JP2006041092A - 熱処理方法及び熱処理装置、並びにマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスクを介して基板(試料)Pに光束を照射して、基板P表面の性質を変化させる熱処理方法であって、光束ELは、基板P表面上での所定方向に関して光強度勾配を有しており、マスクまたは基板Pには、所定方向及びその直交方向に関する、基板P表面における性質変化の起点を特定するためのパターンMPが形成されている。
【選択図】 図4
Description
また、本発明の別の目的は、所定物質の結晶化のための熱処理に用いられ、結晶の大粒径化を図るのに好ましいマスクを提供することにある。
本発明の熱処理方法は、マスク(M)を介して基板(P)に光束を照射して、前記基板表面の性質を変化させる熱処理方法であって、前記光束(EL)は、前記基板表面上での所定方向に関して光強度勾配を有しており、前記マスクまたは前記基板には、前記所定方向及びその直交方向に関する、前記基板表面における前記性質変化の起点を特定するためのパターン(MP)が形成されている、ことを特徴とする。
これにより、光束の光強度勾配に基づく基板表面の温度勾配により、上記パターンで特定される位置を起点として、結晶が良好に成長する。
この場合、マスクパターンの縁によって結晶の成長方向に関する起点の位置が特定され、上記縁の尖った部分によって上記成長方向と直交する方向に関する起点の位置が特定される。そして、結晶は、上記縁の尖った部分に形成される核を起点として、温度勾配に沿った方向に成長するとともに、その成長方向と直交方向にも広がりながら二次元的に成長する。マスクパターンに上記縁の尖った部分が複数形成されている場合には、尖った部分同士の間隔を十分に確保することにより、隣接する結晶同士の衝突や干渉を抑え、結晶の大粒径化を図ることができる。
この場合、マスクパターンの位置を変化させながら、基板表面にパルス発光光を複数回繰り返し照射することにより、1回のパルス発光光の照射では溶融が不十分だった領域のa−Siを溶融させ、結晶の成長距離を延ばすことが可能となる。
光束が周期的な強度分布を有することにより、光束の照射領域内の複数の箇所で光強度勾配が形成される。そして、強度分布の周期に応じて周期パターンが配列されていることにより、基板表面の複数の箇所で同時に結晶成長が進行する。その結果、処理速度(スループット)の向上が図られる。
これにより、基板表面の複数の箇所で異なる状態(例えば、粒径など)の結晶を生成することが可能となる。
また、本発明のマスクは、所定物質の結晶化のための熱処理に用いられ、結晶の大粒径化を図るのに適している。
図1は本発明の熱処理装置の一実施形態を示す概略構成図である。
図1において、熱処理装置Sは、パターンを有するマスクMを支持するマスクステージMSTと、試料Pを支持する試料ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されているマスクMに照射光(光束)ELを照射する照射装置ILと、照射光ELを照射されたマスクMのパターンの像を試料ステージPSTに支持されている試料Pに投影する投影光学系PLと、熱処理装置Sの動作を統括制御する制御装置CONTとを備えている。試料Pはガラス基板上にa−Si膜を設けたものである。なお、ガラス基板とa−Si膜との間に、照射光ELが照射された際のガラス基板の熱損傷を防止するために酸化珪素(SiO2)膜を設けてもよい。
図2に示すように、照射光ELは、試料Pの表面においてX軸方向に周期的な光強度分布を形成する。こうした周期的な光強度分布は、例えば、ステージの移動制御を用いたSLS(Sequential Lateral Solidification)法や、位相シフトマスク(PSM:Phase Shift Mask)を用いた方法により形成することができる。SLS法に関する技術は、例えば、特開2003−257855号公報等に記載されている。位相シフトマスクに関する技術は、例えば、特開2003−318127号公報等に記載されている。この他、光学系を用いて照射光を分割後に合成して周期的な光強度分布を形成した光束を試料に照射してもよい(例えば、特開2000−280302号公報等参照)。
図3において、マスクM上にはマスクパターンMPが形成されており、このマスクパターンMPは、X軸方向に所定の間隔(配列ピッチXp)で周期的に配列された複数の線状パターンLPを含む。マスクMは、ガラス等の光を透過する基板からなり、複数の線状パターンLPはそれぞれ、クロム等の遮光性材料からなる遮光部として設けられている。各線状パターンLPは、Y軸方向に直線状に延在するとともに、X軸方向の一方の縁が部分的に尖って形成されている。具体的には、各線状パターンLPの+X軸方向の縁の2箇所(尖部Pa、Pb)が、+X軸方向に突出するように所定の角度(例えば、挟角45°)で尖って形成されている。また、尖部Pa、Pb同士のY軸方向の間隔Yaは、生成するp−Siの目標粒径に対応する大きさに設定されている。なお、線状パターンLPや尖部の数は図3に示したものに限らず任意に設定可能である。
図1に示す制御装置CONTは、照射装置ILの光源装置100を駆動し、所定の発振周波数でレーザ光をパルス状に複数回繰り返し射出する。また、前述したように、制御装置CONTは、試料ステージPSTの移動速度を制御し、試料Pの表面において先の図2に示したようにX軸方向に周期的な光強度分布を形成する。このとき、制御装置CONTは、試料ステージPSTに対してマスクステージMSTを同期移動させる。照射光ELの照明領域IAに対して、マスクMを走査することにより、マスクMを通過した照射光ELが試料Pの表面に照射されるとともに、マスクM上のマスクパターンMP(線状パターンLP)が投影光学系PLを介して試料Pの表面に投影される。このとき、制御装置CONTは、上記周期的な光強度分布における光強度の弱い位置に線状パターンLPが位置するようにマスクステージMSTの移動を制御する。
v=s×f/n …(1)
とすると、試料の同一箇所にn回光が照射されることになる。
そこで、同一箇所にn個の異なる線状パターンを照射するためには、
g(x+s/n)=g(x+p/1000n) …(2)
とすればよい。
なお、投影倍率:β倍、試料ステージ速度:v1[mm/sec]、マスクステージ速度:v2[mm/sec]、とするとき、マスクと試料との相対位置を変えないためには、
v2=β×v1 …(3)
(v2/β−v1)/f=xp(k+1/n) …(4)
(k=0、±1、±2、…)
とすればよい。
図4において、前述したように、試料Pの表面においては、照射光ELによる周期的な光強度分布が形成され、その光強度分布における光強度の弱い位置に線状パターンLPが位置する。その結果、試料Pの表面において、線状パターンLPの縁に対応する部分で核が形成され、この核をよりどころとして、光強度分布に伴う温度勾配に倣って+X軸方向に結晶(p−Si)が成長する。
図6の例では、試料Pに対して、光強度勾配の形成位置とマスクMの線状パターンLPの位置とを変化させながらパルス発光光の照射を繰り返す。この場合、各照射時において、複数の線状パターンLPの各像が周期的な光強度分布における光強度の弱い位置に位置するのが好ましい。試料Pの表面において、線状パターンLPの位置(投影位置)が変化することにより、線状パターンLPの投影像が同じ箇所で常に影となることが回避される。また、一旦結晶の成長が止まっても、線状パターンLPの尖部Pa、Pbに対応する位置を核として再び結晶が成長する。これにより、結晶の成長距離をより確実に延ばすことが可能となる。
図7において、マスクパターンMPは、尖部Pa、Pbが互いに向き合う2つの線状パターンLP1、LP2を有している。すなわち、+X軸方向に関して、線状パターンLP1と線状パターンLP2とが順に並べられており、線状パターンLP1の尖部Pa、Pbは+X軸方向に突出して形成され、線状パターンLP2の尖部Pa、Pbは−X軸方向に突出して形成されている。線状パターンLP1、LP2はそれぞれ、周期的な光強度分布における光強度の弱い位置に位置する。その結果、試料Pの表面において、線状パターンLP1、LP2の各尖部Pa、Pbにおいて核が形成され、この核をよりどころとして、光強度分布に伴う温度勾配に倣って結晶(p−Si)が成長する。本例の場合、線状パターンLP1の尖部Pa、Pbを核として+X軸方向に結晶が成長するとともに、線状パターンLP2の尖部Pa、Pbを核として−X軸方向に結晶が成長する。このように互いに対向する方向に結晶を成長させることで、処理速度(スループット)の向上が図られる。
図8において、マスクパターンMPは、同じ配列周期の複数の線状パターンLPからなる複数(本例では2つ)の線状パターン群LPa、LPbを有しており、線状パターン群LPaと線状パターン群LPbとは位相が互いにずれて配されている。本例では、位相のずれは、線状パターンLPの配列周期の半分に対応する長さであり、前述した照射光による周期的な光強度分布の半周期に対応する。このマスクMを用いることにより、例えば先の図6に示したような、試料Pに対してマスクMの線状パターンLPの位置を変化させることが容易となり、例えば、ステップ回数の低減が可能となる。
図9において、マスクパターンMPは、異なる配列周期の複数の線状パターンLP3、LP4からなる複数(本例では2つ)の線状パターン群LPc、LPdを有している。本例では、線状パターン群LPcの配列周期に比べて線状パターン群LPdの配列周期が短い。このマスクMを用いることにより、試料Pの表面の複数の箇所で異なる状態(例えば、粒径など)の結晶を生成することが可能となる。例えば、このマスクMを用いて液晶パネル(液晶表示装置)の製造過程における熱処理を行うことにより、画素部においては大粒径の結晶を生成し、周辺回路部においては均一で連続的な膜質を生成するといったことが可能となる。
(a)起点を特定するためのパターンを試料(基板)に形成する。
(b)マスクM(マスクパターン)によって光強度傾斜を形成する。
(c)所望の熱流分布(温度勾配)が得られるように試料上の膜厚を制御する。
図11及び図12において、熱処理装置Sは、マスクMを支持するマスクステージMSTと、試料Pを支持する試料ステージPSTと、マスクステージMSTに支持されたマスクMに照射光ELを照射する照射装置ILと、照射光ELを照射されたマスクMのパターンの像を試料ステージPSTに支持されている試料Pに投影する投影光学系PLとを備えている。本実施形態において、投影光学系PLは複数(5つ)の投影光学モジュールPLa〜PLeを有しており、照射装置IL(照明光学系101)も投影光学モジュールの数及び配置に対応して複数(5つ)の照明系モジュールを有している。複数の投影光学モジュールPLa〜PLeのうち、投影光学モジュールPLa、PLc、PLeと投影光学モジュールPLb、PLdとが2列に千鳥状に配列されている。
Claims (17)
- マスクを介して基板に光束を照射して、前記基板表面の性質を変化させる熱処理方法であって、
前記光束は、前記基板表面上での所定方向に関して光強度勾配を有しており、
前記マスクまたは前記基板には、前記所定方向及びその直交方向に関する、前記基板表面における前記性質変化の起点を特定するためのパターンが形成されている、ことを特徴とする熱処理方法。 - 前記光束の光強度が弱い位置に前記パターンが位置する、ことを特徴とする請求項1に記載の熱処理方法。
- 前記パターンは、前記マスクに形成されたマスクパターンであり、
前記マスクパターンは、前記所定方向の縁が部分的に尖っている、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の熱処理方法。 - 前記光束は、パルス発光光からなり、
前記基板に対して、前記光束の光強度勾配の形成位置及び前記マスクパターンの位置を変化させながら、前記基板の同じ場所に、前記光束をパルス状に複数回繰り返し照射する、ことを特徴とする請求項3に記載の熱処理方法。 - 前記光束は、周期的な強度分布を有し、
前記マスクパターンは、前記所定方向に周期的に配列される周期パターンを含む、ことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の熱処理方法。 - 前記マスクパターンは、配列周期が異なる複数の周期パターンを含む、ことを特徴とする請求項5に記載の熱処理方法。
- マスクを支持するマスクステージと、
基板を支持する基板ステージと、
前記マスクに光束を照射する照射装置と、を備え、
前記光束は、前記基板表面上での所定方向に関して光強度勾配を有しており、
前記マスクまたは前記基板には、前記所定方向及びその直交方向に関する、前記基板表面における前記性質変化の起点を特定するためのパターンが形成されている、ことを特徴とする熱処理装置。 - 前記光束の光強度が弱い位置に前記パターンが位置するように、前記光束に対して前記基板ステージまたは前記マスクステージを位置決めするステージ駆動系を備える、ことを特徴とする請求項7に記載の熱処理装置。
- 前記パターンは、前記マスクに形成されたマスクパターンであり、
前記マスクパターンは、前記所定方向の縁が部分的に尖っている、ことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の熱処理装置。 - 前記光束は、パルス発光光からなり、
前記基板に対して、前記光束の光強度勾配の形成位置及び前記マスクパターンの位置を変化させながら、前記基板の同じ場所に、前記光束をパルス状に複数回繰り返し照射する、制御装置を備える、ことを特徴とする請求項9に記載の熱処理装置。 - 前記光束は、周期的な強度分布を有し、
前記マスクパターンは、前記所定方向に周期的に配列される周期パターンを含む、ことを特徴とする請求項9または請求項10に記載の熱処理装置。 - 前記マスクパターンは、配列周期が異なる複数の周期パターンを含む、ことを特徴とする請求項11に記載の熱処理装置。
- 前記光束の集光倍率を制御する集光倍率制御手段を備える、ことを特徴とする請求項7から請求項12のいずれかに記載の熱処理装置。
- 前記マスクパターンを前記基板上に投影する投影光学系を有し、
前記投影光学系は、ダイソン光学系を含む、ことを特徴とする請求項7から請求項13のうちのいずれかに記載の熱処理装置。 - 所定物質の結晶化のための熱処理に用いられるマスクであって、
所定方向の縁が部分的に尖ったマスクパターンを含む、ことを特徴とするマスク。 - 前記マスクパターンは、前記所定方向に周期的に配列される周期パターンを含む、ことを特徴とする請求項15に記載のマスク。
- 前記マスクパターンは、配列周期が異なる複数の周期パターンを含む、ことを特徴とする請求項16に記載のマスク。
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