JP2006003608A - 熱安定化装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理基板Wに照射する紫外線強度については予め決めておき、この値とセンサ16で検出した紫外線強度とが異なる場合には、昇降部材15によってランプハウジング12を昇降動させ、所定の強度の紫外線を処理基板Wに照射する。このようにして、処理基板Wの表面に形成したレジスト膜に、減圧下で、加熱と紫外線照射を施すことで、熱安定化処理が終了し、この後は通路6を介して処理空間S内に不活性ガスを充填し、処理基板Wを払い出し、この後例えばエッチングにてパターンを形成するとともにパターン間にめっき液を供給する。
【選択図】 図1
Description
即ち、熱安定化装置は高温下で使用されるため、紫外線ランプの劣化が早く、この劣化は徐々に起こるため、ランプの交換時期の見極めが遅れると、耐熱性に優れた被膜が得られず、交換が早いとコスト的に不利が生じ、更に処理空間内における反応によって紫外線が透過する透明板の内面が汚れ、紫外線が劣化していないにも拘らず、紫外線強度が不足することがある。
真空引き用の通路5はチューブ7を介して図示しない真空源(真空ポンプ)に接続され、パージ用の通路6には不活性ガス供給配管8が接続されている。
Claims (3)
- 少なくとも一部を透明板とした蓋体でテーブルに形成した開口部の上面が閉塞され、前記開口部に処理基板を載置したステージを下方から臨ませ、ステージに設けた加熱部材で処理基板を加熱し、また蓋体上方に配置した紫外線ランプから紫外線を照射しつつ、前記ステージ上面と蓋体下面と開口部側面とで形成される処理空間内で処理基板を減圧処理する熱安定化装置において、前記紫外線ランプはテーブルに対し昇降可能とされた保持部に取り付けられていることを特徴とする熱安定化装置。
- 請求項1に記載の熱安定化装置において、この熱安定化装置は前記処理空間内の紫外線照度を検出するセンサを備え、このセンサによる検出が所定の値になるように前記保持部を昇降動せしめることを特徴とする熱安定化装置。
- 請求項1に記載の熱安定化装置において、前記紫外線ランプのハウジング内側に紫外線照度を検出するセンサを備え、このセンサによる検出値に応じて前記保持部を昇降動せしめることを特徴とする熱安定化装置。
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