JP2005519461A - 製造プロセスのためのコンフィグレーションドキュメントとプロセスコンテキストとの関連付け - Google Patents

Abstract

要約書なし。

Description

本発明は、概して工場システムに関し、より具体的には、製造プロセスの変更を容易に及び効果的に実装する過程に関するものである。

技術的な進歩は、複合的製造システムの増大を生んだ。例えば、集積回路の製造過程は、恐らく今日、現存する最も複合的製造プロセスである。この複合性に起因するファクタは、絶え間なく続く、デバイスの小型化、プロセスの複雑さ、製品の豊富さ、技術の変更にある。半導体製造プロセスの管理は、それ故、複雑であり、シリコンウェハ上に完全にパッケージされ、集積された電子構成部分を生産するために実行されるべき幾千ものステップを企む過程を伴う可能性がある。

多くの工場では、単一のシステムで生産フローと設備使用を制御することが求められる。そのようなシステムは、本文において工場システムとして称される。工場システムは、製品を生産するための工場における種々の製造ツールにより実行されるべきオペレーションルートを制御あるいはオペレーションすることによって、生産のための製造システムを管理する。各オペレーションにおいて異なる製造ツールを使用することができ、単一オペレーションを実行するために複数の製造ツールが協働する場合もあり、また、一つのオペレーションにおける１以上のステージにおいて一つのツールを使用する場合もある。

工場において実行された製造オペレーションには種々の形式の情報が関連する。製造プロセスを実行するための情報は、頻繁に本文においてコンフィグレーションドキュメントと称されるドキュメント又はファイルとして保持される。例えば、コンフィグレーションドキュメントの一形式は、特定の半導体チップを製造する過程において、ウェハ上に特定層を創作するための製造プロセスを特定する仕様ドキュメントである。一般的に仕様ドキュメントは、製造ツールを制御する専用のコンピュータシステム上に動作するソフトウェアアプリケーションである設備インターフェースによって読み出されるファイルである。単一のオペレーションにおいて種々のツールが含まれるので、各ツールの設備インターフェースは、仕様ドキュメントの同一コピーに対してアクセスを有さなくてはならない。

半導体工場において、単一ツールのオペレーションの１分間でさえも無駄にすることは、極めて費用を費やすことになる。従って、仕様ドキュメント及びレシピのようなコンフィグレーションドキュメントの改変は避けられており、また、そうした変更をする権限を付与されている人は非常に僅かである。そのような変更を行わなければならない場合、当該変更は、一変更でも次々に影響を与えることから、厳格にテストされ、広範囲に及ぶ認証（アプルーブ）プロセスを余儀なくされる。一般的な半導体製造設備において、仕様ドキュメントは、オペレーションに関連した各製造ツールのためのレシピを含む。レシピとは、シリコンウェハ上の特定オペレーションをツールに実行させる命令セットのことである。一例として、エッチング製造プロセスでは、エッチング製造ツールはウェハのシリコンをエッチングする。エッチャーによる特定オペレーションのためのレシピは、エッチャーに特定パターンにおけるウェハのシリコンのある膜厚を除去させる。異なる製品を製造するとき、又は特定の製品の製造における異なる過程において、異なるレシピが適用されてよい。仕様ドキュメントは、一般的にエッチング製造プロセスが使用されるであろう各々の可能なコンテキストのために限定された別々のレシピを含み、レシピ情報を数多く重複する。

他の例としては、工場において特定ツールのオペレーションが前述のレシピを使用することに関する情報を含む単一レシピドキュメントを用意するためのものが挙げられる。

上述した一般的な例に関する問題は、製造方法の変更、又は新たなあるいは異なるオペレーションにツールが組み込まれるときに発生する。例えば、特定のチップの特定の層をエッチングするためのレシピが変更される場合である。上述した第１実装では、今日の２４ｘ７工場環境において許容されなくなっている、時間を費やし、間違いを起こしやすい関連オペレーションを実行する工場において、各製造ツールのための使用ドキュメントを変更することが求められる。

第２の例において、レシピドキュメントの変更が、そのレシピを用いるオペレーションが変更する毎に必要となる。このような変更は、ツールが追加の又は異なるオペレーションを実行するために交換されるたび頻繁に起こりうる。

必要なことは、製造プロセスを実行するために関連した情報を、その情報が使用されるコンテキストから分離するための方法である。数多くのツールとオペレーションに影響することなくコンテキスト及び／又はコンフィグレーションドキュメントを変更可能にすることが望ましい。好適には、そのような変更は、広範囲の管理点検と認証プロセスを要することなく行われることが可能である。

本発明は、コンフィグレーションドキュメントと呼ばれる、製造プロセスを実行する過程に関連した情報を、この情報が使用されるコンテストから分離するための方法を用意する。このプロセスコンテキストは、定義可能であり、コンテキスト固有の情報は、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントを創作するためにコンフィグレーションドキュメントから除去可能である。コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間に独立して確立される。コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントの両方から独立しているので、他のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けに影響することなく、独立して検討され、認証可能である。

本発明の一態様は、製造プロセスのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントとプロセスコンテキスト間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを特定する過程と、製造プロセスの変更を実装するためのコンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティブにする過程とを有する方法を含む。本方法は、更に、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティブにする前にコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを認証する過程を含んでよい。

本発明の他の態様において、一装置は、製造プロセスのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントとプロセスコンテキスト間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを特定するための関連付けモジュールと、製造プロセスの変更を実装するためにコンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティブにするためのアクティべーションモジュールを含む。この装置は、更に、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティブにする前にコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを認証するための認証モジュールを含む。

上述の記載は、要約であり、それ故、必然的に詳細の簡略化、総括、省略を含む。当然の結果として、当業者であれば、この要約は説明のためのものであり、何れの制限も意図されたものではないと理解するであろう。本発明の他の特性、進歩的な特徴、有利性は、請求項のみによって限定され、以下に記載された制限のない詳細な説明において明瞭となるであろう。

本発明は、当業者にとって添付する図面に関連する以下の記載を参照することによって、多くのオブジェクト、特性、有利性が明瞭になり、十分に理解されよう。
なお、異なる図面における同じ参照符号の使用は、同様の又は同一の項目を示す。

以下の記載は、本発明の一実施例の詳細な説明を用意するために意図されたものであり、発明自体を限定するために理解されるものではない。むしろ、明細書に添付された請求項に限定された本発明の範囲内で、何れの種々な変更が行われてよい。

説明目的である以下の記載において、本発明の十分な理解を助けるために数多くの特定な詳細が記載されている。しかし、本発明は、これらの特定な詳細に限定されることなく
実施可能であることは、当業者にとって明瞭となるであろう。

本明細書において“一実施形態”又は“ある実施形態”と称するものは、具体的な特性、構造、又は実施形態に関連して記載された特性は、少なくとも本発明の一実施形態に含まれることを意味する。本明細書の種々の部分における“一実施形態において”の語句の登場は、必ずしも同様の実施形態全部を称するわけではなく、他の実施形態を除いた別の実施形態又は相互的に代替実施形態を称するものでもない。更に、他の実施形態ではなく、若干の実施形態によって提示可能である種々の特性が記載されている。同様に他の実施形態をではなく、若干の実施形態を満たすための要件であり得る種々の要件が記載されている。

本発明は、コンフィグレーションドキュメントと呼ばれる製造プロセスを実行するための過程に関連した情報を、この情報が使用されるコンテキストから分離するための方法を用意する。製造プロセスにおける時間における特定な時点にて特定なツールによって実行されるべきオペレーションは、例えば、ツールの形式、製造される製品、製品を製造するために要するオペレーションルート、その時点までの完了したオペレーションのような、幾つかの変数によって判断される。これらの変数は、製造プロセスを実行するためのプロセスコンテキストとして、まとめて１つとして示される。

プロセスコンテキストは、定義可能であり、コンテキスト特有の情報は、コンテキストフリーコンフィグレーションをするためにコンフィグレーションドキュメントから除去可能である。コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントとの間で独立して構成可能である。このコンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントの両方から独立しているので、独立して検討されることが可能であり、他のコンテキスト又はコンフィグレーションドキュメントに影響することなしに認証されることが可能である。

図１は、製造プロセスを実行するための命令を含む、プロセスコンテキストとコンフィグレーションドキュメント間で独立したコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを創作し、用いるための方法のフローチャートを示す。定義プロセスコンテキストステップ１１０は任意に行われるものであり、プロセスコンテキストが定義される。プロセスコンテキストは、変数と変数を満たさねばならない数値のセットとして定義可能である。全部の変数値が、この限定に従って満たされたときこのプロセスコンテキストは、有効（有効）なものとなる。単一プロセスコンテキスト定義を有することで、種々のコンフィグレーションドキュメントにおいて、一連の多重プロセスコンテキストを保持する必要がなくなる。一旦、プロセスコンテキストが定義されると、多くの異なるコンフィグレーションドキュメントとの関連付けが可能になる。

一般的な製造環境では、多くのプロセスコンテキストは、ユーザがプロセスコンテキストを限定する必要がないように、既に定義済みとしてもよい。本発明の一実施形態はまた、プロセスコンテキストと、プロセスコンテキスト定義の認証を入手するためのモジュールも包含可能である。

セットアップコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントステップ１２０は、任意に実行されるものであり、製造プロセスを実行するために使用される命令を含むコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントがセットアップされる。コンテキスト情報は、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントを生成するためにコンフィグレーションドキュメントから除去可能であり、そうすることでコンフィグレーションドキュメントの保持と同様にコンフィグレーションドキュメント自体を大きく簡素化する。一般的な製造環境では、多くのコンフィグレーションドキュメントは、ユーザがコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントをセットアップする必要がないように、既に定義済みとしてもよい。本発明の一実施形態はまた、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントをセットアップするためのモジュールと、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントの“認証”を入手するためのモジュールを包含可能である。

プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付け生成ステップ１３０において、プロセスコンテキストが有効であるとき、プロセスコンテキストは、製造プロセスによって実行される命令を用意するコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと関連付けられる。コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントから完全に独立したエンティティであり、それ故、独立して実装されることが可能であり、認証されることが可能である。本発明の範囲はまた、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを非アクティブにする過程を含み、必要なときに製造プロセスの変更可能を容易にする。

製造プロセス変更の関連付けアクティベイトステップ１４０において、コンテキスト／コンフィグレーションの関連付けをアクティブにして製造プロセスを変更することが可能である。例えば、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けがアクティブになると、製造プロセスは、プロセスコンテキストが有効であるとき、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントにおける命令を用いて実行される。更に、アクティべーションは、マネージャによって独立して認証されることが可能である。

本発明の一実施形態は、プロセスコンテキストを定義し、コンテキストの不要なコンフィグレーションドキュメントをセットアップし、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを特定するためのユーザインターフェースを含む。ユーザインターフェースにアクセスを有する何れのユーザも、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント及び／又はプロセスコンテキストとコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを生成可能にする。ユーザインターフェースは、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをサインオフ、又は認証モードに送信可能としてもよい。サインオフモードでは、認証がコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを認証する権限のある一人又は複数の人から入手されるまで、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、１ロットをアクティブにする。一旦、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けが認証されると、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、アクティブになり、製造プロセスを実行するために使用される。コンテキスト／コンフィグレーション関連付けの権限を有する人に、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けがアクティブになったことを知らせるようにしてもよい。

図２は、本発明を用いた製造プロセスのフローチャートである。本発明は、ある特定のプロセスコンテキストが有効になるまで“待ち状態”においてオペレーションするとみなされる可能性がある。プロセスコンテキストが有効か否かの決定点２１０において、プロセスコンテキストが有効か否かに関して判断が為される。プロセスコンテクストが有効でない場合、プロセスコンテクストが有効になるまで決定点２１０が繰り返される。プロセスコンテキストが有効であるとき、プロセスコンテキストに関連付けがあるか否かの決定点である２１５に進む。この決定点２１５において、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けがないとき、制御は、製造プロセス２３０に進み、製造プロセスが実行される。プロセスコンテキスト決定点２１５において、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けが存在する場合、プロセスコンテキストステップに関連したコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントを入手するステップ２２０に進む。このプロセスコンテキストステップ２２０と関連したコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、製造プロセスに関連した命令を含んでよい。

製造プロセス２３０において、製造プロセスは実行される。コンテキスト／コンフィグレーション関連付けがあるとき、製造プロセスを実行するために、プロセスコンテキストに関連したコンテキストフリードキュメントからの命令を使用してもよい。

例えば、製品Ｃの製造プロセスにおいて、そのＤ過程において、製造ツールＢによってオペレーションＡを実行するために所定のレシピが用いられることを想定されたい。プロセスコンテキストは、オペレーションがＡ、ツールはＢ、製品はＣ、過程はＤであるときに有効であると定義することが可能になる。このレシピは、コンテキストフリードキュメントとしてセットアップされることが可能であり、プロセスコンテキストと関連付けが可能になる。製造プロセスの間、このプロセスコンテキストが有効であるとき、レシピを含むコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントが読み出され、このレシピはツールＢとオペレーションＡ，過程Ｄで製品Ｃの製造プロセスを実行するために使用される。

図３は、コンテキストフリードキュメントとプロセスコンテキスト間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを示すブロック概略図である。プロセスコンテキスト３１０は、製造プロセスが実行されるコンテキストの定義を含む。例えば、オペレーション変数、ツール、製品、過程、それら各々の数値は、プロセスコンテキストを用意する。当業者であれば、プロセスコンテキスト３１０は、特定の形式である必要はなく、データベース記録又はフィールド数値、メモリにおける１以上の変数数値、ファイル、又はプロセスコンテキストの永続的な入手を用意できる他の可能性のある形式に対応してよいことを認識するであろう。

コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント３３０は、製造プロセスの具体的なオペレーションを実行するためのツールのレシピのような命令を含んでよい。本発明は、製造プロセスを実行するためのレシピのコンテキストとして説明したが、他の形式のコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントも製造プロセスに関連付けてよい。上述の他の形式のドキュメントは、レシピのような特定的な命令セットが特定的なオペレーションセットにおいて使用されること、製造プロセスに関連したデータを収集するためのデータ収集プラン、操作者が製造プロセスを実行可能である前に要請される操作者の証明を示す証明ドキュメント、製造プロセスに関連した他の形式のドキュメント、を示すプロセス制御対策を含む。当業者であれば、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント３３０は、特定の形式である必要はなく、データベース記録又はフィールド数値、メモリにおける１以上の変数数値、ファイル、又はプロセスコンテキストの永続的な入手を用意できる他の可能性のある形式に対応してよいことを認識するであろう。

コンテキスト／コンフィグレーション関連付け３２０は、プロセスコンテキスト３１０とコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント３３０との間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを提供する。この例において、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、コンテキストレファレンスaとコンフィグレーションレファレンス３２０ｂの形式を取る。コンテキスト／コンフィグレーション関連付け自体は、プロセスコンテキスト３１０とコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント３３０から独立していて、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、プロセスコンテキスト３１０とコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント３３０の内容を含むのではなく、これらへのリファレンスを含むことができる。当業者であれば、コンテキスト／コンフィグレーションコンテキストコンフィグレーションドキュメント関連付け３２０は、特定の形式である必要はなく、データベース記録又はフィールド数値、メモリにおける１以上の変数数値、ファイル、又はコンテキスト／コンフィグレーション関連付けの永続的な入手を用意できる他の可能性のある形式に対応してよいことを認識するであろう。

本発明の範囲はまた、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けのための実効的なタイム期間を特定する過程を含む。実効的なタイム期間の間、製造プロセスは、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを用いて実行される。この実効的なタイム期間以外では、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、製造プロセスにおいて効果を有しない。即ち、あたかもコンテキストコンフィグレーション関連付けが存在しないかのようにふるまう。実効的なタイム期間がスタートしたときに他のコンテキストコンフィグレーション関連付けがその時点で有効となっていた場合、新しい実効的なコンテキスト／コンフィグレーション関連付けが有効になるときに、それまでのコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを非アクティブとしてアーカイブに保管されるようにしてもよい。

本発明は単一プロセスコンテキストに関して記載されたものであるが当業者であれば、多くのプロセスコンテキストが定義されてよく、かつ、同時に有効となってもよいことは容易に認識するであろう。加えて、単一プロセスコンテキストは、多くのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと関連付けられてよいし、単一コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、多くのプロセスコンテキストと関連付けられてよい。

この技術分野の当業者であれば、図面を参照して記載された上述の方法は、装置又はコンピュータシステムを用いて自動化されることを認識するだろう。例えば、この装置又はコンピュータシステムは、プロセスコンテキストとプロセスコンテキストが有効であるときに使用されるための情報を含むコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間にコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを生成するために、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けモジュールを含むことが可能である。この装置又はコンピュータシステムは、更に、コンテキストコンフィグレーションドキュメントをアクティブにするためのアクティベイションモジュールを含んでよい。この装置又はコンピュータシステムは、更にコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを認証するための認証モジュールを含むことが可能である。

本発明により多くの利点が得られる。本発明では、オペレーションのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントを、そのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントが使用されるプロセスコンテキストとは別個に特定することができる。更に、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントから独立して存在する。プロセスコンテキストからコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントを分離する過程は、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント又はプロセスコンテキストの何れの複製も必要としないので、両方のメインテナンスをかなり容易にする。

プロセスコンテキスト、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けを別個に特定することによって、バージョン制御及び探索する過程のようなドキュメント管理を、各レシピを管理するために使用することが可能になる。コンテキスト／コンフィグレーション関連付けのバージョン、プロセスコンテキスト、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントを、変更追跡が可能になるように保持することが可能である。サインオフ手順は、コンテキスト／コンフィグレーション関連付け、プロセスコンテキスト、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントの各々のために実装されることが可能である。コンテキスト／コンフィグレーション関連付け、プロセスコンテキスト、コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、ユーザインターフェースを介して何れのユーザによって生成することが可能である。ただし、必要な管理認証が入手されるまでは、生産過程にはこれらは用いられない。プロセスコンテキストは、１回のみ特定されることが可能であり、及び、適用可能である多くのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと関連付けされることが可能である。

一実施形態において、コンテキスト／コンフィグレーション関連付けは、管理認証、効果タイム追跡特性、及び探索性能のための、組み込まれたサインオフ手順を有する、バージョン化されたオブジェクトとして実装される。他の実施形態において、プロセスコンテキスト及び／又はコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、バージョン化されたオブジェクトとして同様に実装可能である。
［他の実施形態］

本発明は、１以上のコンピュータシステムを動作するソフトウェアアプリケーションのコンテキストについて記載されたものである。しかし、当業者にとって、本発明は種々の形式におけるプログラム製品として配信することが可能であり、また使用された信号を有するメディアの個々の形式に関係なく、等しく配信を実際に実行するために適用することが十分に理解されるだろう。信号を有するメディアの例は、将来開発されるメディア記録装置及び配信システムと同様に、デジタル及びアナログ通信リンクのような伝送メディア、フロッピーディスク、ＣＤ−ＲＯＭのような記録可能メディアを含む。

更に、上述した詳細の記載は、ブロック概略図、フローチャート、例を用いることによって本発明の種々の実施形態を説明した。本技術分野の当業者にとって、実施例を用いることによって説明された各ブロック概略図の構成部分、フローチャート、操作及び／又は構成要素は、個々に、あるいは集合的に実装可能であることが理解されるであろう。

製造プロセスを実行するための命令によって、プロセスコンテキストとコンフィグレーションドキュメント間の独立したコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを創作するためのプロセスを示すフローチャートである。 本発明を使用した製造プロセスのフローチャートである。 プロセスコンテキストとコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメント間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けのブロック概略図である。

Claims (16)

1. 製造プロセスのためのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと、プロセスコンテキストと、の間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを特定する過程と、
   製造プロセスの変更を実装するために前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティベイトする過程と、を含む、製造プロセスの制御方法。
2. 前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティベイトする過程を行う前に前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けを認証する過程を含む、請求項１記載の方法。
3. 前記変更には、前記プロセスコンテキストが有効であるときに前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントに従って前記製造プロセスを実行する過程が含まれる、請求項１記載の方法。
4. 前記プロセスコンテキストは、製品製造オペレーションのルーティングのオペレーションを含む、
   請求項１記載の方法。
5. 前記プロセスコンテキストは、製造ツールのオペレーションを含む、
   請求項１記載の方法。
6. 前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記製造プロセスを実行するための仕様ドキュメントを含む、
   請求項１記載の方法。
7. 前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記製造プロセスを実行するための命令を含む、
   請求項１記載の方法。
8. 前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記製造プロセスを実行するためのレシピを含む、請求項１記載の方法。
9. 前記製造プロセスは、半導体製造プロセスであり；
   前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記半導体製造プロセスを実行するためのレシピに対応する、請求項１記載の方法。
10. 前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティベイトする過程では、第１コンテキスト／コンフィグレーション関連付けが除去される、
    請求項１記載の方法。
11. 第１認証が入手されたときに前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けを非アクティベイト化する過程と、
    前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティベイトする過程の前に第２認証を入手する過程と、を含む、請求項１０記載の方法。
12. 製造プロセスのためのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと、プロセスコンテキストと、の間のコンテキスト／コンフィグレーション関連付けを特定するための関連付けモジュールと、
    製造プロセスの変更を実装するために前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティベイトするためのアクティベイションモジュールと、を含む、装置。
13. 前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けをアクティベイトする前に前記コンテキスト／コンフィグレーション関連付けを認証するための認証モジュールを含む、
    請求項１２記載の装置。
14. 前記プロセスコンテキストが有効であるとき、前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントに従って前記製造プロセスを実行するための実行モジュールを含む、
    請求項１２記載の装置。
15. 前記プロセスコンテキストを規定するとともに前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントをセットアップするためのユーザインターフェースモジュールを含む、請求項１２記載の装置。
16. 前記プロセスコンテキストと、前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと、を関連付けするよう動作可能なユーザインターフェースモジュールを含む、請求項１２記載の装置。

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