JP2006010579A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁気センサは、GMR素子51〜54と、薄膜抵抗71〜74とを含んでいる。薄膜抵抗はGMR素子にそれぞれ近接配置されている。各GMR素子はX軸方向に磁界検出方向を有し、ブリッジ接続されてX軸方向磁気検出部100を構成している。薄膜抵抗71〜74も同様にブリッジ接続されて応力検出部110を構成している。応力検出部は、外部磁界が加わっておらず、且つ、応力が加わっているときのX軸方向磁気検出部の出力電圧と同等の出力電圧を出力する。補正回路122は、増幅回路101で増幅されたX軸方向磁気検出部の出力Vox0から、増幅回路111及び補正値演算回路121を介して得られた応力検出部の出力電圧Vhを減じて値Voxを求め、値Voxを出力する。
【選択図】 図9
Description
基板上に形成された磁気抵抗効果素子と、
前記基板上であって前記磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する応力検出素子と、
前記磁気抵抗効果素子の抵抗値に応じた検出値を前記応力検出素子の抵抗値に基づいて補正する補正手段と、
を備え、前記補正された検出値に基づいて外部磁界を検出するように構成されている。
この場合、前記応力検出素子は薄膜抵抗であってよい。
基板と、
前記基板上に形成され一つの向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第1磁気抵抗効果素子と、
前記基板上に形成され一つの向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第2磁気抵抗効果素子と、
前記基板上に形成され前記一つの向きと反対の向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第3磁気抵抗効果素子と、
前記基板上に形成され前記一つの向きと反対の向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第4磁気抵抗効果素子と、
前記第1磁気抵抗効果素子の一端と前記第4磁気抵抗効果素子の一端とを接続する第1接続部と、
前記第2磁気抵抗効果素子の一端と前記第3磁気抵抗効果素子の一端とを接続する第2接続部と、
前記第1磁気抵抗効果素子の他端と前記第3磁気抵抗効果素子の他端とを接続する第3接続部と、
前記第4磁気抵抗効果素子の他端と前記第2磁気抵抗効果素子の他端とを接続する第4接続部と、
前記第1接続部と前記第2接続部との間に所定の電圧を付与するとともに前記第3接続部と前記第4接続部との間の電位差を取り出す第1接続導線と、を備えている。
前記基板上であって前記第1磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第1応力検出素子と、
前記基板上であって前記第2磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第2応力検出素子と、
前記基板上であって前記第3磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第3応力検出素子と、
前記基板上であって前記第4磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第4応力検出素子と、
前記第1応力検出素子の一端と前記第4応力検出素子の一端とを接続する第5接続部と、
前記第2応力検出素子の一端と前記第3応力検出素子の一端とを接続する第6接続部と、
前記第1応力検出素子の他端と前記第3応力検出素子の他端とを接続する第7接続部と、
前記第4応力検出素子の他端と前記第2応力検出素子の他端とを接続する第8接続部と、
前記第5接続部と前記第6接続部との間に所定の電圧を付与するとともに前記第7接続部と前記第8接続部との間の電位差を取り出す第2接続導線と、
前記第3接続部と前記第4接続部との間の電位差に応じた値を前記第7接続部と前記第8接続部との間の電位差に基づいて補正して補正後の電位差を出力する補正手段とを備え、前記補正後の電位差に基づいて外部磁界を検出する磁気センサである。
Claims (5)
- 基板上に形成された磁気抵抗効果素子と、
前記基板上であって前記磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する応力検出素子と、
前記磁気抵抗効果素子の抵抗値に応じた検出値を前記応力検出素子の抵抗値に基づいて補正する補正手段と、
を備え、前記補正された検出値に基づいて外部磁界を検出する磁気センサ。 - 請求項1に記載の磁気センサにおいて、
前記応力検出素子が薄膜抵抗である磁気センサ。 - 基板と、
前記基板上に形成され一つの向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第1磁気抵抗効果素子と、
前記基板上に形成され一つの向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第2磁気抵抗効果素子と、
前記基板上に形成され前記一つの向きと反対の向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第3磁気抵抗効果素子と、
前記基板上に形成され前記一つの向きと反対の向きの外部磁界の大きさが増大するにつれて抵抗値が増大する第4磁気抵抗効果素子と、
前記第1磁気抵抗効果素子の一端と前記第4磁気抵抗効果素子の一端とを接続する第1接続部と、
前記第2磁気抵抗効果素子の一端と前記第3磁気抵抗効果素子の一端とを接続する第2接続部と、
前記第1磁気抵抗効果素子の他端と前記第3磁気抵抗効果素子の他端とを接続する第3接続部と、
前記第4磁気抵抗効果素子の他端と前記第2磁気抵抗効果素子の他端とを接続する第4接続部と、
前記第1接続部と前記第2接続部との間に所定の電圧を付与するとともに前記第3接続部と前記第4接続部との間の電位差を取り出す第1接続導線と、
前記基板上であって前記第1磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第1応力検出素子と、
前記基板上であって前記第2磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第2応力検出素子と、
前記基板上であって前記第3磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第3応力検出素子と、
前記基板上であって前記第4磁気抵抗効果素子の近傍に形成されるとともに抵抗値が外部磁界により変化せず且つ加わる応力により変化する第4応力検出素子と、
前記第1応力検出素子の一端と前記第4応力検出素子の一端とを接続する第5接続部と、
前記第2応力検出素子の一端と前記第3応力検出素子の一端とを接続する第6接続部と、
前記第1応力検出素子の他端と前記第3応力検出素子の他端とを接続する第7接続部と、
前記第4応力検出素子の他端と前記第2応力検出素子の他端とを接続する第8接続部と、
前記第5接続部と前記第6接続部との間に所定の電圧を付与するとともに前記第7接続部と前記第8接続部との間の電位差を取り出す第2接続導線と、
前記第3接続部と前記第4接続部との間の電位差に応じた値を前記第7接続部と前記第8接続部との間の電位差に基づいて補正して補正後の電位差を出力する補正手段と、
を備え、前記補正後の電位差に基づいて外部磁界を検出する磁気センサ。 - 請求項3に記載の磁気センサにおいて、
前記第1応力検出素子乃至前記第4応力検出素子のそれぞれが薄膜抵抗である磁気センサ。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の磁気センサであって、
前記基板はリードフレーム上に配置され、同基板及び同リードフレームは樹脂により被覆されている磁気センサ。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007271322A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置およびその製造方法 |
EP2180329A3 (en) * | 2008-09-02 | 2010-10-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Magnetic sensor apparatus |
CN102339084A (zh) * | 2011-05-27 | 2012-02-01 | 中国科学院微电子研究所 | 用于巨磁阻生物传感器的模拟前端检测电路 |
WO2012116659A1 (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-07 | 江苏多维科技有限公司 | 独立封装的桥式磁场角度传感器 |
WO2012116660A1 (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-07 | 江苏多维科技有限公司 | 独立封装的磁电阻角度传感器 |
CN104280698A (zh) * | 2013-07-09 | 2015-01-14 | 北京嘉岳同乐极电子有限公司 | 磁场测量装置 |
FR3020497A1 (fr) * | 2014-04-28 | 2015-10-30 | Commissariat Energie Atomique | Aimant permanent comportant un empilement de couches ferromagnetiques et antiferromagnetiques |
US20170261306A1 (en) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | Infineon Technologies Ag | Extension sensor and reduction of a drift of a bridge circuit caused by an extension |
KR102063833B1 (ko) * | 2019-06-10 | 2020-01-08 | (주)효성파워택 | 수배전반의 부스바 감시장치 |
CN111722164A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | Tdk株式会社 | 磁传感器 |
JP2021081293A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
CN115825826A (zh) * | 2022-12-22 | 2023-03-21 | 南方电网数字电网研究院有限公司 | 一种三轴全桥电路变换式线性磁场传感器 |
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2004
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Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007271322A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置およびその製造方法 |
JP4689516B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-05-25 | アルプス電気株式会社 | 磁気検出装置 |
EP2180329A3 (en) * | 2008-09-02 | 2010-10-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Magnetic sensor apparatus |
KR101135258B1 (ko) * | 2008-09-02 | 2012-04-12 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 자기 센서 장치 |
WO2012116659A1 (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-07 | 江苏多维科技有限公司 | 独立封装的桥式磁场角度传感器 |
WO2012116660A1 (zh) * | 2011-03-03 | 2012-09-07 | 江苏多维科技有限公司 | 独立封装的磁电阻角度传感器 |
CN102339084A (zh) * | 2011-05-27 | 2012-02-01 | 中国科学院微电子研究所 | 用于巨磁阻生物传感器的模拟前端检测电路 |
CN104280698A (zh) * | 2013-07-09 | 2015-01-14 | 北京嘉岳同乐极电子有限公司 | 磁场测量装置 |
FR3020497A1 (fr) * | 2014-04-28 | 2015-10-30 | Commissariat Energie Atomique | Aimant permanent comportant un empilement de couches ferromagnetiques et antiferromagnetiques |
WO2015166159A1 (fr) | 2014-04-28 | 2015-11-05 | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives | Aimant permanent comportant un empilement de couches ferromagnetiques et antiferromagnetiques |
US10535456B2 (en) | 2014-04-28 | 2020-01-14 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Permanent magnet comprising a stack of ferromagnetic and antiferromagnetic layers |
US20170261306A1 (en) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | Infineon Technologies Ag | Extension sensor and reduction of a drift of a bridge circuit caused by an extension |
CN111722164A (zh) * | 2019-03-19 | 2020-09-29 | Tdk株式会社 | 磁传感器 |
DE102020103432B4 (de) | 2019-03-19 | 2023-03-02 | Tdk Corporation | Magnetsensor |
KR102063833B1 (ko) * | 2019-06-10 | 2020-01-08 | (주)효성파워택 | 수배전반의 부스바 감시장치 |
JP2021081293A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7070532B2 (ja) | 2019-11-19 | 2022-05-18 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
CN115825826A (zh) * | 2022-12-22 | 2023-03-21 | 南方电网数字电网研究院有限公司 | 一种三轴全桥电路变换式线性磁场传感器 |
CN115825826B (zh) * | 2022-12-22 | 2023-09-15 | 南方电网数字电网研究院有限公司 | 一种三轴全桥电路变换式线性磁场传感器 |
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