JP2005519461A5 - - Google Patents

Claims (23)

1. 製造プロセスのためのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと、プロセスコンテキストと、の間のコンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けを特定する過程と、
   製造プロセスの変更を実装するために前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトする過程を含む、製造プロセスの制御方法。
2. 前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けが、前記プロセスコンテキストと前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントから独立している、
   請求項１記載の方法。
3. 前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトする過程を行う前に前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けを認証する過程を更に含む、請求項１記載の方法。
4. 前記変更には、前記プロセスコンテキストが有効であるときに前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントに従って前記製造プロセスを実行する過程が含まれる、請求項１記載の方法。
5. 前記プロセスコンテキストは、製品製造オペレーションのルーティングのオペレーションを含む、
   請求項１記載の方法。
6. 前記プロセスコンテキストは、製造ツールのオペレーションを含む、
   請求項１記載の方法。
7. 前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記製造プロセスを実行するための仕様ドキュメントを含む、
   請求項１記載の方法。
8. 前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記製造プロセスを実行するための命令を含む、
   請求項１記載の方法。
9. 前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記製造プロセスを実行するためのレシピを含む、
   請求項１記載の方法。
10. 前記製造プロセスは、半導体製造プロセスであり；かつ、
    前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントは、前記半導体製造プロセスを実行するためのレシピに対応する、
    請求項１記載の方法。
11. 前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトする過程では、第１コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けが除去される、
    請求項１記載の方法。
12. 第１認証が入手されたときに前記第１コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けを非アクティベイト化する過程と、
    前記第１コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトする過程の前に第２認証を入手する過程と、を更に含む、
    請求項１１記載の方法。
13. 製造プロセスのためのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと、プロセスコンテキストと、の間のコンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けを特定するための関連付けモジュールと、
    製造プロセスの変更を実装するために前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトするためのアクティベイションモジュールと、を含む、装置。
14. 前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けは、前記プロセスコンテキストと前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントから独立している、
    請求項１３記載の装置。
15. 前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトする前に前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けを認証するための認証モジュールを更に含む、
    請求項１３記載の装置。
16. 前記プロセスコンテキストが有効であるとき、前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントに従って前記製造プロセスを実行するための実行モジュールを更に含む、
    請求項１３記載の装置。
17. 前記プロセスコンテキストを定義するとともに前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントをセットアップするよう動作可能であるユーザインターフェースモジュールを更に含む、
    請求項１３記載の装置。
18. 前記プロセスコンテキストと、前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと、を関連付けするよう動作可能なユーザインターフェースモジュールを更に含む、
    請求項１３記載の装置。
19. 製造プロセスのためのコンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントと、プロセスコンテキストと、の間のコンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けを特定する関連付け命令と、
    前記製造プロセスの変更を実装するために前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトするアクティベイション命令と、かつ、
    前記関連付け命令と前記アクティベイション命令を記録するためのコンピュータ読み出し可能メディアとを含み、前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けが、前記プロセスコンテキストと前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントから独立している、コンピュータプログラム製品。
20. 前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けをアクティベイトする前に前記コンテキスト及びコンフィグレーションの関連付けを認証するための認証命令を更に含み、前記コンピュータ読み出し可能メディアに前記認証命令を更に記録された、
    請求項１９記載のコンピュータプログラム製品。
21. 前記プロセスコンテキストが有効であるとき、前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントに従って前記製造プロセスを実行するための実行命令を更に含み、前記コンピュータ読み出し可能メディアに前記実行命令が更に記録された、
    請求項１９記載のコンピュータプログラム製品。
22. 前記プロセスコンテキストを定義するとともに前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントをセットアップするよう動作可能であるユーザインターフェース命令を更に含み、前記コンピュータ読み出し可能メディアに前記ユーザインターフェース命令が更に記録された、
    請求項１９記載のコンピュータプログラム製品。
23. 前記プロセスコンテキストと前記コンテキストフリーコンフィグレーションドキュメントを関連付けするよう動作可能であるユーザインターフェース命令を更に含み、前記コンピュータ読み出し可能メディアに前記ユーザインターフェース命令が更に記録された、
    請求項１９記載のコンピュータプログラム製品。