JP2006013056A - 半導体集積回路装置及び回路配線方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ゲート電極に繋がる配線に関し、アンテナ効果によるチャージングの影響を極力抑え、プラズマ処理を伴うウェハプロセスにおいても高信頼性が得られる半導体集積回路装置及び回路配線方法を提供する。
【解決手段】 配線部WR1はゲート電極13引き出し用の縦方向優先配線部として、最終的な配線前の配線層153まで配線面積を最小限とする。これにより、アンテナ効果対策として最良の配線構造が得られる。一方、配線部WR2は、アンテナ効果対象外の配線パターンとして、配線部WR1との接続以外の実質的な回路配線を構成する広域配線部である。また、必須パターンとして配線部WR1近傍にパターン端部153Eを配する。配線部WR3は最終接続配線部である。すなわち、配線部WR1は、配線部WR3によってはじめて他の必要な素子回路(配線部WR2)と接続関係を持つことになる。
【選択図】 図1
【解決手段】 配線部WR1はゲート電極13引き出し用の縦方向優先配線部として、最終的な配線前の配線層153まで配線面積を最小限とする。これにより、アンテナ効果対策として最良の配線構造が得られる。一方、配線部WR2は、アンテナ効果対象外の配線パターンとして、配線部WR1との接続以外の実質的な回路配線を構成する広域配線部である。また、必須パターンとして配線部WR1近傍にパターン端部153Eを配する。配線部WR3は最終接続配線部である。すなわち、配線部WR1は、配線部WR3によってはじめて他の必要な素子回路(配線部WR2)と接続関係を持つことになる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ウェハプロセスにおいてアンテナ効果対策を考慮した配線設計を有する半導体集積回路装置及び回路配線方法に関する。
ウェハプロセスにおいて、アンテナ効果によるチャージングの影響が懸念される。例えば、CVD、スパッタリング、エッチング、アッシング等、プラズマを利用した製造過程で、配線パターンへのチャージング(電荷の蓄積)が増大する。この配線パターンがアンテナとなり、配線パターンに繋がる素子のゲート電極等は影響を受ける。これにより、ゲート電極下の薄いゲート絶縁膜にチャージングダメージが入る。すなわち、ゲート電極に繋がる配線パターンが長いと、アンテナ効果によってゲート絶縁膜の耐圧劣化が顕著になり、最悪、絶縁破壊に至る危険性がある。
従来、アンテナ効果の対策として、ゲート電極に繋がる配線の面積について制限をかけた設計をする。しかも、標準セル内の配線部分をも考慮しつつ、トランジスタのゲートサイズに適合させた配線の面積制限が行える配置配線方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2001−102458号公報(第4、第5頁、図1〜図3)
従来の、アンテナ効果対応の配線設計では、アンテナ効果対象の配線を分割し、すぐ上の配線層にて分割した配線を繋げるといった手法が展開される。アンテナ効果対策としてその効果は期待できるが、配線にチャージングが少しずつ増えるのは否めない。プラズマ現象は計り知れないチャージングを及ぼし兼ねない。各トランジスタに適合するよう計算で設定された配線の面積制限を逸脱してチャージングの影響が大きくなる恐れもある。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、ゲート電極に繋がる配線に関し、アンテナ効果によるチャージングの影響を極力抑え、プラズマ処理を伴うウェハプロセスにおいても高信頼性が得られる半導体集積回路装置及び回路配線方法を提供しようとするものである。
本発明に係る半導体集積回路装置は、半導体基板上に絶縁膜を介して形成されたゲート電極部材と、前記ゲート電極部材と接続され各々層間絶縁膜を介して形成されたn層配線層(nは3以上の自然数)のうち第n−1層配線層までを用いて上層に引き上げられた縦方向優先の第1配線部と、前記配線層のうち、少なくとも前記第n−1層配線層以下で前記導電部材以外の部分との接続関係を有して横方向にも伸長し前記第1配線部近傍にパターン端部を配する第2配線部と、前記配線層のうち、前記第1配線部近傍で前記第1配線部と前記第2配線部を接続する前記層間絶縁膜上の第n層配線層による第3配線部と、を含む。
上記本発明に係る半導体集積回路装置によれば、第1配線部は、縦方向優先の引き上げ配線である。これにより、第n−1層まで配線面積を最小限とし、必要十分なアンテナ効果対策の配線構造が得られる。一方、第2配線部は、アンテナ効果対象外の配線パターンで、第n−1層まで比較的配線の自由度が与えられる。ただし、第1配線部近傍にパターン端部を配し、第n層による第3配線部における第1配線部と第2配線部の接続をできるだけ短い配線で実現するようにしている。このような配線構造とすることにより、ゲート電極部材へのチャージング(電荷の蓄積)を大幅に低減できる。
なお、上記本発明に係る半導体集積回路装置において、次のいずれかの特徴を有することにより、ゲート電極部材へのチャージングの抑制に寄与する。
前記第1配線部は、前記層間絶縁膜中のビア接続部材及びビア接続用パッドにより構成される。
前記第2配線部は、前記半導体基板への接続経路を有する。
前記第n−1層配線層は、電源の配線層を含む。
前記第n−1層配線層は、外部接続用のパッド電極の下部電極と接続関係を有する。
前記第n層配線層は、外部接続用のパッド電極の形成層である。
前記第1配線部は、前記層間絶縁膜中のビア接続部材及びビア接続用パッドにより構成される。
前記第2配線部は、前記半導体基板への接続経路を有する。
前記第n−1層配線層は、電源の配線層を含む。
前記第n−1層配線層は、外部接続用のパッド電極の下部電極と接続関係を有する。
前記第n層配線層は、外部接続用のパッド電極の形成層である。
また、本発明に係る半導体集積回路装置は、半導体基板上に絶縁膜を介して形成された素子用の導電部材と、前記導電部材と接続され層間絶縁膜をそれぞれ介して所定層まで引き上げるだけの縦方向優先配線部と、前記層間絶縁膜をそれぞれ介して所定層まで少なくとも前記半導体基板への接続経路を含むと共に前記導電部材以外の部分との接続関係を有し、少なくとも前記縦方向優先配線部近傍にパターン端部を配する広域配線部と、前記縦方向優先配線部近傍における前記所定層の上層で前記縦方向優先配線部と前記広域配線部とを接続する最終接続配線部と、を含む。
上記本発明に係る半導体集積回路装置によれば、縦方向優先配線部により、チャージングが懸念される導電部材は接続される配線面積は所定層まで最小限になる。これにより、所定層までアンテナ効果対策として最良の配線構造が得られる。一方、広域配線部は、アンテナ効果対象外の配線パターンで、比較的配線の自由度が与えられる。ただし、縦方向優先配線部近傍にパターン端部を配する。これにより、最終接続配線部が短い配線で実現される。このような配線構造とすることにより、絶縁膜破壊が懸念される電極部材へのチャージング(電荷の蓄積)を大幅に低減することができる。
なお、上記本発明に係る半導体集積回路装置において、次のいずれかの特徴を有することにより、アンテナ効果対象の導電部材に対するチャージングの抑制に寄与する。
前記縦方向優先配線部は、前記層間絶縁膜中のビア接続部材及びビア接続用パッドにより構成される。
前記広域配線部は、少なくとも前記半導体基板の拡散層への接続、外部接続用パッドへの接続構造のいずれかまたは両者を含む。
前記最終接続配線部は、外部接続用のパッド電極と同一層で構成される。
前記縦方向優先配線部は、前記層間絶縁膜中のビア接続部材及びビア接続用パッドにより構成される。
前記広域配線部は、少なくとも前記半導体基板の拡散層への接続、外部接続用パッドへの接続構造のいずれかまたは両者を含む。
前記最終接続配線部は、外部接続用のパッド電極と同一層で構成される。
本発明に係る回路配線方法は、半導体基板上に少なくとも絶縁膜を介して形成された導電部材を形成し、前記導電部材と接続関係を結ぶn層(nは3以上の自然数)の多層配線層を有する回路配線方法において、それぞれ層間絶縁膜を介し第n−1層配線層までの配線パターニングであって、前記導電部材と接続され前記層間絶縁膜各々を介して上層に引き上げるだけの縦方向優先の第1配線部及び前記半導体基板への接続経路を含むと共に前記導電部材以外の部分との接続関係を有する少なくとも前記第1配線部近傍にパターン端部を配する第2配線部を形成する工程と、前記第1配線部近傍で前記第1配線部と前記第2配線部を接続する前記層間絶縁膜上の第n層配線層による第3配線部を形成する工程と、を含む。
上記本発明に係る回路配線方法によれば、アンテナ効果が懸念される第1配線部、アンテナ効果の懸念がない第2配線部をそれぞれ分けて第n−1層配線層まで同時に形成する。第1配線部は配線面積が最小限になるよう、上層に引き上げるだけの縦方向優先の配線、第2配線部は比較的配線の自由度が与えられ、大部分の回路配線を構成する。そして、第1配線部と第2配線部の接続を最終的に行う。すなわち、第n層配線層による第3配線部の形成である。これにより、絶縁膜破壊が懸念される電極部材へのチャージング(電荷の蓄積)を大幅に低減することができる。
なお、上記本発明に係る回路配線方法において、次のいずれかの特徴を有することにより、アンテナ効果対象の導電部材に関するチャージングの抑制に寄与する。
前記第1配線部は、前記第n−1層配線層まで最短距離で引き上げるようにする。
前記第2配線部は、前記第n−1層配線層を引き回し優先の配線層とする。
前記第3配線部は、電源の配線層より上層の配線層で構成される。
前記第1配線部は、前記第n−1層配線層まで最短距離で引き上げるようにする。
前記第2配線部は、前記第n−1層配線層を引き回し優先の配線層とする。
前記第3配線部は、電源の配線層より上層の配線層で構成される。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体集積回路装置の要部を示す断面図である。
素子分離領域11に囲まれた所定導電型の半導体基板10上にMOS型素子Q1が形成されている。MOS型素子Q1は、半導体基板10上にゲート酸化膜12を介してゲート電極13が設けられ、図示しないゲート電極13両側の基板10表面にはソース/ドレインの拡散層が配される。MOS型素子Q1やその他の素子による回路配線は、それぞれ層間絶縁膜14及びビア接続部材16を介してのメタルの配線層151〜154により構成される。
素子分離領域11に囲まれた所定導電型の半導体基板10上にMOS型素子Q1が形成されている。MOS型素子Q1は、半導体基板10上にゲート酸化膜12を介してゲート電極13が設けられ、図示しないゲート電極13両側の基板10表面にはソース/ドレインの拡散層が配される。MOS型素子Q1やその他の素子による回路配線は、それぞれ層間絶縁膜14及びビア接続部材16を介してのメタルの配線層151〜154により構成される。
例えば、ゲート電極13と接続関係を有する配線層は次のように構成されている。配線層151〜154のうち、まず配線層153までを用いて縦方向優先の配線部WR1が形成されている。配線部WR1は、最小配線面積で引き上げるため層間絶縁膜14中のビア接続部材16及びビア接続用パッドVPにより構成される。また、配線部WR2は、配線層151〜154のうち、配線層153まで、ゲート電極13以外の部分との必要な接続関係、保護構造等を有し、かつ適当なパターン端部153Eが配線部WR1近傍に引き回される。すなわち、配線部WR2は、縦方向ばかりでなく横方向にも伸長し、集積回路のための所望の配線パターン等を得ている。もちろん、必要な素子の拡散層との接続や電源線への接続、外部端子に関係する配線接続等も必要に応じて組み込まれる。配線部WR3は、配線層154であり、配線部WR1、WR2を接続する。
配線部WR2に関し、図1においては、配線層151〜153と各ビア接続部16によりパッド電極形成のための積層電極UMが示されている。配線層151の任意パターンは、保護ダイオード回路Dに接続され、電荷放電経路を確保している。配線層153の任意パターンは、上記パターン端部153Eを有すると共に積層電極UMと接続されている。また、電源配線も配線層153のような比較的上層を利用して引き回される。
そして、配線部WR3は、これら配線部WR1、WR2をなるべく短い配線で接続する。これにより、配線部WR1へのチャージングの影響を抑制する。配線部WR3は、配線層154であって最上配線層である。なお、配線層154にて積層電極UM上の外部接続用パッドPADが形成されている。パッシベーション膜17は、配線層154またはパッドPADを保護するために形成されている。
上記実施形態の構成によれば、配線部WR1はゲート電極13引き出し用の縦方向優先配線部として、最終的な配線前の配線層153まで配線面積を最小限とする。これにより、アンテナ効果対策として最良の配線構造が得られる。一方、配線部WR2は、アンテナ効果対象外の配線パターンとして、配線部WR1との接続以外の実質的な回路配線を構成する広域配線部である。配線部WR2は、比較的配線の自由度が与えられ、配線層153のような上層で電源配線が引き回される。また、配線部WR2は、必須パターンとして配線部WR1近傍にパターン端部153Eを配する。これにより、配線部WR3における配線部WR1とWR2の接続をできるだけ短い配線で実現するようにしている。配線部WR3は最終接続配線部である。すなわち、配線部WR1は、配線部WR3によってはじめて他の必要な素子回路(配線部WR2)と接続関係を持つことになる。このような配線構造とすることにより、プラズマ処理を伴う工程を経ても、ゲート電極13へのチャージング(電荷の蓄積)を大幅に低減できる。従って、ゲート酸化膜12のチャージングダメージは最小限になって耐性劣化、絶縁破壊が防止できる。これにより、MOS型素子Q1等、集積回路を構成する素子の信頼性が向上し、ひいては製品歩留まりが向上する。
図2は、本発明の一実施形態に係る回路配線方法の要部を工程順に示す流れ図である。図3は、図1の構成における製造途中工程の断面図であり、これらの図を参照しながら説明する。
半導体集積回路配線は、n層メタル配線で構成されるものとする。n層は3層以上であり、図1を参照するならn=4である。素子分離領域11に囲まれた所定導電型の半導体基板10上において、MOS型素子Q1のようなゲート酸化膜12及びゲート電極13を有する素子及び図示しないその他の素子が多数形成されている。
半導体集積回路配線は、n層メタル配線で構成されるものとする。n層は3層以上であり、図1を参照するならn=4である。素子分離領域11に囲まれた所定導電型の半導体基板10上において、MOS型素子Q1のようなゲート酸化膜12及びゲート電極13を有する素子及び図示しないその他の素子が多数形成されている。
ゲート電極への接続配線のような、アンテナ効果の影響が懸念される配線カテゴリー1について、配線部WR1のような配線設計を選択する。すなわち、n層メタル配線層のうち第n−1層まで、最短距離で引き上げるのみの配線を構成する(処理S1)。プラズマ処理は、例えば各層間絶縁膜14の形成におけるCVD(化学気相成長)工程や、各ビア接続部材16形成のためのエッチング開孔、各金属配線層151〜154のパターニングに伴う異方性エッチング等で多用される。従って、ゲート電極13に接続される第1配線部WR1の加工にもプラズマ処理が含まれる。配線部WR1は最小限の配線面積となり、アンテナ効果の影響を最小限とする。
一方、ゲート電極以外の部分との必要な接続関係、つまりアンテナ効果の懸念がない配線カテゴリー2については、配線部WR2のような比較的自由度の高い配線設計を選択する。すなわち、n層メタル配線層のうち第n−1層配線層までで、配線部WR1との接続を除いた実質的な回路配線を実現する配線を構成する(処理S2)。必要に応じて、素子の拡散層との接続や電源線への接続、外部端子に関係する配線接続等も組み込まれる。つまり、チャージングが増大しないよう基板10への電荷放電経路が確保された配線形態を実現する。なお、必須パターンとして第n−1層配線層にて配線部WR1近傍へのパターン端部(153E)を配する。第n−1層配線層は、配線の自由度も大きく、電源配線や所望の接続のための引き回し優先の配線層とした方がよい。
上記処理S1とS2は、それぞれ第n−1層配線層まで同時進行して配線が構成され、配線部WR1,WR2互いの接続関係は未だ持たない。図3に示すように、配線部WR1は、最小限の配線面積で上層に引き上げられるのみの配線となる。図3では、ビア接続部材16及びビア接続用パッドVPにより構成される。これにより、加工上のプラズマ処理に起因するゲート酸化膜12へのチャージングダメージが最小限に抑えられる。また、配線部WR2は、何らかの構成により基板10への電荷放電経路が確保され、チャージングが増大しないような配線形態となる。
最終接続の配線カテゴリー3として、配線部WR1と配線部WR2を結ぶ最上層の第n層配線層を用いた配線部WR3が含まれる。配線部WR3によってはじめて配線部WR1は他の必要な素子回路(配線部WR2)と接続関係を持つことになる(処理S3)。その際も設計上許される限り短い配線で結線する。配線部WR3を短い配線で実現するために上記配線部WR2におけるパターン端部153Eの配置が重要である。配線部WR3を短い配線で実現することにより、配線部WR1へのチャージングの影響を抑制する。また、最上層の第n層配線層を用いて外部接続用パッドPADの配設もなされる。外部接続用パッドPAD下は、処理S2の配線部WR2にて構成される積層電極UMによって支持される。
上記実施形態の方法によれば、アンテナ効果が懸念される配線カテゴリー(第1配線部WR1)、アンテナ効果の懸念がない配線カテゴリー(第2配線部WR2)をそれぞれ分けて第n−1層配線層まで形成する。第1配線部WR1は配線面積が最小限になるよう、上層に引き上げるだけの縦方向優先の配線とし、アンテナ効果対策としてとり得る最良の配線形態を実現する。第2配線部WR2は比較的配線の自由度が与えられ、大部分の回路配線を構成する。そして、最終接続の配線カテゴリー(第3配線部WR3)において、第1配線部WR1と第2配線部WR2の接続が達成される。すなわち、集積回路配線が完了する第n層配線層による最終配線によって、アンテナ効果が懸念される第1配線部WR1が他の配線、つまり第2配線部WR2とはじめて接続される。これにより、ゲート電極等、絶縁膜破壊が懸念される電極部材へのチャージング(電荷の蓄積)を大幅に低減することができる。
以上説明したように本発明によれば、ゲート電極等、絶縁膜破壊が懸念される電極部材への配線は、回路配線の大部分を構成する他の大面積配線と最終結線される前まで、縦方向優先の引き上げ配線のみとする。これにより、ゲート電極等、絶縁膜破壊が懸念される電極部材は、プラズマ処理に起因するチャージング量が最小限となる。従って、ゲート酸化膜のチャージングダメージは最小限になって耐性劣化、絶縁破壊が防止できる。これにより、集積回路を構成する素子の信頼性が向上し、ひいては製品歩留まりが向上する。この結果、ゲート電極に繋がる配線に関し、アンテナ効果によるチャージングの影響を極力抑え、プラズマ処理を伴うウェハプロセスにおいても高信頼性が得られる半導体集積回路装置及びその製造方法を提供することができる。
11…素子分離領域、12…ゲート酸化膜、13…ゲート電極、14…層間絶縁膜、151〜154…配線層、16…ビア接続部材、17…パッシベーション膜、Q1…MOS型素子、D1…保護ダイオード、WR1,WR2,WR3…配線部、VP…ビア接続用パッド、PAD…外部接続用パッド、UM…積層電極、S1〜S3…処理ステップ。
Claims (14)
- 半導体基板上に絶縁膜を介して形成されたゲート電極部材と、
前記ゲート電極部材と接続され各々層間絶縁膜を介して形成されたn層配線層(nは3以上の自然数)のうち第n−1層配線層までを用いて上層に引き上げられた縦方向優先の第1配線部と、
前記配線層のうち、少なくとも前記第n−1層配線層以下で前記導電部材以外の部分との接続関係を有して横方向にも伸長し前記第1配線部近傍にパターン端部を配する第2配線部と、
前記配線層のうち、前記第1配線部近傍で前記第1配線部と前記第2配線部を接続する前記層間絶縁膜上の第n層配線層による第3配線部と、
を含む半導体集積回路装置。 - 前記第1配線部は、前記層間絶縁膜中のビア接続部材及びビア接続用パッドにより構成される請求項1記載の半導体集積回路装置。
- 前記第2配線部は、前記半導体基板への接続経路を有する請求項1または2記載の半導体集積回路装置。
- 前記第n−1層配線層は、電源の配線層を含む請求項1〜3いずれか一つに記載の半導体集積回路装置。
- 前記第n−1層配線層は、外部接続用のパッド電極の下部電極と接続関係を有する請求項1〜4いずれか一つに記載の半導体集積回路装置。
- 前記第n層配線層は、外部接続用のパッド電極の形成層である請求項1〜5いずれか一つに記載の半導体集積回路装置。
- 半導体基板上に絶縁膜を介して形成された素子用の導電部材と、
前記導電部材と接続され層間絶縁膜をそれぞれ介して所定層まで引き上げるだけの縦方向優先配線部と、
前記層間絶縁膜をそれぞれ介して所定層まで少なくとも前記半導体基板への接続経路を含むと共に前記導電部材以外の部分との接続関係を有し、少なくとも前記縦方向優先配線部近傍にパターン端部を配する広域配線部と、
前記縦方向優先配線部近傍における前記所定層の上層で前記縦方向優先配線部と前記広域配線部とを接続する最終接続配線部と、
を含む半導体集積回路装置。 - 前記縦方向優先配線部は、前記層間絶縁膜中のビア接続部材及びビア接続用パッドにより構成される請求項7記載の半導体集積回路装置。
- 前記広域配線部は、少なくとも前記半導体基板の拡散層への接続、外部接続用パッドへの接続構造のいずれかまたは両者を含む請求項7または8記載の半導体集積回路装置。
- 前記最終接続配線部は、外部接続用のパッド電極と同一層で構成される請求項7〜9いずれか一つに記載の半導体集積回路装置。
- 半導体基板上に少なくとも絶縁膜を介して形成された導電部材を形成し、前記導電部材と接続関係を結ぶn層(nは3以上の自然数)の多層配線層を有する回路配線方法において、
それぞれ層間絶縁膜を介し第n−1層配線層までの配線パターニングであって、前記導電部材と接続され前記層間絶縁膜各々を介して上層に引き上げるだけの縦方向優先の第1配線部及び前記半導体基板への接続経路を含むと共に前記導電部材以外の部分との接続関係を有する少なくとも前記第1配線部近傍にパターン端部を配する第2配線部を形成する工程と、
前記第1配線部近傍で前記第1配線部と前記第2配線部を接続する前記層間絶縁膜上の第n層配線層による第3配線部を形成する工程と、
を含む回路配線方法。 - 前記第1配線部は、前記第n−1層配線層まで最短距離で引き上げるようにする請求項11記載の回路配線方法。
- 前記第2配線部は、前記第n−1層配線層を引き回し優先の配線層とする請求項11または12記載の回路配線方法。
- 前記第3配線部は、電源の配線層より上層の配線層で構成される請求項11〜13いずれか一つに記載の回路配線方法。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070904 |