JP4401753B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
図1および図2は本発明にかかる熱処理装置の構成を示す側断面図である。この熱処理装置は、キセノンフラッシュランプからの閃光によって半導体ウェハー等の基板の熱処理を行う装置である。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の熱処理装置もキセノンフラッシュランプからの閃光によって半導体ウェハー等の基板の熱処理を行う装置であり、その全体構成および半導体ウェハーWの熱処理動作は第1実施形態と同じであるため詳説は省略する。但し、第2実施形態は、図1および図2中のAで示されるシール部分の構造において第1実施形態と異なる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。第3実施形態の熱処理装置もキセノンフラッシュランプからの閃光によって半導体ウェハー等の基板の熱処理を行う装置であり、フランジ10の先端に垂下部11を設けている点を除いては、第2実施形態と同じである。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記各実施形態においては光源5に29本のフラッシュランプ69を備えるようにしていたが、これに限定されずフラッシュランプ69の本数は任意のものとすることができる。
10 フランジ
11 垂下部
12,19 溝
15 リング溝
17 Oリング
18 遮光壁
20 ライナー
30 ヒーターリフレクタ
61 透光板
61a 遮光面
62 底板
63,64 側板
65 チャンバー
69 フラッシュランプ
71 リフレクタ
72 光拡散板
73 熱拡散板
74 加熱プレート
W 半導体ウェハー
Claims (5)
- 基板に対して光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
ランプを有する光源と、
前記光源の下方に設けられ、前記光源から出射された光を透過するチャンバー窓を上部に備えるチャンバーと、
前記チャンバー内にて基板を略水平姿勢にて保持する保持手段と、
前記チャンバーに内設され、前記チャンバー窓の下面周縁部に沿って前記チャンバー窓と前記チャンバーの本体部との間に挟み込まれて前記チャンバー内を気密状態に維持するOリングと、
前記ランプから出射されて前記チャンバー窓を通過して前記Oリングに向かう光を遮る遮光手段と、
を備え、
前記遮光手段は、前記チャンバー窓の上面周縁部を覆うように前記本体部に設けられた不透明なフランジ、および、前記Oリングよりも内周側の前記本体部に立設された遮光壁を含むことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記遮光壁は、前記チャンバー窓の下面周縁部に刻設された溝に嵌合することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1または請求項2記載の熱処理装置において、
前記フランジはアルミニウム製であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記フランジの先端に垂下部を設けることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記ランプはキセノンフラッシュランプであり、
前記保持手段は、保持する基板を予備加熱するアシスト加熱手段を備えることを特徴とする熱処理装置。
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