JP2006073882A - 光電変換装置及び該光電変換装置を用いた撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上記目的を達成するために、半導体基板に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に形成された配線層と、該配線層上に形成された層内レンズ10を有する光電変換装置であって、配線層上に第1の絶縁層4が形成され、該第1の絶縁層4と前記層内レンズ10間に前記第1の絶縁層と層内レンズの界面における反射を低減させるための第2の絶縁層9を有することを特徴とする光電変換装置を提供する。
【選択図】 図7
Description
本発明の第1の実施例を図7にて説明する。背景技術において説明した、図2の構成と同様の機能を有する場合には、同様の符号を付し説明は省く。本図は単位画素の断面図である。半導体基板上に形成された光電変換素子と、第1の配線層1、第2の配線層2、および最上配線(第3の配線)層とを有し、最上配線層3上に、層間絶縁層としてのシリコン酸化膜4(屈折率1.4〜1.5)、シリコン窒化膜からなる層内レンズ10(屈折率1.9〜2.1)を有し、層内レンズとシリコン酸化膜間に界面での反射を低減させるための反射防止膜9を配している。層内レンズ10の直上にシリコン酸化膜と異なる屈折率を有する平坦化膜として形成される有機材料層5、該有機材料と同一の屈折率を有する有機材料より成るカラーフィルタ6、更に同一の屈折率を有する平坦層7とオンチップレンズ8により構成される光電変換装置である。そして、反射防止層の膜厚が0.05μm〜1.0μmである。ここで反射防止層とは、近接する膜と異なる屈折率を有し、膜と膜の界面で起こる反射を低減させることを目的として用いられるものである。
2・n・D=λ/2・(2・k−1)
(λ:波長,n:酸窒化シリコン膜の屈折率,k:任意の自然数)
の反射防止条件を満たす膜厚Dである。酸窒化シリコン膜の屈折率が1.6〜1.8程度であり、波長が可視光のおよそ0.4μm〜0.8μmであることを考慮すると、反射防止条件を満たす最低膜厚(上式でk=1に対応)は、およそ0.05μm〜0.1μm程度となる。光学特性、反射防止条件、製造ばらつきを考慮することにより、反射防止層として用いられる酸窒化シリコン膜の膜厚は0.05μm〜1.0μmに設定することが望ましい。
本発明の第2の実施例を図9にて説明する。本図は単位画素の断面図である。第1の実施例との差異は表面にオンチップレンズが形成されていない本図で示される構造においても本発明は有効である。
本発明の第3の実施例を図10にて説明する。本図は単位画素の断面図である。第1の実施例と異なる点は、更に、半導体基板表面に第2の反射防止膜が形成されている点である。本例では、半導体基板にシリコンが用いられる。第2の反射防止膜はシリコン基板表面のシリコン酸化物およびシリコン酸化物上に形成されるシリコン窒化物より成る。その膜厚は各々およそ5nm〜100nmの範囲となっている。この第2の反射防止膜により半導体基板表面の反射光成分すなわち干渉成分を低減することができ、さらに波長−透過率特性上のうねりを軽減することが可能となる。ただし、ここで用いられる反射防止膜は、層内レンズ下に用いられる第1の反射防止膜とは異なる層構成となっている。これは、第1の反射防止膜は、入射光及び第1の反射防止膜を透過した後に、第1の反射防止膜よりも下層の界面によって反射された反射光に対しても反射防止の機能を有している必要があり、第2の反射防止膜は、該第2の反射防止膜を透過した後には、半導体基板内の受光部等により、光は吸収されて光電変換されるため、第2の反射防止膜よりも下層(半導体基板)からの反射光を考慮する必要がないためである。すなわち、第一の反射防止膜は図6で示したような波長−透過率特性を改善するために設けられており、第2の反射防止膜はこの必要がないために構造が異なるのである。本発明は他の構成の反射防止膜にも適用されるものである。
図11は、本発明による固体撮像装置をカメラに応用する場合の回路ブロックの例を示したものである。撮影レンズ1002の手前にはシャッター1001があり、露出を制御する。絞り1003により必要に応じ光量を制御し、固体撮像装置1004に結像させる。固体撮像装置1004から出力された信号は信号処理回路1005で処理され、A/D変換器1006によりアナログ信号からディジタル信号に変換される。出力されるディジタル信号はさらに信号処理部1007で演算処理される。処理されたディジタル信号はメモリ1010に蓄えられたり、外部I/F1013を通して外部の機器に送られる。固体撮像装置1004、撮像信号処理回路1005、A/D変換器1006、信号処理部1007はタイミング発生部1008により制御される他、システム全体は全体制御部・演算部1009で制御される。記録媒体1012に画像を記録するために、出力ディジタル信号は全体制御部・演算部で制御される記録媒体制御I/F部1011を通して、記録される。
2 第二の配線層
3 第三の配線層
4 絶縁層
5 第一の平坦化層
6 カラーフィルタ
7 第二の平坦化層
8 オンチップレンズ
9 反射防止膜
10、401 層内レンズ
1001 シャッター
1002 撮影レンズ
1003 絞り
1004 固体撮像装置
1005 信号処理回路
1006 A/D変換器
1007 信号処理部
1008 タイミング発生部
1009 制御部・演算部
1010 メモリ部
1011 インターフェース部
1012 記録媒体
Claims (17)
- 半導体基板に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に形成された配線層と、該配線層上に形成された層内レンズを有する光電変換装置であって、前記配線層上に第1の絶縁層が形成され、該第1の絶縁層と前記層内レンズ間に前記第1の絶縁層と層内レンズの界面における反射を低減させるための第2の絶縁層を有することを特徴とする光電変換装置。
- 前記第2の絶縁層の膜厚が0.05μm〜1.0μmであることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記第2の絶縁層の屈折率が、前記層内レンズの屈折率と第1の絶縁層の屈折率の間の値であることを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。
- 前記層内レンズがシリコン窒化膜からなり、前記第1の絶縁層がシリコン酸化膜からなり、前記第2の絶縁層が酸窒化シリコン膜からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記酸窒化シリコン膜の屈折率が1.6〜1.8であることを特徴とする請求項4に記載の光電変換装置。
- 前記第1の絶縁層がCMP法によって平坦化されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 更に、前記層内レンズ上にカラーフィルタを有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 更に、前記層内レンズ上にオンチップレンズを有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子の受光面上にシリコン酸化膜、あるいはシリコン窒化膜、あるいはその両者を用いて構成される受光面での反射を低減させる膜を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 半導体基板に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に形成された配線層と、該配線上に形成された層内レンズを有する光電変換装置であって、前記配線層上に第1の絶縁層が形成され、前記層内レンズと前記第1の絶縁層の間に、該層内レンズと第1の絶縁層の界面での反射を低減させるための第1の反射防止膜が形成され、前記光電変換素子の受光面上に、第2の絶縁層が形成され、前記受光面と第2の絶縁層の界面での反射を低減させるための第2の反射防止膜が形成されており、前記第1の反射防止膜と第2の反射防止膜は膜構成が異なることを特徴とする光電変換装置。
- 前記層内レンズはシリコン窒化膜からなり、前記第1の反射防止膜は酸窒化シリコン膜、前記第2の反射防止膜はシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、もしくはシリコン酸化膜、シリコン窒化膜の積層構造となっていることを特徴とする請求項7に記載の光電変換装置。
- 前記第1の絶縁層がCMP法によって平坦化されていることを特徴とする請求項10または11に記載の光電変換装置。
- 半導体基板に形成された光電変換素子と、該光電変換素子上に形成された配線層と、該配線上に形成された層内レンズを有する光電変換装置であって、前記配線層上に第1の絶縁層が形成され、該第1の絶縁層と前記層内レンズ間に第2の絶縁層を有し、該第2の絶縁層の膜厚が0.05μm〜1.0μmであることを特徴とする光電変換装置。
- 前記第2の絶縁層の屈折率が、前記層内レンズの屈折率と前記第1の絶縁層の屈折率の間の値であることを特徴とする請求項13に記載の光電変換装置。
- 前記第2の絶縁層の屈折率が1.6〜1.8であることを特徴とする請求項14に記載の光電変換装置。
- 前記第1の絶縁層がCMP法によって平坦化されていることを特徴とする請求項13〜15のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 請求項1〜16のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、該固体撮像装置へ光を結像する光学系と、該固体撮像装置からの出力信号を処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008210868A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Canon Inc | 光電変換装置およびその製造方法 |
US7732884B2 (en) | 2008-02-18 | 2010-06-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device and method of manufacturing the same |
JP2014041921A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Toshiba Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2014090172A (ja) * | 2011-02-09 | 2014-05-15 | Canon Inc | 光電変換素子およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
JP2014168098A (ja) * | 2014-05-19 | 2014-09-11 | Sony Corp | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法、電子機器 |
JP2016178148A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 三菱電機株式会社 | 光電変換素子およびその製造方法 |
WO2017131009A1 (ja) | 2016-01-29 | 2017-08-03 | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 | 固体撮像装置 |
KR20170110818A (ko) * | 2016-03-24 | 2017-10-12 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센서 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11103036A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JPH11103037A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP2002314057A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Canon Inc | 固体撮像装置の製造方法及び固体撮像システム |
JP2003204050A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2003229553A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Sharp Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003332547A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2006013522A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Samsung Electronics Co Ltd | イメージセンサー及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-09-03 JP JP2004257254A patent/JP4871499B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11103036A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JPH11103037A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP2002314057A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Canon Inc | 固体撮像装置の製造方法及び固体撮像システム |
JP2003204050A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2003229553A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Sharp Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003332547A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2006013522A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Samsung Electronics Co Ltd | イメージセンサー及びその製造方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008210868A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Canon Inc | 光電変換装置およびその製造方法 |
US7732884B2 (en) | 2008-02-18 | 2010-06-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device and method of manufacturing the same |
US8390088B2 (en) | 2008-02-18 | 2013-03-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device |
JP2014090172A (ja) * | 2011-02-09 | 2014-05-15 | Canon Inc | 光電変換素子およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
US9204068B2 (en) | 2012-08-22 | 2015-12-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid-state photodiode imaging device and method of manufacturing the same |
JP2014041921A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Toshiba Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2014168098A (ja) * | 2014-05-19 | 2014-09-11 | Sony Corp | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法、電子機器 |
JP2016178148A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 三菱電機株式会社 | 光電変換素子およびその製造方法 |
WO2017131009A1 (ja) | 2016-01-29 | 2017-08-03 | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 | 固体撮像装置 |
CN108604590A (zh) * | 2016-01-29 | 2018-09-28 | Towerjazz松下半导体有限公司 | 固体摄像装置 |
JPWO2017131009A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2018-11-22 | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社 | 固体撮像装置 |
US10734433B2 (en) | 2016-01-29 | 2020-08-04 | Towerjazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd. | Solid-state imaging device |
KR20170110818A (ko) * | 2016-03-24 | 2017-10-12 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센서 |
KR102472276B1 (ko) | 2016-03-24 | 2022-11-29 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 이미지 센서 |
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