JPH05334395A - サイジング処理方法 - Google Patents
サイジング処理方法Info
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- JPH05334395A JPH05334395A JP4138248A JP13824892A JPH05334395A JP H05334395 A JPH05334395 A JP H05334395A JP 4138248 A JP4138248 A JP 4138248A JP 13824892 A JP13824892 A JP 13824892A JP H05334395 A JPH05334395 A JP H05334395A
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- Japan
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- pattern
- sizing
- rectangular
- sizing process
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Abstract
(57)【要約】
【目的】正しいサイジング処理をより短時間で行う。
【構成】正のサイジング処理を行う場合に、外角が９０
°の頂点ｈを一端とする辺ｇｈ及び辺ｉｈを該一端ｈか
ら延長させて、内辺パターンｇｈｉｊｋｍを矩形パター
ンｇｐｋｍと矩形パターンｉｊｋｑとに分割し、短辺の
半値Ｌがサイジング量Ｓ以下である矩形パターンｉｊｋ
ｑを除外し、短辺の半値Ｌがサイジング量Ｓより大きい
矩形パターンｑｐｋｍに対しサイジング量が−Ｓのサイ
ジング処理を行って矩形パターンＧＰＫＭを得、サイジ
ング処理された矩形パターン間の図形論理和ＧＰＫＭ
を、サイジング処理された内辺パターンとする。内辺パ
ターンのみを矩形パターンに分割し、この矩形パターン
と外辺パターンとに対しサイジング処理を行えばよく、
また、この矩形パターンがサイジング処理により消滅す
る場合の処理が簡単となる。
°の頂点ｈを一端とする辺ｇｈ及び辺ｉｈを該一端ｈか
ら延長させて、内辺パターンｇｈｉｊｋｍを矩形パター
ンｇｐｋｍと矩形パターンｉｊｋｑとに分割し、短辺の
半値Ｌがサイジング量Ｓ以下である矩形パターンｉｊｋ
ｑを除外し、短辺の半値Ｌがサイジング量Ｓより大きい
矩形パターンｑｐｋｍに対しサイジング量が−Ｓのサイ
ジング処理を行って矩形パターンＧＰＫＭを得、サイジ
ング処理された矩形パターン間の図形論理和ＧＰＫＭ
を、サイジング処理された内辺パターンとする。内辺パ
ターンのみを矩形パターンに分割し、この矩形パターン
と外辺パターンとに対しサイジング処理を行えばよく、
また、この矩形パターンがサイジング処理により消滅す
る場合の処理が簡単となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アートワークにおいて
行われる、マスクパターンＣＡＤデータに対するサイジ
ング処理方法に関する。
行われる、マスクパターンＣＡＤデータに対するサイジ
ング処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】マスクパターンのＣＡＤデータに対する
サイジング処理は、原パターンが図７（Ａ１）に示すよ
うな矩形パターンａｂｃｄでサイジング量Ｓが正の場
合、（Ｂ１）に示す如く、各辺ＡＢ、ＢＣ、ＣＤ及びＤ
Ａを外側にサイジング量Ｓだけ平行移動させ、かつ、各
辺の両端をサイジング量Ｓだけ延長させることにより行
われる。このサイジング処理により、中心を移動させず
に太らせた矩形パターンＡＢＣＤが得られる。
サイジング処理は、原パターンが図７（Ａ１）に示すよ
うな矩形パターンａｂｃｄでサイジング量Ｓが正の場
合、（Ｂ１）に示す如く、各辺ＡＢ、ＢＣ、ＣＤ及びＤ
Ａを外側にサイジング量Ｓだけ平行移動させ、かつ、各
辺の両端をサイジング量Ｓだけ延長させることにより行
われる。このサイジング処理により、中心を移動させず
に太らせた矩形パターンＡＢＣＤが得られる。
【０００３】また、図７（Ａ２）のように、原パターン
が内抜きの矩形パターンである場合、すなわち、外辺パ
ターンａｂｃｄから内辺パターンｅｆｇｈを抜き取った
形状のパターンである場合で、サイジング量Ｓが正のと
き、外辺パターンａｂｃｄに対しては上記処理を行って
外辺パターンＡＢＣＤが得られ、内辺パターンｅｆｇｈ
に対してはサイジング量が−Ｓのときの上記同様の処理
を行って内辺パターンＥＦＧＨが得られる。
が内抜きの矩形パターンである場合、すなわち、外辺パ
ターンａｂｃｄから内辺パターンｅｆｇｈを抜き取った
形状のパターンである場合で、サイジング量Ｓが正のと
き、外辺パターンａｂｃｄに対しては上記処理を行って
外辺パターンＡＢＣＤが得られ、内辺パターンｅｆｇｈ
に対してはサイジング量が−Ｓのときの上記同様の処理
を行って内辺パターンＥＦＧＨが得られる。
【０００４】しかし、半導体集積回路の高集積化に伴
い、パターンが微細化し、例えば図７（Ａ３）の原パタ
ーンに対し（Ｂ３）に示すように上記サイジング処理を
行うと、本来消滅すべき内辺パターンｅｆｇｈが内辺パ
ターンＧＨＥＦとして現れる。
い、パターンが微細化し、例えば図７（Ａ３）の原パタ
ーンに対し（Ｂ３）に示すように上記サイジング処理を
行うと、本来消滅すべき内辺パターンｅｆｇｈが内辺パ
ターンＧＨＥＦとして現れる。
【０００５】このような誤処理を避けるために、従来で
は図８（Ａ）に示すように、（１）原パターンを内抜き
のない４つの矩形パターンａｉｍｄ、ｊｂｃｋ、ｉｊｆ
ｅ及びｈｇｋｍに分割し、（２）分割された各矩形パタ
ーンに対し上記サイジング処理を行って、（Ｂ）に示す
ような４つの矩形パターンＡＩ１ＭＤ、Ｊ１ＢＣＫ１、
Ｉ２Ｊ２ＦＥ及びＨＧＫ２Ｈ２を得、（３）これらの矩
形パターンに対し図形論理和演算を行って（Ｃ）に示す
ような内抜きパターンの消滅した矩形パターンＡＢＣＤ
を得ていた。
は図８（Ａ）に示すように、（１）原パターンを内抜き
のない４つの矩形パターンａｉｍｄ、ｊｂｃｋ、ｉｊｆ
ｅ及びｈｇｋｍに分割し、（２）分割された各矩形パタ
ーンに対し上記サイジング処理を行って、（Ｂ）に示す
ような４つの矩形パターンＡＩ１ＭＤ、Ｊ１ＢＣＫ１、
Ｉ２Ｊ２ＦＥ及びＨＧＫ２Ｈ２を得、（３）これらの矩
形パターンに対し図形論理和演算を行って（Ｃ）に示す
ような内抜きパターンの消滅した矩形パターンＡＢＣＤ
を得ていた。
【０００６】このようにすれば、内抜きパターンに対し
ても正しいサイジング処理を行うことができる。
ても正しいサイジング処理を行うことができる。
【０００７】なお、図８（Ｂ）では、混同を避けるため
各矩形パターンの辺が重ならないように、各矩形パター
ンを互いに少しずらして表している。
各矩形パターンの辺が重ならないように、各矩形パター
ンを互いに少しずらして表している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、サイジング処
理対象の原パターン数が膨大である上に、内抜きパター
ンの分割によりサイジング処理対象のパターン数が大幅
に増加するため、サイジング処理の長時間化が著しくな
る。これを避けるため、図７（Ｂ３）に示すようなサイ
ジング処理を行うと、好ましくないパターンが得られ
る。
理対象の原パターン数が膨大である上に、内抜きパター
ンの分割によりサイジング処理対象のパターン数が大幅
に増加するため、サイジング処理の長時間化が著しくな
る。これを避けるため、図７（Ｂ３）に示すようなサイ
ジング処理を行うと、好ましくないパターンが得られ
る。
【０００９】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、正しいサイジング処理をより短時間で行うことがで
きるサイジング処理方法を提供することにある。
み、正しいサイジング処理をより短時間で行うことがで
きるサイジング処理方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段及びその作用】図１及び図
２は、本発明に係るサイジング処理方法の説明図であ
る。
２は、本発明に係るサイジング処理方法の説明図であ
る。
【００１１】このサイジング処理方法は、マスクパター
ンＣＡＤデータに含まれている、外辺パターンから内辺
パターンを抜き取った形状の原パターンに対し、外辺の
外側及び内辺の内側へ幅Ｓだけ該原パターンを太らせる
という、サイジング量Ｓが正のサイジング処理を行う場
合に、以下のような処理（１）〜（５）を行う。この原
パターンは、例えば図１（Ａ）に示すような外辺パター
ンａｂｃｄから内辺パターンｅｆｇｈを抜き取った形状
のパターン、又は、図２（Ａ）に示すような外辺パター
ンａｂｃｄｅｆから内辺パターンｇｈｉｊｋｍを抜き取
った形状のパターンである。
ンＣＡＤデータに含まれている、外辺パターンから内辺
パターンを抜き取った形状の原パターンに対し、外辺の
外側及び内辺の内側へ幅Ｓだけ該原パターンを太らせる
という、サイジング量Ｓが正のサイジング処理を行う場
合に、以下のような処理（１）〜（５）を行う。この原
パターンは、例えば図１（Ａ）に示すような外辺パター
ンａｂｃｄから内辺パターンｅｆｇｈを抜き取った形状
のパターン、又は、図２（Ａ）に示すような外辺パター
ンａｂｃｄｅｆから内辺パターンｇｈｉｊｋｍを抜き取
った形状のパターンである。
【００１２】（１）該内辺パターンに９０°の外角があ
るとき、外角が９０°の頂点を一端とする辺を該一端か
ら延長させて該内辺パターンを第１〜第ｎ矩形パターン
に分割する。
るとき、外角が９０°の頂点を一端とする辺を該一端か
ら延長させて該内辺パターンを第１〜第ｎ矩形パターン
に分割する。
【００１３】例えば原パターンが図２（Ａ）の場合に
は、図２（Ｂ）に示す如く、外角が９０°の頂点ｈを一
端とする辺ｇｈ及び辺ｉｈを該一端ｈから延長させて内
辺パターンｇｈｉｊｋｍを第１矩形パターンｇｐｋｍと
第２矩形パターンｉｊｋｑとに分割する。
は、図２（Ｂ）に示す如く、外角が９０°の頂点ｈを一
端とする辺ｇｈ及び辺ｉｈを該一端ｈから延長させて内
辺パターンｇｈｉｊｋｍを第１矩形パターンｇｐｋｍと
第２矩形パターンｉｊｋｑとに分割する。
【００１４】（２）該第１〜第ｎ矩形パターンの各々又
は矩形パターンである該内辺パターン、例えば図１の内
辺パターンｅｆｇｈについて、短辺の半値Ｌがサイジン
グ量Ｓ以下である場合には該矩形パターンを除外し、短
辺の半値Ｌがサイジング量Ｓより大きい場合には該矩形
パターンに対し、辺の内側へ幅Ｓだけ該矩形パターンを
細らせるという、サイジング量が−Ｓのサイジング処理
を行う。
は矩形パターンである該内辺パターン、例えば図１の内
辺パターンｅｆｇｈについて、短辺の半値Ｌがサイジン
グ量Ｓ以下である場合には該矩形パターンを除外し、短
辺の半値Ｌがサイジング量Ｓより大きい場合には該矩形
パターンに対し、辺の内側へ幅Ｓだけ該矩形パターンを
細らせるという、サイジング量が−Ｓのサイジング処理
を行う。
【００１５】例えば図２（Ｂ）において、短辺の半値Ｌ
がサイジング量Ｓ以下である第２矩形パターンｉｊｋｑ
を除外し、短辺の半値Ｌがサイジング量Ｓより大きい第
１矩形パターンｑｐｋｍに対しサイジング量が−Ｓのサ
イジング処理を行って、矩形パターンＧＰＫＭを得る。
がサイジング量Ｓ以下である第２矩形パターンｉｊｋｑ
を除外し、短辺の半値Ｌがサイジング量Ｓより大きい第
１矩形パターンｑｐｋｍに対しサイジング量が−Ｓのサ
イジング処理を行って、矩形パターンＧＰＫＭを得る。
【００１６】（３）該内辺パターンに９０°の外角があ
るときにはサイジング処理された該第１〜第ｎ矩形パタ
ーン間の図形論理和を、サイジング処理された内辺パタ
ーンとする。
るときにはサイジング処理された該第１〜第ｎ矩形パタ
ーン間の図形論理和を、サイジング処理された内辺パタ
ーンとする。
【００１７】例えば図２（Ｂ）では、パターンＧＰＫＭ
を、サイジング処理された内辺パターンとする。
を、サイジング処理された内辺パターンとする。
【００１８】（４）該外辺パターンに対しサイジング量
Ｓのサイジング処理を行う。
Ｓのサイジング処理を行う。
【００１９】例えば図２（Ｂ）では、外辺パターンａｂ
ｃｄｅｆに対しサイジング量Ｓのサイジング処理を行う
ことにより、パターンＡＢＣＤＥＦが得られる。
ｃｄｅｆに対しサイジング量Ｓのサイジング処理を行う
ことにより、パターンＡＢＣＤＥＦが得られる。
【００２０】（５）サイジング処理された該外辺パター
ンから、サイジング処理された該内辺パターンを抜き取
った形状のパターンを、該原パターンに対しサイジング
量Ｓのサイジング処理を行ったパターンとする。
ンから、サイジング処理された該内辺パターンを抜き取
った形状のパターンを、該原パターンに対しサイジング
量Ｓのサイジング処理を行ったパターンとする。
【００２１】例えば図２（Ａ）の原パターンに対しサイ
ジング量Ｓのサイジング処理を行ったパターンは、図２
（Ｂ）の点線で示すパターンとなる。
ジング量Ｓのサイジング処理を行ったパターンは、図２
（Ｂ）の点線で示すパターンとなる。
【００２２】本発明では、内辺パターンのみを矩形パタ
ーンに分割し、この矩形パターンと外辺パターンとに対
しサイジング処理を行えばよく、また、この矩形パター
ンがサイジング処理により消滅する場合の処理が簡単と
なるので、正しいサイジング処理をより短時間で行うこ
とができる。
ーンに分割し、この矩形パターンと外辺パターンとに対
しサイジング処理を行えばよく、また、この矩形パター
ンがサイジング処理により消滅する場合の処理が簡単と
なるので、正しいサイジング処理をより短時間で行うこ
とができる。
【００２３】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【００２４】図６は、アートワーク処理装置のハードウ
エア概略構成を示す。この装置は、コンピュータ１０に
磁気テープ１１、２１及び磁気ディスク１２、２２が接
続されている。磁気テープ１１には、マスクパターンの
ＣＡＤデータが記録されている。
エア概略構成を示す。この装置は、コンピュータ１０に
磁気テープ１１、２１及び磁気ディスク１２、２２が接
続されている。磁気テープ１１には、マスクパターンの
ＣＡＤデータが記録されている。
【００２５】次に、コンピュータ１０によるアートワー
ク処理を図３〜図５に基づいて説明する。以下、括弧内
の数値は、図中のステップ識別番号を表す。
ク処理を図３〜図５に基づいて説明する。以下、括弧内
の数値は、図中のステップ識別番号を表す。
【００２６】（３０）コンピュータ１０は、処理の高速
化のために、磁気テープ１１から処理対象のマスクパタ
ーンＣＡＤデータを読み出し、これを磁気ディスク１２
に書き込む。
化のために、磁気テープ１１から処理対象のマスクパタ
ーンＣＡＤデータを読み出し、これを磁気ディスク１２
に書き込む。
【００２７】（３１）Ｓ≠０であれば次のステップ３２
へ進み、Ｓ＝０であればステップ３３へ進む。
へ進み、Ｓ＝０であればステップ３３へ進む。
【００２８】（３２）コンピュータ１０は、磁気ディス
ク１２に書き込まれているマスクパターンＣＡＤデータ
の全パターンに対し、図４に示すようなサイジング処理
を行い、その結果を磁気ディスク２２に書き込む。
ク１２に書き込まれているマスクパターンＣＡＤデータ
の全パターンに対し、図４に示すようなサイジング処理
を行い、その結果を磁気ディスク２２に書き込む。
【００２９】（３３）磁気ディスク２２に書き込まれた
マスクパターンデータを露光装置用及び検査装置用のフ
ォーマットに変換し、これを磁気テープ２１に書き込
む。
マスクパターンデータを露光装置用及び検査装置用のフ
ォーマットに変換し、これを磁気テープ２１に書き込
む。
【００３０】次に、上記ステップ３２で行われる、１個
のパターンに対する正のサイジング処理（Ｓ＞０）の詳
細を図４に基づいて説明する。負のサイジング処理（Ｓ
＜０）は従来と同一である。
のパターンに対する正のサイジング処理（Ｓ＞０）の詳
細を図４に基づいて説明する。負のサイジング処理（Ｓ
＜０）は従来と同一である。
【００３１】（４０）サイジング対象の原パターンが内
抜きパターンであるかどうか、すなわち、パターンに内
辺、例えば図１に示すような内辺ｅｆｇｈがあるかどう
かを判断する。内辺があれば次のステップ４１へ進み、
なければステップ４６へ進む。
抜きパターンであるかどうか、すなわち、パターンに内
辺、例えば図１に示すような内辺ｅｆｇｈがあるかどう
かを判断する。内辺があれば次のステップ４１へ進み、
なければステップ４６へ進む。
【００３２】（４１）内辺数が４であれば次のステップ
４２へ進み、４より大きければステップ４３へ進む。内
辺パターンの内角が全て９０°の場合には内辺数が４と
なるので、内辺数が４であるかどうかは、内角が９０°
以外のものがあるかどうか、換言すれば、９０°の外角
があるかどうかで判断することができる。
４２へ進み、４より大きければステップ４３へ進む。内
辺パターンの内角が全て９０°の場合には内辺数が４と
なるので、内辺数が４であるかどうかは、内角が９０°
以外のものがあるかどうか、換言すれば、９０°の外角
があるかどうかで判断することができる。
【００３３】（４２）内辺で囲まれるパターン（内辺パ
ターン）の分割数ｎに１を代入し、ステップ４５へ進
む。
ターン）の分割数ｎに１を代入し、ステップ４５へ進
む。
【００３４】（４３）内辺パターンを第１〜ｎ矩形パタ
ーンに分割する。例えば、原パターンが図２（Ａ）に示
すように、外辺パターンａｂｃｄｅｆから内辺パターン
ｇｈｉｊｋｍが抜き取られた形状である場合、この内辺
パターンｇｈｉｊｋｍを次のように分割する。すなわ
ち、図２（Ｂ）に示すように、外角が９０°の頂点ｈを
一端とする辺ｇｈ及びｉｈを該一端ｈから延長させ、辺
ｊｋとの交点をｐとし、辺ｍｋとの交点をｑとし、内辺
パターンｇｈｉｊｋｍを第１矩形パターンｇｐｋｍと第
２矩形パターンｉｊｋｑとに分割する。
ーンに分割する。例えば、原パターンが図２（Ａ）に示
すように、外辺パターンａｂｃｄｅｆから内辺パターン
ｇｈｉｊｋｍが抜き取られた形状である場合、この内辺
パターンｇｈｉｊｋｍを次のように分割する。すなわ
ち、図２（Ｂ）に示すように、外角が９０°の頂点ｈを
一端とする辺ｇｈ及びｉｈを該一端ｈから延長させ、辺
ｊｋとの交点をｐとし、辺ｍｋとの交点をｑとし、内辺
パターンｇｈｉｊｋｍを第１矩形パターンｇｐｋｍと第
２矩形パターンｉｊｋｑとに分割する。
【００３５】（４４）ステップ４３での分割数をｎに代
入する。図２（Ｂ）の場合はｎ＝２である。
入する。図２（Ｂ）の場合はｎ＝２である。
【００３６】（４５）矩形パターンに分割された内辺パ
ターンに対し、図５に示すようなサイジング処理を行
う。
ターンに対し、図５に示すようなサイジング処理を行
う。
【００３７】（４６）外辺パターンに対し、従来法によ
りサイジング処理を行う。例えば図１に示す外辺パター
ンａｂｃｄに対しサイジング処理を行うと、パターンＡ
ＢＣＤが得られ、図２（Ｂ）に示す外辺パターンａｂｃ
ｄｅｆに対しサイジング処理を行うと、パターンＡＢＣ
ＤＥＦが得られる。
りサイジング処理を行う。例えば図１に示す外辺パター
ンａｂｃｄに対しサイジング処理を行うと、パターンＡ
ＢＣＤが得られ、図２（Ｂ）に示す外辺パターンａｂｃ
ｄｅｆに対しサイジング処理を行うと、パターンＡＢＣ
ＤＥＦが得られる。
【００３８】（４７）サイジング処理した外辺パターン
から、サイジング処理した内辺パターンを抜き取った形
状のパターンを、原パターンに対しサイジング量Ｓのサ
イジングを行ったパターンとして、ＲＡＭの所定領域に
格納し、該領域が満杯になる毎にそのデータを磁気ディ
スク２２に書き込む。
から、サイジング処理した内辺パターンを抜き取った形
状のパターンを、原パターンに対しサイジング量Ｓのサ
イジングを行ったパターンとして、ＲＡＭの所定領域に
格納し、該領域が満杯になる毎にそのデータを磁気ディ
スク２２に書き込む。
【００３９】なお、上記ステップ４３で仮に、内辺パタ
ーンｇｈｉｊｋｍを矩形パターンｇｈｑｍと矩形パター
ンｉｊｋｑとに分割したとすると、内辺パターンｇｈｉ
ｊｋｍの頂点ではない点ｑを頂点とする矩形パターンｇ
ｈｑｍがサイジング処理されるので、正しいサイジング
を行うことができない。すなわち、上記ステップ４３の
ように分割する必要がある。
ーンｇｈｉｊｋｍを矩形パターンｇｈｑｍと矩形パター
ンｉｊｋｑとに分割したとすると、内辺パターンｇｈｉ
ｊｋｍの頂点ではない点ｑを頂点とする矩形パターンｇ
ｈｑｍがサイジング処理されるので、正しいサイジング
を行うことができない。すなわち、上記ステップ４３の
ように分割する必要がある。
【００４０】次に、上記ステップ４５の詳細を、図５に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００４１】（５０）内辺パターンを分割して得られた
上記矩形パターンの識別変数ｉに１を代入する。
上記矩形パターンの識別変数ｉに１を代入する。
【００４２】（５１〜５３）第ｉ矩形パターンの横Ｗｉ
と縦Ｈｉの大小関係がＷｉ≧ＨｉであればＨｉ／２を短
辺半値Ｌに代入し、Ｗｉ＜Ｈｉであれば、Ｗｉ／２を短
辺半値Ｌに代入する。
と縦Ｈｉの大小関係がＷｉ≧ＨｉであればＨｉ／２を短
辺半値Ｌに代入し、Ｗｉ＜Ｈｉであれば、Ｗｉ／２を短
辺半値Ｌに代入する。
【００４３】（５４〜５６）Ｌ＞Ｓであれば、第ｉ矩形
パターンに対し従来法によりサイジング量が−Ｓのサイ
ジング処理を行う。例えば図２（Ｂ）の矩形パターンｇ
ｐｋｍに対しこのサイジング処理を行うと、矩形パター
ンＧＰＫＭが得られる。
パターンに対し従来法によりサイジング量が−Ｓのサイ
ジング処理を行う。例えば図２（Ｂ）の矩形パターンｇ
ｐｋｍに対しこのサイジング処理を行うと、矩形パター
ンＧＰＫＭが得られる。
【００４４】Ｌ≦Ｓであれば、第ｉ矩形パターンを除外
する。例えば図２（Ｂ）に示す矩形パターンｉｊｋｑ
は、Ｌ≧Ｓであり、除外されて消滅する。条件Ｌ≦Ｓ
は、図１において、直線ｅＥと直線ｆＦが交わることを
意味する。ここに点Ｅ及びＦは、内辺パターンｅｆｇｈ
に対しサイジング量−Ｓのサイジング処理を行った後の
パターンの、点ｅ及びｆに対応する点である。
する。例えば図２（Ｂ）に示す矩形パターンｉｊｋｑ
は、Ｌ≧Ｓであり、除外されて消滅する。条件Ｌ≦Ｓ
は、図１において、直線ｅＥと直線ｆＦが交わることを
意味する。ここに点Ｅ及びＦは、内辺パターンｅｆｇｈ
に対しサイジング量−Ｓのサイジング処理を行った後の
パターンの、点ｅ及びｆに対応する点である。
【００４５】（５７）ｉ＜ｎであれば、ステップ５８へ
進み、ｉ＝ｎであればステップ５９へ進む。
進み、ｉ＝ｎであればステップ５９へ進む。
【００４６】（５８）ｉをインクリメントし、上記ステ
ップ５１へ戻る。
ップ５１へ戻る。
【００４７】（５９）ｎ＝１、すなわち、内辺パターン
が矩形パターンである場合には、１個の内辺パターンに
対するサイジング処理を終了し、ｎ＞１であれば、次の
ステップ６０へ進む。
が矩形パターンである場合には、１個の内辺パターンに
対するサイジング処理を終了し、ｎ＞１であれば、次の
ステップ６０へ進む。
【００４８】（６０）サイジング処理された第１〜ｎ矩
形パターン間の図形論理和演算を行ってパターン合成す
ることにより、正しくサイジング処理された１個の内辺
パターンを得る。
形パターン間の図形論理和演算を行ってパターン合成す
ることにより、正しくサイジング処理された１個の内辺
パターンを得る。
【００４９】図２（Ａ）に示す内抜きパターンに対し、
図８に示す従来法でサイジング処理した場合には、この
内抜きパターンを６個の矩形パターンに分割して各々に
対しサイジング処理しなければならない。これに対し、
本実施例では内辺パターンのみを矩形パターンに分割す
るので、内辺パターンを２個の矩形パターンに分割し、
この矩形パターンと外辺パターンとの合計３個のパター
ンに対しサイジング処理を行えばよい。また、本実施例
によれば、内辺パターンを分割して得た矩形パターンが
サイジング処理により消滅する場合、上記ステップ５１
〜５６のように処理が簡単となる。
図８に示す従来法でサイジング処理した場合には、この
内抜きパターンを６個の矩形パターンに分割して各々に
対しサイジング処理しなければならない。これに対し、
本実施例では内辺パターンのみを矩形パターンに分割す
るので、内辺パターンを２個の矩形パターンに分割し、
この矩形パターンと外辺パターンとの合計３個のパター
ンに対しサイジング処理を行えばよい。また、本実施例
によれば、内辺パターンを分割して得た矩形パターンが
サイジング処理により消滅する場合、上記ステップ５１
〜５６のように処理が簡単となる。
【００５０】したがって、本実施例によれば、全体とし
てサイジング処理が従来よりも簡単となり、かつ、処理
時間を従来よりも短縮することができる。
てサイジング処理が従来よりも簡単となり、かつ、処理
時間を従来よりも短縮することができる。
【００５１】
【発明の効果】以上説明した如く、本発明に係るサイジ
ング処理方法によれば、内辺パターンのみを矩形パター
ンに分割し、この矩形パターンと外辺パターンとに対し
サイジング処理を行えばよく、また、この矩形パターン
がサイジング処理により消滅する場合の処理が簡単とな
るので、正しいサイジング処理をより短時間で行うこと
ができるという優れた効果を奏する。
ング処理方法によれば、内辺パターンのみを矩形パター
ンに分割し、この矩形パターンと外辺パターンとに対し
サイジング処理を行えばよく、また、この矩形パターン
がサイジング処理により消滅する場合の処理が簡単とな
るので、正しいサイジング処理をより短時間で行うこと
ができるという優れた効果を奏する。
【図１】本発明のサイジング処理方法説明図である。
【図２】本発明のサイジング処理方法説明図である。
【図３】サイジング処理手順を示すジェネラルフローチ
ャートである。
ャートである。
【図４】図３のステップ３２での１個パターンに対する
サイジング処理の詳細を示すフローチャートである。
サイジング処理の詳細を示すフローチャートである。
【図５】図４のステップ４５の詳細を示すフローチャー
トである。
トである。
【図６】アートワーク処理装置のハードウエア概略構成
図である。
図である。
【図７】従来のサイジング処理説明図である。
【図８】従来のサイジング処理説明図である。
１０ コンピュータ １１、２１ 磁気テープ １２、２２ 磁気ディスク Ｓ サイジング量 Ｌ 短辺半値
Claims (1)
- 【請求項１】 マスクパターンＣＡＤデータに含まれて
いる、外辺パターンから内辺パターンを抜き取った形状
の原パターンに対し（４０）、外辺の外側及び内辺の内
側へ幅Ｓだけ該原パターンを太らせるという、サイジン
グ量Ｓが正のサイジング処理を行う場合に、 該内辺パターンに９０°の外角があるとき、外角が９０
°の頂点を一端とする辺を該一端から延長させて該内辺
パターンを第１〜第ｎ矩形パターンに分割し（４１〜４
４）、 該第１〜第ｎ矩形パターンの各々又は矩形パタ
ーンである該内辺パターンについて、短辺の半値Ｌ（５
１〜５３）がサイジング量Ｓ以下である場合には該矩形
パターンを除外し（５４、５６）、短辺の半値Ｌがサイ
ジング量Ｓより大きい場合には該矩形パターンに対し、
辺の内側へ幅Ｓだけ該矩形パターンを細らせるという、
サイジング量が−Ｓのサイジング処理を行い（５４、５
５）、 該内辺パターンに９０°の外角があるときにはサイジン
グ処理された該第１〜第ｎ矩形パターン間の図形論理和
を、サイジング処理された内辺パターンとし（５９、６
０）、 該外辺パターンに対しサイジング量Ｓのサイジング処理
を行い（４６）、 サイジング処理された該外辺パターンから、サイジング
処理された該内辺パターンを抜き取った形状のパターン
を、該原パターンに対しサイジング量Ｓのサイジング処
理を行ったパターンとする（４７）、 ことを特徴とするサイジング処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13824892A JP3181372B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | サイジング処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13824892A JP3181372B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | サイジング処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05334395A true JPH05334395A (ja) | 1993-12-17 |
| JP3181372B2 JP3181372B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=15217531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13824892A Expired - Fee Related JP3181372B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | サイジング処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3181372B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6957176B2 (en) | 2000-06-22 | 2005-10-18 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Reduction processing method and computer readable storage medium having program stored thereon for causing computer to execute the method |
| US7099806B2 (en) * | 2001-05-30 | 2006-08-29 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Sizing processing system and computer program for the same |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP13824892A patent/JP3181372B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6957176B2 (en) | 2000-06-22 | 2005-10-18 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Reduction processing method and computer readable storage medium having program stored thereon for causing computer to execute the method |
| US7099806B2 (en) * | 2001-05-30 | 2006-08-29 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Sizing processing system and computer program for the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3181372B2 (ja) | 2001-07-03 |
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Legal Events
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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