JP2006049895A - 半導体デバイス、半導体チップ及び半導体デバイス製造方法 - Google Patents
半導体デバイス、半導体チップ及び半導体デバイス製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
<100>方向に設定されたトランジスタを備える半導体・オン・インシュレータデバイスを提供する。
【解決手段】
半導体・オン・インシュレータデバイスは、絶縁層40上に位置する結晶方位が<100>のシリコン活性層30a〜30dを含む。絶縁層40は、結晶方位が<110>の基板10上に位置している。シリコン活性層30a〜30c上には、<100>方向に設定されたトランジスタ16,18が形成される。
【選択図】 図3
Description
11 マーク
12a,12b チップ
14 ノッチ
16c ゲート誘電体
16d ドレイン領域
16e ゲート電極
16g ゲート電極
16s ソース領域
17 ゲートスタック
18d ドレイン領域
18g ゲート電極
18s ソース領域
30 シリコン層
30a〜30d 活性領域
31 マーク
34 平面
36 溝
40 絶縁層
60 溝充填用誘電体
72 スペーサ
76 シリサイド
80 高応力膜
82 保護層
84 コンタクト
100 シリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板
Claims (20)
- 絶縁層、
前記絶縁層の第1の側面上に位置し、第1の結晶方位を有するシリコン活性領域、および、
前記絶縁層の第2の側面上に位置し、前記第1の結晶方位からずれている第2の結晶方位を有する基板
を含む半導体デバイス。 - 前記第1の結晶方位が<100>方向であり、前記第2の結晶方位が前記第1の結晶方位と平行な<110>方向であることを特徴とする請求項1記載の半導体デバイス。
- 前記シリコン活性領域および前記基板が(001)面の上面を備える請求項1記載の半導体デバイス。
- 前記シリコン活性領域が引っ張り歪みを有する請求項1記載の半導体デバイス。
- 前記シリコン活性領域が、実質的に前記<100>の結晶方位に沿った引っ張り歪みを有する請求項2記載の半導体デバイス。
- 前記シリコン活性領域上に形成され、歪みがかけられたチャネル領域を備える第1の導電型の第1のトランジスタをさらに含む請求項1記載の半導体デバイス。
- 前記歪みがかけられたチャネル領域が、ソース−ドレイン方向の引っ張り歪みを有する請求項6記載の半導体デバイス。
- 前記第1のトランジスタ上に形成され、約200MPa〜2GPaの応力を有する応力膜をさらに含む請求項4記載の半導体デバイス。
- 前記シリコン活性領域の厚さが20〜2000オングストロームである請求項7記載の半導体デバイス。
- 前記シリコン活性領域が、面取りされたコーナーまたは丸みのあるコーナーを備える請求項7記載の半導体デバイス。
- 絶縁層上に位置し、(001)面の上面を有すると共に結晶方位が<100>である第1および第2のシリコン活性領域、ならびに、
前記絶縁層下に位置し、結晶方位が<110>である基板を含み、
前記シリコン活性領域の前記<100>の方向が、前記基板の前記<110>の方向と実質的に平行である半導体チップ。 - 前記第1のシリコン活性領域上に形成される第1のNチャネルトランジスタ、および前記第2のシリコン活性領域上に形成される第1のPチャネルトランジスタをさらに含む請求項11記載の半導体チップ。
- 前記第1のNチャネルトランジスタおよび前記第1のPチャネルトランジスタが、歪みがかけられたチャネル領域をそれぞれ有する請求項12記載の半導体チップ。
- 前記基板が、(001)面の上面を有するシリコン基板である請求項13記載の半導体チップ。
- 前記シリコン活性領域の厚さが20〜300オングストロームである請求項11記載の半導体チップ。
- 前記第1のNチャネルトランジスタおよび前記第1のPチャネルトランジスタが、メサ分離法または浅いトレンチ分離法によって分離される請求項11記載の半導体チップ。
- 絶縁層上に位置し、(001)面の上面を有すると共に結晶方位が<100>である複数のシリコン活性領域を含んだ半導体構造を準備する工程、
前記絶縁層下に位置し、結晶方位が前記シリコン活性領域の前記<100>の方向と実質的に平行な<110>である基板を準備する工程、
前記シリコン活性領域のうちの少なくとも1つの上にゲートスタックを形成する工程、
前記ゲートスタックの隣の相反する側にソースおよびドレイン領域を形成して、ソース−ドレイン方向が前記シリコン活性領域の前記<100>の結晶方位と実質的に一致するトランジスタを形成する工程、ならびに、
少なくとも1つの前記トランジスタ上方に応力膜を形成する工程
を含む半導体デバイス製造方法。 - 前記応力膜上方に保護層を形成する工程、
前記保護層中にコンタクトホールを形成する工程、および、
前記トランジスタとの電気的なコンタクトを形成すべく前記コンタクトホールを導電材料で充填する工程
をさらに含む請求項17記載の半導体デバイス製造方法。 - 前記シリコン活性領域の厚さが20〜500オングストロームである請求項17記載の半導体デバイス製造方法。
- 前記シリコン活性領域どうしが、メサ分離法または浅いトレンチ分離法によって互いに分離される請求項17記載の半導体デバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/901,763 US7319258B2 (en) | 2003-10-31 | 2004-07-28 | Semiconductor-on-insulator chip with<100>-oriented transistors |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006049895A true JP2006049895A (ja) | 2006-02-16 |
Family
ID=36028017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005217268A Pending JP2006049895A (ja) | 2004-07-28 | 2005-07-27 | 半導体デバイス、半導体チップ及び半導体デバイス製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006049895A (ja) |
CN (1) | CN100477277C (ja) |
SG (1) | SG119256A1 (ja) |
TW (1) | TWI303862B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008016475A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2009535808A (ja) * | 2006-04-28 | 2009-10-01 | アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド | 引張歪みを有し、結晶方位に沿って方向付けられた、電荷キャリア移動度が増加したチャネルを有するトランジスタ |
JP2013157639A (ja) * | 2007-08-09 | 2013-08-15 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110420601B (zh) * | 2019-08-02 | 2021-11-26 | 南京宁智高新材料研究院有限公司 | 一种通过金刚石压砧定量处理工艺 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5139078B1 (ja) * | 1969-02-28 | 1976-10-26 | ||
JPH07335511A (ja) * | 1994-06-13 | 1995-12-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 張り合わせウエハ |
JP2002134374A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ、その製造方法およびその製造装置 |
WO2002043151A1 (en) * | 2000-11-22 | 2002-05-30 | Hitachi, Ltd | Semiconductor device and method for fabricating the same |
JP2003068844A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004087640A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2004140148A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-05-13 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0235819B1 (en) * | 1986-03-07 | 1992-06-10 | Iizuka, Kozo | Process for producing single crystal semiconductor layer |
JP2003209259A (ja) * | 2002-01-17 | 2003-07-25 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体チップ |
-
2004
- 2004-12-21 SG SG200407553A patent/SG119256A1/en unknown
-
2005
- 2005-07-27 JP JP2005217268A patent/JP2006049895A/ja active Pending
- 2005-07-28 TW TW94125614A patent/TWI303862B/zh active
- 2005-07-28 CN CNB2005100892495A patent/CN100477277C/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5139078B1 (ja) * | 1969-02-28 | 1976-10-26 | ||
JPH07335511A (ja) * | 1994-06-13 | 1995-12-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 張り合わせウエハ |
JP2002134374A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウェハ、その製造方法およびその製造装置 |
WO2002043151A1 (en) * | 2000-11-22 | 2002-05-30 | Hitachi, Ltd | Semiconductor device and method for fabricating the same |
JP2003068844A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2004087640A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2004140148A (ja) * | 2002-10-17 | 2004-05-13 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009535808A (ja) * | 2006-04-28 | 2009-10-01 | アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド | 引張歪みを有し、結晶方位に沿って方向付けられた、電荷キャリア移動度が増加したチャネルを有するトランジスタ |
JP2008016475A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2013157639A (ja) * | 2007-08-09 | 2013-08-15 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG119256A1 (en) | 2006-02-28 |
TWI303862B (en) | 2008-12-01 |
TW200625539A (en) | 2006-07-16 |
CN100477277C (zh) | 2009-04-08 |
CN1773727A (zh) | 2006-05-17 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071109 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080201 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A602 | Written permission of extension of time |
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A601 | Written request for extension of time |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080910 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081027 |
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A521 | Written amendment |
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A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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