KR20120111993A

KR20120111993A - 스크라이빙 휠 및 스크라이브 장치

Info

Publication number: KR20120111993A
Application number: KR1020120014761A
Authority: KR
Inventors: 도시오 후꾸니시; 다다노부 나까노; 야스히로 지요; 미쯔루 기따이찌
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-03-31
Filing date: 2012-02-14
Publication date: 2012-10-11
Also published as: TW201238919A; KR101329865B1; CN102729349A; JP2012210747A; CN102729349B; JP5397403B2; TWI465406B

Abstract

본 발명의 과제는, 취성 재료 기판에 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이빙 휠 및 이 스크라이빙 휠을 갖는 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.
다결정체 다이아몬드제의 스크라이빙 휠(50)은, 2개의 원뿔대의 하부 저면(단, 하부 저면은 상부 저면보다 면적이 큼)이 서로 대향하도록 배치된 것으로, 대략 원반 형상(주판알 형상)을 갖고 있다. 또한, 스크라이빙 휠(50)의 성형에 사용되는 다결정체 다이아몬드는, 미세한 결정립 조직, 또는 비정질을 갖는 그라파이트형 탄소 물질을 출발 물질로 하여, 초고압 고온하에서 직접적으로 다이아몬드로 변환 소결된 것이다. 또한, 다결정체 다이아몬드는, 실질적으로 다이아몬드만으로 이루어지는 것이며, 다결정체 다이아몬드에는 의도적으로 다른 물질이 첨가되어 있지 않다.

Description

스크라이빙 휠 및 스크라이브 장치{SCRIBING WHEEL AND SCRIBING DEVICE}

본 발명은, 스크라이빙 휠 및 이 스크라이빙 휠을 갖는 스크라이브 장치에 관한 것이다.

종래부터 취성 재료 기판(예를 들어, 글래스 기판 등) 상에 스크라이브 라인을 형성하기 위해 사용되는 툴로서, 소결 다이아몬드제의 스크라이빙 휠(커터 휠)이 알려져 있다.

일본 특허 출원 공개 제2009-166169호 공보

여기서, 소결 다이아몬드(Polycrystalline diamond:PCD)는, 다이아몬드가 열역학적으로 안정되는 초고압 고온하에 있어서, 다이아몬드 입자, 금속 결합재 및 첨가제의 혼합물이 소결됨으로써 생성된다. 그로 인해, 소결 다이아몬드는, 단결정 다이아몬드와 비교하여, 벽개(劈開)의 문제가 없고, 기계적 특성의 이방성을 갖지 않고, 또한 우수한 인성(靭性)을 갖고 있다.

그러나 고온하에 있어서의 소결 다이아몬드의 기계적 특성은, 입계에 포함되는 금속 결합재에 기인하여 저하된다. 예를 들어, 스크라이브 라인의 형성을 위해, 스크라이빙 휠의 날끝이 취성 재료 기판과 접촉하면, 스크라이빙 휠의 날끝의 온도가 상승한다. 그 결과, 소결 다이아몬드의 입계 결합 강도가 저하되어, 내마모성 등의 기계적 특성이 저하된다고 하는 문제가 발생한다.

따라서, 본 발명에서는, 취성 재료 기판에 양호한 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 스크라이빙 휠 및 이 스크라이빙 휠을 갖는 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 과제를 해결하기 위해, 청구항 1의 발명은, 다결정체 다이아몬드제의 스크라이빙 휠이며, 원반 형상의 본체부와, 상기 본체부의 외주에 설치된 원환상의 날과, 상기 날의 최외주부를 따라 설치된 날끝을 구비하고, 상기 날의 두께는, 상기 본체부의 중심으로부터 상기 날끝을 향해 작아지고, 상기 다결정체 다이아몬드는, 미세한 결정립 조직, 또는 비정질을 갖는 그라파이트형 탄소 물질을 출발 물질로 하여, 초고압 고온하에서 직접적으로 다이아몬드로 변환 소결된 것이며, 실질적으로 다이아몬드만으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재된 스크라이빙 휠에 있어서, 상기 날끝은, 상기 최외주부를 따라 설치된 복수의 돌기부를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 스크라이빙 휠을, 취성 재료 기판에 대해, 압접 구름 이동시킴으로써 상기 취성 재료 기판 상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛과, 상기 취성 재료 기판을 보유 지지하면서, 보유 지지된 상기 취성 재료 기판을 스크라이브 유닛에 대해 상대적으로 이동시키는 보유 지지 유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 1 내지 청구항 3에 기재된 발명에 따르면, 스크라이빙 휠을 구성하는 다결정체 다이아몬드는, 미세한 결정립 조직 또는 비정질을 갖는 그라파이트형 탄소 물질을 출발 물질로 하여, 초고압 고온하에서 직접적으로 다이아몬드로 변환 소결된다. 또한, 다결정체 다이아몬드는, 실질적으로 다이아몬드만으로 이루어진다.

이에 의해, 이 다결정체 다이아몬드제의 스크라이빙 휠은, 상온에 있어서의 경도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 고온하에 있어서의 기계적 특성도 향상시킬 수 있다. 그로 인해, 스크라이빙 휠의 가일층의 장기 수명화를 실현할 수 있다.

특히, 청구항 2에 기재된 발명에 따르면, 스크라이빙 휠은, 다결정체 다이아몬드에 의해 성형되어 있어, 상온에 있어서의 스크라이빙 휠의 경도 및 고온하에 있어서의 스크라이빙 휠의 기계적 특성이 향상된다. 그로 인해, 날끝의 최외주부에 복수의 돌기부가 설치되어 있는 경우라도, 각 돌기부의 결손을 억제하여, 스크라이빙 휠의 가일층의 장기 수명화를 실현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 전체 구성의 일례를 도시하는 정면도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 스크라이브 장치의 전체 구성의 일례를 도시하는 측면도.
도 3은 스크라이빙 휠 부근의 구성의 일례를 도시하는 정면도.
도 4는 스크라이빙 휠 부근의 구성의 일례를 도시하는 하면도.
도 5는 캐스터 효과를 설명하기 위한 하면도.
도 6은 스크라이빙 휠의 구성의 일례를 도시하는 측면도.
도 7은 스크라이빙 휠의 구성의 일례를 도시하는 정면도.
도 8은 도 6의 A 부분의 확대도.
도 9는 스크라이빙 휠의 날끝에 형성된 홈 형상의 다른 예를 도시하는 도면.
도 10은 스크라이빙 휠의 날끝에 형성된 홈 형상의 다른 예를 도시하는 도면.
도 11은 스크라이빙 휠의 날끝에 형성된 홈 형상의 다른 예를 도시하는 도면.

<1. 스크라이브 장치의 구성>

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다.

도 1 및 도 2는, 각각 스크라이브 장치(1)의 전체 구성의 일례를 도시하는 정면도 및 측면도이다. 도 3 및 도 4는, 스크라이빙 휠(50) 부근의 구성의 일례를 도시하는 정면도 및 하면도이다. 도 5는 캐스터 효과를 설명하기 위한 하면도이다.

스크라이브 장치(1)는, 예를 들어 글래스 기판 또는 세라믹스 기판 등과 같이, 취성 재료로 형성된 기판(이하, 단순히, 「취성 재료 기판」이라고도 함)(4)의 표면에, 스크라이브 라인(절삭 줄:세로 균열)을 형성하는 장치이다.

도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 스크라이브 장치(1)는, 주로, 보유 지지 유닛(10)과, 스크라이브 유닛(20)과, 촬상부 유닛(60)과, 제어 유닛(90)을 구비하고 있다. 또한, 도 1 및 이후의 각 도면에는, 그들의 방향 관계를 명확하게 하기 위해 필요에 따라서 적절하게, Z축 방향을 연직 방향으로 하고, XY 평면을 수평면으로 하는 XYZ 직교 좌표계가 부여되어 있다.

여기서, 도 3에 도시하는 바와 같이, 스크라이브 장치(1)에 의해 취성 재료 기판(4)의 표면에 스크라이브 라인(SL)이 형성되면, 취성 재료 기판(4)에는, 수직 방향(Z축 방향)으로 연장되는 수직 크랙(K)이 발생한다(스크라이브 공정).

그리고 이 수직 크랙(K)이 발생한 취성 재료 기판(4)에 대해 응력이 부여됨으로써(브레이크 공정), 스크라이브 라인(SL)이 형성된 취성 재료 기판(4)의 주면(主面)으로부터, 그 반대측의 주면까지 수직 크랙(K)을 진전시켜, 취성 재료 기판(4)을 절단하는 방법을「할단(割斷)」이라 한다.

한편, 스크라이브 공정에만 의해(즉, 브레이크 공정을 실행하는 일 없이), 수직 크랙(K)을 취성 재료 기판(4)의 스크라이브 라인(SL)의 주면으로부터 반대측의 주면까지 진전시켜, 취성 재료 기판(4)을 절단하는 방법을,「분단」이라 한다.

이들 할단 및 분단은, 절삭 부스러기가 나오지 않는 점에서, 다이아몬드 커팅 쏘(혹은 휠), 또는 다이아몬드 다이싱 쏘를 사용한 연삭 절단보다도 바람직한 절단 방법이다.

또한, 본 실시 형태의 스크라이브 방법에 의해 할단 또는 분단 가능한 취성 재료 기판(4)의 재질의 예로서는, 글래스, 세라믹, 실리콘, 또는 사파이어 등을 들 수 있다. 특히 최근, 통신 기기 관련의 고주파 모듈에 사용하는 기판으로서, HTCC(High Temperature Co-fired Ceramics)로부터, 비교적 가공이 용이한 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)로의 이행이 가속되고 있다. 그로 인해, 본 실시 형태의 스크라이브 방법은, 점점 유효하게 사용되게 된다.

보유 지지 유닛(10)은, 취성 재료 기판(4)을 보유 지지하는 동시에, 보유 지지된 취성 재료 기판(4)을 스크라이브 유닛(20)에 대해 상대적으로 이동시킨다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 보유 지지 유닛(10)은, 기부(基部)(10a) 상에 설치되어 있고, 주로 테이블(11)과, 볼 나사 기구(12)와, 모터(13)를 갖고 있다.

여기서, 기부(10a)는, 예를 들어 대략 직육면체 형상의 석정반에 의해 형성되어 있고, 그 상면[보유 지지 유닛(10)과 대향하는 면]은 평탄 가공되어 있다. 이에 의해, 기부(10a)의 열팽창을 저감할 수 있어, 보유 지지 유닛(10)에 보유 지지된 취성 재료 기판(4)을 양호하게 이동시킬 수 있다.

테이블(11)은, 적재된 취성 재료 기판(4)을 흡착 보유 지지한다. 또한, 테이블(11)은, 보유 지지된 취성 재료 기판(4)을, 화살표 AR1 방향(X축 플러스 또는 마이너스 방향 : 이하, 단순히 「진퇴 방향」이라고도 함)으로 진퇴시키는 동시에, 화살표 R1 방향으로 회전시킨다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 테이블(11)은, 주로 흡착부(11a)와, 회전대(11b)와, 이동대(11c)를 갖고 있다.

흡착부(11a)는, 회전대(11b)의 상측에 설치되어 있다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 흡착부(11a)의 상면에는, 취성 재료 기판(4)이 적재 가능하게 되어 있다. 또한, 흡착부(11a)의 상면에는, 복수의 흡착 홈(도시 생략)이 격자 형상으로 배치되어 있다. 따라서, 취성 재료 기판(4)이 적재된 상태에서, 각 흡착 홈 내의 분위기가 배기(흡인)됨으로써, 취성 재료 기판(4)은, 흡착부(11a)에 대해 흡착된다.

회전대(11b)는, 흡착부(11a)의 하측에 설치되어 있고, Z축과 대략 평행한 회전축(11d)을 중심으로 흡착부(11a)를 회전시킨다. 또한, 이동대(11c)는, 회전대(11b)의 하측에 설치되어 있고, 진퇴 방향을 따라, 흡착부(11a) 및 회전대(11b)를 이동시킨다.

따라서, 테이블(11)에 흡착 보유 지지된 취성 재료 기판(4)은, 화살표 AR1 방향으로 진퇴되는 동시에, 흡착부(11a)의 진퇴 동작에 수반하여 이동하는 회전축(11d)을 중심으로 회전된다.

볼 나사 기구(12)는, 테이블(11)의 하측에 배치되어 있고, 테이블(11)을 화살표 AR1 방향으로 진퇴시킨다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 볼 나사 기구(12)는, 주로 이송 나사(12a)와, 너트(12b)를 갖고 있다.

이송 나사(12a)는, 테이블(11)의 진퇴 방향을 따라 연장되는 막대체이다. 이송 나사(12a)의 외주면에는, 나선 형상의 홈(도시 생략)이 형성되어 있다. 또한, 이송 나사(12a)의 일단부는 지지부(14a)에 의해, 이송 나사(12a)의 타단부는 지지부(14b)에 의해 각각 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한, 이송 나사(12a)는, 모터(13)와 연동 연결되어 있어, 모터(13)가 회전하면, 그 회전 방향으로 이송 나사(12a)가 회전한다.

너트(12b)는, 이송 나사(12a)의 회전에 따라서, 도시하지 않은 볼의 구름 운동에 의해, 화살표 AR1 방향으로 진퇴한다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 너트(12b)는 이동대(11c)의 하부에 고정되어 있다.

따라서, 모터(13)가 구동되어 모터(13)의 회전력이 이송 나사(12a)에 전달되면, 너트(12b)는 화살표 AR1 방향으로 진퇴한다. 그 결과, 너트(12b)가 고정되어 있는 테이블(11)은, 너트(12b)와 마찬가지로 화살표 AR1 방향으로 진퇴한다.

한 쌍의 가이드 레일(15, 16)은, 진행 방향에 있어서의 테이블(11)의 이동을 규제한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 가이드 레일(15, 16)은, 기부(10a) 상에 있어서, 화살표 AR2 방향으로 소정 거리만큼 이격되어 고정되어 있다.

복수(본 실시 형태에서는, 2개)의 미끄럼 이동부[17(17a, 17b)]는, 가이드 레일(15)을 따라 화살표 AR1 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 되어 있다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 미끄럼 이동부[17(17a, 17b)]는, 이동대(11c)의 하부에 있어서, 화살표 AR1 방향으로 소정 거리만큼 이격되어 고정되어 있다.

복수[본 실시 형태에서는, 2개 : 단, 도시 사정상, 미끄럼 이동부(18a)만 기재]의 미끄럼 이동부(18)는, 가이드 레일(16)을 따라 화살표 AR1 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 되어 있다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 미끄럼 이동부(18)는, 미끄럼 이동부[17(17a, 17b)]와 마찬가지로, 이동대(11c)의 하부에 있어서, 화살표 AR1 방향으로 소정 거리만큼 이격되어 고정되어 있다.

이와 같이, 모터(13)의 회전력이 볼 나사 기구(12)에 부여되면, 테이블(11)은, 한 쌍의 가이드 레일(15, 16)을 따라 이동한다. 그로 인해, 진퇴 방향에 있어서의 테이블(11)의 직진성을 확보할 수 있다.

스크라이브 유닛(20)은, 보유 지지 유닛(10)에 보유 지지된 취성 재료 기판(4)에 대해, 다결정체 다이아몬드제의 스크라이빙 휠(50)(도 3 참조)을 압접 구름 이동시킴으로써 취성 재료 기판(4)의 표면에 스크라이브 라인(SL)을 형성한다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 스크라이브 유닛(20)은, 주로 헤드부(30)와, 구동부(40)를 갖고 있다.

헤드부(30)는, 도시하지 않은 승강?가압 기구에 의해, 보유 지지된 스크라이빙 휠(50)로부터 취성 재료 기판(4)의 표면에 대해, 압박력(이하, 단순히 「스크라이브 하중」이라고도 함)을 부여한다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 헤드부(30)는 홀더(35)를 갖고 있다. 또한, 홀더(35)는, 스크라이빙 휠(50)을 회전 가능하게 보유 지지하는 요소이다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 홀더(35)는, 주로 핀(36)과, 지지 프레임(37)과, 선회부(38)를 갖고 있다.

핀(36)은, 스크라이빙 휠(50)을 관통하는 관통 구멍(50a)에 삽입된 상태에서 고정된 막대체이다. 여기서, 관통 구멍(50a)은, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, X축과 대략 평행한 회전축(50b)을 따라 연장되어 있다.

지지 프레임(37)은, 도 3에 도시하는 바와 같이, 관통 구멍(50a)의 양 개구(양단부)를 덮도록 배치된 구조물이다. 관통 구멍(50a)의 양단부로부터 돌출되는 핀(36)은, 지지 프레임(37)에 대해, 회전 가능하게 설치되어 있다. 따라서, 핀(36)에 고정된 스크라이빙 휠(50)은, 지지 프레임(37)에 대해 회전 가능하게 되어 있다.

선회부(38)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 지지 프레임(37)의 상부에 설치되어 있고, Z축과 대략 평행한 회전축(38a)을 중심으로 지지 프레임(37)을 회전시킨다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 하면으로부터 본 선회부(38)의 회전축(38a)의 위치와, 취성 재료 기판(4)에 있어서의 보유 지지 유닛(10)의 설치 위치(50c)는 어긋나 있다.

이에 의해, 스크라이빙 휠(50)의 진행 방향이, 도 5에 도시하는 바와 같이, 화살표 AR3(2점 쇄선) 방향으로부터 화살표 AR4(실선) 방향으로 변화되면, 캐스터 효과에 의해 스크라이빙 휠(50)에는, 회전축(38a) 주위의 토크가 작용한다. 그로 인해, 스크라이빙 휠(50)은 화살표 R2 방향으로 회전하여, 스크라이빙 휠(50)의 위치는 2점 쇄선 위치로부터 실선 위치로 변화된다.

이와 같이, 스크라이빙 휠(50)의 진행 방향이 변화되어, 스크라이빙 휠(50)의 자세가 진행 방향에 대해 각도 θ1만큼 어긋난 경우라도, 스크라이빙 휠(50)에 화살표 R2 방향의 토크가 작용한다. 그 결과, 스크라이빙 휠(50)의 자세와, 스크라이빙 휠(50)의 진행 방향이 대략 평행해지도록, 스크라이빙 휠(50)이 선회한다.

구동부(40)는, 스크라이빙 휠(50)이 설치된 헤드부(30)를, 화살표 AR2 방향(Y축 플러스 또는 마이너스 방향 : 이하, 단순히 「왕복 방향」이라고도 함)으로 왕복시킨다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 구동부(40)는, 주로, 지지 기둥(41)과, 레일(42)과, 모터(43)를 갖고 있다. 도 2에는, 구동 수단으로서 볼 나사를 사용한 예를 나타냈지만, 다른 수단, 예를 들어 리니어 모터(리니어 레일) 등을 사용할 수도 있다.

복수(본 실시 형태에서는, 2개)의 지지 기둥[41(41a, 41b)]은, 기부(10a)로부터 상하 방향(Z축 방향)으로 연장된다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 가이드 레일(42)은, 지지 기둥(41a, 41b) 사이에 끼워진 상태에서, 이들 지지 기둥(41a, 41b)에 대해 고정된다.

복수(본 실시 형태에서는, 2개)의 가이드 레일(42)은, 왕복 방향에 있어서의 헤드부(30)의 이동을 규제한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 복수의 가이드 레일(42)은, 상하 방향으로 소정 거리만큼 이격되어 고정되어 있다.

모터(43)는, 도시하지 않은 이송 기구(예를 들어, 볼 나사 기구)와 연동 연결되어 있다. 이에 의해, 모터(43)가 회전하면, 헤드부(30)는, 복수의 가이드 레일(42)을 따라 화살표 AR2 방향으로 왕복한다.

스크라이빙 휠(50)은, 취성 재료 기판(4) 상에 압접 구름 이동됨으로써, 취성 재료 기판(4) 상에 스크라이브 라인(SL)(도 3 참조)을 형성한다. 또한, 스크라이빙 휠(50)의 상세한 구성에 대해서는, 후술한다.

촬상부 유닛(60)은, 보유 지지 유닛(10)에 보유 지지된 취성 재료 기판(4)을 촬상한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 촬상부 유닛(60)은, 복수의 카메라[65(65a, 65b)]를 갖고 있다.

복수(본 실시 형태에서는, 2대)의 카메라[65(65a, 65b)]는, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 보유 지지 유닛(10)의 상방에 배치되어 있다. 각 카메라[65(65a, 65b)]는, 취성 재료 기판(4) 상에 형성된 특징적인 부분[예를 들어, 얼라인먼트 마크(도시 생략)]의 화상을 촬상한다. 그리고 각 카메라[65(65a, 65b)]에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 취성 재료 기판(4)의 위치 및 자세가 구해진다.

여기서, 취성 재료 기판(4)의 「위치」라 함은, 절대 좌표계에 있어서의 취성 재료 기판(4) 상의 임의의 위치를 말하는 것으로 한다. 또한, 취성 재료 기판(4)의 「자세」라 함은, 헤드부(30)의 왕복 방향에 대한 취성 재료 기판(4)의 기준선[예를 들어, 취성 재료 기판(4)이 각형인 경우, 4변 중 1변]의 기울기를 말하는 것으로 한다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 각형의 취성 재료 기판(4)이 사용되어 있고, 취성 재료 기판(4)의 4개의 코너 중, 인접하는 2개의 코너에는 얼라인먼트 마크가 형성되어 있다. 또한, 각 얼라인먼트 마크는, 대응하는 카메라(65a, 65b)에 의해 촬상되고, 이들 촬상된 화상에 기초하여, 절대 좌표계에 있어서의 각 얼라인먼트 마크의 위치가 구해진다. 그리고 이들 얼라인먼트 마크의 위치에 기초하여, 취성 재료 기판(4)의 위치 및 자세가 연산된다.

제어 유닛(90)은, 스크라이브 장치(1)의 각 요소의 동작 제어 및 데이터 연산을 실현한다. 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 제어 유닛(90)은, 주로, ROM(91)과, RAM(92)과, CPU(93)를 갖고 있다.

ROM(Read Only Memory)(91)은, 이른바 비휘발성의 기억부이며, 예를 들어 프로그램(91a)이 저장되어 있다. 또한, ROM(91)으로서는, 판독 기입 가능한 비휘발성 메모리인 플래시 메모리가 사용되어도 좋다. RAM(Random Access Memory)(92)은, 휘발성의 기억부이며, 예를 들어 CPU(93)의 연산에서 사용되는 데이터가 저장된다.

CPU(Central Processing Unit)(93)는, ROM(91)의 프로그램(91a)에 따른 제어[보유 지지 유닛(10)의 진퇴?회전 동작 및 구동부(40)에 의한 헤드부(30)의 왕복 동작 등의 제어] 및 취성 재료 기판(4)의 위치 및 자세 연산 등의 데이터 처리를 실행한다.

예를 들어, CPU(93)는,

(1) 취성 재료 기판(4)의 위치 및 자세를 연산하는 동시에,

(2) 이 위치 및 자세의 연산 결과에 기초하여, 회전대(11b)를 회전 동작시키고, 또한 이동대(11c)를 진퇴 동작시킴으로써 헤드부(30)에 대한 취성 재료 기판(4)의 얼라인먼트 처리를 실행시킨다.

<2. 스크라이빙 휠의 구성>

도 6 및 도 7은, 스크라이빙 휠(50)의 구성의 일례를 나타내는 측면도 및 정면도이다. 본 실시 형태에 있어서, 스크라이빙 휠(50)은, 다결정체 다이아몬드에 의해 성형된 것이다.

도 3 내지 도 7에 도시하는 바와 같이, 스크라이빙 휠(50)은, 2개의 원뿔대의 하부 저면(단, 하부 저면은 상부 저면보다 면적이 큼)이 서로 대향하도록 배치된 것으로, 대략 원반 형상(주판알 형상)을 갖고 있다. 도 6 내지 도 8에 도시하는 바와 같이, 스크라이빙 휠(50)은, 주로 본체부(51)와, 날(52)과, 날끝(52a)을 갖고 있다.

본체부(51)는, 도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 원반 형상으로 되어 있고, 본체부(51)의 중심 부근에는, 회전축(50b)을 따라 본체부(51)를 관통하는 관통 구멍(50a)이 형성되어 있다.

또한, 본체부(51)의 외주에는, 원환상의 날(52)이 설치되어 있다.

날(52)은, 도 6에 도시하는 바와 같이, 회전축(50b)을 중심으로 한 동심원 형상의 내주 및 외주에 의해 형성되는 원환상체이다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 날(52)은 정면에서 볼 때 V자 형상으로 되어 있다. 회전축(50b)을 따른 날(52)의 두께 Tb(도 7 참조)는, 회전축(50b)측으로부터 날끝(52a)을 향함에 따라서, 서서히 작아진다.

날끝(52a)은, 날(52)의 최외주부[즉, 날(52) 중, 회전축(50b)으로부터의 거리가 최대로 되고, 날(52)의 두께 Tb가 최소로 되는 부분]를 따라 설치되어 있다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 날끝(52a)의 각 부분에는, 의도적으로 형성된 요철이 없어, 날끝(52a)의 각 부분과 회전축(50b)의 거리는 동일해진다.

그리고 날끝(52a)이 접촉한 상태에서, 스크라이빙 휠(50)이 취성 재료 기판(4) 상을 회전함으로써, 날끝(52a)의 궤적에 따른 스크라이브 라인(SL)이, 취성 재료 기판(4) 상에 형성된다.

<2.1. 스크라이빙 휠의 치수>

여기서, 스크라이빙 휠(50)의 외경 Dm(도 7 참조)은, 통상 1 내지 10(㎜), 바람직하게는 1 내지 5(㎜)[더욱 바람직하게는, 1 내지 3(㎜)]의 범위이다. 스크라이빙 휠(50)의 외경 Dm이 1㎜보다 작은 경우에는, 스크라이빙 휠(50)의 취급성 및 내구성이 저하된다. 한편, 스크라이빙 휠(50)의 외경 Dm이 5㎜보다 큰 경우에는, 스크라이브시의 수직 크랙(K)이 취성 재료 기판(4)에 대해 깊게 형성되지 않는 경우가 있다.

또한, 스크라이빙 휠(50)의 두께 Th(도 7 참조)는, 바람직하게는 0.5 내지 1.2(㎜)[더욱 바람직하게는, 0.5 내지 1.1(㎜)]의 범위이다. 스크라이빙 휠(50)의 두께 Th가 0.5㎜보다 작은 경우에는, 가공성 및 취급성이 저하되는 경우가 있다. 한편, 스크라이빙 휠(50)의 두께 Th가 1.2㎜보다 큰 경우에는, 스크라이빙 휠(50)의 재료 및 제조를 위한 비용이 높아진다.

또한, 날(52)의 날끝각 θ2(도 7 참조)는 통상 둔각이며, 바람직하게는 90＜θ2≤160(deg)[더욱 바람직하게는, 100≤θ2≤140(deg)]의 범위이다. 또한, 날끝각 θ2의 구체적 각도는, 절단하는 취성 재료 기판(4)의 재질 및/또는 두께 등으로부터 적절하게 설정된다.

<2.2. 스크라이빙 휠에 포함되는 재료>

스크라이빙 휠(50)의 성형에 사용되는 다결정체 다이아몬드는, 미세한 결정립 조직, 또는 비정질을 갖는 그라파이트형 탄소 물질을 출발 물질로 하여, 초고압 고온하에서 직접적으로 다이아몬드로 변환 소결된 것이다. 또한, 다결정체 다이아몬드는, 실질적으로 다이아몬드만으로 이루어지는 것이며, 다결정체 다이아몬드에는, 의도적으로 다른 물질이 첨가되어 있지 않다.

미세한 결정립 조직을 갖는 그라파이트형 탄소 물질로서는, 예를 들어 평균 입자 직경 0.5 내지 1(㎛)인 다이아몬드 입자를 들 수 있다. 또한, 비정질을 갖는 그라파이트형 탄소 물질로서는, 비정질 카본(amorphous Carbon : a-G), 카본 나노튜브(Carbon Nanotube : CNT) 또는 풀러렌(C₆₀)을 들 수 있다.

여기서, 스크라이빙 휠(50)의 성형에 사용 가능한 다양한 다이아몬드(예를 들어, 단결정 다이아몬드, 소결 다이아몬드 및 다결정체 다이아몬드)를 비교 검토한다.

우선, 다결정체 다이아몬드와, 단결정 다이아몬드를 비교 검토한다. 단결정 다이아몬드는, 벽개성 및 결정 이방성을 갖고 있고, 특정한 면 방위에 있어서 최 고 경도로 되는 것이 알려져 있다.

이에 대해, 다결정체 다이아몬드는, 단결정 다이아몬드와 비교하여, 벽개의 문제가 없고, 기계적 특성의 이방성을 갖지 않고, 또한 우수한 인성을 갖고 있다. 또한, 다결정체 다이아몬드의 경도는, 실온에 있어서, 특정한 면 방위에 의존하는 단결정 다이아몬드의 최고 경도와 동등해진다. 그로 인해, 각 면 방위에 있어서의 다결정체 다이아몬드의 경도는 대략 동일해지고, 단결정 다이아몬드의 최고 경도와 동등하다.

또한, 단결정 다이아몬드는, 고온하에 있어서, 특유의 (111)<110> 방향으로 미끄럼 변형을 유기하는 것이 알려져 있다. 그 결과, 단결정 다이아몬드는, 가열에 의해 경도가 저하된다고 하는 문제를 갖고 있다.

이에 대해, 다결정체 다이아몬드는, 입계 결합 강도가 높아, 입계에 있어서의 균열 전파의 억지 효과 및 소성 변형의 억지 효과를 갖고 있다. 그로 인해, 다결정체 다이아몬드는, 단결정 다이아몬드와 비교하여, 고온하에 있어서 우수한 경도 특성을 갖고 있다.

다음에, 다결정체 다이아몬드와, 소결 다이아몬드를 비교 검토한다. 소결 다이아몬드는, 다이아몬드 입자, 금속 결합재 및 첨가제의 혼합물이 소결됨으로써 생성된다. 그로 인해, 소결 다이아몬드는, 다결정체 다이아몬드와 마찬가지로, 단결정 다이아몬드와 비교하여, 벽개의 문제가 없고, 기계적 특성의 이방성을 갖지 않고, 또한 우수한 인성을 갖고 있다.

그러나 소결 다이아몬드는, 입계에 포함되는 결합재에 기인하여, 고온하에 있어서의 기계적 특성이 저하된다고 하는 문제를 갖고 있다.

예를 들어, 소결 다이아몬드에 있어서, 인접하는 다이아몬드 입자는, 금속 결합재의 촉매 작용에 의해 결합되어 있다. 즉, 소결 다이아몬드는, 실질적으로 이 결합에 의해 형성된 다이아몬드의 구조체와, 금속 결합재를 갖는 복합 재료이다. 그로 인해, 경우에 따라서는, 다이아몬드의 구조체의 열팽창률과, 금속 결합재의 열팽창률의 차에 기인하여, 다이아몬드의 구조체에 미소 크랙이 발생한다. 그 결과, 소결 다이아몬드가 열이력을 받으면, 경우에 따라서는 소결 다이아몬드의 경도가 저하된다.

이에 대해, 다결정체 다이아몬드는, 소결 조제 및 금속 결합재를 포함하지 않고, 다이아몬드 단상(單相)의 다결정체이다. 다결정체 다이아몬드는, 수십㎚의 치밀한 다이아몬드 입자가 서로 강고하게 직접 접합된 구조를 갖고 있다. 즉, 다결정체 다이아몬드는, 입계에 개재물을 실질적으로 갖지 않아, 개재물에 기인하여 미소 크랙이 발생한다고 하는 문제를 갖지 않는다. 그로 인해, 다결정체 다이아몬드는, 소결 다이아몬드와는 달리, 열이력에 의해 경도가 저하된다고 하는 문제를 저감할 수 있다.

이와 같이, 다결정체 다이아몬드는, 단결정 다이아몬드의 장점과, 소결 다이아몬드의 장점에 더하여 내열성을 갖고 있다. 이에 의해, 다결정체 다이아몬드에 의해 형성된 스크라이빙 휠(50)은, 상온에 있어서의 경도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 고온하에 있어서의 기계적 특성도 향상시킬 수 있다. 그로 인해, 스크라이빙 휠(50)의 가일층의 장기 수명화를 실현할 수 있다.

<3. 스크라이빙 휠의 성형 방법>

여기서는, 다결정체 다이아몬드로부터 스크라이빙 휠(50)을 성형하는 방법에 대해 설명한다. 우선, 본 성형 방법에서는, 우선 적합한 두께[0.5 내지 1.2(㎜)]로 된 다결정체 다이아몬드로부터, 원하는 반경으로 되는 원반이 잘라 내어진다.

다음에, 회전축(50b)을 따른 날(52)의 두께 Tb가 회전축(50b)측으로부터 날끝(52a)을 향함에 따라서 서서히 작아지도록, 원반의 주연부가 깎아 내어진다. 이에 의해, 원반의 주연부에, 정면에서 볼 때 V자 형상인 날(52)이 형성된다.

<4. 스크라이브 방법>

여기서는, 스크라이빙 휠(50)에 의해, 취성 재료 기판(4) 상에 스크라이브 라인(SL)을 형성하는 방법에 대해 설명한다.

본 방법에 있어서, 헤드부(30)의 스크라이빙 휠(50)은, 도시하지 않은 승강?가압 기구에 의해 취성 재료 기판(4)에 대해 압접된다. 또한, 보유 지지 유닛(10)의 모터(13) 및/또는 구동부(40)의 모터(43)가 구동되어, 헤드부(30)가, 보유 지지 유닛(10)에 보유 지지된 취성 재료 기판(4)에 대해 수평면 내에서 상대적으로 이동된다. 그로 인해, 취성 재료 기판(4) 상에는, 스크라이빙 휠(50)에 의해 원하는 스크라이브 라인(SL)이 형성되고, 수직 크랙(K)이 발생한다.

여기서, 스크라이브 하중은, 바람직하게는 5 내지 50(N)[더욱 바람직하게는, 15 내지 30(N)]의 범위이다. 또한, 취성 재료 기판(4)에 대한 스크라이빙 휠(50)의 이동 속도(이하, 단순히 「스크라이브 속도」라고도 함)는, 통상 50 내지 1200(㎜/sec), 바람직하게는 50 내지 300(㎜/sec)의 범위이다. 또한, 스크라이브 하중 및 스크라이브 속도의 구체적인 값은, 취성 재료 기판(4)의 재질 및/또는 두께 등으로부터 적절하게 설정된다.

또한, 취성 재료 기판(4) 상에는, 헤드부(30)의 상대 이동에 따라서, 이하와 같은 스크라이브 라인(SL)이 형성된다.

예를 들어, 모터(43)가 정지된 상태에서, 모터(13)가 구동되면, 헤드부(30)가 정지된 상태에서, 보유 지지 유닛(10)이 진퇴 방향(도 1의 화살표 AR1 방향)으로 이동된다. 즉, 헤드부(30)는, 보유 지지 유닛(10)에 보유 지지된 취성 재료 기판(4)에 대해 진퇴 방향으로 상대 이동한다. 그로 인해, 취성 재료 기판(4)의 상면에는, 이 진퇴 방향을 따른 스크라이브 라인(SL)(도 3 참조)이 형성된다.

한편, 모터(13)가 정지된 상태에서, 모터(43)가 구동되면, 보유 지지 유닛(10)이 정지된 상태에서, 헤드부(30)가 왕복 방향(도 2의 화살표 AR2 방향)으로 이동된다. 즉, 헤드부(30)는, 보유 지지 유닛(10)에 보유 지지된 취성 재료 기판(4)에 대해 왕복 방향으로 상대 이동한다. 그로 인해, 취성 재료 기판(4)의 상면에는, 이 왕복 방향을 따른 스크라이브 라인(SL)(도 3 참조)이 형성된다.

또한, 각 모터(13, 43)의 동작 상태가, (1) 모터(43)가 정지되고, 모터(13)가 구동된 상태로부터, (2) 모터(13)가 정지되고, 모터(43)가 구동된 상태로 변화되면, 헤드부(30)의 이동 방향이, 캐스터 효과에 의해 취성 재료 기판(4)과 평행한 진퇴 방향(제1 수평 방향)으로부터 왕복 방향(제2 수평 방향)으로 변화된다. 즉, 스크라이빙 휠(50)이 취성 재료 기판(4)과 접촉한 상태에서, 스크라이빙 휠(50)의 날끝(52a)의 방향이 90도 변경된다. 그로 인해, 취성 재료 기판(4)의 상면에는, 대략 L자 형상의 스크라이브 라인(SL)(도 3 참조)이 형성된다.

또한, 모터(13, 43)가 동시에 회전하는 경우, 헤드부(30)의 진행 방향은, 진퇴 방향(화살표 AR1 방향) 및 왕복 방향(화살표 AR2 방향)에 대해 기울어진 상태로 된다. 그로 인해, 취성 재료 기판(4)의 상면에는, 진퇴 방향 및 왕복 방향에 대해 기울어진 상태의 스크라이브 라인(SL)(도 3 참조)이 형성된다. 또한, 모터(13, 43)의 회전수가 변화되는 경우, 곡선 형상의 스크라이브 라인(SL)(도 3 참조)이 형성된다.

여기서, 본 실시 형태에 있어서 , 대략 L자 형상의 스크라이브 라인이 형성되도록 취성 재료 기판(4)에 수직 크랙(K)(도 3 참조)을 발생시키는 것을 「L자 스크라이브」라고도 한다.

또한, 할단의 경우에는, 브레이크 장치(도시 생략)에 의해, 취성 재료 기판(4)의 주면 중, (1) 스크라이브 라인(SL)이 형성된 주면(이하, 단순히, 「형성면」이라고도 함)과, (2) 형성면과 반대측의 주면에 대해, 응력이 부여된다. 그로 인해, 스크라이브 공정에 있어서 취성 재료 기판(4)에 발생한 수직 크랙(K)은, 형성면과 반대측의 면까지 진전되어, 취성 재료 기판(4)이 절단된다(브레이크 공정).

또한, 분단의 경우에는, 스크라이브 공정에 의해, 깊은 수직 크랙(K)이 형성된다. 그로 인해, 브레이크 장치(도시 생략)는 필요해지지 않고, 스크라이브 공정만으로 취성 재료 기판(4)이 절단된다.

<5. 본 실시 형태에 있어서의 스크라이빙 휠의 이점>

이상과 같이, 본 실시 형태의 스크라이빙 휠(50)은, 다결정체 다이아몬드제이며, 이 다결정체 다이아몬드는, 미세한 결정립 조직, 또는 비정질을 갖는 그라파이트형 탄소 물질을 출발 물질로 하여, 초고압 고온하에서 직접적으로 다이아몬드로 변환 소결되어 있다. 또한, 다결정체 다이아몬드는, 극미량의 질소 등이 포함되어 있는 경우가 있지만, 실질적으로 다이아몬드만으로 이루어지고, 다결정체 다이아몬드에는 의도적으로 다른 물질이 첨가되어 있지 않다.

이에 의해, 다결정체 다이아몬드에 의해 형성된 스크라이빙 휠(50)은, 상온에 있어서의 경도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 고온하에 있어서의 기계적 특성도 향상시킬 수 있다. 그로 인해, 스크라이빙 휠(50)의 가일층의 장기 수명화를 실현할 수 있다.

<6. 변형예>

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형이 가능하다.

(1) 본 실시 형태에 있어서, 날끝(52a)의 각 부분에는, 의도적으로 형성된 요철이 없는 것으로서 설명하였지만(도 6 및 도 7 참조), 날끝(52a)의 형상은 이것에 한정되는 것은 아니다. 도 8은 도 6의 A 부분의 확대도이다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 날끝(52a)은 돌기부(54)를 갖는 동시에, 날끝(52a)에는, 홈(53)과, 능선(54a)이 형성되어 있다.

복수의 홈(53)은, 날끝(52a)에 형성된 측면에서 볼 때 대략 V자 형상의 오목부이며, 레이저 가공, 방전 가공, 또는 연삭 가공 등의 종래 공지의 가공 방법에 의해 형성된다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 인접하는 홈(53)은, 날(52)의 외주를 따라 원하는 피치 P만큼 이격되어 형성되어 있다.

단, 본 실시 형태의 스크라이빙 휠(50)은, 상술한 바와 같이 소직경[1 내지 5(㎜)]이어서, 홈(53)의 형성에는 가공 정밀도가 요구된다. 그로 인해, 홈(53)의 가공 방법으로서는 레이저 가공이 권장되고, 사용되는 레이저광으로서는 예를 들어 YAG 고주파 레이저, 탄산가스 레이저, 그린 레이저, UV 레이저, 펨트초레이저를 들 수 있다.

복수의 돌기부(54)는, 도 8에 도시하는 바와 같이, 날(52)의 최외주부를 따라 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 각 돌기부(54)는, 날끝(52a)을 따라 형성된 복수의 홈(53) 중, 인접하는 홈(53) 사이에 설치되어 있다.

이와 같이, 날끝(52a)은 복수의 돌기부(54)를 갖고 있고(도 8 참조), 취성 재료 기판(4)의 절단(분단 또는 할단)은, 각 돌기부(54)가 취성 재료 기판(4)에 접촉함으로써(파고 들어감으로써) 실현된다.

또한, 상술한 바와 같이, 스크라이빙 휠(50)은, 다결정체 다이아몬드에 의해 성형되어 있다. 이에 의해, 상온에 있어서의 스크라이빙 휠(50)의 경도 및 고온하에 있어서의 스크라이빙 휠(50)의 기계적 특성이 향상된다.

그로 인해, 스크라이빙 휠(50)이 절단 대상으로 되는 취성 재료 기판(4)에 접촉된 상태에서, 스크라이빙 휠(50)의 진행 방향이 변화되는 경우라도, 날끝(52a)의 각 돌기부(54)가 결손되는 것을 유효하게 방지할 수 있다. 그로 인해, 스크라이빙 휠(50)의 가일층의 장기 수명화가 실현된다.

또한, 도 8에는, 도시 사정상, 3개의 홈(53) 및 4개의 돌기부(54)만이 기재되어 있다. 또한, 날끝(52a)에 형성되어 있는 복수의 홈(53)은, 마이크로미터 오더로 의도적으로 가공된 것이다. 따라서, 복수의 홈(53)은, 날끝(52a) 형성시의 연삭 가공에 의해 필연적으로 형성되는 연삭 조흔과는 구별되는 것이다.

또한, 날끝(52a)에 형성되는 홈(53)의 깊이 Dp[환언하면 돌기부(54)의 높이 : 도 8 참조]는, 통상 1 내지 60(㎛), 바람직하게는 1 내지 20(㎛)[더욱 바람직하게는, 1 내지 15(㎛)]의 범위이다. 홈(53)의 깊이 Dp가 1㎛ 이상(특히는 2㎛ 이상)으로 되는 스크라이빙 휠(50)에 의해, 연속해서 스크라이브 라인(SL)이 형성된 경우에는, 수직 크랙(K)이 원하는 깊이 이상으로 되는 스크라이브 라인(SL)의 길이(이하, 단순히, 「유효 절삭 길이」라고도 함)를 충분히 확보할 수 있다. 한편, 가공성의 점으로부터, 깊이 Dp는 60㎛ 이하로 설정된다.

또한, 인접하는 홈(53) 사이의 피치 P(도 8 참조)는, 통상 10 내지 200(㎛), 바람직하게는 50 내지 200(㎛)[더욱 바람직하게는, 70 내지 170(㎛)]의 범위이다. 인접하는 홈(53) 사이의 피치 P가, 10㎛보다 작은 경우에는, 스크라이빙 휠(50)의 날끝(52a)의 마모가 커져, 내구성이 저하되는 경우가 있다. 한편, 이 피치 P가 200㎛보다 큰 경우에는, 양호한 수직 크랙(K)을 취성 재료 기판(4)에 형성할 수 없는 경우가 있다.

또한, 인접하는 홈(53) 사이에 형성되는 능선(54a)의 길이 L(도 8 참조)은, 바람직하게는 25 내지 150(㎛)[또한, 깊은 수직 크랙을 형성시키는 면에서 바람직하게는, 25 내지 75(㎛), 한편, 할단면 또는 분할면의 품질면에서 바람직하게는, 25 내지 120(㎛)]의 범위이다. 이 능선(54a)의 길이 L이 25㎛보다 작은 경우에는, 충분한 유효 절삭 길이를 확보할 수 없어, 스크라이빙 휠(50)의 수명이 짧아진다고 하는 문제가 발생한다.

또한, 능선(54a)의 길이 L에 대한 홈(53)의 폭 W의 비율 Rt(＝W/L)은, 통상 0.2 내지 5.0, 바람직하게는 0.5 내지 5.0(또한, 깊은 수직 크랙을 형성시키는 점에서, 바람직하게는 1.0 내지 3.5, 한편 할단면 또는 분할면의 품질면에서, 바람직하게는 0.5 내지 1.0)의 범위이다. 이 경우, 유효 절삭 길이를 충분히 확보할 수 있다.

(2) 또한, 날끝(52a)에 형성되는 복수의 홈(53)의 형상은, 측면에서 볼 때 대략 V자 형상으로 한정되는 것은 아니다. 도 9 내지 도 11은, 스크라이빙 휠(50)의 날끝(52a)에 형성된 홈(53)의 다른 예를 도시하는 도면이다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 홈(53)은, 예를 들어 측면에서 볼 때 사다리꼴 형상의 오목부라도 좋다. 또한, 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같이, 측면에서 볼 때 원호 형상 또는 직사각 형상의 오목부라도 좋다.

1 : 스크라이브 장치
4 : 취성 재료 기판
10 : 보유 지지 유닛
20 : 스크라이브 유닛
50 : 스크라이빙 휠
51 : 본체부
52 : 날
52a : 날끝
53 : 홈
54 : 돌기부
90 : 제어 유닛
K : 수직 크랙
SL : 스크라이브 라인

Claims

다결정체 다이아몬드제의 스크라이빙 휠이며,
(a) 원반 형상의 본체부와,
(b) 상기 본체부의 외주에 설치된 원환상의 날과,
(c) 상기 날의 최외주부를 따라 설치된 날끝을 구비하고,
상기 날의 두께는, 상기 본체부의 중심으로부터 상기 날끝을 향해 작아지고,
상기 다결정체 다이아몬드는,
미세한 결정립 조직, 또는 비정질을 갖는 그라파이트형 탄소 물질을 출발 물질로 하여, 초고압 고온하에서 직접적으로 다이아몬드로 변환 소결된 것이고,
실질적으로 다이아몬드만으로 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는, 스크라이빙 휠.
제1항에 있어서, 상기 날끝은,
(b-1) 상기 최외주부를 따라 설치된 복수의 돌기부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는, 스크라이빙 휠.
제1항 또는 제2항에 기재된 스크라이빙 휠을, 취성 재료 기판에 대해, 압접 구름 이동시킴으로써 상기 취성 재료 기판 상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 유닛과,
상기 취성 재료 기판을 보유 지지하면서, 보유 지지된 상기 취성 재료 기판을 스크라이브 유닛에 대해 상대적으로 이동시키는 보유 지지 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는, 스크라이브 장치.