JP2006043502A - 炭酸ガススノーを用いた洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学ローパスフィルターと言った圧電材料、及びこれらが組み込まれた基板などの洗浄装置を提供すること。
【解決手段】
上記目的を達成する為に本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、炭酸ガス源と連接されて炭酸ガススノーを被洗浄物に噴射する炭酸ガス噴射ノズルと、被洗浄物が洗浄装置内において軟エックス線を照射される軟エックス線照射装置をもつことを特徴とし、また、洗浄装置の内部底面の上面に粘着マットを載置する構造を有することを特徴とし、また、被洗浄物への軟エックス線の照射が搬入装置を除いた洗浄装置と排出装置の内部において行われる構造を有することを特徴として課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
したがって、本発明の目的は先述の問題を解決する炭酸ガススノーを用いた洗浄装置を提供することである。
2 洗浄装置
3 搬入装置
4 排出装置
5 炭酸ガス源
6 炭酸ガススノー
7 炭酸ガス噴射ノズル
8 水平昇降移動機構
9 軟エックス線照射装置
10 クリーンモジュール
11 洗浄装置の内部底面
12 粘着マット
Claims (6)
- 炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
炭酸ガス源と連接されて炭酸ガススノーを該被洗浄物に噴射する炭酸ガス噴射ノズルと、被洗浄物が該洗浄装置内において軟エックス線を照射される軟エックス線照射装置をもつことを特徴とする洗浄装置。 - 洗浄装置の内部底面の上面に粘着マットを載置する構造を有することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 被洗浄物への軟エックス線の照射が搬入装置を除いた洗浄装置と排出装置の内部において行われる構造を有することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 被洗浄物を洗浄装置内に順次供給する搬入装置、及び被洗浄物を該装置外に順次排出する排出装置をもつことを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 被洗浄物が洗浄装置の内部において、炭酸ガス噴射ノズルに対して水平方向、及び垂直方向に同時に移動する水平昇降移動機構をもつことを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 洗浄装置内部の空気を清浄に保つクリーンモジュールが該洗浄装置の上部に配置された構造を有することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
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