JP5443365B2 - レシピを微調整するためのモデルを作成するための方法及び配置構造 - Google Patents
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Claims (18)
- プラズマ処理システムのユーザーによる、処理された基材についての測定データの収集のためのモデルを作成するための装置であって、
入力データセットと出力データセットとの間の関係を示す前記モデルを少なくとも作成するように構成されているジェネリックモデルビルダーと、
複数の入力ソースからの前記入力データセットを含む入力モジュールと、
前記入力データセットの完全性を少なくとも決定するように構成されている入力調整及び検証モジュールと、
数学的関係セットを少なくとも作成するように構成されている関連モジュールであって、数式要素、行列変換調整要素、及び、カスタマイズされた数式要素の少なくとも1つを含むように構成された関連モジュールと、
前記出力データセットの完全性を少なくとも決定するように構成されている出力調整及び検証モジュールと、を備える装置。 - 前記複数の入力ソースは、ユーザー定義ソース、前計測データソース、後計測データソース、センサデータソース、エンドポイントソース、及び、ソフトウェア計算データソースを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記関連モジュールは、前記入力データセットに入力変数セットをマッピングすることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記出力データセットは、レシピ設定値、別の数学的関係の入力データ、及び、欠陥検出を実行するためのデータの少なくとも1つに関連付けられることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- テンプレートセットは、前記入力調整及び検証モジュール並びに前記出力調整及び検証モジュールの少なくとも1つのパラメータの値を入力することによって、前記モデルから作成されることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記テンプレートセットのテンプレートは、第1のレシピステップに関連付けられることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- プラズマ処理システムのユーザーによって処理された基材についての測定データを収集するためのモデルを作成するための方法であって、
入力データセットと出力データセットとの間の関係を示す前記モデルを少なくとも作成するように構成されているジェネリックモデルビルダーを起動するステップと、
前記入力データセットの完全性を少なくとも決定するように構成されている入力調整及び検証モジュールのフィルタリング条件及び検証ルールの少なくとも1つを定めるステップと、
数学的関係セットを作成するステップであって、前記数学的関係セットの第1数学的関係が、入力変数セットの第1入力変数及び数学演算子セットを少なくとも含み、前記第1数学的関係が前記出力データセットの第1出力データを少なくとも提供するように構成され、且つ、前記第1数学的関係が、数式要素、行列変換調整要素、及び、カスタマイズされた数式要素の少なくとも1つを含むように構成されている関連モジュールによって作成される、ステップと、
前記出力データセットの完全性を少なくとも決定するように構成されている出力調整及び検証モジュールのフィルタリング条件及び検証ルールの少なくとも1つを定めるステップと、を含む方法。 - 前記入力変数セットを、複数の入力ソースから受け取った前記入力データセットにマッピングするステップをさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記複数の入力ソースは、ユーザー定義ソース、前計測データソース、後計測データソース、センサデータソース、エンドポイントソース、及び、ソフトウェア計算データソースを含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記数学的関係セットの第2数学的関係を作成するステップをさらに含み、
前記第2数学的関係は、前記入力変数セットの第2入力変数及び前記数学的演算子を少なくとも含み、前記出力データセットの第2出力データを少なくとも提供するように構成されていることを特徴とする請求項9に記載の方法。 - レシピ設定値、別の数学的関係の入力データ、及び、欠陥検出を実行するためのデータの少なくとも1つであるように前記出力データセットを定めるステップをさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 前記フィルタリング条件及び前記検証ルールの少なくとも1つの値を入力することで、前記モデルからテンプレートセットを作成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項11に記載の方法。
- 前記テンプレートセットの第1テンプレートを第1のレシピステップに関連付けるステップをさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
- プラズマ処理システムのユーザーによる、処理された基材についての測定データの収集のためのモデルを作成するように構成されているコンピュータ可読コードが組み込まれたプログラムストレージメディアであって、
入力データセットと出力データセットとの間の関係を示す前記モデルを少なくとも作成するように構成されているジェネリックモデルビルダーを起動するためのコードと、
前記入力データセットの完全性を少なくとも決定するように構成されている入力調整及び検証モジュールのフィルタリング条件及び検証ルールの少なくとも1つを定めるためのコードと、
数学的関係セットを作成するためのコードであって、前記数学的関係セットは、入力変数セット及び数学演算子セットを少なくとも含み、前記出力データセットを少なくとも提供するように構成され、且つ、前記数学的関係セットの数学的関係が、数式要素、行列変換調整要素、及び、カスタマイズされた数式要素の少なくとも1つを含むように構成されている関連モジュールによって作成される、コードと、
前記出力データセットの完全性を少なくとも決定するように構成されている出力調整及び検証モジュールのフィルタリング条件及び検証ルールの少なくとも1つを定めるためのコードと、を含むプログラムストレージメディア。 - 前記入力変数セットを、複数の入力ソースから受け取った前記入力データセットにマッピングするためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項14に記載のプログラムストレージメディア。
- レシピ設定値、別の数学的関係の入力データ、及び、欠陥検出を実行するためのデータの少なくとも1つであるとして前記出力データセットを定めるためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項15に記載のプログラムストレージメディア。
- 前記フィルタリング条件及び前記検証ルールの少なくとも1つの値を入力することで、前記モデルからテンプレートセットを作成するためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項16に記載のプログラムストレージメディア。
- 前記テンプレートセットの第1テンプレートを第1のレシピステップに関連付けるためのコードをさらに含むことを特徴とする請求項17に記載のプログラムストレージメディア。
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