JP2006068859A - ロ−タリ−テ−ブル装置およびそれを備えるロ−タリ−研削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ロ−タリ−テ−ブル上に固定されたワ−ク（例えば、軸受の台座）をロ−タリ−研削加工して表面粗さが０．３μｍ以下と寸法精度のよい製品を与える。
【解決手段】 ロ−タリ−電磁チャック３ａを支持する空気軸受の円筒状回転体３０２の横振れをできる限り小さくするために、円筒状回転体３０２底部に固定した円板状案内板３０８の底部凹壁を主軸３０６の上部に設けられたフランジ部３０６ａ側壁外部に水平方向に固定したゴム被覆案内ピン３０６ｂで引っ掛けて前記円筒状回転体３０２を回転可能とし、電磁チャック３ａの横触れを防止した。また、平面研削装置３のツ−ルテ−ブル２００として油ポケット八面拘束の特殊構造の油静圧直動案内機構６０を用いる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、研削装置や旋盤、切削装置等の工作機械に備え付けられるのロ−タリ−テ−ブル装置に関し、このロ−タリ−テ−ブル装置の回転チャック上にワ−クを固定し、回転チャックを回転しながらドリルや砥石車等の工作ツ−ルを用いて回転しているワ−クを機械加工するのに用いる。本発明はまた、そのロ−タリ−テ−ブル装置を備えるロ−タリ−研削装置に関する。

研削装置や切削装置において、ワ−クを固定するロ−タリ−テ−ブルが備え付けられている（例えば、特許文献１参照。）。
例えば、図７に門型ＣＮＣロ−タリ−平面研削装置１を示す。このロ−タリ−平面研削装置１において、２は平面研削装置、３はロ−タリ−テ−ブル装置、４はフレ−ム、３１はロ−タリ−電磁チャック、５は砥石頭、６は砥石車、９は砥石カバ−、５０は操作パネル、５５は２点式寸法測定器である。前記ロ−タリ−テ−ブル装置３は図に示されていないサ−ボモ−タの駆動により回転されるスピンドルの上に回転テ−ブルを設け、更に円板状の電磁チャック３ａが前記スピンドル軸芯上に固定されている。ロ−タリ−電磁チャック３ａは矢印Ｒの方向に回転する。ロ−タリ−テ−ブル装置３の前記サ−ボモ−タ等の回転駆動機構は、前記フレ−ム４内に収納される。３ｂはテ−ブル水除け半閉カバ−であり、ワ−クの電磁チャック３ａ上への搬入、電磁チャック３ａ上からの取り出しのために半円状に走行可能である。

砥石頭５は、サ−ボモ−タ１７の回転駆動を受けてボ−ルネジ１６を回転駆動させることにより砥石車６を前記ロ−タリ−テ−ブル装置３方向に向かって門型案内レ−ル上をスライドして前後方向（Ｘ軸方向）に移動させる移動機構、図には示されていない砥石軸を回転させるビルド・イン・モ−タ、および、砥石軸を上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させる昇降機構１０を備える。

操作パネル５０は、電源の切／入ボタン、ロックボタン、テ−ブル回転数表示器、砥石軸負荷表示器、砥石軸回転数表示器、砥石軸回転数設定ダイヤル等を備えたパネル５１、図形対話画面表示器と数字／アルファベッド文字入力キィ−等を備えるパネル５２と、研削条件を設定するダイヤルや、ボタン、プログラムストップ点滅灯や加工完了点滅灯やアラ−ム点滅灯、サイクルスタ−トボタン等々を備えたパネル５３よりなる。

ワ−クは、ロ−タリ−テ−ブル装置３の電磁チャック３ａ上に固定され、電磁チャックの水平方向の回転（Ｒ）によりワ−クは回転され、このワ−クの回転と、回転する砥石車６の上下方向（Ｚ軸方向）、前後方向（Ｘ軸方向）の相対的な動きによりワ−クは研削加工される。

ロ−タリ−テ−ブル装置の可動体（ロ−タリ−電磁チャック、あるいはそれをチャックするネジ穴を有する円型状チャック）の軸受として、ころがり軸受に代わってより摺動抵抗の小さい空気軸受が用いられるようになった。空気軸受としては、キャノン株式会社よりエア−ベアリングＡＢ−１００Ｒ（商品名）、米国ニュ−ウェイ社（NEWWAY Company Limited）よりフラットエアベアリング（商品名）、テクノハンズ株式会社よりエアスピンドルユニットSP-3681型（商品名）などが市販されている。空気軸受は、円筒状外側固定部の内側に円筒状回転体を非接触で内装し、この円筒状回転体の外側と前記円筒状外側固定部の内側とで形成される狭い気体通路に圧縮空気を供給管より供給し、前記円筒状回転体を円筒状固定部に非接触で支持するものである。ロ−タリ−テ−ブル装置は空気軸受の前記円筒状回転体上方のチャック穴部に丸型電磁チャック（例えば、カネテック株式会社の丸型電磁チャック ＲＭＣＷ（商品名）型をボルトで固定し、前記円筒状回転体下方に設けた回転駆動機構により円筒状回転体を回転駆動可能とし、丸型電磁チャックを水平方向（Ｒ方向）に回転させるものである。回転駆動機構のモ−タとしては、サ−ボモ−タあるいはビルト・イン・モ−タが使用されている。（例えば、非特許文献１参照。）。
特開２０００−３４３４２４号公報 高分解能型エアスピンドルユニット"、〔オンライン〕、テクノハンズ株式会社（ｃ）2003、インタ−ネット<URL:http://www.technohands.co.jp/Thproducts/airspindle.html>

前記の丸型電磁チャックを固定する円筒状回転体を空気軸受で非接触支持するロ−タリ−テ−ブル装置は、円筒状回転体が回転している間、円筒状回転体と円筒状外側固定部間に空気膜は存在するが両者間には直接の摩擦力が作用しないので振動等の外乱により軸振れを生じ易い欠点がある。それゆえ、研削加工されたワ−ク（例えば、軸受の間座）の平面粗さが０．８〜１．０μｍの加工精度であり、更に市場では、平面粗さが０．１〜０．５μｍの加工精度、好ましくは、０．３μｍ以下のワ−クを要求している。本発明の目的の第一は、軸振れの小さいロ−タリ−テ−ブル装置の提供にある。本発明の第二は、ロ−タリ―研削装置のツ−ルテ−ブルの真直度を向上させ、平面粗さが０．１〜０．５μｍの加工精度のワ−クを提供することにある。

請求項１の発明は、円筒状外側固定部３０１の内側に円筒状回転体３０２をその上下が円筒状外側固定部より突出するように非接触で内装し、この円筒状回転体の外側と前記円筒状外側固定部の内側とで形成される狭い気体通路に圧縮空気を供給管３０３より供給し、前記円筒状回転体を円筒状固定部に非接触で支持する空気軸受、この空気軸受の側壁外周および底部を囲繞する軸受ハウジング材３０４、前記円筒状回転体３０２下部に固定される底部に対称的に２箇所の凹部３０８ａを有する円板状案内板３０８、前記円筒状回転体３０２上部に固定される丸型電磁チャック３ａよりなるロ−タリ−テ−ブル３００、
および、
前記軸受ハウジング材３０４を支持する中央が円筒状体３０９ａの主軸ハウジング材３０９、該主軸ハウジング材の中央円筒状体３０９ａ内に設けられた上方部にフランジ部３０６ａを備える主軸３０６、該主軸を水平方向に回転させる回転機構３０５（モ−タ３０５ａ、プ−リ−３０５ｂ，３０５ｄ、ベルト３０５ｃ）、該主軸３０６上に該主軸の軸心３０６ｃ前記空気軸受の円筒状回転体の軸心３０２ａとが同一直線上の位置に在るように前記主軸を軸受するころがり軸受３０７、主軸上部に設けられたフランジ部３０６ａ側壁外面に水平方向に固定され、かつ、主軸３０６回転時に前記円板状案内板３０８の凹部３０８ａ壁に触れてロ−タリ−テ−ブルの円筒状回転体３０２を回転させる１対の案内ピン３０６ｂ、を備える主軸装置３１０、
よりなるロ−タリ−テ−ブル装置を提供するものである。

請求項２の発明は、前記請求項１に記載のロ−タリ−テ−ブル装置３、および、該ロ−タリ−テ−ブル装置の丸型電磁チャック３ａに対し、上下方向に昇降可能な砥石頭５を前後方向に移動可能に設置したツ−ルテ−ブル２００を備える研削装置２とからなるロ−タリ−研削装置１において、前記ツ−ルテ−ブル２００は、一対のレ−ル部分１３ａ，１３ｃを上面に有するガイド本体１００を非接触に滑走する、滑走面に油ポケットを有するスライド本体２００であり、このガイド本体１００とスライド本体２００とから静圧直動案内装置６０を構成し、
前記ガイド本体１００は、ベッド１１の上面に左右対称に４条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設け、外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当て板１４ａ，１４ｂを内方に向けて前記第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第二凹部レ−ル１３ｃを設けたガイド本体１００であり、
スライド本体２００は、そのテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１００に設けられた内側の突起体１２ｂ，１２ｃの上面に当接するとともに、ガイド本体１に設けられた当て板１４ａ，１４ｂの内側面に外側面が対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より外側に向けてガイド本体１００の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向する当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造のスライド本体２００であり、
前記ガイド本体１００の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの上面と、スライド本体２００の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２００の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２００の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの内側面とスライド本体２００の当て板２３ａの右側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１００の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの内側面とスライド本体２００の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、
前記ガイド本体１００の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２００の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１０の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２００の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設け、
前記スライド本体２００の第一摺動面３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内機構６０であることを特徴とする、ロ−タリ−研削装置１を提供するものである。

主軸３０６のフランジ部側壁外面に設けた案内ピン３０６ｂが、主軸の回転時にロ−タリ−テ−ブルの円筒状回転体３０２底部に固定された前記円板状案内板３０８の凹部底壁を引っ掛けて回転するので、中空スピンドルの横振れが矯正され、寸法精度のよい機械加工ワ−クが得られる。また、ロ−タリ−研削装置１のツ−ルテ−ブル２００の直動案内部を油ポケット位置が８面拘束の特殊な油静圧軸受構造６０としたことにより、ワ−ク研削加工時に外部からの塵や埃が油静圧軸受に浸入するのが防がれるとともに、直動案内部の油ポケット位置を滑走体の上下左右対称に設けたことによりツ−ルテ−ブルの横揺れが防止され、真直度が０．３μｍ／８００ｍｍと小さくなり、研削加工ワ−クの寸法精度が向上する。

以下、図を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図１はロ−タリ−平面研削装置の正面図、図２はロ−タリ−平面研削装置の平面図、図３はロ−タリ−平面研削装置の部分側面図、図４はロ−タリ−テ−ブル装置の拡大断面図、図５は円板状案内板を底部方向から見た平面図、および図６は油静圧直動案内機構の斜視図である。

図１、図２および図３に示すロ−タリ−平面研削装置１において、２は平面研削装置、３はロ−タリ−テ−ブル装置、４はフレ−ムである。平面研削装置２は、砥石車６を砥石軸７に回転自在に備える砥石頭５、砥石軸７を回転させるビルドインモ−タ８、砥石頭５を後述するツ−ルテ−ブル２００上に起立させたコラム９、砥石頭５を上下方向に昇降させる昇降機構１０（昇降モ−タ１０ａ、昇降スライド１０ｂ、昇降ガイド１０ｃ）、前記砥石頭５を前後方向に移動させる油静圧直動案内機構６０を備える。

図１、図３および図６に示すように、平面研削装置２の油静圧直動案内機構６０は、ツ−ルテ−ブル（スライド本体）２００、ガイド本体１００、油供給管１４、油ポケット４１，４２，４３，４４、ボ−ルネジ１６、サ−ボモ−タ１７、プ−リ−１８ａ，１８ｂ、トルクシンクロベルト１８ｃ、および螺合体１９を備える。ツ−ルテ−ブル２００はガイド本体１００に対し非接触で滑走する。

図６に示すように、油静圧直動案内機構６０は、一対のレ−ル部分１３ａ，１３ｃを上面に有するガイド本体１００と、滑走面に油ポケット４１，４２，４３，４４を有するスライド本体２００とからなる。

前記ガイド本体１００は、ベッド１１の上面に左右対称に４条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設け、外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当て板１４ａ，１４ｂを内方に向けて前記第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第二凹部レ−ル１３ｃを設けたガイド本体である。

スライド本体２００は、そのテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１００に設けられた内側の突起体１２ｂ，１２ｃの上面に当接するとともに、ガイド本体１００に設けられた当て板１４ａ，１４ｂの内側面に外側面が対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より外側に向けてガイド本体１００の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向る当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造を採る。

前記ガイド本体１００の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの上面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、
前記ガイド本体１００の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２００の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、
前記ガイド本体１００の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２００の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、
前記ガイド本体１００の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの内側面とスライド本体２００の当て板２３ａの右側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの内側面とスライド本体２の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、
前記ガイド本体１００の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２００の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設け、
前記スライド本体２００の第一摺動面３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設けてある。

スライド本体２００の各摺動面に設けられる油ポケットの位置、および数は、スライド本体２００がガイド本体１００上を滑走する際に、油ポケットに供給された潤滑油がスライド本体とガイド本体の摺動面ギャップを２〜１０μｍ（油圧５〜２５バ−ル）に保ち、両者が接触しないようにしている。スライド本体２００の第一摺動面３１，３１には左右各々９つの油ポケット４１が設けられ、第三摺動面３３，３３には各々２つの油ポケット４３が設けられ、第四摺動面３４ａ，３４ｂには各々２つの油ポケット４４が設けられ、スライド本体２の第二摺動面３２，３２には左右各々９つの油ポケット４２が設けられている。

ツ−ルテ−ブル（スライド本体）２００に設けられた各々の油ポケット４１，４２，４３，４４には、油圧ポンプ８３からコントロ−ラ８０に送り込まれる潤滑油の圧力・流量を静圧絞り弁８６で前記静圧油ポケット部の圧力が５〜２５バ−ル、好ましくは１０〜２２バ−ルとなるように調整し、静圧油ポケット部に接続ポ−ト、フィルタ、および配管を経由して供給され、スライド本体の浮上を最大２０μｍとし、ガイド本体１００とスライド本体２００の摺動面の隙間（ギャップ）が個々の油静圧ポケット部でのギャップがスライド本体の滑走時、２〜７μｍとなるように調整している。かかる静圧絞り弁およびポ−ト部を多数備えるコントロ−ラは、ションフェルド（Schonfeld GmbH in German）社よりPM-Flow Controllerの商品名で市販されており、このコントロ−ラはスライド本体の側壁に取り付ける構造となっており、その構造は、USP6276491、USP6220281に記載されている。潤滑油の供給量は、スライド本体の重量、寸法、移動速度、潤滑油の種類、設定圧により異なり、適宣０．２０〜４．５リットル／分の中から選択する。図６中、Ｍはモ−タ、８４は圧力計、８５はレリ−フ弁である。図６では、潤滑油の供給入り口の圧力は２５バ−ル、出口での圧力は０．８バ−ルを示す。

砥石軸７に回転自在に備えられた砥石車６は、砥石軸７をビルドインモ−タ８で回転駆動することにより砥石軸の軸心回りに回転される。また、砥石頭５を支持する昇降機構の昇降スライド１０ｂは、背面に螺合体が備え付けられ（図に示されていない）、昇降モ−タ１０ａの回転駆動を受け、図に示されていないボ−ルネジを回転させることによりこのボ−ルネジに螺合する前記螺合体の上下方向の動きを受けて昇降ガイド１０ｃ上を上下（Ｚ軸方向）に移動する。さらに、ツ−ルテ−ブル（スライド本体）２００は、サ−ボモ−タ１７の回転駆動をプ−リ−１８ａ、トルクシンクロベルト１８ｃ、プ−リ−１８ｃを介してボ−ルネジ１６に伝え、ボ−ルネジ１６の回転により前または後ろ方向（Ｘ軸方向）に移動する螺合体１９の動きに連れてロ−タリ−テ−ブル装置３に対し、ガイド本体１００上を非接触で前後方向（Ｘ軸方向）にスライドする。静圧直動案内装置６０のスライド本体２００を駆動する動力源は、油圧シリンダ、ボ−ルネジとサ−ボモ−タの組み合わせの他に、リニアモ−タを用いても良い。

ロ−タリ−テ−ブル装置３は、図１、図３および図４に示すようにフレ−ム４上に支持される。ロ−タリ−テ−ブル装置３は、ロ−タリ−テ−ブル３００と主軸装置３１０から主として構成される。

ロ−タリ−テ−ブル３００部分は、円筒状外側固定部３０１の内側に円筒状回転体３０２をその上下が円筒状外側固定部より突出するように非接触で内装し、この円筒状回転体の外側と前記円筒状外側固定部の内側とで形成される狭い気体通路に圧縮空気を供給管３０３より供給し、前記円筒状回転体を円筒状固定部に非接触で支持する空気軸受、この空気軸受の側壁外周および底部を囲繞する軸受ハウジング材３０４、前記円筒状回転体３０２下部に固定される底部に対称的に２箇所の凹部３０８ａを有し中央部３０８ｃが略円筒状に刳り貫かれた円板状案内板３０８、前記円筒状回転体３０２上部に丸型電磁チャック３ａを固定する。図４における３０２ｂは位置決めボルトであり、図１における３０３ａは圧縮空気供給用可撓性ホ−スである。

主軸装置３１０は、前記軸受ハウジング材３０４を支持する中央が円筒状体３０９ａの主軸ハウジング材３０９、該主軸ハウジング材の中央円筒状体３０９ａ内に設けられた上方部にフランジ部３０６ａを備える主軸３０６、該主軸を水平方向に回転させる回転機構３０５（モ−タ３０５ａ、プ−リ−３０５ｂ，３０５ｄ、ベルト３０５ｃ）、該主軸３０６上に該主軸の軸心３０６ｃ前記空気軸受の円筒状回転体の軸心３０２ａとが同一直線上の位置に在るように前記主軸を軸受するころがり軸受３０７、主軸上部に設けられたフランジ部３０６ａ側壁外面に水平方向に固定され、かつ、主軸３０６回転時に前記円板状案内板３０８の凹部３０８ａ壁に触れてロ−タリ−テ−ブルの円筒状回転体３０２を回転させる１対の案内ピン３０６ｂを備える。

図５に示すように、主軸上部に設けられたフランジ部３０６ａ側壁外面に水平方向に固定される案内ピン３０６ｂが円板状案内板３０８凹部底壁３０８ｂに触れる案内ピン頭部分は、円板状案内板との摩擦を高くするためゴム３１０ｅで被覆されるのが好ましい。かかるゴム素材としては、エチレン・プロピレン共重合体ゴム、エチレン・プロピレン・エチリデンノルボルネン共重合体ゴム、エチレン・プロピレン・ブタジエン共重合体ゴム、ウレタンエラストマ−、ブチルゴム、エチレン・プロピレン・イソプレン共重合体ゴム、イソブチレンゴム、クロロプレンゴム、水添スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体ゴム等のゴムが単独、または２種以上混合して用いられる。また、必要により、カ−ボンブラックや、低密度ポリエチレン、エチレン・酢酸ビニル共重合体のような低融点（６０〜１２３℃）熱可塑性樹脂が配合されることもある。

ロ−タリ−テ−ブル装置３の電磁チャック３ａの回転は、先ず、電磁チャック上にワ−クを固定し、ついで、可撓性ホ−ス３０３ａおよび空気導入管３０３を経由して圧縮空気を供給して円筒状回転体３０２の剛性を保ち、ついで、主軸装置３１０の主軸３０６を回転駆動機構３０５で回転させ、この主軸３０６の回転運動をロ−タリ−テ−ブル３００の円筒状回転体３０２に伝えることにより電磁チャック３ａは回転する。この主軸３０６の回転により主軸のフランジ３０６ａ側壁外面に水平方向に設けられたゴム被覆案内ピン３０６ｂは、円板状案内板の凹部底壁面に接触し、ゴム被覆案内ピン３０６ｂがあたかも凧糸のように円板状案内板３０８を連れ添って回転させる。

本発明のロ−タリ−テ−ブル装置は、主軸の上部フランジ側壁外部に設けた案内ピンが円板状案内板を連れ添って回転させる構造としたので、空気軸の横振幅も小さく抑えられる。さらに、ツ−ルテ−ブル側面の第一摺動面および第二摺動面に静圧油ポケットを設けているので当て板２３ａ，２３ｂに対して上下方向に作用する力がバランスし、また、スライド本体側面の第三摺動面および第四摺動面にも静圧油ポケットを設けているので当て板２３ａ，２３ｂに対して左右方向に作用する力がバランスし、静圧ギャップの変動が２〜６μｍと極めて小さくなり、直動案内装置の真直度も向上したので、表面粗さ０．１〜０．５μｍと超精密な研削加工ワ−クが得られる。

ロ−タリ−平面研削装置の正面図である。 ロ−タリ−平面研削装置の平面図である。 ロ−タリ−平面研削装置の部分側面図である。 ロ−タリ−テ−ブル装置の断面図である。 円板状案内板を底部方向から見た平面図である。 油静圧直動案内機構のツ−ルテ−ブル部分の斜視図である。 ロ−タリ−平面研削装置の斜視図である。（公知）

符号の説明

１ ロ−タリ−平面研削装置
２ 平面研削装置
３ ロ−タリ−テ−ブル装置
３ａ 丸型電磁チャック
４ フレ−ム
５ 砥石頭
６ 砥石車
７ 砥石軸
８ ビルドインモ−タ
９ コラム
１０ 昇降機構
６０ 油静圧直動案内機構
１００ ガイド本体
２００ スライド本体（ツ−ルテ−ブル）
３００ ロ−タリ−テ−ブル
３０６ 主軸
３０６ｂ案内ピン
３０８ 円板状案内板
３１０ 主軸装置

Claims (2)

1. 円筒状外側固定部３０１の内側に円筒状回転体３０２をその上下が円筒状外側固定部より突出するように非接触で内装し、この円筒状回転体の外側と前記円筒状外側固定部の内側とで形成される狭い気体通路に圧縮空気を供給管３０３より供給し、前記円筒状回転体を円筒状固定部に非接触で支持する空気軸受、この空気軸受の側壁外周および底部を囲繞する軸受ハウジング材３０４、前記円筒状回転体３０２下部に固定される底部に対称的に２箇所の凹部３０８ａを有する円板状案内板３０８、前記円筒状回転体３０２上部に固定される丸型電磁チャック３ａよりなるロ−タリ−テ−ブル３００、
   および、
   前記軸受ハウジング材３０４を支持する中央が円筒状体３０９ａの主軸ハウジング材３０９、該主軸ハウジング材の中央円筒状体３０９ａ内に設けられた上方部にフランジ部３０６ａを備える主軸３０６、該主軸を水平方向に回転させる回転機構３０５（モ−タ３０５ａ、プ−リ−３０５ｂ，３０５ｄ、ベルト３０５ｃ）、該主軸３０６上に該主軸の軸心３０６ｃ前記空気軸受の円筒状回転体の軸心３０２ａとが同一直線上の位置に在るように前記主軸を軸受するころがり軸受３０７、主軸上部に設けられたフランジ部３０６ａ側壁外面に水平方向に固定され、かつ、主軸３０６回転時に前記円板状案内板３０８の凹部３０８ａ壁に触れてロ−タリ−テ−ブルの円筒状回転体３０２を回転させる１対の案内ピン３０６ｂ、を備える主軸装置３１０、
   よりなるロ−タリ−テ−ブル装置。
2. 請求項１に記載のロ−タリ−テ−ブル装置３、および、該ロ−タリ−テ−ブル装置の丸型電磁チャック３ａに対し、上下方向に昇降可能な砥石頭５を前後方向に移動可能に設置したツ−ルテ−ブル２００を備える研削装置２とからなるロ−タリ−研削装置１において、前記ツ−ルテ−ブル２００は、一対のレ−ル部分１３ａ，１３ｃを上面に有するガイド本体１００を非接触に滑走する滑走面に油ポケットを有するスライド本体２００であり、このガイド本体１００とスライド本体２００とから静圧直動案内装置６０を構成し、
   前記ガイド本体１００は、ベッド１１の上面に左右対称に４条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設け、外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当て板１４ａ，１４ｂを内方に向けて前記第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第二凹部レ−ル１３ｃを設けたガイド本体１００であり、
   スライド本体２００は、そのテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１００に設けられた内側の突起体１２ｂ，１２ｃの上面に当接するとともに、ガイド本体１に設けられた当て板１４ａ，１４ｂの内側面に外側面が対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より外側に向けてガイド本体１００の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向する当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造のスライド本体２００であり、
   前記ガイド本体１００の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの上面と、スライド本体２００の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、
   前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２００の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、
   前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２００の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、
   前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの内側面とスライド本体２００の当て板２３ａの右側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１００の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの内側面とスライド本体２００の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、
   前記ガイド本体１００の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２００の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１０の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２００の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設け、
   前記スライド本体２００の第一摺動面３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設けて成る、
   静圧直動案内機構６０であることを特徴とする、ロ−タリ−研削装置１。

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