JP2006073469A - 電子放出素子の製造方法及び電子放出素子 - Google Patents
電子放出素子の製造方法及び電子放出素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006073469A JP2006073469A JP2004258598A JP2004258598A JP2006073469A JP 2006073469 A JP2006073469 A JP 2006073469A JP 2004258598 A JP2004258598 A JP 2004258598A JP 2004258598 A JP2004258598 A JP 2004258598A JP 2006073469 A JP2006073469 A JP 2006073469A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- electron
- emitting device
- manufacturing
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
【課題】安定した形状の導電性膜を形成でき、持って導電性膜抵抗のばらつきを抑制する。
【解決手段】画像形成装置の一構成である背面基板上に複数の電子放出素子を製造する方法において、前記背面基板上に第1の電極22、第2の電極23を対向して形成する工程と、基板全面に感光性撥水液を付与する工程と、露光により導電性膜形成予定部を親水部とした後、導電性膜形成用塗布液を付与して導電性膜形成予定部に導電性膜25を形成する工程と、焼成の後、前記第1・第2の電極間のセンターラインに位置する前記導電性膜25を選択的に除去し電子放出用ギャップ24を形成する工程を具備することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【選択図】 図5
【解決手段】画像形成装置の一構成である背面基板上に複数の電子放出素子を製造する方法において、前記背面基板上に第1の電極22、第2の電極23を対向して形成する工程と、基板全面に感光性撥水液を付与する工程と、露光により導電性膜形成予定部を親水部とした後、導電性膜形成用塗布液を付与して導電性膜形成予定部に導電性膜25を形成する工程と、焼成の後、前記第1・第2の電極間のセンターラインに位置する前記導電性膜25を選択的に除去し電子放出用ギャップ24を形成する工程を具備することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【選択図】 図5
Description
本発明は、画像表示装置に使用される電子放出素子の製造方法及び電子放出素子に関する。
近年、次世代の画像表示装置として、電子放出素子を多数並べ、蛍光面と対向配置させた平面型画像表示装置の開発が進められている。電子放出素子には様々な種類があるが、何れも基本的に電界放出を用いており、これらの電子放出素子を用いた表示装置は、一般にフィールド・エミッション・ディスプレィ(以下、FEDと称する)と呼ばれている。FEDの内、表面伝導型電子放出素子を用いた表示装置は、表面伝導型電子放出ディスプレィ(以下、SEDと称する)とも呼ばれているが、本願においてはSEDも含む総称としてFEDという用語を用いる。
FEDは、一般に、所定のギャップを置いて対向配置された前面基板及び背面基板を有し、これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周縁部同士を互に接合することにより真空外囲器を構成している。真空容器の内部は、高真空度に維持されている。また、背面基板及び前面基板に加わる大気圧荷重を支えるために、これらの基板の間には複数の支持部材が配設されている。
ところで、前面基板の内面には赤、青、緑の蛍光体層を含む蛍光面が形成され、背面基板の内面には、蛍光体を励起した発光させる電子を放出する多数の電子放出素子が設けられている。また、多数の走査線および信号線がマトリックス状に形成され、各電子放出素子に接続されている。蛍光面にはアノード電圧が印加され、電子放出素子から出た電子ビームがアノード電圧により加速されて蛍光面に衝突することにより、蛍光体が発光し映像が表示される。
前記電子放電素子は、従来、次のようにして製造されている。
まず、背面基板上に絶縁膜を介して走査線に接続する第1の電極、信号線に接続する第2の電極を夫々対向して形成する。次に、これらの電極を洗浄した後、シランカップリング剤を用いて撥水処理を行う。つづいて、第1の電極、第2の電極間に両電極に接続するように導電膜形成用材料を含む液をインクジェットにより滴下する。ひきつづき、導電性膜形成用材料を焼成した後、同材料を選択的に除去して電子放出用ギャップ(電子放出部)を形成した導電性膜を有する電子放出素子を製造する。
まず、背面基板上に絶縁膜を介して走査線に接続する第1の電極、信号線に接続する第2の電極を夫々対向して形成する。次に、これらの電極を洗浄した後、シランカップリング剤を用いて撥水処理を行う。つづいて、第1の電極、第2の電極間に両電極に接続するように導電膜形成用材料を含む液をインクジェットにより滴下する。ひきつづき、導電性膜形成用材料を焼成した後、同材料を選択的に除去して電子放出用ギャップ(電子放出部)を形成した導電性膜を有する電子放出素子を製造する。
現在、基板上に電子放出素子を製造する技術としては、例えば特許文献1が知られている。
特開2004−79526
従来の電子放出素子の製造方法において、導電性膜の形状は、導電性膜を形成するためのインクジェットによる着弾精度、インクジェットインキと撥水性を有する下地との接触角、及び導電性膜形成用材料の焼成方法によって大きく左右され、導電性膜抵抗のばらつきが大きくなる問題がある。
具体的には、例えば、上記したインクジェットによる着脱精度等の理由により、図7に示すように、電極1a,1b間に形成する導電性膜2が一方の電極1b側に寄って形成されることがある。こうしたケースでは、導電性膜2を選択的に除去する際、電極1a,1b間のセンターライン(図中の点線L)に沿って導電性膜2をトリミングするように設定されているため、導電性膜2に形成すべき電子放出用ギャップ3が導電性膜2の中央部を切断するように形成されない。従って、導電性膜は、例えば電極1aよりも電極1b側に片寄り、素子膜抵抗のばらつきが大きくなるという問題が生じる。このばらつきは、高精細なパネルになるにしたがってより大きくなる。
本発明はこうした事情を考慮してなされたもので、安定した形状の導電性膜を形成でき、持って導電性膜抵抗のばらつきを抑制しえる電子放出素子の製造方法及び電子放出素子を提供することを目的とする。
本発明に係る電子放出素子の製造方法は、画像形成装置の一構成である背面基板上に複数の電子放出素子を製造する方法において、前記背面基板上に第1の電極、第2の電極を対向して形成する工程と、基板全面に感光性撥水液を付与する工程と、露光により導電性膜形成予定部を親水部とした後、導電性膜形成用塗布液を付与して導電性膜形成予定部に導電性膜を形成する工程と、焼成の後、前記第1・第2の電極間の略センターラインに位置する前記導電性膜を選択的に除去し電子放出用ギャップを形成する工程を具備することを特徴とする。
上記電子放出素子の製造方法において、「第1・第2の電極間の略センターラインに位置する前記導電性膜を選択的に除去し」とは、第1・第2の電極間のセンターラインに位置する導電性膜を選択的に除去する他、前記センターラインから多少第1の電極側又は第2の電極側に移動した所に位置する導電性膜を選択的に除去する場合も含むことを意味する。
また、本発明に係る電子放出素子は、画像形成装置の一構成である背面基板上に形成される電子放出素子において、前記背面基板上に対向して形成された第1・第2の電極と、これら第1・第2の電極間に両電極と接続するように形成された、電子放出用ギャップを有した導電性膜とを具備し、前記導電性膜は、前記第1・第2の電極間及び電極領域に、両電極間のセンターラインを基準にして略2分割されるように形成されていることを特徴とする。
上記電子放出素子において、「前記導電性膜は、前記第1・第2の電極間及び電極領域に、両電極間のセンターラインを基準にして略2分割されるように形成されている」とは、導電性膜がセンターラインを基準にしてちょうど2分割されて両電極間の領域及びこれらの電極領域に形成されている場合の他、導電性膜がセンターラインから多少第1の電極側又は第2の電極側にずれて分割されて両電極間の領域及び両電極領域に形成されている場合も含むことを意味する。
本発明によれば、安定した形状の導電性膜を形成でき、持って導電性膜抵抗のばらつきを抑制しえる電子放出素子の製造方法及び電子放出素子を提供できる。
まず、図面を参照しながら本発明の電子放出素子を備えたFEDの実施の形態について説明する。
図1及び図2は、本発明の実施の形態に共通のFEDの構造を示す。このFEDは、夫々矩形状のガラスからなる前面基板11及び背面基板12を備え、両基板は1〜2mmのギャップを置いて対向配置されている。前面基板11及び背面基板12は矩形形状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が10−4Pa程度以下の高真空に維持された偏平な矩形状の真空外囲器14を構成している。
図1及び図2は、本発明の実施の形態に共通のFEDの構造を示す。このFEDは、夫々矩形状のガラスからなる前面基板11及び背面基板12を備え、両基板は1〜2mmのギャップを置いて対向配置されている。前面基板11及び背面基板12は矩形形状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が10−4Pa程度以下の高真空に維持された偏平な矩形状の真空外囲器14を構成している。
前面基板11の内面には蛍光面15が形成されている。この蛍光面15は、赤、青、緑の蛍光体層とマトリックス状の遮光層とで構成されている。蛍光面15上には、アノード電極として機能するメタルバック層16が形成されている。表示動作時、メタルバック層16には所定のアノード電圧が印加される。
背面基板12の内面上には、蛍光体層を励起するための電子ビームを放出する多数の電子放出素子17が設けられている。これらの電子放出素子17は、画素毎に対応して複数列及び複数行に配列されている。電子放出素子17は、後述する図4に示すようにマトリクス状に配設されたX方向配線及びY方向配線により駆動される。また、前面基板11及び背面基板12の間には、これらの基板に作用する大気圧を支持するため、板状あるいは柱状に形成された多数のスペーサ20が配置されている。
前記電子放出素子17は、図4〜図6に示すような構成となっている。ここで、図4は複数の電子放出素子のX方向配線(走査線)18、Y方向配線(信号線)19との接続状態を示す配線図、図5は図4の要部の拡大図、図6は図4のX−X線に沿う断面図を示す。前記電子放出素子17は、背面基板12上に絶縁膜21を介して対向して形成された第1の電極22,第2の電極23と、これら第1・第2の電極22,23間に両電極と接続するように形成された、電子放出用ギャップ24を有した導電性膜25とを具備し、前記導電性膜25の中心部は、前記第1・第2の電極22,23極間のセンターラインL上に位置している。
図3は、前面基板11、特に蛍光面15の平面図を示す。蛍光面15は、赤、青、緑に発光する多数の矩形状の蛍光体層R,G,Bを有している。前面基板11の長手方向を第1方向X、これと直交する方向を第2方向Yとした場合、蛍光体層R,G,Bは、第1方向Xに所定のギャップをおいて繰り返し配列され、第2方向Yには同一色の蛍光体層が所定のギャップをおいて配列されている。なお、このギャップは、製造誤差の範囲内であるいは設計の微調整の範囲内で変化しており、一定値であるとは限らない。前記蛍光面15は、前面基板11の周縁部に沿って延びた矩形枠部26a、及び矩形枠部26aの内側で蛍光体層R,G,Bの間をマトリックス状に延びたマトリックス部26bからなる遮光層を有している。
本発明において、前記感光性撥水液としては、例えばエポキシ基を有するシランカップリング剤に光酸発生剤及びラジカル発生剤を含む溶液(前者)、あるいはエポキシ基を有するヘキサメチルジシラザンシランカップリング剤(HMDS)に光酸発生剤及びラジカル発生剤を含む溶液(後者)が挙げられる。
前者のケースの場合、下記化1に示すようにシランカップリング剤の化学反応が生じる。即ち、エポキシ基を有するシランカップリング剤及び光酸発生剤の混合液を基板にスピンコートし、パターン露光すると、混合液による感光性撥水膜で求核反応が起こり、光が当った部分はエポキシ基が光酸発生剤により開環し親水部となり、光が当らなかった部分は疎水部となる。つまり、親水部で接触角が小さくなり、疎水部で接触角が大きくなる。
例えば、シランカップリング剤として下記化2に示すサイラエース S530、感光剤(酸発生)として下記化2に示すNAI−105、NDS−103を夫々用いて、接触角を求めたところ、次のような結果が得られた。
(1)NAI−105:トルエン溶媒、S530=1.6%、感光剤=0.05%で、
SiO2基板上で、62°、−32°の接触角 → 接触角差Δ30°
Pt基板上で、61°、−45°の接触角 → 接触角差Δ16°
(2)NDS−103:エタノール溶媒、S530=1.6%、感光剤=0.05%
SiO2基板上で、73°、−51°の接触角 → 接触角差Δ22°
(1)NAI−105:トルエン溶媒、S530=1.6%、感光剤=0.05%で、
SiO2基板上で、62°、−32°の接触角 → 接触角差Δ30°
Pt基板上で、61°、−45°の接触角 → 接触角差Δ16°
(2)NDS−103:エタノール溶媒、S530=1.6%、感光剤=0.05%
SiO2基板上で、73°、−51°の接触角 → 接触角差Δ22°
後者のケースの場合、下記化3に示すようなシランカップリング剤の化学反応が生じる。即ち、シランカップリング処理した基板に光酸発生剤をスピンコートし、パターン露光すると、露光部のシランカップリングを脱離させ、光が当った部分は親水部となり、光が当らなかった部分は疎水部となる。
先に述べたエポキシ基を有するシランカップリング剤としては、例えば下記化4の(1)式に示す3−グリシドキシプロトリメトキシシラン、あるいは化4の(2)式に示す2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランが挙げられる。(2)式のシランカップリング剤の場合、構造的に歪により開環しやすい。
前記感光性撥水液には、上記シランカップリング剤、光酸発生剤の他、更に増感剤を含有させることが好ましい。これにより、露光部における親水化を促進させることができる。なお、光酸発生剤の量を多くすることによっても同様な効果が期待できる。また、前記感光性撥水液には更に塩基を含有させることが好ましい。ここで、塩基添加により拡散した酸を失活させることができる。更に、前記感光性撥水液にバインダーを含有させることが好ましい。ここで、バインダーとしては、例えばポリビニルピロリドンが挙げられる。バインダーの添加により、光酸発生剤の拡散を防止することができる。
本発明において、前記光酸発生剤としては、例えば下記化5に示すジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルホニウム(DTS−102)(式(1))、ジフェニル−4−チオフェノキシフェニルスルフォニウム(DTS−103)(式(2))、4−メトキシーα[[[4−メチルフェニル]スルフォニル]−オキシ]イミノ]ベンゼンアセトニトリル(PAl−101)(式(3))、1,8−ナフサリミディルトリフレート(NAl−105)(式(4))、4−ヒドロキシ−1−ナフチル)ジメチルスルフォニウムフルオロアンチモネート(NDS−103)(式(5))、4,7−ジヒドロキシ−1−ナフチル)ジメチル−スルフォニウムトリレート(NDS−165)(式(6))、4,8−ジヒドロキシ−ナフチル)ジメチル−スルフォニウムトリフレート(NDS−155)(式(7))が挙げられる。
次に、前記電子放出素子の具体的な製造方法について説明する。
(実施例1)
図8(A)〜(D)を参照する。但し、図1〜図6と同部材は同符番を付して説明する。
まず、背面基板としてのガラス基板12上に、Agからなる下層配線31を形成した。つづいて、下層配線31の周囲に絶縁層32を形成した後、Agからなる上層配線(図示せず)、及び図5に示したような第1の電極22、第2の電極23を夫々対向して形成した。更に、基板全面に感光性撥水液を付与した。具体的には、エポキシ系シランカップリング剤としての2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、及び光酸発生剤としての1,8−ナフタルイミジルトリフレートの混合液を基板12にスピンコートし、処理層33を形成した(図8(A)参照)。なお、図8(A)では、実際は基板12と処理層33等の間に絶縁層が形成されているが、便宜上省略している。
(実施例1)
図8(A)〜(D)を参照する。但し、図1〜図6と同部材は同符番を付して説明する。
まず、背面基板としてのガラス基板12上に、Agからなる下層配線31を形成した。つづいて、下層配線31の周囲に絶縁層32を形成した後、Agからなる上層配線(図示せず)、及び図5に示したような第1の電極22、第2の電極23を夫々対向して形成した。更に、基板全面に感光性撥水液を付与した。具体的には、エポキシ系シランカップリング剤としての2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、及び光酸発生剤としての1,8−ナフタルイミジルトリフレートの混合液を基板12にスピンコートし、処理層33を形成した(図8(A)参照)。なお、図8(A)では、実際は基板12と処理層33等の間に絶縁層が形成されているが、便宜上省略している。
次に、素子膜形成予定部に対応する部分に開口部34aを有したマスク34を用いて、i線(波長356nm)35を基板12に照射することにより露光を行った(図8(B)参照)。この露光により露光部と未露光部で接触角差(Δ50°)を変えた。即ち、光が当った親水部36では、光が当らない疎水部37に比べてインクの濡れ性がよい状態になった。この後、前記マスク34を取り除いた(図8(C)参照)。
次に、インクジェット(IJ)により、導電性膜形成予定部に導電性膜形成用塗布液を付与して導電性膜38を形成した。この際、導電性膜形成予定部(親水部に相当)には周辺の箇所(疎水部に相当)からの塗布液が集まり易く、親水部にのみ導電性膜38が形成できる。更に、焼成を行った後、前記第1の電極22と第2の電極23間のセンターラインに位置する前記導電性膜38を選択的に除去し電子放出用ギャップ24を形成して電子放出素子を製造した(図8(D)参照)。
上記実施例1によれば、ガラス基板12上に下層配線31、上層配線、第1・第2の電極22,23等を形成し、更にエポキシ系カップリング剤及び光酸発生剤の混合液を基板全面にスピンコートして処理層33を形成した後、露光により露光部と未露光部で接触角差を変えて親水部36と疏水部37を基板表面で分離させるため、導電性膜38を形成したい部分のみインクジェットによるインキの濡れ性がよく、必要な部分にのみインキを塗布することができる。このように、実施例1による方法により得られた電子放出素子においては、図5に示すように、前記導電性膜38の中心部が、前記第1・第2の電極22,23間のセンターラインL上に位置するように導電性膜38を形成できるので、安定した素子膜形状が得られ、素子膜抵抗のバラツキを抑制できる。
(実施例2)
図9(A)〜(D)、図10及び図11を参照する。但し、図1〜図6、図8と同部材は同符番を付して説明する。
まず、実施例1と同様に、背面基板としてのガラス基板12上に、Agからなる下層配線31、絶縁層32、Agからなる上層配線41、第1の電極22、Agからなる第2の電極23を夫々形成した。つづいて、基板表面をシランカップリング剤としてのHMDSで処理し、HMDS層42を形成した。更に、光酸発生剤としての4−メトキシ−α[[[4−メチルフェニル]サルフォニル]−オキシ]イミノ]ベンゼンアセトニトリルを基板12にスピンコートし、光酸発生剤層43を形成した(図9(A)、図10参照)。なお、図9(A)では、実際は基板12とHMDS層42等の間に絶縁層が形成されているが、便宜上省略している。
図9(A)〜(D)、図10及び図11を参照する。但し、図1〜図6、図8と同部材は同符番を付して説明する。
まず、実施例1と同様に、背面基板としてのガラス基板12上に、Agからなる下層配線31、絶縁層32、Agからなる上層配線41、第1の電極22、Agからなる第2の電極23を夫々形成した。つづいて、基板表面をシランカップリング剤としてのHMDSで処理し、HMDS層42を形成した。更に、光酸発生剤としての4−メトキシ−α[[[4−メチルフェニル]サルフォニル]−オキシ]イミノ]ベンゼンアセトニトリルを基板12にスピンコートし、光酸発生剤層43を形成した(図9(A)、図10参照)。なお、図9(A)では、実際は基板12とHMDS層42等の間に絶縁層が形成されているが、便宜上省略している。
図10は、図9(A)の概略的な平面図を示す。図10において、第1の電極22は上側に位置する上層配線(図4の配線18に相当)41と電気的に接続されている。また、第2の配線23は、図示しない上層配線(図4の配線19に相当)と電気的に接続されている。
次に、素子膜形成予定部に対応する部分に開口部34aを有したマスク34を用いて、i線(波長356nm)35を基板12に照射することにより露光を行った(図9(B)参照)。この露光により露光部と未露光部で接触角差(Δ47°)を変えた。即ち、光が当った親水部36では、光が当らない疎水部37に比べてインクの濡れ性がよい状態になった。この後、前記マスク34を取り除いた(図9(C)参照)。
次に、インクジェットにより、導電性膜形成予定部に導電性膜形成用塗布液を付与して導電性膜38を形成した。この際、導電性膜形成予定部(親水部に相当)には周辺の箇所(疎水部に相当)からの塗布液が集まり易く、親水部にのみ導電性膜38が形成できる。更に、焼成を行った後、前記第1の電極22と第2の電極23間のセンターラインに位置する前記導電性膜38を選択的に除去し電子放出用ギャップ24を形成して電子放出素子を製造した(図9(D)及び図11参照)。図11において、一点鎖線の部分が導電性膜38を示し、電子放出用ギャップ24は便宜上図示していない。
上記実施例2によれば、ガラス基板12上に下層配線31、上層配線41、第1・第2の電極22,23等を形成し、HMDS層41を形成した後、更にこの上に光酸発生剤層42を形成してから、露光により露光部と未露光部で接触角差を変えて親水部36と疏水部37を基板表面で分離させるため、導電性膜38を形成したい部分のみインクジェットによるインキの濡れ性がよく、必要な部分にのみインキを塗布することができる。従って、図5に示すように、前記導電性膜38の中心部が、前記第1・第2の電極22,23間のセンターラインL上に位置するように導電性膜38を形成できるので、安定した素子膜形状が得られ、素子膜抵抗のバラツキを抑制できる。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合せてもよい。
11…前面基板、12…背面基板、13…側壁、14…真空外囲器、15…蛍光面、16…メタルバック層、17…電子放出素子、18,19…配線、20…スペーサ、21,32…絶縁層、22…第1の電極、23…第2の電極、24…電子放出用ギャップ、25,38…導電性膜、31…下層電極、34…マスク、36…親水部、37…疎水部、41…HMDS層、42…光酸発生層。
Claims (8)
- 画像形成装置の一構成である背面基板上に複数の電子放出素子を製造する方法において、
前記背面基板上に第1の電極、第2の電極を対向して形成する工程と、基板全面に感光性撥水液を付与する工程と、露光により導電性膜形成予定部を親水部とした後、導電性膜形成用塗布液を付与して導電性膜形成予定部に導電性膜を形成する工程と、焼成の後、前記第1・第2の電極間の略センターラインに位置する前記導電性膜を選択的に除去し電子放出用ギャップを形成する工程を具備することを特徴とする電子放出素子の製造方法。 - 前記感光性撥水液は、エポキシ基を有するシランカップリング剤に光酸発生剤及びラジカル発生剤を含む溶液であることを特徴とする請求項1記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記感光性撥水液は、エポキシ基を有するヘキサメチルジシラザンシランカップリング剤に光酸発生剤及びラジカル発生剤を含む溶液であることを特徴とする請求項1記載の電子放出素子の製造形成方法。
- 前記感光性撥水液に増感剤を含有させることを特徴とする請求項2若しくは3いずれか記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記感光性撥水液に塩基を含有させることを特徴とする請求項2若しくは3いずれか記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記感光性撥水液にバインダーを含有させることを特徴とする請求項2若しくは3いずれか記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記バインダーはポリビニルピロリドンであることを特徴とする請求項6記載の電子放出素子の製造方法。
- 画像形成装置の一構成である背面基板上に形成される電子放出素子において、
前記背面基板上に対向して形成された第1・第2の電極と、これら第1・第2の電極間に両電極と接続するように形成された、電子放出用ギャップを有した導電性膜とを具備し、前記導電性膜は、前記第1・第2の電極間及び電極領域に、両電極間のセンターラインを基準にして略2分割されるように形成されていることを特徴とする電子放出素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004258598A JP2006073469A (ja) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | 電子放出素子の製造方法及び電子放出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004258598A JP2006073469A (ja) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | 電子放出素子の製造方法及び電子放出素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006073469A true JP2006073469A (ja) | 2006-03-16 |
Family
ID=36153844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004258598A Pending JP2006073469A (ja) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | 電子放出素子の製造方法及び電子放出素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006073469A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105573053A (zh) * | 2014-10-31 | 2016-05-11 | Jsr株式会社 | 具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用、组合物及感放射线性树脂组合物 |
KR20160052385A (ko) * | 2014-10-31 | 2016-05-12 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 친액부와 발액부를 갖는 기재의 제조 방법, 조성물, 도전막의 형성 방법, 전자 회로 및 전자 디바이스 |
JP2016087486A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | Jsr株式会社 | 親液部と撥液部を有する基材の製造方法、組成物、導電膜の形成方法、電子回路および電子デバイス |
-
2004
- 2004-09-06 JP JP2004258598A patent/JP2006073469A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016087486A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | Jsr株式会社 | 親液部と撥液部を有する基材の製造方法、組成物、導電膜の形成方法、電子回路および電子デバイス |
CN105573053A (zh) * | 2014-10-31 | 2016-05-11 | Jsr株式会社 | 具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用、组合物及感放射线性树脂组合物 |
KR20160052385A (ko) * | 2014-10-31 | 2016-05-12 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 친액부와 발액부를 갖는 기재의 제조 방법, 조성물, 도전막의 형성 방법, 전자 회로 및 전자 디바이스 |
JP2016087602A (ja) * | 2014-10-31 | 2016-05-23 | Jsr株式会社 | 親液部と撥液部を有する基材の製造方法、組成物、導電膜の形成方法、電子回路および電子デバイス |
CN105573053B (zh) * | 2014-10-31 | 2020-12-29 | Jsr株式会社 | 具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用及组合物 |
KR102289199B1 (ko) * | 2014-10-31 | 2021-08-11 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 친액부와 발액부를 갖는 기재의 제조 방법, 조성물 및 도전막의 형성 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7195943B2 (en) | Cold cathode field emission device and process for the production thereof, and cold cathode field emission display and process for the production thereof | |
US6387600B1 (en) | Protective layer during lithography and etch | |
US7115432B2 (en) | Base pattern forming material for electrode and wiring material absorption, electrode and wiring forming method, and method of manufacturing image forming apparatus | |
US7807334B2 (en) | Substrate having fine line, electron source and image display apparatus | |
JP2000215792A (ja) | 平面型表示装置の製造方法 | |
US7314768B2 (en) | Formation method of electroconductive pattern, and production method of electron-emitting device, electron source, and image display apparatus using this | |
US7858145B2 (en) | Method of manufacturing electroconductive member pattern, and methods of manufacturing electron source and image displaying apparatus each using the same | |
JP2006073469A (ja) | 電子放出素子の製造方法及び電子放出素子 | |
EP1492147A1 (en) | Method for patterning thick-film paste material layer, method for manufacturing cold-cathode field electron emission device, and method for manufacturing cold-cathode field electron emission display | |
US5827624A (en) | Mask modification for focal plane on contact photolithography tool | |
CN1744796B (zh) | 导电性图形的制造方法及其应用 | |
JP4401245B2 (ja) | 冷陰極電子源の製造方法 | |
JP4115360B2 (ja) | 電子放出素子の製造方法および画像表示装置の製造方法 | |
JP2596308B2 (ja) | 電界放出形陰極を有する画像表示装置およびその製造方法 | |
KR100322966B1 (ko) | 전계방출 표시소자의 제조방법 | |
US7067236B2 (en) | Method of manufacturing member pattern, method of manufacturing wiring structure, method of manufacturing electron source, and method of manufacturing image display device | |
JP3943999B2 (ja) | 平板型表示素子のスペーサの形成方法 | |
KR100759376B1 (ko) | 삼극관형 전계 방출 표시 장치의 제조방법 | |
US20060214558A1 (en) | Image display device | |
JP2000168043A (ja) | スクリーン印刷機および方法ならびに画像形成装置の製造方法 | |
JP2002163945A (ja) | 導電性膜及び画像形成装置の製造方法 | |
JP3880551B2 (ja) | 配線構造体の製造方法、電子源の製造方法、及び、画像表示装置の製造方法 | |
KR20060029079A (ko) | 전자방출소자의 제조방법 | |
KR20000002649A (ko) | 전계방출표시소자용 스페이서의 고정방법 | |
JP2002208345A (ja) | 冷陰極電界電子放出素子の製造方法、及び、冷陰極電界電子放出表示装置の製造方法 |