの状態で切断を行うことを特徴とするワイヤソー切断方法であることを要旨としている。
【0015】
本願請求項4の発明では、上記たわみはローラにより行うことを特徴とする請求項3に記載のワイヤソー切断方法であることを要旨としている。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わるワイヤソーの実施の形態について添付図面に基づき説明する。
【0017】
図1に示すように、本発明に係わるワイヤソー1は、1本のワイヤ2を巻き付ける3個の多溝ローラ3、3d、3dを有し、各多溝ローラ3、3d、3d間に、例えば200μmの直径を有するワイヤ2を巻き付けワイヤ列4を構成し、このワイヤ列4のワイヤ2をワイヤ駆動モータ3aにより駆動されるドライブ側多溝ローラ3の駆動により往復運動させるようになっている。
【0018】
また、ワイヤ列4に対向する上方には、送りモータ5aを有し被切断物を送るフィードユニット5が設けられており、このフィードユニット5のカーボンベース6に接着された被切断物、例えばシリコンインゴット7を、ワイヤ列4に押し付けて研磨切断するようになっている。
【0019】
さらに、フィードユニット5と2個の多溝ローラ3d、3d間の各々には、たわみ調整手段、例えばたわみ調整ローラユニット8が設けられている。
【0020】
図2に示すように、このたわみ調整ローラユニット8は、ケーシング8aと、このケーシング8aにそれぞれ収納されたたわみ調整ローラ8bと、油圧シリンダ8cとを有している。
【0021】
たわみ調整ローラ8bは油圧シリンダ8cに取付けられ上下に進退可能になっており、適宜ワイヤ列4に当接できるようになっている。従って、たわみ調整ローラ8bを油圧シリンダ8cによって上下に進退させることにより、ワイヤ列4との当接強度を調整し、ワイヤ列4のたわみを調整できるようになっている。
【0022】
ワイヤ列4の上方にはインゴット7の切断時にスラリ9をワイヤ列4に供給しスラリポンプ10aを有するスラリ供給装置10が設けられている。
【0023】
さらに、ワイヤソー1には、コンピュータ11が設けられており、このコンピュータ11は記憶装置に記憶されたプログラムに従って、ワイヤ駆動モータ3a、送りモータ5a、油圧シリンダ8c、スラリポンプ10aを制御し、一連の切断工程を自動的に行うようになっている。
【0024】
次に、本発明に係わるワイヤソーを用いたシリコンインゴットの切断方法について説明する。
【0025】
最初に、図1に示すように、シリコンインゴット7をカーボンベース6に接着する。次に、コンピュータ11により油圧シリンダ8cを作動させ、図3に示すように、たわみ調整ローラ8bを降下させて、調整ローラ8bでワイヤ列4を押圧し、ワイヤ列4を所定量だけたわませる。
【0026】
さらに、コンピュータ11により、ワイヤ駆動モータ3aを回転させてワイヤ列4を高速で動かし、スラリポンプ10aを作動させてスラリ9をワイヤ列4に供給し、送りモータ5aを回転させてシリコンインゴット7をたわみ調整ローラ8bによりたわんだワイヤ列4に接近させる。次に油圧シリンダ8cを再び作動させ、たわみ調整ローラ8bを上昇させて、ワイヤ列4を押圧から開放して、このワイヤ列4をシリコンインゴット7の先端に接触させ、切断を開始し、切断を継続する。
【0027】
この切断工程の初期(開始直後)において、ワイヤ列4がすでにたわみ調整ローラ8bによりたわまされているので、切断の中間工程におけるシリコンインゴット7の中央部位近傍7cの切断と同じワイヤ列4のたわみ状態で、切断開始直後から安定した切断ができる。
【0028】
切断工程の後期において、図4に示すように、シリコンインゴット7の切断長さlが短くなり、ワイヤ列4のワイヤたわみが急激に小さくなるため、再びたわみ調整ローラ8bを降下させて、調整ローラ8bでワイヤ列4を押圧し、ワイヤ列4を所定量だけたわませ、ワイヤ列4のたわみ量が急激に小さくならないように調整ローラ8bでワイヤ列4を押圧しながら切断を継続する。
【0029】
この切断工程の後期においても、ワイヤ列4がたわみ調整ローラ8bによりたわまされているので、切断の中間工程におけるシリコンウェーハ7Wの中央部位近傍7cの切断と同じワイヤ列4のたわみ状態で、切断工程の後期も安定した切断ができる。
【0030】
従って、ワイヤソー1によって切断されたシリコンウェーハ7Wは、図5に示すように、切断工程の初期切断部位7sおよび後期切断部位7eも、中期切断(中央)部位近傍7cと同一の厚さになり、均一な厚さ(平行度)のシリコンウェーハ7Wが得られる。
【0031】
なお、切断工程終了後、ワイヤ列4を切断されたシリコンウェーハ7W間から抜取るが、シリコンウェーハ7W間に付着したスラリにより、ワイヤ列4が抜き難い場合には、油圧シリンダ8cを作動させ、たわみ調整ローラ8bを降下させて、ワイヤ列4を押えながらシリコンウェーハ7Wを引抜けば、ワイヤ列4のワイヤ2が多溝ローラ3d、3dに食込んで多溝ローラ3d、3dを傷つけることを防止できるばかりでなく、ワイヤ2が伸ばされるのを防止することができる。
【0032】
【発明の効果】
本発明に係わるワイヤソーおよびこれを用いた切断方法によれば、均一な厚さを有するシリコンウェーハを製造できるワイヤソーおよびこれを用いた切断方法を提供することができる。
【0033】
すなわち、ワイヤソーは切断物とこの被切断物を挟んで配置された一対の多溝ローラとの間に、各々進退自在に設けられ、被切断物に当接するワイヤ列を適宜押圧して、このワイヤ列のたるみを調整するたわみ調整手段を有し、このたわみ調整手段を進退させることにより、切断工程の開始時にはたわみ調整手段でワイヤ列をたわませ、切断工程の後期にはたわみ調整手段でワイヤ列を押圧し続け、ワイヤ列のたわみを維持したままの状態で切断が行えるので、切断工程の初期切断部位および後期切断部位も、中期切断部位近傍と同一の厚さになり、均一な厚さ(平行度)のシリコンウェーハが得られる。
【0034】
また、上記たわみ調整手段はローラであるので、ワイヤ列のたわみの調整を容易にできると共に、たわみ調整手段によりワイヤを破損させることがない。
【0035】
また、ワイヤソー切断方法は、切断工程の開始時にワイヤ列をたわませた後切断を開始し、切断工程の後期にはワイヤ列のたわみを維持したままの状態で切断を行うので、切断工程の初期切断部位および後期切断部位も、中期切断部位近傍と同一の厚さになり、均一な厚さのシリコンウェーハが得られる。
【0036】
また、上記たわみはローラにより行うので、ワイヤ列のたわみの調整を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるワイヤソーの概略図。
【図2】本発明に係わるワイヤソーに用いられるたわみ調整ローラユニットの説明図。
【図3】本発明のワイヤソー切断方法の切断工程を示す説明図。
【図4】本発明のワイヤソー切断方法の切断工程を示す説明図。
【図5】本発明のワイヤソー切断方法により切断されたシリコンウェーハの断面図。
【図6】従来のワイヤソーの概略図。
【図7】従来のワイヤソー切断方法の切断工程を示す説明図。
【図8】従来のワイヤソー切断方法により切断されたシリコンウェーハの断面図。
【符号の説明】
1 ワイヤソー
2 ワイヤ
3 多溝ローラ
3d 多溝ローラ
4 ワイヤ列
5a 送りモータ
5 フィードユニット
6 カーボンベース
7 シリコンインゴット
8 たわみ調整ローラユニット
8a ケーシング
8b たわみ調整ローラ
8c 油圧シリンダ
9 スラリ
10 スラリ供給装置
10a スラリポンプ
11 コンピュータ
Claims (4)
- 回転自在に設けられた複数個の多溝ローラと、これらの多溝ローラ間に張設されたワイヤ列と、このワイヤ列に被切断物を押圧し切断するワイヤソーにおいて、
被切断物側でかつ、被切断物とこの被切断物を挟んで配置された一対の多溝ローラとの間に、各々進退自在に設けられ、被切断物に当接するワイヤ列を被切断物側から適宜押圧して、このワイヤ列のたるみを調整するたわみ調整手段を有し、
このたわみ調整手段を進退させることにより、
切断工程の開始時にはたわみ調整手段でワイヤ列をたわませ、
切断工程の後期にはたわみ調整手段で被切断物側からワイヤ列を押圧し続けて、ワイヤ列のたわみを維持したままの状態で切断が行えることを特徴とするワイヤソー。 - 上記たわみ調整手段はローラであることを特徴とする請求項1に記載のワイヤソー。
- ワイヤ列に被切断物を押圧し、ワイヤ列を押圧してワイヤ列のたるみを調整するたわみ調整手段によりたわみを調整し、ワイヤ列を線方向に送りながらワイヤ列と被切断物間にスラリを供給して、被切断物を切断するワイヤソー切断方法において、
切断工程の開始時、調整手段によりワイヤ列を被切断物側から押圧して、ワイヤ列をたわませた後切断を開始し、
切断工程の後期には、調整手段によりワイヤ列を被切断物側から押圧して、ワイヤ列のたわみを維持したままの状態で切断を行うことを特徴とするワイヤソー切断方法。 - 上記たわみはローラにより行うことを特徴とする請求項3に記載のワイヤソー切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000153715A JP4252193B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | ワイヤソーおよびこれを用いた切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000153715A JP4252193B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | ワイヤソーおよびこれを用いた切断方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001328058A JP2001328058A (ja) | 2001-11-27 |
JP4252193B2 true JP4252193B2 (ja) | 2009-04-08 |
Family
ID=18658921
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000153715A Expired - Lifetime JP4252193B2 (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | ワイヤソーおよびこれを用いた切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4252193B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104781045A (zh) * | 2012-10-15 | 2015-07-15 | 东洋先进机床有限公司 | 钢丝锯装置及切断加工方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10139962C1 (de) * | 2001-08-14 | 2003-04-17 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem sprödharten Werkstück und Drahtsäge zur Durchführung des Verfahrens |
JP2006305685A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | ワイヤソー装置およびワイヤソー装置用のガイドバー並びにワイヤソー装置用のスラリ供給装置。 |
JP2009090387A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Denso Corp | 炭化珪素基板製造用ワイヤーソー装置 |
CN102398316B (zh) * | 2010-09-17 | 2014-10-01 | 上海日进机床有限公司 | 应用于切片机的防跳线方法 |
CN102398315B (zh) * | 2010-09-17 | 2014-07-30 | 上海日进机床有限公司 | 应用于切片机的切割方法 |
JP5752396B2 (ja) * | 2010-11-09 | 2015-07-22 | 株式会社安永 | ワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法 |
JP6191835B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2017-09-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ワイヤーソーとワイヤー溝飛び防止運転方法 |
CN111730773B (zh) * | 2020-05-28 | 2022-04-08 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种多线切割装置 |
-
2000
- 2000-05-24 JP JP2000153715A patent/JP4252193B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104781045A (zh) * | 2012-10-15 | 2015-07-15 | 东洋先进机床有限公司 | 钢丝锯装置及切断加工方法 |
CN104781045B (zh) * | 2012-10-15 | 2018-05-04 | 东洋先进机床有限公司 | 钢丝锯装置及切断加工方法 |
US9969017B2 (en) | 2012-10-15 | 2018-05-15 | Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. | Wire saw apparatus and cut-machining method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001328058A (ja) | 2001-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3656317B2 (ja) | ワイヤソーによるワーク切断方法及び装置 | |
TW388735B (en) | Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire | |
KR100667690B1 (ko) | 웨이퍼 슬라이싱 방법 및 장치 | |
JP4252193B2 (ja) | ワイヤソーおよびこれを用いた切断方法 | |
TWI437628B (zh) | A cutting method and a method for manufacturing an epitaxial wafer | |
JP5847298B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置およびこれを用いた半導体ウエハの製造方法 | |
US8167681B2 (en) | Slicing method | |
JP4390363B2 (ja) | ワイヤソー | |
WO2012144136A1 (ja) | ワイヤソーの運転再開方法及びワイヤソー | |
JPH10249700A (ja) | ワイヤソーによるインゴットの切断方法及び装置 | |
US9776340B2 (en) | Method for slicing ingot and wire saw | |
CN103842129A (zh) | 工件的切割方法及线锯 | |
JP3810170B2 (ja) | ワイヤーソーによるワークの切断方法およびワイヤーソー | |
JP5693697B2 (ja) | ワイヤソーで加工物を複数のウェハに切断するための、中断されたプロセスを再開するための方法 | |
WO2017119030A1 (ja) | インゴットの切断方法 | |
JP6969579B2 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
TWI812652B (zh) | 線鋸裝置及晶圓的製造方法 | |
JP3690081B2 (ja) | ワイヤソーのインゴット切断方法 | |
JP2000141364A (ja) | インゴット切断方法およびワイヤソー装置 | |
KR102207437B1 (ko) | 로터리장치를 이용한 다중 잉곳 멀티 슬라이싱 장치 | |
CN219971467U (zh) | 一种电缆放线装置 | |
JP3810125B2 (ja) | ワイヤーソー及び円柱形ワークを切断する方法 | |
WO2023112490A1 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
JP7020454B2 (ja) | ワークの切断方法及びワイヤソー | |
JP2008023644A (ja) | 基板の製造方法及びワイヤソー装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070410 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081023 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090120 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4252193 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130130 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140130 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140130 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |