JP2006037192A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006037192A5
JP2006037192A5 JP2004221649A JP2004221649A JP2006037192A5 JP 2006037192 A5 JP2006037192 A5 JP 2006037192A5 JP 2004221649 A JP2004221649 A JP 2004221649A JP 2004221649 A JP2004221649 A JP 2004221649A JP 2006037192 A5 JP2006037192 A5 JP 2006037192A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target material
phase
alloy target
magnetic recording
εco
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004221649A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006037192A (ja
JP4427792B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2004221649A priority Critical patent/JP4427792B2/ja
Priority claimed from JP2004221649A external-priority patent/JP4427792B2/ja
Publication of JP2006037192A publication Critical patent/JP2006037192A/ja
Publication of JP2006037192A5 publication Critical patent/JP2006037192A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4427792B2 publication Critical patent/JP4427792B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP2004221649A 2004-07-29 2004-07-29 磁気記録媒体用Co合金ターゲット材 Expired - Lifetime JP4427792B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004221649A JP4427792B2 (ja) 2004-07-29 2004-07-29 磁気記録媒体用Co合金ターゲット材

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004221649A JP4427792B2 (ja) 2004-07-29 2004-07-29 磁気記録媒体用Co合金ターゲット材

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006037192A JP2006037192A (ja) 2006-02-09
JP2006037192A5 true JP2006037192A5 (enExample) 2007-07-26
JP4427792B2 JP4427792B2 (ja) 2010-03-10

Family

ID=35902499

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004221649A Expired - Lifetime JP4427792B2 (ja) 2004-07-29 2004-07-29 磁気記録媒体用Co合金ターゲット材

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4427792B2 (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5248000B2 (ja) * 2006-09-11 2013-07-24 山陽特殊製鋼株式会社 CoW系ターゲット材およびその製造方法
US20080170959A1 (en) * 2007-01-11 2008-07-17 Heraeus Incorporated Full density Co-W magnetic sputter targets
JP2015193909A (ja) * 2014-03-25 2015-11-05 Jx日鉱日石金属株式会社 スパッタリングターゲット及びその製造方法並びにスパッタリング法で形成した膜
KR20260049661A (ko) 2024-04-30 2026-04-14 제이엑스금속주식회사 스퍼터용 부재

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SG142249A1 (en) Co-fe-zr based alloy sputtering target material and process for production thereof
JP6161991B2 (ja) Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材
CN104032276A (zh) 软磁性靶材
TWI508114B (zh) A magneto-magnetic recording medium for magnetic recording, a sputtering target, and a magnetic recording medium
JP5305137B2 (ja) 垂直磁気記録媒体のNi合金中間層を形成するためのNi−W系焼結ターゲット材
JP2006265653A (ja) Fe−Co基合金ターゲット材およびその製造方法
JP5477724B2 (ja) 軟磁性膜用Co−Fe系合金、軟磁性膜および垂直磁気記録媒体
JP2008115461A (ja) Co−Fe−Zr系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法
JP2008260969A5 (enExample)
JP5917045B2 (ja) 垂直磁気記録媒体における軟磁性薄膜層用合金およびスパッタリングターゲット材
EP1662018A3 (en) Carbon containing sputter target alloy compositions
JP2007128630A (ja) 磁気記録媒体、磁気記録媒体製造方法及びスパッタターゲット
JP2006004611A (ja) スパッタターゲット、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法
JP5631659B2 (ja) 垂直磁気記録媒体用軟磁性合金およびスパッタリングターゲット材並びに磁気記録媒体
JP5385018B2 (ja) 高スパッタ率を有する軟磁性膜作製用スパッタリングターゲット材用原料粉末およびスパッタリングターゲット材
JP2007299505A (ja) 磁気媒体における軟磁性下地層及び軟磁性合金を主成分とするスパッタターゲット
US20050274221A1 (en) Enhanced sputter target alloy compositions
JP5031443B2 (ja) 垂直磁気記録媒体における軟磁性膜層用合金
JP5403418B2 (ja) Co−Fe−Ni系合金スパッタリングターゲット材の製造方法
JP6302153B2 (ja) 垂直磁気記録媒体内の軟磁性薄膜層及び垂直磁気記録媒体
JP2010150591A (ja) 軟磁性膜用Co−Fe系合金
JP4427792B2 (ja) 磁気記録媒体用Co合金ターゲット材
JP2005322384A (ja) 磁気記録媒体及びその製造方法
MY210200A (en) Alloy for a seed layer of a magnetic recording medium
JP2020202006A (ja) 磁気記録媒体の軟磁性層用Co系合金