JP2006070309A5 - 蒸着用るつぼ、蒸着装置および光学薄膜の蒸着方法 - Google Patents

蒸着用るつぼ、蒸着装置および光学薄膜の蒸着方法 Download PDF

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Description

本発明は、蒸着対象物に蒸着材料を蒸着する際に用いられる蒸着用るつぼ、蒸着装置および光学薄膜の蒸着方法に関するものである。
第５の発明は、焼結体ペレットが装填された上記第１〜第４の発明のうちのいずれか１つに記載の蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着するものである。
第６の発明は、上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路となる溝を、前記るつぼ用凹部の内壁面に形成したものである。
第７の発明は、上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路となる孔を、前記冷却用ハースに形成したものである。
第８の発明は、上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置を用いて光学薄膜を蒸着する方法において、前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路が形成されており、前記電子ビームによる加熱、溶融は、前記焼結体ペレットの上層部全体に溶融部が広がるように行なわれ、前記溶融部から発生した気体を前記通路を通して外部に放出させるものである。
第９の発明は、前記蒸着材料が、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化イットリウムの群から選ばれる少なくとも１種の金属酸化物を含有するものである。

Claims (9)

  1. 上方および下方が開放し、蒸着材料からなる焼結体ペレットを収容する空洞部を有する蒸着用るつぼにおいて、
    前記蒸着用るつぼの外周面に、蒸着るつぼの上面と下面を接続するガス抜き用切欠部を形成したことを特徴とする蒸着用るつぼ。
  2. 請求項１記載の蒸着用るつぼにおいて、
    ガス抜き用切欠部が溝または平坦面であることを特徴とする蒸着用るつぼ。
  3. 請求項１または２記載の蒸着用るつぼにおいて、
    ガス抜き用切欠部が蒸着用るつぼの外周面に複数形成されていることを特徴とする蒸着用るつぼ。
  4. 請求項３記載の蒸着用るつぼにおいて、
    複数のガス抜き用切欠部が蒸着用るつぼの外周面の周方向に等間隔おいて形成されていることを特徴とする蒸着用るつぼ。
  5. 焼結体ペレットが装填された請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着することを特徴とする蒸着装置。
  6. 上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、
    前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路となる溝を、前記るつぼ用凹部の内壁面に形成したことを特徴とする蒸着装置。
  7. 上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、
    前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路となる孔を、前記冷却用ハースに形成したことを特徴とする蒸着装置。
  8. 上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置を用いて光学薄膜を蒸着する方法において、
    前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路が形成されており、
    前記電子ビームによる加熱、溶融は、前記焼結体ペレットの上層部全体に溶融部が広がるように行なわれ、
    前記溶融部から発生した気体を前記通路を通して外部に放出させることを特徴とする光学薄膜の蒸着方法。
  9. 前記蒸着材料は、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化イットリウムの群から選ばれる少なくとも１種の金属酸化物を含有することを特徴とする請求項８記載の光学薄膜の蒸着方法。
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