JP2006035149A - 液体定量吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体を収容する収容室11と、収容室に収容された液体を排出口に所定量ずつ押し出す押出ピストン15と、一端に液体を吐出する吐出ノズル26を有し、側面に開口部25を有する第1の通路21と、第1の通路の開口部と収容室の排出口とを接続する第2の通路19と、第1の通路内を摺動自在に往復移動し、開口部25を開閉するとともに、第1の通路21内の液体の全量を吐出ノズル26から吐出させる吐出ピストン22と、吐出ノズル26に超音波振動を印加し、吐出ノズルからの液体の分離性を高める超音波印加手段23とを備える。吐出ピストン22が収容室11内の液体の流出を防止する弁の役割を果たすので、収容室11内の液体の残量や粘度変化の影響を受けることなく、第1の通路21内の液体の全量を正確に吐出できる。
【選択図】 図1
Description
この定量吐出装置は、図3に示すように、シリンジ52に液体50を充填し、ピストン54を押すことによりシリンジ52内の液体50を所定量吐出するように構成されている。ピストン54は、例えばステッピングモータ56とボールネジ58により駆動される。液体50の必要供給量に対応したステップ数だけステッピングモータ56を回転させることにより、ピストン54が図中下方へ移動され、液体50が吐出ノズル53の先端から吐出される。
また、第1の通路内の液体は吐出ピストンによって全量吐出されるが、吐出ノズルの先端面や側面に液体が残留したり、液垂れや糸曳きが発生する可能性がある。しかし、吐出ノズルに対し超音波振動を印加する超音波印加手段が設けられているので、吐出ノズルから液体が分離し易くなり、液体の残留を防止できるとともに、液垂れや糸曳きの発生も防止できる。
超音波振動は吐出ノズルだけでなく、第2の通路や収容室にも伝播する可能性がある。その場合でも、第1の通路の開口部を吐出ピストンが閉じているので、第2の通路から第1の通路への液体の流出を防ぎ、吐出精度を低下させることがない。
以上のことから、液体を一定量精度よく吐出でき、かつ液垂れや糸曳きを防止できる。
上記のように第1の通路の開口部を吐出ピストンが閉じているので、超音波振動が収容室に伝播しても、第1の通路に液体が流れ込むことはないが、収容室内の液体の粘度が変化し、押出手段によって収容室の液体を第1の通路へ押し出す際に、その流入量に影響を及ぼす可能性がある。
この問題は、第2の通路に超音波振動の伝播を抑制する振動抑制手段を設けることで解消できる。
振動抑制手段としては、例えば第1の通路を構成する部材と第2の通路を構成する部材との間にOリングなどの弾性手段を介在させることで構成できる。Oリングは超音波振動の方向に対し垂直な方向に配置するのが有効である。また、第2の通路を構成する部材を樹脂材料のような軟質材料で形成することで、超音波振動の伝播を抑制することもできる。
収容室の上流に液体貯留容器を設け、この液体貯留容器と収容室とを第3の通路を介して接続することで、収容室の液体が空になった時、液体貯留容器から補充することが可能になり、多数回の液体吐出を連続的に行うことが可能になる。また、収容室に多量の液体を貯留する必要がないので、液体の圧縮性や残量の影響が少ない容積に制限することもできる。例えば、収容室の容積を1回の吐出量の数倍〜数百倍程度に設定すれば、液体の圧縮性や残量の影響を少なくできる。液体貯留容器と収容室とを結ぶ第3の通路には開閉手段が設けられているので、押出ピストンを作動させる際、液体が液体貯留容器側へ逆流することがなく、かつ収容室の圧力が液体貯留容器の液体残量や液圧の影響を受けない。
押出ピストンを前進させる際、吐出ピストンを後退位置としておくことで、収容室内の液体は抵抗なく第2の通路を介して第1の通路へ流れ込む。第1の通路へ流れ込む液体の量は押出ピストンの1回の前進量によって決定されるので、押出ピストンの1回の前進量を高精度に制御することで、1回の吐出量を正確に設定できる。
この中で、押出ピストンを駆動する駆動手段としては、ボイスコイルモータを用いるのが望ましい。押出ピストンの制御には、その位置制御だけでなく、速度制御や推力制御も同時に実施するのが望ましいが、このような制御をボイルコイルモータであれば容易に実施できるからである。
また、吐出ノズルに対し超音波振動を印加する超音波印加手段が設けられているので、吐出ノズルからの液体の分離性を高め、吐出ノズルへの液体の残留を防止できるとともに、液垂れや糸曳きの発生も防止できる。
さらに、超音波振動が収容室に伝播しても、第1の通路と第2の通路との間を吐出ピストンが閉じているので、収容室からの液体の流出を防ぎ、吐出精度を低下させることがない。
この定量吐出装置は、貯留部Aと計量部Bと吐出部Cとで構成され、ロボットの可動部などに取り付けられている。ロボットをX,Y,Z方向に操作して後述する吐出ノズル26を塗布対象物Wの直上へ移動させることができる。
ここでは、超音波振動の方向が上下方向の例を示すが、水平方向であってもよい。
まず最初に、図2の(a)のように吐出ピストン22を下死点位置とし、開口部25を閉じるとともに、押出ピストン15を上死点まで上昇させ、開閉バルブ14を開く。そのため、液体貯留容器1から一定圧で押し出された液体Lは、第3通路5を通り、流入口12から計量室11に導入される。この時、液体貯留容器1から供給される流量に比べて、押出ピストン15の上昇速度とピストン15の断面積との積を小さくすることで、計量室11内が負圧になるのを防ぎ、気泡の発生を防ぐことができる。こうして計量室11が液体Lで満たされる。
上記実施例では、計量室(収容室)11の上流側にシリンジ1を設け、押出ピストン15が下死点まで到達した時(計量室が空になった時)、シリンジ1から液体を補給するように構成したが、計量室11をシリンジのような使い切りの密閉構造とし、その上流側のシリンジ1を省略してもよい。
また、第2通路19を吐出ヘッド20と計量室本体10とを連結する連結部材18の中に設けた例を示したが、第2通路を樹脂の可撓性ホースや金属パイプで構成することもできる。特に、可撓性ホースの場合、超音波振動が収容室11へ伝播するのを抑制する振動抑制効果が高い。
本発明で用いられる液体としては、導電性接着剤、封止用樹脂、絶縁性接着剤、半田ペースト、シリコーンオイル、セラミックスラリーのような常温で液状のものに限らず、常温では固体であるが、加熱によって液状となるもの(例えばワックスなど)でもよい。
B 計量部
C 吐出部
L 液体
1 液体貯留容器(シリンジ)
3 加圧手段
5 第3通路
11 計量室(収容室)
12 流入口
13 排出口
14 開閉バルブ(開閉手段)
15 押出ピストン
17 ボイスコイルモータ(駆動手段)
18 連結部材
19 第2通路
20 吐出ヘッド
21 第1通路
22 吐出ピストン
23 超音波振動子
24 エアーシリンダ(駆動手段)
25 開口部
26 吐出ノズル
Claims (4)
- 液体を収容し、上記液体の排出口を備える収容室と、
上記収容室に収容された液体を排出口から所定量ずつ押し出す押出手段と、
一端に液体を吐出する吐出ノズルを有し、側面に開口部を有する第1の通路と、
上記第1の通路の開口部と上記収容室の排出口とを接続する第2の通路と、
上記第1の通路内を摺動自在に往復移動し、後退位置で上記開口部を開き、前進位置で上記開口部を閉じるとともに、第1の通路内の液体の全量を吐出ノズルから吐出させる吐出ピストンと、
上記吐出ピストンを往復駆動させる駆動手段と、
上記吐出ノズルからの液体の分離性を高める超音波振動を吐出ノズルに印加する超音波印加手段と、を備えたことを特徴とする液体定量吐出装置。 - 上記第2の通路に、上記超音波印加手段が発生する超音波振動が上記収容室に伝播するのを抑制する振動抑制手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体定量吐出装置。
- 液体を貯留する液体貯留容器が設けられ、
この液体貯留容器の液体に所定の加圧力を与えて押し出す加圧手段が設けられ、
上記加圧手段によって液体貯留容器から押し出された液体を上記収容室に導く第3の通路が設けられ、
上記押出手段は、上記収容室内を摺動自在に往復移動し、1ステップ前進する毎に上記収容室内の液体を所定量ずつ排出口から押し出す押出ピストンと、押出ピストンの移動量を制御可能な駆動手段とで構成され、
上記第3の通路の途中に、上記収容室に液体貯留容器から液体が補充されるときのみ開かれる開閉手段が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体定量吐出装置。 - 上記押出ピストンを駆動する駆動手段は、ボイスコイルモータであることを特徴とする請求項3に記載の液体定量吐出装置。
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