JP2006073770A - エピタキシャル成長用基板の製造方法 - Google Patents
エピタキシャル成長用基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006073770A JP2006073770A JP2004255018A JP2004255018A JP2006073770A JP 2006073770 A JP2006073770 A JP 2006073770A JP 2004255018 A JP2004255018 A JP 2004255018A JP 2004255018 A JP2004255018 A JP 2004255018A JP 2006073770 A JP2006073770 A JP 2006073770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sapphire substrate
- epitaxial growth
- main surface
- nitride semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【課題】 サファイヤ基板への結晶成長の核となる部分を、より簡便な方法によって提供すること。
【解決手段】サファイヤ基板1の主面上に凹凸パターン3を形成して窒化物半導体単結晶4のエピタキシャル成長用基板を製造する方法において、該サファイヤ基板1の主面に研磨を行って該主面の平坦度をRa=1nm以下にした後、該サファイヤ基板1の主面にパルスレーザ2を集光照射して、該集光照射箇所に形成されるドットからなる凹凸パターン3を、該サファイヤ基板1の主面全体に形成することを特徴とする、エピタキシャル成長用基板の製造方法である。
【選択図】 図2
Description
本実施形態は、例えば図2に示すように、サファイヤ基板1とパルスレーザ2を用いた、エピタキシャル成長用基板の製造方法である。
2 パルスレーザ
2a パルスレーザ光源
2b レンズ
2c 焦点
3 凹凸パターン
4 窒化物半導体単結晶
Claims (3)
- サファイヤ基板の主面上に凹凸パターンを形成して窒化物半導体単結晶のエピタキシャル成長用基板を製造する方法において、
該サファイヤ基板の主面に研磨を行って該主面の平坦度をRa=1nm以下にした後、
該サファイヤ基板の主面にパルスレーザを集光照射して、該集光照射箇所に形成されるドットからなる凹凸パターンを、該サファイヤ基板の主面全体に形成することを特徴とする、
エピタキシャル成長用基板の製造方法。 - 該パルスレーザのパルス幅が150fs〜1psであることを特徴とする、請求項1に記載のエピタキシャル成長用基板の製造方法。
- 該凹凸パターンが縞、格子、同心円、螺旋であることを特徴とする、請求項1及び2に記載のエピタキシャル成長用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004255018A JP2006073770A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | エピタキシャル成長用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004255018A JP2006073770A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | エピタキシャル成長用基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006073770A true JP2006073770A (ja) | 2006-03-16 |
Family
ID=36154064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004255018A Pending JP2006073770A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | エピタキシャル成長用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006073770A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003277194A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-02 | Kyocera Corp | 単結晶サファイア基板およびその製造方法 |
JP2004128445A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-04-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
JP2004200234A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Hoya Advanced Semiconductor Technologies Co Ltd | 半導体及び半導体基板、その製造方法、並びに半導体素子 |
-
2004
- 2004-09-02 JP JP2004255018A patent/JP2006073770A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003277194A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-02 | Kyocera Corp | 単結晶サファイア基板およびその製造方法 |
JP2004128445A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-04-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
JP2004200234A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Hoya Advanced Semiconductor Technologies Co Ltd | 半導体及び半導体基板、その製造方法、並びに半導体素子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11911842B2 (en) | Laser-assisted method for parting crystalline material | |
JP7320130B2 (ja) | 緩和された正の湾曲を有する炭化ケイ素ウェーハを処理するための方法 | |
JP5802943B2 (ja) | エピタキシャル成長用内部改質基板の製造方法および多層膜付き内部改質基板の製造方法 | |
TWI489016B (zh) | Single crystal substrate, single crystal substrate manufacturing method, multi-layer single-crystal substrate manufacturing method and component manufacturing method | |
JP2009061462A (ja) | 基板の製造方法および基板 | |
CN1894446A (zh) | 大面积、均匀低位错密度GaN衬底及其制造工艺 | |
JP5129740B2 (ja) | 単結晶サファイア基板 | |
US10053796B2 (en) | Method for manufacturing group III nitride substrate formed of a group III nitride crystal | |
JP2008150284A (ja) | 窒化物半導体基板及びその製造方法 | |
KR20120109618A (ko) | 결정성막, 디바이스, 및, 결정성막 또는 디바이스의 제조방법 | |
WO2013176291A1 (ja) | 複合基板、発光素子および複合基板の製造方法 | |
WO2015193955A1 (ja) | 窒化物半導体単結晶基板の製造方法 | |
CN105026625A (zh) | GaN衬底及GaN衬底的制造方法 | |
JP6405767B2 (ja) | 窒化ガリウム基板 | |
JP2008037665A (ja) | 窒化ガリウムの結晶成長方法 | |
WO2017216997A1 (ja) | 窒化物半導体テンプレート、窒化物半導体テンプレートの製造方法および窒化物半導体自立基板の製造方法 | |
US6902989B2 (en) | Method for manufacturing gallium nitride (GaN) based single crystalline substrate that include separating from a growth substrate | |
CN109148260B (zh) | 激光标记的刻印方法、带激光标记的硅晶片及其制造方法 | |
JP2006073770A (ja) | エピタキシャル成長用基板の製造方法 | |
JP2003277194A (ja) | 単結晶サファイア基板およびその製造方法 | |
JP4015849B2 (ja) | 窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP2006165070A (ja) | 窒化物半導体結晶の製造方法 | |
JP2006124249A (ja) | ダイヤモンドcvd成長用基板 | |
TWI775106B (zh) | 雷射標記的印刷方法及具有雷射標記的矽晶圓的製造方法 | |
JP2006073769A (ja) | エピタキシャル成長用基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100129 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100607 |